JPS61278032A - 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法およびその装置Info
- Publication number
- JPS61278032A JPS61278032A JP11937485A JP11937485A JPS61278032A JP S61278032 A JPS61278032 A JP S61278032A JP 11937485 A JP11937485 A JP 11937485A JP 11937485 A JP11937485 A JP 11937485A JP S61278032 A JPS61278032 A JP S61278032A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tension
- roll
- substrate
- recording medium
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒
体の製造方法およびその実施に使用する装置に関し、さ
らに詳しくは、しわのない前記の磁気記録媒体を製造す
る方法およびその実施に使用する装置に関する。
体の製造方法およびその実施に使用する装置に関し、さ
らに詳しくは、しわのない前記の磁気記録媒体を製造す
る方法およびその実施に使用する装置に関する。
強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通常
、ポリエステルフィルムなどの基体を真空槽内に配設し
たガイドロール等を介して円筒状キャンの周側面に沿っ
て案内走行させ、この基体上に強磁性材を真空蒸着する
などしてつくられており、原反ロールおよび巻き取りロ
ールの駆動トルクを調整するなどしてガイドロール間を
走行する基体の張力を適度に調整し、走行する基体にし
わ等が生じたりしないようにしている。
、ポリエステルフィルムなどの基体を真空槽内に配設し
たガイドロール等を介して円筒状キャンの周側面に沿っ
て案内走行させ、この基体上に強磁性材を真空蒸着する
などしてつくられており、原反ロールおよび巻き取りロ
ールの駆動トルクを調整するなどしてガイドロール間を
走行する基体の張力を適度に調整し、走行する基体にし
わ等が生じたりしないようにしている。
ところが、このように原反ロールおよび巻き取りロール
のみの駆動トルクで張力を調整するこの従来の方法では
、真空蒸着時のポリエステルフィルムの熱損傷や走行む
らを良好に防ぐため、円筒状キャンにポリエステルフィ
ルムを良好に密着させる際に、原反ロールおよび巻き取
りロールで基体に大きな張力を加えなければならず、こ
のため巻き取りロールに巻き上げられたポリエステルフ
ィルムは硬巻きとなり、しわが発生しやすいという難点
がある。
のみの駆動トルクで張力を調整するこの従来の方法では
、真空蒸着時のポリエステルフィルムの熱損傷や走行む
らを良好に防ぐため、円筒状キャンにポリエステルフィ
ルムを良好に密着させる際に、原反ロールおよび巻き取
りロールで基体に大きな張力を加えなければならず、こ
のため巻き取りロールに巻き上げられたポリエステルフ
ィルムは硬巻きとなり、しわが発生しやすいという難点
がある。
〔問題点を解決するための手段〕 1
この発明はかかる現状に鑑み、種々検討した結果なされ
たもので、真空槽内で、基体を原反ロールから蒸着用部
材の周側面に沿って移動させ、さらに巻き取りロールに
巻き取る基体移動支持装置の蒸着用部材から巻き取りロ
ールに至る間に、一対のガイド部材間にテンション部材
を介在させて構成した基体張力調整機構を少なくとも1
ユニット以上配設し、強磁性材が蒸着されて走行する磁
気記録媒体のテンション部材の前後の張力差を1ON/
mrrf以下に調□整することによって、テンション部
材の前後で基体が幅方向に伸縮するのを効果的に抑制し
、基体に歪が生じないようにして、磁気記録媒体にしわ
が発生するのを良好に防止したものである。
たもので、真空槽内で、基体を原反ロールから蒸着用部
材の周側面に沿って移動させ、さらに巻き取りロールに
巻き取る基体移動支持装置の蒸着用部材から巻き取りロ
ールに至る間に、一対のガイド部材間にテンション部材
を介在させて構成した基体張力調整機構を少なくとも1
ユニット以上配設し、強磁性材が蒸着されて走行する磁
気記録媒体のテンション部材の前後の張力差を1ON/
mrrf以下に調□整することによって、テンション部
材の前後で基体が幅方向に伸縮するのを効果的に抑制し
、基体に歪が生じないようにして、磁気記録媒体にしわ
が発生するのを良好に防止したものである。
以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。
第1図は真空蒸着装置の断面図を示したものであり、■
は真空槽でこの真空槽1の内部は排気系14によって真
空に保持される。2はポリエステルフィルム等の基体で
あり、原反ロール3よりガイドロール4を介して円筒状
キャン5の周側面に沿って移動し、ガイドロール6、テ
ンションロール7、ガイドロール8.9を介して巻き取
りロール10に巻き取られる。この間円筒状キャン5の
周側面に沿って移動する基体2に対向して真空槽1の下
部に配設された強磁性材蒸発源11で強磁性材12が加
熱蒸発され、この蒸気流が防着板13の作用により円筒
状キャン5の周側面に沿って移動する基体2に、斜め方
向に差し向けられて斜め入射蒸着が行われる。
は真空槽でこの真空槽1の内部は排気系14によって真
空に保持される。2はポリエステルフィルム等の基体で
あり、原反ロール3よりガイドロール4を介して円筒状
キャン5の周側面に沿って移動し、ガイドロール6、テ
ンションロール7、ガイドロール8.9を介して巻き取
りロール10に巻き取られる。この間円筒状キャン5の
周側面に沿って移動する基体2に対向して真空槽1の下
部に配設された強磁性材蒸発源11で強磁性材12が加
熱蒸発され、この蒸気流が防着板13の作用により円筒
状キャン5の周側面に沿って移動する基体2に、斜め方
向に差し向けられて斜め入射蒸着が行われる。
ここで、ガイドロール6、テンションロール7、ガイド
ロール8は、これらで対をなして基体張力調整機構を構
成し、テンションロール7の前後には、基体張力検出装
置15および16が取りつけられて、走行する基体2の
テンションロール7の前後の張力が検出される。そして
この検出されたテンションロール7の前後の基体8の張
力は電気系統を介して適宜連動機構に伝達され、適宜連
動機構によりテンションロール7の回転数および位置等
が制御されて、テンションロール7の前後での基体2の
張力差がION/mn(以下となるように調整される。
ロール8は、これらで対をなして基体張力調整機構を構
成し、テンションロール7の前後には、基体張力検出装
置15および16が取りつけられて、走行する基体2の
テンションロール7の前後の張力が検出される。そして
この検出されたテンションロール7の前後の基体8の張
力は電気系統を介して適宜連動機構に伝達され、適宜連
動機構によりテンションロール7の回転数および位置等
が制御されて、テンションロール7の前後での基体2の
張力差がION/mn(以下となるように調整される。
従って、強磁性材を蒸着後、円筒状キャン5から巻き取
りロール10間を走行する磁気記録媒体は、大きな張力
差で幅方向に大きく伸縮することもなく、巻き取りロー
ルlOに柔らかく巻き取られて、しわの発生が良好に防
止される。これに対し、基体2のテンションロール7の
前の張力に比べてテンションロール7の後の張力が弱く
、その張力差が1.ON/mrrrを超える場合は、テ
ンションロール7の前で幅方向に縮んでいた基体が、テ
ンションロール7の後で広がろうとし、このとき基体2
とテンションロール7との間に滑りが起こらないため、
基体に歪を生じ、この歪によって磁気記録媒体にしわが
生じる。
りロール10間を走行する磁気記録媒体は、大きな張力
差で幅方向に大きく伸縮することもなく、巻き取りロー
ルlOに柔らかく巻き取られて、しわの発生が良好に防
止される。これに対し、基体2のテンションロール7の
前の張力に比べてテンションロール7の後の張力が弱く
、その張力差が1.ON/mrrrを超える場合は、テ
ンションロール7の前で幅方向に縮んでいた基体が、テ
ンションロール7の後で広がろうとし、このとき基体2
とテンションロール7との間に滑りが起こらないため、
基体に歪を生じ、この歪によって磁気記録媒体にしわが
生じる。
このように、一対のガイドロール6.8間にテンション
ロール7を介在させて構成された基体張力調整機構は、
円筒状キャン5から巻き取りロールlOに至る間に、−
ユニット配設するだけでも充分な効果が発揮されるが、
多いほどテンションロール7の前後の張力差を容易に小
さくすることができ、基体2が幅方向に伸縮するのをよ
り効果的に抑制することができて、磁気記録媒体にしわ
が発生するのををより効果的に防止することができる。
ロール7を介在させて構成された基体張力調整機構は、
円筒状キャン5から巻き取りロールlOに至る間に、−
ユニット配設するだけでも充分な効果が発揮されるが、
多いほどテンションロール7の前後の張力差を容易に小
さくすることができ、基体2が幅方向に伸縮するのをよ
り効果的に抑制することができて、磁気記録媒体にしわ
が発生するのををより効果的に防止することができる。
強磁性金属薄膜層を形成する基体としては、ポリエステ
ル、ポリイミド、ポリアミド等一般に使用されている高
分子成形物からなるプラスチックフィルムおよび銅など
の非磁性金属板が使用される。
ル、ポリイミド、ポリアミド等一般に使用されている高
分子成形物からなるプラスチックフィルムおよび銅など
の非磁性金属板が使用される。
また強磁性材としては、コバルト、ニッケル、鉄などの
金属単体の他、これらの合金あるいは酸化物、およびG
o−P、Co−N1−Pなど一般に使用される強磁性材
が広く使用される。
金属単体の他、これらの合金あるいは酸化物、およびG
o−P、Co−N1−Pなど一般に使用される強磁性材
が広く使用される。
(実施例〕
次に、この発明の実施例について説明する。
実施例1
第1図に示すように、ガイドロール6、テンションロー
ル7、ガイドロール8からなる基体張力調整機構を、円
筒状キャン5と巻き取りロール10間に配設し、テンシ
ョンロールアの前後に基体張力検出装置15および16
を取りつけた真空蒸着装置を使用し、10μm厚で中が
500mmのポリエステルフィルム2を原反ロール3よ
りガイドロール4を介して円筒状キャン5の周側面に沿
って移動させ、ガイドロール6、テンションロール7、
ガイドロール8,9を介して巻き取りロール10に巻き
取るようにセントするとともに強磁性材蒸発源11にコ
バルト−ニッケル合金(重量比85:15)12をセン
トした。次いで、排気系14で真空槽1内を5 X 1
0’mbarにまで真空排気した。しかる後、ポリエス
テルフィルム2を走行速度10m/分で走行させて、電
子銃によってコバルト−ニッケル合金12を加熱蒸発さ
せ、ポリエステルフィルム2上に厚さが1000人のコ
バルト−ニッケル合金からなる強磁性金属薄膜層を形成
した。このとき、原反ロール3での張力を15ON、@
き取りロール10の張力をIONとし、適宜連動機構に
よりテンションロール7での負荷をIONづつ変化させ
て、ポリエステルフィルム2のテンションロール7の前
後での張力差とテンションロール7上でのしわの発生率
との関係を調べた。
ル7、ガイドロール8からなる基体張力調整機構を、円
筒状キャン5と巻き取りロール10間に配設し、テンシ
ョンロールアの前後に基体張力検出装置15および16
を取りつけた真空蒸着装置を使用し、10μm厚で中が
500mmのポリエステルフィルム2を原反ロール3よ
りガイドロール4を介して円筒状キャン5の周側面に沿
って移動させ、ガイドロール6、テンションロール7、
ガイドロール8,9を介して巻き取りロール10に巻き
取るようにセントするとともに強磁性材蒸発源11にコ
バルト−ニッケル合金(重量比85:15)12をセン
トした。次いで、排気系14で真空槽1内を5 X 1
0’mbarにまで真空排気した。しかる後、ポリエス
テルフィルム2を走行速度10m/分で走行させて、電
子銃によってコバルト−ニッケル合金12を加熱蒸発さ
せ、ポリエステルフィルム2上に厚さが1000人のコ
バルト−ニッケル合金からなる強磁性金属薄膜層を形成
した。このとき、原反ロール3での張力を15ON、@
き取りロール10の張力をIONとし、適宜連動機構に
よりテンションロール7での負荷をIONづつ変化させ
て、ポリエステルフィルム2のテンションロール7の前
後での張力差とテンションロール7上でのしわの発生率
との関係を調べた。
下表はその結果である。
表
〔発明の効果〕
上表から明らかなように、テンションロール7の前後で
の張力差を5ONより大きくするとしわが認められたが
、張力差を5ON以下にするとしわが認められず、この
ことから一対のガイド部材間にテンション部材を介在さ
せてなる基体張力調整機構を備え、テンション部材の前
後での張力差を、基体の厚さおよび幅を考慮して10N
/mm2以下にしたこの発明の製造方法および装置によ
れば、基体の伸縮が効果的に抑制され、磁気記録媒体製
造時に発生するしわが極めて効果的に抑制されて欠陥の
ない磁気記録媒体が得られることがわかる。
の張力差を5ONより大きくするとしわが認められたが
、張力差を5ON以下にするとしわが認められず、この
ことから一対のガイド部材間にテンション部材を介在さ
せてなる基体張力調整機構を備え、テンション部材の前
後での張力差を、基体の厚さおよび幅を考慮して10N
/mm2以下にしたこの発明の製造方法および装置によ
れば、基体の伸縮が効果的に抑制され、磁気記録媒体製
造時に発生するしわが極めて効果的に抑制されて欠陥の
ない磁気記録媒体が得られることがわかる。
第1図はこの発明の製造方法を実施するために使用する
真空蒸着装置の1例を示す概略断面図である。 1・・・真空槽、2・・・基体、3・・・原反ロール、
4゜6.8.9・・・ガイドロール(ガイド部材)、5
・・・円筒状キャン(蒸着用部材)、7・・・テンショ
ンロール(テンション部材)、10・・・巻き取りロー
ル、11・・・強磁性材蒸発源、12・・・強磁性材、
15.16・・・基体張力検出装置
真空蒸着装置の1例を示す概略断面図である。 1・・・真空槽、2・・・基体、3・・・原反ロール、
4゜6.8.9・・・ガイドロール(ガイド部材)、5
・・・円筒状キャン(蒸着用部材)、7・・・テンショ
ンロール(テンション部材)、10・・・巻き取りロー
ル、11・・・強磁性材蒸発源、12・・・強磁性材、
15.16・・・基体張力検出装置
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、真空槽内で、基体を原反ロールから蒸着用部材の周
側面に沿って移動させ、さらに巻き取りロールに巻き取
る間に、強磁性材蒸発源から強磁性材の蒸気流を差し向
け、蒸着して強磁性金属薄膜層を形成する磁気記録媒体
の製造方法において、強磁性材を蒸着後、基体が蒸着用
部材から巻き取りロールに至る間に、一対のガイド部材
間にテンション部材を介在させて構成した基体張力調整
機構を少なくとも1ユニット以上配設し、テンション部
材の前後の強磁性材が蒸着された磁気記録媒体の張力差
を10N/mm^2以下に調整することを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法 2、真空槽内に、基体を原反ロールから蒸着用部材の周
側面に沿って移動させさらに巻き取りロールに巻き取る
基体移動支持装置と、この基体移動支持装置に案内され
て移動する基体に対向する強磁性材蒸発源とを配設して
なる磁気記録媒体製造装置において、強磁性材を蒸着後
、基体が蒸着用部材から巻き取りロールに至る間に、一
対のガイド部材間にテンション部材を介在させて構成し
た基体張力調整機構を少なくとも1ユニット以上配設し
、適宜連動機構を介して強磁性材が蒸着された磁気記録
媒体のテンション部材の前後の張力差を10N/mm^
2以下に調整しながら、基体を走行させるようにしたこ
とを特徴とする磁気記録媒体製造装置
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11937485A JPS61278032A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 |
EP86107229A EP0203582B1 (en) | 1985-05-31 | 1986-05-28 | Method and apparatus for making magnetic recording medium |
EP19900103992 EP0387619A3 (en) | 1985-05-31 | 1986-05-28 | Method of and apparatus for making magnetic recording medium |
DE8686107229T DE3678337D1 (de) | 1985-05-31 | 1986-05-28 | Methode und apparat zur herstellung von magnetischen aufzeichnungstraegern. |
US07/193,181 US4847109A (en) | 1985-05-31 | 1988-05-10 | Method of a making magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11937485A JPS61278032A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61278032A true JPS61278032A (ja) | 1986-12-08 |
Family
ID=14759926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11937485A Pending JPS61278032A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61278032A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62247073A (ja) * | 1986-04-21 | 1987-10-28 | Ulvac Corp | 巻取式真空装置 |
US7946247B2 (en) | 2006-05-10 | 2011-05-24 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Coating layer thickness measurement mechanism and coating layer forming apparatus using the same |
JP2017155286A (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | 住友金属鉱山株式会社 | ロールツーロール処理装置及び処理方法 |
JP2019104951A (ja) * | 2017-12-11 | 2019-06-27 | 住友金属鉱山株式会社 | 長尺基板の処理装置と処理方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5924449A (ja) * | 1982-08-02 | 1984-02-08 | Olympus Optical Co Ltd | 磁気記録フイルムの製造方法 |
JPS6033351A (ja) * | 1983-08-04 | 1985-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金属薄膜の製造方法 |
-
1985
- 1985-05-31 JP JP11937485A patent/JPS61278032A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5924449A (ja) * | 1982-08-02 | 1984-02-08 | Olympus Optical Co Ltd | 磁気記録フイルムの製造方法 |
JPS6033351A (ja) * | 1983-08-04 | 1985-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金属薄膜の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62247073A (ja) * | 1986-04-21 | 1987-10-28 | Ulvac Corp | 巻取式真空装置 |
JPH0251982B2 (ja) * | 1986-04-21 | 1990-11-09 | Ulvac Corp | |
US7946247B2 (en) | 2006-05-10 | 2011-05-24 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Coating layer thickness measurement mechanism and coating layer forming apparatus using the same |
JP2017155286A (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | 住友金属鉱山株式会社 | ロールツーロール処理装置及び処理方法 |
JP2019104951A (ja) * | 2017-12-11 | 2019-06-27 | 住友金属鉱山株式会社 | 長尺基板の処理装置と処理方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS61278032A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 | |
JPH0626018B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPH04155623A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 | |
JPS60223033A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 | |
JPS5922931A (ja) | 薄膜の製造方法及び装置 | |
JPS61214135A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS63109167A (ja) | 金属薄膜の製造装置 | |
JPS61163272A (ja) | 薄膜の製造方法及び該方法に使用する装置 | |
JPS61278031A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 | |
JP3361456B2 (ja) | 電気音響変換器用振動膜、その製造方法および装置 | |
JP2668953B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPH0552565B2 (ja) | ||
JPS6113554Y2 (ja) | ||
JPS6152361A (ja) | 薄膜形成方法 | |
JPS59172163A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
JPH07243042A (ja) | 成膜装置 | |
JPS63213118A (ja) | 金属薄膜の製造装置 | |
JPH0221052B2 (ja) | ||
JPS5826317A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体の生産方法 | |
JP2650300B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
JPH01243234A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPH027228A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS6031012B2 (ja) | 磁気記録体の製造方法 | |
JPH01156473A (ja) | 薄膜磁気記録媒体の製造装置及びその使用方法 | |
JPS5849927B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 |