JP6979265B2 - 長尺基板の巻取方法及び巻取装置、並びに該巻取装置を備えた長尺基板の表面処理装置 - Google Patents
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Description
図1に示す成膜装置(スパッタリングウェブコータ)を用い、反応性ガスに酸素ガスを用いて金属膜付樹脂フィルムを作製した。具体的には、キャンロール20には、外径600mm、幅750mmのステンレス製のロール本体表面にハードクロムめっきを施したものを用い、その内部に冷媒を循環させて約0℃に温度制御した。マグネトロンスパッタリングカソード30、31には金属層用のCuターゲットを、マグネトロンスパッタリングカソード32、33には黒化層用のCu−Niターゲットを取り付けた。
凸状段差部26aの段差を180μmとした以外は実施例1と同様にして金属薄膜付樹脂フィルムを作製した。PETフィルムを1200m成膜した後に巻取コア26に巻き取られた金属膜付樹脂フィルムを目視で確認したところ、その両端部には縞が生じていなかった。
凸状段差部26aのない平坦な巻取コアを用いた以外は実施例1と同等にして金属薄膜付樹脂フィルムを作製した。PETフィルムを1200m成膜した後に巻取コアに巻き取られた金属膜付樹脂フィルムを目視で確認したところ、両端部に縞が生じていた。
巻取コア26の直ぐ上流側にガイドロールを設け、その外周面の両端部にもPETフィルムと各々8mm重なるように段差75μmの凸状段差部を設けた以外は実施例1と同様にして金属薄膜付樹脂フィルムを作製した。PETフィルムを1200m成膜した後に巻取コア26に巻き取られた金属膜付樹脂フィルムを目視で確認したところ、両端部に縞状模様はほとんど生じていなかったが、巻取コア26の両端部の帯電によると思われる放電痕が生じていた。
O 回転中心軸
10 真空成膜装置
11 巻出室
12 成膜室
13 巻取室
14 巻出コア
16、17、23、24 フリーロール
15、18、22、25 張力センサーロール
19 前フィードロール
20 キャンロール
21 後フィードロール
26 巻取コア
26a 凸状の段差部
30、31、32、33 マグネトロンスパッタリングカソード
Claims (5)
- 減圧雰囲気下において、ロールツーロールで搬送され、黒化層が成膜された厚み5〜100μmで且つ幅20〜80cmの金属膜付長尺樹脂フィルムを外径8〜25cmの円筒状の巻取コアに巻き取る金属膜付長尺樹脂フィルムの巻取方法であって(該金属膜付長尺樹脂フィルムを加熱しながら該巻取コアにロール状に巻き取るものを除く)、該巻取コアに金属膜付長尺樹脂フィルムを巻き取る際に、前記巻取コアの外周面に接して最初に巻き取られる金属膜付長尺樹脂フィルムの先端部では、その幅方向両端部がその幅方向中央部よりも該巻取コアの回転中心軸に対して50〜200μm遠くに位置させることで、金属膜付長尺樹脂フィルムの幅方向両端部が幅方向中央部よりも該巻取コアの回転中心軸に対してより遠くに位置するように、外周面のうち金属膜付長尺樹脂フィルムの幅方向両端部が巻き付けられる箇所で且つ該金属膜付長尺樹脂フィルムの両縁部の間に納まる部分にのみ、それぞれ周方向に連続して延在する段差50〜200μmで且つ幅10mm以下の凸状の段差部が設けられている該巻取コアに巻き取っていくことを特徴とする金属膜付長尺樹脂フィルムの巻取方法。
- 減圧雰囲気下において、ロールツーロールで搬送され、黒化層が成膜された厚み5〜100μmで且つ幅20〜80cmの金属膜付長尺樹脂フィルムを外径8〜25cmの円筒状の巻取コアに巻き取る金属膜付長尺樹脂フィルムの巻取装置であって(該金属膜付長尺樹脂フィルムを加熱しながら該巻取コアにロール状に巻き取るものを除く)、該巻取コアの外周面のうち金属膜付長尺樹脂フィルムの幅方向両端部が巻き付けられる箇所で且つ該金属膜付長尺樹脂フィルムの両縁部の間に納まる部分にのみ、それぞれ周方向に連続して延在する段差50〜200μmで且つ幅10mm以下の凸状の段差部が設けられていることを特徴とする金属膜付長尺樹脂フィルムの巻取装置。
- 前記巻取コアの外周面は、前記凸状の段差部を除いて略同一の外径を有していることを特徴とする、請求項2に記載の金属膜付長尺樹脂フィルムの巻取装置。
- 真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムに表面処理を施す表面処理手段と、表面処理された長尺樹脂フィルムを巻き取る円筒状のコアからなる巻取手段とを備えた長尺樹脂フィルムの表面処理装置であって、前記巻取手段が請求項2又は3に記載の金属膜付長尺樹脂フィルムの巻取装置であることを特徴とする長尺樹脂フィルムの表面処理装置。
- 請求項4に記載の表面処理手段がスパッタリングカソードであることを特徴とするロールツーロールスパッタリング装置。
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