JPH10308338A - 塗布ノズルの洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
塗布ノズルの洗浄装置及び洗浄方法Info
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- JPH10308338A JPH10308338A JP9113866A JP11386697A JPH10308338A JP H10308338 A JPH10308338 A JP H10308338A JP 9113866 A JP9113866 A JP 9113866A JP 11386697 A JP11386697 A JP 11386697A JP H10308338 A JPH10308338 A JP H10308338A
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- B05B15/55—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0245—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to a moving work of indefinite length, e.g. to a moving web
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ノズル自体に所定幅の塗布液吐出口が開口し
たスリット状ノズルを、均一に且つ使用する洗浄液の量
を少なくして洗浄する。 【解決手段】 ノズルＮを受け板４，４上に載置した状
態で、洗浄部２を実質的な密閉空間とするとともに洗浄
部２のノズルの幅方向の一端にはガス供給管が開口し、
ガス供給管の近傍に洗浄液供給管を臨ませ、他端には排
気管７が開口した構成とし、密閉空間内に洗浄液を供給
する。すると、密閉空間内は排気管７から空気が引かれ
ているため、一端から供給された洗浄液は他端の排気管
７に向かって流れる。そしてその間に洗浄液はノズル表
面に接触し、ノズル表面に付着している塗布液等を溶解
し洗い流す。
たスリット状ノズルを、均一に且つ使用する洗浄液の量
を少なくして洗浄する。 【解決手段】 ノズルＮを受け板４，４上に載置した状
態で、洗浄部２を実質的な密閉空間とするとともに洗浄
部２のノズルの幅方向の一端にはガス供給管が開口し、
ガス供給管の近傍に洗浄液供給管を臨ませ、他端には排
気管７が開口した構成とし、密閉空間内に洗浄液を供給
する。すると、密閉空間内は排気管７から空気が引かれ
ているため、一端から供給された洗浄液は他端の排気管
７に向かって流れる。そしてその間に洗浄液はノズル表
面に接触し、ノズル表面に付着している塗布液等を溶解
し洗い流す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウェーハやガ
ラス基板等の板状被処理物表面に塗布液を一定幅で塗布
するための塗布ノズルを洗浄する装置と洗浄方法に関す
る。
ラス基板等の板状被処理物表面に塗布液を一定幅で塗布
するための塗布ノズルを洗浄する装置と洗浄方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来にあって、半導体ウェーハやガラス
基板等の板状被処理物表面にレジスト液等を塗布するに
は、スピンナー上に載置した被処理物の中心部にノズル
から塗布液を滴下し、スピンナーによって被処理物を回
転させることで発生する遠心力で塗布液を外方に向けて
拡散せしめるようにしたが、この方法では、被処理物表
面に残る塗布液が僅かであり、殆どが飛散してしまうの
で無駄がある。そこで、スピンナー塗布の代わりにノズ
ル自体に所定幅の塗布液吐出口を開口せしめ、被処理物
に対しノズルを相対的に移動することで被処理物表面に
所定幅で塗布液を塗布することが考えられている。
基板等の板状被処理物表面にレジスト液等を塗布するに
は、スピンナー上に載置した被処理物の中心部にノズル
から塗布液を滴下し、スピンナーによって被処理物を回
転させることで発生する遠心力で塗布液を外方に向けて
拡散せしめるようにしたが、この方法では、被処理物表
面に残る塗布液が僅かであり、殆どが飛散してしまうの
で無駄がある。そこで、スピンナー塗布の代わりにノズ
ル自体に所定幅の塗布液吐出口を開口せしめ、被処理物
に対しノズルを相対的に移動することで被処理物表面に
所定幅で塗布液を塗布することが考えられている。
【０００３】上述した所定幅の塗布液吐出口を有するノ
ズルを用いれば、塗布液の無駄をなくし且つ効率的に塗
布を行えるのであるが、幅広となる分、ノズル先端の周
辺部に塗布液の回り込み量も多く、これが乾燥すると大
量の異物発生の原因となる。このため、塗布後の洗浄に
よってノズル先端及びその周辺部の塗布液を除去しなけ
ればならない。
ズルを用いれば、塗布液の無駄をなくし且つ効率的に塗
布を行えるのであるが、幅広となる分、ノズル先端の周
辺部に塗布液の回り込み量も多く、これが乾燥すると大
量の異物発生の原因となる。このため、塗布後の洗浄に
よってノズル先端及びその周辺部の塗布液を除去しなけ
ればならない。
【０００４】洗浄方法としては、洗浄液が付着したロー
ラにてノズル先端の異物を除去する方法が考えられてい
たが、ローラの表面に十分な量の洗浄液を供給すること
ができず、ノズル先端部に付着した塗布液を短時間のう
ちに除去することができず、更に、ローラによる洗浄で
は、異物を溶解した洗浄液が再び洗浄液溜まりに戻って
しまい、洗浄液が汚れてしまう。
ラにてノズル先端の異物を除去する方法が考えられてい
たが、ローラの表面に十分な量の洗浄液を供給すること
ができず、ノズル先端部に付着した塗布液を短時間のう
ちに除去することができず、更に、ローラによる洗浄で
は、異物を溶解した洗浄液が再び洗浄液溜まりに戻って
しまい、洗浄液が汚れてしまう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本出願人は先
にノズルの幅と略等しい幅で洗浄部が形成された洗浄装
置を提案した。この洗浄装置は、ノズル側面と対向する
洗浄部側面に洗浄液供給源につながるスリットおよび吸
引装置につながる排気孔を開口せしめている。この洗浄
装置によれば、常に新鮮な洗浄液をノズル先端に供給で
きるとともに効率よく且つ均一に洗浄することができる
のであるが、ノズル先端とスリットとの間隔をノズルの
幅方向全域に亘って一定にするには、洗浄部の製作上の
寸法誤差を極めて小さくしなければならず、製作に手間
がかかる。
にノズルの幅と略等しい幅で洗浄部が形成された洗浄装
置を提案した。この洗浄装置は、ノズル側面と対向する
洗浄部側面に洗浄液供給源につながるスリットおよび吸
引装置につながる排気孔を開口せしめている。この洗浄
装置によれば、常に新鮮な洗浄液をノズル先端に供給で
きるとともに効率よく且つ均一に洗浄することができる
のであるが、ノズル先端とスリットとの間隔をノズルの
幅方向全域に亘って一定にするには、洗浄部の製作上の
寸法誤差を極めて小さくしなければならず、製作に手間
がかかる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係る所定幅の塗布液吐出口が開口したノズルを洗
浄する装置は、ノズルの幅よりも長い洗浄部を備え、こ
の洗浄部はノズルを載置した状態で実質的な密閉空間を
形成するとともに洗浄部のノズルの幅方向の一端にはガ
ス供給管が開口し、このガス供給管近傍に洗浄液供給管
を臨ませ、他端には排気管が開口した構成とした。
発明に係る所定幅の塗布液吐出口が開口したノズルを洗
浄する装置は、ノズルの幅よりも長い洗浄部を備え、こ
の洗浄部はノズルを載置した状態で実質的な密閉空間を
形成するとともに洗浄部のノズルの幅方向の一端にはガ
ス供給管が開口し、このガス供給管近傍に洗浄液供給管
を臨ませ、他端には排気管が開口した構成とした。
【０００７】また前記洗浄部とは別に塗布ノズル先端を
長期間浸漬しておくための洗浄液の溜り部を形成しても
よい。このようにすることで、ノズル先端に付着した塗
布液が乾燥して固着することを未然に防ぐことができ
る。
長期間浸漬しておくための洗浄液の溜り部を形成しても
よい。このようにすることで、ノズル先端に付着した塗
布液が乾燥して固着することを未然に防ぐことができ
る。
【０００８】また、前記洗浄部の底部に洗浄液の溜まり
部を形成してもよい。このようにすることで、洗浄部の
実質的な密閉空間は洗浄液により飽和状態となり、ノズ
ル先端に付着した塗布液が乾燥して固着することもな
い。
部を形成してもよい。このようにすることで、洗浄部の
実質的な密閉空間は洗浄液により飽和状態となり、ノズ
ル先端に付着した塗布液が乾燥して固着することもな
い。
【０００９】また、本発明に係る塗布ノズルの洗浄方法
は、前記した洗浄装置を用いた洗浄方法であって、ノズ
ル洗浄の終了後、ガスのみを供給することによってノズ
ルの乾燥を行なうようにした。また、他の塗布ノズルの
洗浄方法は、ガス供給管を閉じ、洗浄液のみを供給する
ようにした。
は、前記した洗浄装置を用いた洗浄方法であって、ノズ
ル洗浄の終了後、ガスのみを供給することによってノズ
ルの乾燥を行なうようにした。また、他の塗布ノズルの
洗浄方法は、ガス供給管を閉じ、洗浄液のみを供給する
ようにした。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明にかか
る洗浄装置の平面図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿った拡
大断面図、図３はプリディスペンスステージの断面図、
図４は別実施例を示す図２と同様の断面図である。
図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明にかか
る洗浄装置の平面図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿った拡
大断面図、図３はプリディスペンスステージの断面図、
図４は別実施例を示す図２と同様の断面図である。
【００１１】洗浄装置１は洗浄部２と洗浄液の溜り部３
を併設してなり、洗浄部２はノズルＮの幅よりも長く上
面が開放され、左右にはノズルの受け板４，４をネジ５
で取り付けている。この受け板４，４は交換可能とさ
れ、ノズルＮの先端部の突出長に合わせて受け板４の厚
みを変えることで、常にノズルＮの先端部と洗浄部２の
底面との間隔がほぼ一定になるようにしている。
を併設してなり、洗浄部２はノズルＮの幅よりも長く上
面が開放され、左右にはノズルの受け板４，４をネジ５
で取り付けている。この受け板４，４は交換可能とさ
れ、ノズルＮの先端部の突出長に合わせて受け板４の厚
みを変えることで、常にノズルＮの先端部と洗浄部２の
底面との間隔がほぼ一定になるようにしている。
【００１２】また、受け板４にはノズルＮの側面と接触
するテーパ面４ａが形成され、ノズルＮを受け板４，４
上に載置した状態で、ノズルＮと洗浄部２底面との間に
実質的な密閉空間が形成される。
するテーパ面４ａが形成され、ノズルＮを受け板４，４
上に載置した状態で、ノズルＮと洗浄部２底面との間に
実質的な密閉空間が形成される。
【００１３】更に、洗浄部２のノズルの幅方向を基準と
した一端にはガス供給管６が接続され、このガス供給管
６の近傍、好ましくは途中に洗浄液供給管９が接続さ
れ、また洗浄部２の他端には真空ポンプ等につながる排
気管７が接続している。一方、洗浄液の溜り部３にも前
記受け板４と同様の目的で受け板８，８が交換可能に取
り付けられている。
した一端にはガス供給管６が接続され、このガス供給管
６の近傍、好ましくは途中に洗浄液供給管９が接続さ
れ、また洗浄部２の他端には真空ポンプ等につながる排
気管７が接続している。一方、洗浄液の溜り部３にも前
記受け板４と同様の目的で受け板８，８が交換可能に取
り付けられている。
【００１４】以上において、ノズルＮを洗浄するには、
ノズルＮを受け板４，４上に載置した状態で、排気管７
を介して洗浄部２とノズルＮとで形成する密閉空間から
排気するとともにガス供給管６からガスを密閉空間内に
供給する。すると、密閉空間内は排気管７から空気が引
かれているため、一端から供給されたガスは他端の排気
管７に向かって流れる。その時、洗浄液供給管９より洗
浄液が供給される。そして、その間に洗浄液はノズル表
面に接触し、ノズル表面に付着している塗布液等を溶解
し洗い流す。
ノズルＮを受け板４，４上に載置した状態で、排気管７
を介して洗浄部２とノズルＮとで形成する密閉空間から
排気するとともにガス供給管６からガスを密閉空間内に
供給する。すると、密閉空間内は排気管７から空気が引
かれているため、一端から供給されたガスは他端の排気
管７に向かって流れる。その時、洗浄液供給管９より洗
浄液が供給される。そして、その間に洗浄液はノズル表
面に接触し、ノズル表面に付着している塗布液等を溶解
し洗い流す。
【００１５】また、ガスの供給を止め、洗浄液のみを供
給しても同様に洗浄することができる。このあと、洗浄
液供給管９を閉じ、ガスのみを供給することで、洗浄後
のノズル先端に付着している洗浄液を飛散させノズル先
端を乾燥させることができる。
給しても同様に洗浄することができる。このあと、洗浄
液供給管９を閉じ、ガスのみを供給することで、洗浄後
のノズル先端に付着している洗浄液を飛散させノズル先
端を乾燥させることができる。
【００１６】更に、上記の洗浄後のノズルＮを使用する
場合には、図３に示すように、プリディスペンスステー
ジ１０にノズルＮをセットし、吸引孔１１を介して余分
な塗布液をノズルＮから吸引してから、塗布を行なう。
このようにすることで、ボタ落ちを防止することができ
る。
場合には、図３に示すように、プリディスペンスステー
ジ１０にノズルＮをセットし、吸引孔１１を介して余分
な塗布液をノズルＮから吸引してから、塗布を行なう。
このようにすることで、ボタ落ちを防止することができ
る。
【００１７】図４は別実施例を示す図２と同様の断面図
であり、この実施例にあっては、洗浄部２の底部を洗浄
液を溜めて洗浄液溜まり部３’とし、洗浄が終了したノ
ズルを長時間待機させておくことができるようにしてい
る。
であり、この実施例にあっては、洗浄部２の底部を洗浄
液を溜めて洗浄液溜まり部３’とし、洗浄が終了したノ
ズルを長時間待機させておくことができるようにしてい
る。
【００１８】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
所定幅の塗布液吐出口が開口したノズルを洗浄する装置
として、ノズルの幅よりも長い洗浄部を備え、ノズルを
洗浄部に載置した状態で実質的な密閉空間を形成するよ
うにし、更に洗浄部のノズルの幅方向の一端にガス供給
管を開口せしめ、このガス供給管近傍に洗浄液供給管を
臨ませ、他端に排気管を開口せしめたので、一端から供
給された洗浄液が他端から排出されるまでの間にノズル
表面に付着した塗布液に洗浄液が接触して洗い流すの
で、効率よくノズル表面を洗浄することができる。
所定幅の塗布液吐出口が開口したノズルを洗浄する装置
として、ノズルの幅よりも長い洗浄部を備え、ノズルを
洗浄部に載置した状態で実質的な密閉空間を形成するよ
うにし、更に洗浄部のノズルの幅方向の一端にガス供給
管を開口せしめ、このガス供給管近傍に洗浄液供給管を
臨ませ、他端に排気管を開口せしめたので、一端から供
給された洗浄液が他端から排出されるまでの間にノズル
表面に付着した塗布液に洗浄液が接触して洗い流すの
で、効率よくノズル表面を洗浄することができる。
【００１９】特にノズルに対向する洗浄部の側面に洗浄
液の供給スリットを形成し、このスリットから供給した
洗浄液を洗浄部の下方へ排出する構成と比較した場合に
は、洗浄液に無駄がなく、コスト的に有利である。
液の供給スリットを形成し、このスリットから供給した
洗浄液を洗浄部の下方へ排出する構成と比較した場合に
は、洗浄液に無駄がなく、コスト的に有利である。
【図１】本発明にかかる洗浄装置の平面図
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿った拡大断面図
【図３】プリディスペンスステージの断面図
【図４】別実施例の図２と同様の断面図
１…洗浄装置、２…洗浄部、３，３’…洗浄液の溜り
部、４，８…受け板、５…ネジ、６…ガス供給管、７…
排気管、９…洗浄液供給管、Ｎ…ノズル。
部、４，８…受け板、５…ネジ、６…ガス供給管、７…
排気管、９…洗浄液供給管、Ｎ…ノズル。
フロントページの続き (72)発明者 佐合 宏仁 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 所定幅の塗布液吐出口が開口したノズル
を洗浄する装置であって、この装置はノズルの幅よりも
長く上面が開放された洗浄部が形成され、この洗浄部は
ノズルを載置した状態で実質的な密閉空間を形成すると
ともに洗浄部のノズルの幅方向の一端にはガス供給管が
開口し、このガス供給管近傍に洗浄液供給管を臨ませ、
他端には排気管が開口していることを特徴とする塗布ノ
ズルの洗浄装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の塗布ノズルの洗浄装置
において、塗布ノズル先端を長期間浸漬しておくための
洗浄液の溜り部が前記洗浄部と併設されていることを特
徴とする塗布ノズルの洗浄装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載の塗布ノズルの洗浄装置
において、前記洗浄部の底部に洗浄液を溜めて洗浄液溜
まり部を形成し、洗浄が終了したノズルを長時間待機さ
せておくことができることを特徴とする塗布ノズルの洗
浄装置。 - 【請求項４】 請求項１に記載の塗布ノズルの洗浄装置
を用いた洗浄方法において、ノズル洗浄の終了後、ガス
のみを供給することによってノズルの乾燥を行なうこと
を特徴とする塗布ノズルの洗浄方法。 - 【請求項５】 請求項１に記載の塗布ノズルの洗浄装置
を用いた洗浄方法において、ガス供給管を閉じ、洗浄液
のみを供給することを特徴とする塗布ノズルの洗浄方
法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11386697A JP3645686B2 (ja) | 1997-05-01 | 1997-05-01 | 塗布ノズルの洗浄装置及び洗浄方法 |
| US09/067,452 US6090216A (en) | 1997-05-01 | 1998-04-28 | Cleaning device and cleaning method for applicator nozzle |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11386697A JP3645686B2 (ja) | 1997-05-01 | 1997-05-01 | 塗布ノズルの洗浄装置及び洗浄方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10308338A true JPH10308338A (ja) | 1998-11-17 |
| JP3645686B2 JP3645686B2 (ja) | 2005-05-11 |
Family
ID=14623069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11386697A Expired - Fee Related JP3645686B2 (ja) | 1997-05-01 | 1997-05-01 | 塗布ノズルの洗浄装置及び洗浄方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6090216A (ja) |
| JP (1) | JP3645686B2 (ja) |
Cited By (5)
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| CN105855133B (zh) * | 2016-06-02 | 2018-06-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 喷嘴自动清洁装置及喷嘴自动清洁方法 |
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