JPS61278032A - 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法およびその装置Info
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- JPS61278032A JPS61278032A JP11937485A JP11937485A JPS61278032A JP S61278032 A JPS61278032 A JP S61278032A JP 11937485 A JP11937485 A JP 11937485A JP 11937485 A JP11937485 A JP 11937485A JP S61278032 A JPS61278032 A JP S61278032A
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- JP
- Japan
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- tension
- roll
- substrate
- recording medium
- magnetic recording
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒
体の製造方法およびその実施に使用する装置に関し、さ
らに詳しくは、しわのない前記の磁気記録媒体を製造す
る方法およびその実施に使用する装置に関する。
体の製造方法およびその実施に使用する装置に関し、さ
らに詳しくは、しわのない前記の磁気記録媒体を製造す
る方法およびその実施に使用する装置に関する。
強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通常
、ポリエステルフィルムなどの基体を真空槽内に配設し
たガイドロール等を介して円筒状キャンの周側面に沿っ
て案内走行させ、この基体上に強磁性材を真空蒸着する
などしてつくられており、原反ロールおよび巻き取りロ
ールの駆動トルクを調整するなどしてガイドロール間を
走行する基体の張力を適度に調整し、走行する基体にし
わ等が生じたりしないようにしている。
、ポリエステルフィルムなどの基体を真空槽内に配設し
たガイドロール等を介して円筒状キャンの周側面に沿っ
て案内走行させ、この基体上に強磁性材を真空蒸着する
などしてつくられており、原反ロールおよび巻き取りロ
ールの駆動トルクを調整するなどしてガイドロール間を
走行する基体の張力を適度に調整し、走行する基体にし
わ等が生じたりしないようにしている。
ところが、このように原反ロールおよび巻き取りロール
のみの駆動トルクで張力を調整するこの従来の方法では
、真空蒸着時のポリエステルフィルムの熱損傷や走行む
らを良好に防ぐため、円筒状キャンにポリエステルフィ
ルムを良好に密着させる際に、原反ロールおよび巻き取
りロールで基体に大きな張力を加えなければならず、こ
のため巻き取りロールに巻き上げられたポリエステルフ
ィルムは硬巻きとなり、しわが発生しやすいという難点
がある。
のみの駆動トルクで張力を調整するこの従来の方法では
、真空蒸着時のポリエステルフィルムの熱損傷や走行む
らを良好に防ぐため、円筒状キャンにポリエステルフィ
ルムを良好に密着させる際に、原反ロールおよび巻き取
りロールで基体に大きな張力を加えなければならず、こ
のため巻き取りロールに巻き上げられたポリエステルフ
ィルムは硬巻きとなり、しわが発生しやすいという難点
がある。
〔問題点を解決するための手段〕 １
この発明はかかる現状に鑑み、種々検討した結果なされ
たもので、真空槽内で、基体を原反ロールから蒸着用部
材の周側面に沿って移動させ、さらに巻き取りロールに
巻き取る基体移動支持装置の蒸着用部材から巻き取りロ
ールに至る間に、一対のガイド部材間にテンション部材
を介在させて構成した基体張力調整機構を少なくとも１
ユニット以上配設し、強磁性材が蒸着されて走行する磁
気記録媒体のテンション部材の前後の張力差を１ＯＮ／
ｍｒｒｆ以下に調□整することによって、テンション部
材の前後で基体が幅方向に伸縮するのを効果的に抑制し
、基体に歪が生じないようにして、磁気記録媒体にしわ
が発生するのを良好に防止したものである。
たもので、真空槽内で、基体を原反ロールから蒸着用部
材の周側面に沿って移動させ、さらに巻き取りロールに
巻き取る基体移動支持装置の蒸着用部材から巻き取りロ
ールに至る間に、一対のガイド部材間にテンション部材
を介在させて構成した基体張力調整機構を少なくとも１
ユニット以上配設し、強磁性材が蒸着されて走行する磁
気記録媒体のテンション部材の前後の張力差を１ＯＮ／
ｍｒｒｆ以下に調□整することによって、テンション部
材の前後で基体が幅方向に伸縮するのを効果的に抑制し
、基体に歪が生じないようにして、磁気記録媒体にしわ
が発生するのを良好に防止したものである。
以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。
第１図は真空蒸着装置の断面図を示したものであり、■
は真空槽でこの真空槽１の内部は排気系１４によって真
空に保持される。２はポリエステルフィルム等の基体で
あり、原反ロール３よりガイドロール４を介して円筒状
キャン５の周側面に沿って移動し、ガイドロール６、テ
ンションロール７、ガイドロール８．９を介して巻き取
りロール１０に巻き取られる。この間円筒状キャン５の
周側面に沿って移動する基体２に対向して真空槽１の下
部に配設された強磁性材蒸発源１１で強磁性材１２が加
熱蒸発され、この蒸気流が防着板１３の作用により円筒
状キャン５の周側面に沿って移動する基体２に、斜め方
向に差し向けられて斜め入射蒸着が行われる。
は真空槽でこの真空槽１の内部は排気系１４によって真
空に保持される。２はポリエステルフィルム等の基体で
あり、原反ロール３よりガイドロール４を介して円筒状
キャン５の周側面に沿って移動し、ガイドロール６、テ
ンションロール７、ガイドロール８．９を介して巻き取
りロール１０に巻き取られる。この間円筒状キャン５の
周側面に沿って移動する基体２に対向して真空槽１の下
部に配設された強磁性材蒸発源１１で強磁性材１２が加
熱蒸発され、この蒸気流が防着板１３の作用により円筒
状キャン５の周側面に沿って移動する基体２に、斜め方
向に差し向けられて斜め入射蒸着が行われる。
ここで、ガイドロール６、テンションロール７、ガイド
ロール８は、これらで対をなして基体張力調整機構を構
成し、テンションロール７の前後には、基体張力検出装
置１５および１６が取りつけられて、走行する基体２の
テンションロール７の前後の張力が検出される。そして
この検出されたテンションロール７の前後の基体８の張
力は電気系統を介して適宜連動機構に伝達され、適宜連
動機構によりテンションロール７の回転数および位置等
が制御されて、テンションロール７の前後での基体２の
張力差がＩＯＮ／ｍｎ（以下となるように調整される。
ロール８は、これらで対をなして基体張力調整機構を構
成し、テンションロール７の前後には、基体張力検出装
置１５および１６が取りつけられて、走行する基体２の
テンションロール７の前後の張力が検出される。そして
この検出されたテンションロール７の前後の基体８の張
力は電気系統を介して適宜連動機構に伝達され、適宜連
動機構によりテンションロール７の回転数および位置等
が制御されて、テンションロール７の前後での基体２の
張力差がＩＯＮ／ｍｎ（以下となるように調整される。
従って、強磁性材を蒸着後、円筒状キャン５から巻き取
りロール１０間を走行する磁気記録媒体は、大きな張力
差で幅方向に大きく伸縮することもなく、巻き取りロー
ルｌＯに柔らかく巻き取られて、しわの発生が良好に防
止される。これに対し、基体２のテンションロール７の
前の張力に比べてテンションロール７の後の張力が弱く
、その張力差が１．ＯＮ／ｍｒｒｒを超える場合は、テ
ンションロール７の前で幅方向に縮んでいた基体が、テ
ンションロール７の後で広がろうとし、このとき基体２
とテンションロール７との間に滑りが起こらないため、
基体に歪を生じ、この歪によって磁気記録媒体にしわが
生じる。
りロール１０間を走行する磁気記録媒体は、大きな張力
差で幅方向に大きく伸縮することもなく、巻き取りロー
ルｌＯに柔らかく巻き取られて、しわの発生が良好に防
止される。これに対し、基体２のテンションロール７の
前の張力に比べてテンションロール７の後の張力が弱く
、その張力差が１．ＯＮ／ｍｒｒｒを超える場合は、テ
ンションロール７の前で幅方向に縮んでいた基体が、テ
ンションロール７の後で広がろうとし、このとき基体２
とテンションロール７との間に滑りが起こらないため、
基体に歪を生じ、この歪によって磁気記録媒体にしわが
生じる。
このように、一対のガイドロール６．８間にテンション
ロール７を介在させて構成された基体張力調整機構は、
円筒状キャン５から巻き取りロールｌＯに至る間に、−
ユニット配設するだけでも充分な効果が発揮されるが、
多いほどテンションロール７の前後の張力差を容易に小
さくすることができ、基体２が幅方向に伸縮するのをよ
り効果的に抑制することができて、磁気記録媒体にしわ
が発生するのををより効果的に防止することができる。
ロール７を介在させて構成された基体張力調整機構は、
円筒状キャン５から巻き取りロールｌＯに至る間に、−
ユニット配設するだけでも充分な効果が発揮されるが、
多いほどテンションロール７の前後の張力差を容易に小
さくすることができ、基体２が幅方向に伸縮するのをよ
り効果的に抑制することができて、磁気記録媒体にしわ
が発生するのををより効果的に防止することができる。
強磁性金属薄膜層を形成する基体としては、ポリエステ
ル、ポリイミド、ポリアミド等一般に使用されている高
分子成形物からなるプラスチックフィルムおよび銅など
の非磁性金属板が使用される。
ル、ポリイミド、ポリアミド等一般に使用されている高
分子成形物からなるプラスチックフィルムおよび銅など
の非磁性金属板が使用される。
また強磁性材としては、コバルト、ニッケル、鉄などの
金属単体の他、これらの合金あるいは酸化物、およびＧ
ｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎ１−Ｐなど一般に使用される強磁性材
が広く使用される。
金属単体の他、これらの合金あるいは酸化物、およびＧ
ｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎ１−Ｐなど一般に使用される強磁性材
が広く使用される。
（実施例〕
次に、この発明の実施例について説明する。
実施例１
第１図に示すように、ガイドロール６、テンションロー
ル７、ガイドロール８からなる基体張力調整機構を、円
筒状キャン５と巻き取りロール１０間に配設し、テンシ
ョンロールアの前後に基体張力検出装置１５および１６
を取りつけた真空蒸着装置を使用し、１０μｍ厚で中が
５００ｍｍのポリエステルフィルム２を原反ロール３よ
りガイドロール４を介して円筒状キャン５の周側面に沿
って移動させ、ガイドロール６、テンションロール７、
ガイドロール８，９を介して巻き取りロール１０に巻き
取るようにセントするとともに強磁性材蒸発源１１にコ
バルト−ニッケル合金（重量比８５：１５）１２をセン
トした。次いで、排気系１４で真空槽１内を５ Ｘ １
０’ｍｂａｒにまで真空排気した。しかる後、ポリエス
テルフィルム２を走行速度１０ｍ／分で走行させて、電
子銃によってコバルト−ニッケル合金１２を加熱蒸発さ
せ、ポリエステルフィルム２上に厚さが１０００人のコ
バルト−ニッケル合金からなる強磁性金属薄膜層を形成
した。このとき、原反ロール３での張力を１５ＯＮ、＠
き取りロール１０の張力をＩＯＮとし、適宜連動機構に
よりテンションロール７での負荷をＩＯＮづつ変化させ
て、ポリエステルフィルム２のテンションロール７の前
後での張力差とテンションロール７上でのしわの発生率
との関係を調べた。
ル７、ガイドロール８からなる基体張力調整機構を、円
筒状キャン５と巻き取りロール１０間に配設し、テンシ
ョンロールアの前後に基体張力検出装置１５および１６
を取りつけた真空蒸着装置を使用し、１０μｍ厚で中が
５００ｍｍのポリエステルフィルム２を原反ロール３よ
りガイドロール４を介して円筒状キャン５の周側面に沿
って移動させ、ガイドロール６、テンションロール７、
ガイドロール８，９を介して巻き取りロール１０に巻き
取るようにセントするとともに強磁性材蒸発源１１にコ
バルト−ニッケル合金（重量比８５：１５）１２をセン
トした。次いで、排気系１４で真空槽１内を５ Ｘ １
０’ｍｂａｒにまで真空排気した。しかる後、ポリエス
テルフィルム２を走行速度１０ｍ／分で走行させて、電
子銃によってコバルト−ニッケル合金１２を加熱蒸発さ
せ、ポリエステルフィルム２上に厚さが１０００人のコ
バルト−ニッケル合金からなる強磁性金属薄膜層を形成
した。このとき、原反ロール３での張力を１５ＯＮ、＠
き取りロール１０の張力をＩＯＮとし、適宜連動機構に
よりテンションロール７での負荷をＩＯＮづつ変化させ
て、ポリエステルフィルム２のテンションロール７の前
後での張力差とテンションロール７上でのしわの発生率
との関係を調べた。
下表はその結果である。
表
〔発明の効果〕
上表から明らかなように、テンションロール７の前後で
の張力差を５ＯＮより大きくするとしわが認められたが
、張力差を５ＯＮ以下にするとしわが認められず、この
ことから一対のガイド部材間にテンション部材を介在さ
せてなる基体張力調整機構を備え、テンション部材の前
後での張力差を、基体の厚さおよび幅を考慮して１０Ｎ
／ｍｍ２以下にしたこの発明の製造方法および装置によ
れば、基体の伸縮が効果的に抑制され、磁気記録媒体製
造時に発生するしわが極めて効果的に抑制されて欠陥の
ない磁気記録媒体が得られることがわかる。
の張力差を５ＯＮより大きくするとしわが認められたが
、張力差を５ＯＮ以下にするとしわが認められず、この
ことから一対のガイド部材間にテンション部材を介在さ
せてなる基体張力調整機構を備え、テンション部材の前
後での張力差を、基体の厚さおよび幅を考慮して１０Ｎ
／ｍｍ２以下にしたこの発明の製造方法および装置によ
れば、基体の伸縮が効果的に抑制され、磁気記録媒体製
造時に発生するしわが極めて効果的に抑制されて欠陥の
ない磁気記録媒体が得られることがわかる。
第１図はこの発明の製造方法を実施するために使用する
真空蒸着装置の１例を示す概略断面図である。 １・・・真空槽、２・・・基体、３・・・原反ロール、
４゜６．８．９・・・ガイドロール（ガイド部材）、５
・・・円筒状キャン（蒸着用部材）、７・・・テンショ
ンロール（テンション部材）、１０・・・巻き取りロー
ル、１１・・・強磁性材蒸発源、１２・・・強磁性材、
１５．１６・・・基体張力検出装置
真空蒸着装置の１例を示す概略断面図である。 １・・・真空槽、２・・・基体、３・・・原反ロール、
４゜６．８．９・・・ガイドロール（ガイド部材）、５
・・・円筒状キャン（蒸着用部材）、７・・・テンショ
ンロール（テンション部材）、１０・・・巻き取りロー
ル、１１・・・強磁性材蒸発源、１２・・・強磁性材、
１５．１６・・・基体張力検出装置
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、真空槽内で、基体を原反ロールから蒸着用部材の周
側面に沿って移動させ、さらに巻き取りロールに巻き取
る間に、強磁性材蒸発源から強磁性材の蒸気流を差し向
け、蒸着して強磁性金属薄膜層を形成する磁気記録媒体
の製造方法において、強磁性材を蒸着後、基体が蒸着用
部材から巻き取りロールに至る間に、一対のガイド部材
間にテンション部材を介在させて構成した基体張力調整
機構を少なくとも１ユニット以上配設し、テンション部
材の前後の強磁性材が蒸着された磁気記録媒体の張力差
を１０Ｎ／ｍｍ＾２以下に調整することを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法 ２、真空槽内に、基体を原反ロールから蒸着用部材の周
側面に沿って移動させさらに巻き取りロールに巻き取る
基体移動支持装置と、この基体移動支持装置に案内され
て移動する基体に対向する強磁性材蒸発源とを配設して
なる磁気記録媒体製造装置において、強磁性材を蒸着後
、基体が蒸着用部材から巻き取りロールに至る間に、一
対のガイド部材間にテンション部材を介在させて構成し
た基体張力調整機構を少なくとも１ユニット以上配設し
、適宜連動機構を介して強磁性材が蒸着された磁気記録
媒体のテンション部材の前後の張力差を１０Ｎ／ｍｍ＾
２以下に調整しながら、基体を走行させるようにしたこ
とを特徴とする磁気記録媒体製造装置
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11937485A JPS61278032A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 |
| EP86107229A EP0203582B1 (en) | 1985-05-31 | 1986-05-28 | Method and apparatus for making magnetic recording medium |
| EP19900103992 EP0387619A3 (en) | 1985-05-31 | 1986-05-28 | Method of and apparatus for making magnetic recording medium |
| DE8686107229T DE3678337D1 (de) | 1985-05-31 | 1986-05-28 | Methode und apparat zur herstellung von magnetischen aufzeichnungstraegern. |
| US07/193,181 US4847109A (en) | 1985-05-31 | 1988-05-10 | Method of a making magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11937485A JPS61278032A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61278032A true JPS61278032A (ja) | 1986-12-08 |
Family
ID=14759926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11937485A Pending JPS61278032A (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 | 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61278032A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62247073A (ja) * | 1986-04-21 | 1987-10-28 | Ulvac Corp | 巻取式真空装置 |
| US7946247B2 (en) | 2006-05-10 | 2011-05-24 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Coating layer thickness measurement mechanism and coating layer forming apparatus using the same |
| JP2017155286A (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | 住友金属鉱山株式会社 | ロールツーロール処理装置及び処理方法 |
| JP2019104951A (ja) * | 2017-12-11 | 2019-06-27 | 住友金属鉱山株式会社 | 長尺基板の処理装置と処理方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5924449A (ja) * | 1982-08-02 | 1984-02-08 | Olympus Optical Co Ltd | 磁気記録フイルムの製造方法 |
| JPS6033351A (ja) * | 1983-08-04 | 1985-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金属薄膜の製造方法 |
-
1985
- 1985-05-31 JP JP11937485A patent/JPS61278032A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5924449A (ja) * | 1982-08-02 | 1984-02-08 | Olympus Optical Co Ltd | 磁気記録フイルムの製造方法 |
| JPS6033351A (ja) * | 1983-08-04 | 1985-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金属薄膜の製造方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62247073A (ja) * | 1986-04-21 | 1987-10-28 | Ulvac Corp | 巻取式真空装置 |
| JPH0251982B2 (ja) * | 1986-04-21 | 1990-11-09 | Ulvac Corp | |
| US7946247B2 (en) | 2006-05-10 | 2011-05-24 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Coating layer thickness measurement mechanism and coating layer forming apparatus using the same |
| JP2017155286A (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | 住友金属鉱山株式会社 | ロールツーロール処理装置及び処理方法 |
| JP2019104951A (ja) * | 2017-12-11 | 2019-06-27 | 住友金属鉱山株式会社 | 長尺基板の処理装置と処理方法 |
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