JPH0216447A - 薄層クロマトグラフィーシート並びにその製造法 - Google Patents
薄層クロマトグラフィーシート並びにその製造法Info
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- JPH0216447A JPH0216447A JP16582888A JP16582888A JPH0216447A JP H0216447 A JPH0216447 A JP H0216447A JP 16582888 A JP16582888 A JP 16582888A JP 16582888 A JP16582888 A JP 16582888A JP H0216447 A JPH0216447 A JP H0216447A
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Landscapes
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は薄層クロマトクラフィーシート並びにその製造
法に関するものである。
法に関するものである。
[従来の技術]
平滑なガラス板又はポリエステルフィルム(以下基板と
総称)上に、吸着剤の薄い層を付着させて固定相とし、
種々の溶媒(移動相)て試料を展開させる薄層クロマト
クラフィー(TLC)は試料成分の分離、固定、定量等
に広く用いられている。
総称)上に、吸着剤の薄い層を付着させて固定相とし、
種々の溶媒(移動相)て試料を展開させる薄層クロマト
クラフィー(TLC)は試料成分の分離、固定、定量等
に広く用いられている。
[発明か解決しようとする課題]
TLCはベーパークロマトクラフィーに比し展開時間も
短く、検出精度か良好である長所を有するか、次のよう
な問題点かある。
短く、検出精度か良好である長所を有するか、次のよう
な問題点かある。
(1)吸着剤を基板に薄層ななして付着させるために接
着剤か使用されるか、反応性の強い検出試薬又は展開溶
媒を用いると吸着剤又は接着剤か侵され、吸着剤か基板
から剥離、脱落してしまうことかある。このため接着剤
を使わない薄層も使用されるが非常に脱落し易い。
着剤か使用されるか、反応性の強い検出試薬又は展開溶
媒を用いると吸着剤又は接着剤か侵され、吸着剤か基板
から剥離、脱落してしまうことかある。このため接着剤
を使わない薄層も使用されるが非常に脱落し易い。
このため使用しつる展開溶媒及び検出試薬の種類が制限
される。
される。
(2)展開、分離された試料の成分を検出試薬を用いて
同定、定量する際、吸着剤及び接着剤か検出試薬と反応
し、誤差を生ずることがある。
同定、定量する際、吸着剤及び接着剤か検出試薬と反応
し、誤差を生ずることがある。
(3)展開、分離された試料の成分の付着している部分
を切り取り、次の段階の反応の原料或はNMR等の分析
試料として使用しようとすると、吸着剤の薄層粒子が基
板から剥離して使用でなくなる。
を切り取り、次の段階の反応の原料或はNMR等の分析
試料として使用しようとすると、吸着剤の薄層粒子が基
板から剥離して使用でなくなる。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するために、本発明においては、多数の
小孔を有する多孔質ガラスシート(以下本シートという
)を薄層クロマトグラフィーシートとして使用し、又S
iO245〜70wt%、B2O.8〜30 wt%、
CaO3〜25wt%、Al2O35〜15wt%、
Na2O3〜8 wt%、K2O1〜5wt%、 Na
2O+ K2O4〜l 3 wt%、MgO0〜8wt
%、又はSiO245〜70wt%、B2O38〜30
wt%、CaO3〜25wt%、Al2O35〜l 5
wt%なる組成を有するガラス成形体を熱処理してB2
O3、CaOを主体とする相を分相せしめ、この相を溶
解除去することににより薄層クロマトクラフィーシート
を製造する。
小孔を有する多孔質ガラスシート(以下本シートという
)を薄層クロマトグラフィーシートとして使用し、又S
iO245〜70wt%、B2O.8〜30 wt%、
CaO3〜25wt%、Al2O35〜15wt%、
Na2O3〜8 wt%、K2O1〜5wt%、 Na
2O+ K2O4〜l 3 wt%、MgO0〜8wt
%、又はSiO245〜70wt%、B2O38〜30
wt%、CaO3〜25wt%、Al2O35〜l 5
wt%なる組成を有するガラス成形体を熱処理してB2
O3、CaOを主体とする相を分相せしめ、この相を溶
解除去することににより薄層クロマトクラフィーシート
を製造する。
次に、本発明を更に具体的に説明する。
本発明においては多孔質ガラスとしては、分相性を有す
るガラスを使用して得られる多孔質ガラス、特に310
245〜70wt%、B、1038〜30wt%、Ca
O3〜25wt%、A12Oi 5〜l 5 wt%、
Na 2O3〜8 w t%、K2O1〜5 wt%、
NazO+K2O4〜13wt%、MgO0〜8wt
%なる組成(組成A)、又はSiO245〜70wt%
、B2O:l 8〜30wt%、CaO3〜25wt%
、Al2O35〜15wt%なる組成(組成り)を有す
るガラス成形体を熱処理してB2O3,CaOを主体と
する相を分相せしめ、この相を溶解除去することにによ
って得られる多孔質ガラス(以下夫々多孔質ガラスA、
Bと呼ぶ)を用いるのが適当である。
るガラスを使用して得られる多孔質ガラス、特に310
245〜70wt%、B、1038〜30wt%、Ca
O3〜25wt%、A12Oi 5〜l 5 wt%、
Na 2O3〜8 w t%、K2O1〜5 wt%、
NazO+K2O4〜13wt%、MgO0〜8wt
%なる組成(組成A)、又はSiO245〜70wt%
、B2O:l 8〜30wt%、CaO3〜25wt%
、Al2O35〜15wt%なる組成(組成り)を有す
るガラス成形体を熱処理してB2O3,CaOを主体と
する相を分相せしめ、この相を溶解除去することにによ
って得られる多孔質ガラス(以下夫々多孔質ガラスA、
Bと呼ぶ)を用いるのが適当である。
なお、本シートはブロック状のガラス成形体を分相処理
した後スライスし、得られたシートを酸処理することに
よって好適に製造することができる。
した後スライスし、得られたシートを酸処理することに
よって好適に製造することができる。
分相性を有するガラスとしては、組成A又は組成りのガ
ラス(以下本ガラスと総称する)を使用するのか特に望
ましく、耐圧性か大きく、機械的強度が大であり、又耐
薬品性が大きく、puo〜14の範囲で使用可能であり
、且つ孔径が均一であり、分離精度の大きい薄層クロマ
トグラフィーシートをうろことかできる。
ラス(以下本ガラスと総称する)を使用するのか特に望
ましく、耐圧性か大きく、機械的強度が大であり、又耐
薬品性が大きく、puo〜14の範囲で使用可能であり
、且つ孔径が均一であり、分離精度の大きい薄層クロマ
トグラフィーシートをうろことかできる。
なお組成Aのガラスは小孔の径が3,000〜100.
000人の範囲の小孔の径が比較的大きい多孔質ガラス
を得るために適し、又組成りのガラスは小孔の径か数百
〜2O,000人の小孔の径が比較的小さい多孔質ガラ
スを得るのに適している。
000人の範囲の小孔の径が比較的大きい多孔質ガラス
を得るために適し、又組成りのガラスは小孔の径か数百
〜2O,000人の小孔の径が比較的小さい多孔質ガラ
スを得るのに適している。
以下本ガラス並びに本ガラスを使用した本シートの製造
法について、更に詳細に説明する。
法について、更に詳細に説明する。
本ガラスの成分のうちSiO2は分相、除去工程によっ
て得られる多孔硝子の骨格を形成するための基幹成分で
あり、Al2Offは補助成分として得られた多孔硝子
の脆さを減少させる作用を有する。
て得られる多孔硝子の骨格を形成するための基幹成分で
あり、Al2Offは補助成分として得られた多孔硝子
の脆さを減少させる作用を有する。
B2O3は一方において多孔硝子の骨格を形成する補助
成分として機能するが、他方CaOと協同して、熱処理
によって微少な分相を生成する作用を有する。そしてこ
のようにして生成したCaO1B2O3を主成分とする
分相を溶解除去することによって多孔質ガラスか形成さ
れる。
成分として機能するが、他方CaOと協同して、熱処理
によって微少な分相を生成する作用を有する。そしてこ
のようにして生成したCaO1B2O3を主成分とする
分相を溶解除去することによって多孔質ガラスか形成さ
れる。
B2O3は上述の説明からも首肯しうるように細孔の大
きさを決定する重要な因子であり、分相中に移行して除
去されるB2O3量、或は逆に多孔硝子中に残存するB
2O3量は、細孔の径の均一性と密接な関係を有するこ
とが判明した。
きさを決定する重要な因子であり、分相中に移行して除
去されるB2O3量、或は逆に多孔硝子中に残存するB
2O3量は、細孔の径の均一性と密接な関係を有するこ
とが判明した。
上記組成を有する調合原料を溶融し、所望形成の成形体
とする。成形体の製造方法に特に限定はなく常法を使用
することができる。
とする。成形体の製造方法に特に限定はなく常法を使用
することができる。
なおハツチの溶融中にB2O.の一部が揮発逸散するの
で、この逸散量を考慮してバッチ中のB2O3量を定め
ることが必要である。
で、この逸散量を考慮してバッチ中のB2O3量を定め
ることが必要である。
組成A又はBを有するガラス(以下本ガラスという)よ
りなる成形体を熱処理してCab、 B2O:1を主
体とする相(以下Cab、 B2O.相という)を分
相せしめる。加熱処理温度か高い程、又熱処理時間が長
い程CaO1B2O3相は大きくなる傾向を有し、熱処
理条件を選択することによって細孔の径を所望の値とす
ることがてきる。
りなる成形体を熱処理してCab、 B2O:1を主
体とする相(以下Cab、 B2O.相という)を分
相せしめる。加熱処理温度か高い程、又熱処理時間が長
い程CaO1B2O3相は大きくなる傾向を有し、熱処
理条件を選択することによって細孔の径を所望の値とす
ることがてきる。
本ガラスを使用するときは均一な大きさの細孔を形成さ
せることができ、又処理条件、並びに組成の選択により
この径を50〜100,000人の範囲とすることかで
きるか、この径を1.000〜12,000人好ましく
は3.000〜a、ooo人とすることにより特に好適
な結果の得られることか判明した。加熱処理を行った本
ガラスよりなる成形体をスライスしてシート状となし次
いてこのシートを110111□SO,、Ni1.等の
酸中に浸漬してCaO1B2O3相を溶解除去すること
により本シートを得ることかできる。なお酸処理を行な
うに先立ち、IIF溶液で短時間その表面をエッチンク
処理するのか望ましい。
せることができ、又処理条件、並びに組成の選択により
この径を50〜100,000人の範囲とすることかで
きるか、この径を1.000〜12,000人好ましく
は3.000〜a、ooo人とすることにより特に好適
な結果の得られることか判明した。加熱処理を行った本
ガラスよりなる成形体をスライスしてシート状となし次
いてこのシートを110111□SO,、Ni1.等の
酸中に浸漬してCaO1B2O3相を溶解除去すること
により本シートを得ることかできる。なお酸処理を行な
うに先立ち、IIF溶液で短時間その表面をエッチンク
処理するのか望ましい。
前述したように熱処理の条件によって、得られる多孔硝
子の細孔の径を制御することができるが、細孔の径は多
孔質ガラス中に残存するB2O3の量に応じて変化する
こと及びこのB2O3の量は熱処理、酸処理の条件によ
って左右されることが判明した。モしてB2O3か望ま
しくは0.5 wt%以上残存するようこれらの条件を
定めることにより多孔硝子を薄層クロマトグラフ用シー
トとして使用した場合、特に好適な結果の得られること
が判明した。
子の細孔の径を制御することができるが、細孔の径は多
孔質ガラス中に残存するB2O3の量に応じて変化する
こと及びこのB2O3の量は熱処理、酸処理の条件によ
って左右されることが判明した。モしてB2O3か望ま
しくは0.5 wt%以上残存するようこれらの条件を
定めることにより多孔硝子を薄層クロマトグラフ用シー
トとして使用した場合、特に好適な結果の得られること
が判明した。
望ましい処理条件は次の通りである。
加熱温度 600〜850°C
加熱時間 2〜48hr、望ましくは12〜48hr酸
の種類 HGI 、 H2SO,、N1(03酸の濃度
0,01〜2.ON、望ましくは0.1〜1.ON 処理時間 2〜2Ohr、望ましくは4〜16hr温
度 50〜95°C1望ましくは80〜906C上記
のようにして得られた本シートを、各種の試料の成分の
分離、固定、定量に使用する。
の種類 HGI 、 H2SO,、N1(03酸の濃度
0,01〜2.ON、望ましくは0.1〜1.ON 処理時間 2〜2Ohr、望ましくは4〜16hr温
度 50〜95°C1望ましくは80〜906C上記
のようにして得られた本シートを、各種の試料の成分の
分離、固定、定量に使用する。
次に本シートの使用法を説明する。
本シートの寸法、厚みに特に限定はないか、2〜10c
m×2〜1Octl、厚み0.2〜211111程度の
ものが好適に使用できる。このようなシートは充分な機
械的強度を有し、基板を用いて補強する必要はない。
m×2〜1Octl、厚み0.2〜211111程度の
ものが好適に使用できる。このようなシートは充分な機
械的強度を有し、基板を用いて補強する必要はない。
本シートの下部に試料を付着させ、本シートの下端を移
動相である液体中に浸漬する。移動相は本シート中に形
成されている多数の小孔中を毛細管現象によって上昇し
、本シート上部迄移動する。
動相である液体中に浸漬する。移動相は本シート中に形
成されている多数の小孔中を毛細管現象によって上昇し
、本シート上部迄移動する。
この間に試料中に含まれる各成分は、移動相と固定相(
本シート)への分配係数に応じて分配移動され、各成分
への展開、分離か行われる。
本シート)への分配係数に応じて分配移動され、各成分
への展開、分離か行われる。
移動相は試料の種類、本シートの孔の大きさ等に応して
選択されるか、例えば、水、ピリジン、塩酸、硫醜、水
酸化ナトリウム溶液、ベンゼン、酢酸、クロロホルム等
を使用することかできる。
選択されるか、例えば、水、ピリジン、塩酸、硫醜、水
酸化ナトリウム溶液、ベンゼン、酢酸、クロロホルム等
を使用することかできる。
本シートを使用した場合の展開所要時間は数分ないし数
時間程度で、又分離性能も良好であり、TLCと同等以
上の性能を有する。
時間程度で、又分離性能も良好であり、TLCと同等以
上の性能を有する。
又木シートは、TLCのように接着剤を用いていないの
で、各成分の展開、分離後、反応性の強い検出試薬を用
い、高温で、固定、定量を行うことができ、又接着剤に
起因する誤差を生ずることもない。
で、各成分の展開、分離後、反応性の強い検出試薬を用
い、高温で、固定、定量を行うことができ、又接着剤に
起因する誤差を生ずることもない。
更に分離された各成分の付着したシートの所定部分を切
断し、次の反応、或は分析の試料として使用することも
できる。
断し、次の反応、或は分析の試料として使用することも
できる。
[作 用]
多孔質ガラスシートをクロマトクラフィーの固定相とし
て利用し、試料の展開を該シート中で行うことにより、
固定相を補強する基板の使用を省くことを可能ならしめ
、接着剤の使用に起因する従来技術の欠点を解消する。
て利用し、試料の展開を該シート中で行うことにより、
固定相を補強する基板の使用を省くことを可能ならしめ
、接着剤の使用に起因する従来技術の欠点を解消する。
[実施例1]
■−ジメチルアミノナフタレンー5−スルフォニル(以
下DNSと略称)メチオニン、DNSバリン、DNSプ
ロリン、DNS−t=!Jン、DNSグリシン、DNS
アラニンの2.5x 10−’Mのメタノール溶液を夫
々 0.2ル旦ずつ、 6,700人の小孔の有する厚
み0.5 mm、5 cn+X 5 cmの大きさを有
するポーラスガラスシートの下から5mmの点(原点)
にスポットした。これを展開槽内に置き、クロロホルム
で展開した。ドライヤーで風乾後、暗所にて254nm
の波長の紫外線を照射し、蛍光で、DNSアミノ酸の位
置を検出した。第1図はこのようにして得られたクロマ
トグラムであり、各アミノ酸はそれぞれよく分離した。
下DNSと略称)メチオニン、DNSバリン、DNSプ
ロリン、DNS−t=!Jン、DNSグリシン、DNS
アラニンの2.5x 10−’Mのメタノール溶液を夫
々 0.2ル旦ずつ、 6,700人の小孔の有する厚
み0.5 mm、5 cn+X 5 cmの大きさを有
するポーラスガラスシートの下から5mmの点(原点)
にスポットした。これを展開槽内に置き、クロロホルム
で展開した。ドライヤーで風乾後、暗所にて254nm
の波長の紫外線を照射し、蛍光で、DNSアミノ酸の位
置を検出した。第1図はこのようにして得られたクロマ
トグラムであり、各アミノ酸はそれぞれよく分離した。
なお、展開は、図に示す溶媒先端の位置に溶媒が達する
迄行った。所要時間は101nであった。
迄行った。所要時間は101nであった。
[実施例2コ
実施例1と同じ実験を展開溶媒としてベンゼンと酢酸の
混液(19:1.V/V)を用いて行った。
混液(19:1.V/V)を用いて行った。
第2図はこのようにして得られたクロマトグラムである
。
。
[実施例3]
エチレンジアミン、プトレシン、スペルミジン、スペル
ミン、N−アセチルカダベリンの夫々のポリアミンを含
む2 X l O−’Mの0.2MNaHCOzの溶液
50JLfLに、2X10−’MのDNS−CIのアセ
トン溶液50+aQを加えて、37℃で、30分間反応
させた。反応液0.2glずつを6.700人及び3,
100人の小孔を有する実施例1と同じ大きさのポーラ
スガラスシートにスポットした。クロロホルムとピリジ
ンの混液(1:1゜viv )て展開した。ポリアミン
のDNS誘導体の蛍光検出は実施例1と同しようにして
行った。第3図、第4図は夫々 6,700人、 3,
100人の小孔を有するシートを用いて得られたクロマ
トグラムである。図に示すように、ポリアミンのモノ、
ジおよびトリ、DNS誘導体およびDNSアミド(DN
S−NH2)などが分離した。6,700人と 3,1
00人の小孔を有するシートの分離の差はみられないか
、展開速度か6 、700人のシートの方か早くて便利
であった。展開所要時間は夫々10m1眠2゜minて
あった。
ミン、N−アセチルカダベリンの夫々のポリアミンを含
む2 X l O−’Mの0.2MNaHCOzの溶液
50JLfLに、2X10−’MのDNS−CIのアセ
トン溶液50+aQを加えて、37℃で、30分間反応
させた。反応液0.2glずつを6.700人及び3,
100人の小孔を有する実施例1と同じ大きさのポーラ
スガラスシートにスポットした。クロロホルムとピリジ
ンの混液(1:1゜viv )て展開した。ポリアミン
のDNS誘導体の蛍光検出は実施例1と同しようにして
行った。第3図、第4図は夫々 6,700人、 3,
100人の小孔を有するシートを用いて得られたクロマ
トグラムである。図に示すように、ポリアミンのモノ、
ジおよびトリ、DNS誘導体およびDNSアミド(DN
S−NH2)などが分離した。6,700人と 3,1
00人の小孔を有するシートの分離の差はみられないか
、展開速度か6 、700人のシートの方か早くて便利
であった。展開所要時間は夫々10m1眠2゜minて
あった。
[実施例4]
フェニルアラニンおよびアラニンを0.1Mとなるよう
に、n−ブタノール、酢酸および水の混液(3:1:1
.V/V)に溶解した。ヒスチジンは0.1Mとなるよ
うに水に溶解した。各液0.21L文を6 、700人
又は11,500人の小孔を有する実施例1と同一の大
きさのポーラスガラスシートにスポットした。n〜フッ
タール、酢酸と水の混液(3:1 : 1 、 V/V
)て展開後、ガラスシートをドライヤーて乾燥し、ニ
ンヒドリンのメタノール溶液(0,2g/loo 層
l)をスプレーし、ドライヤーの熱風て乾燥させながら
呈色反応させた。
に、n−ブタノール、酢酸および水の混液(3:1:1
.V/V)に溶解した。ヒスチジンは0.1Mとなるよ
うに水に溶解した。各液0.21L文を6 、700人
又は11,500人の小孔を有する実施例1と同一の大
きさのポーラスガラスシートにスポットした。n〜フッ
タール、酢酸と水の混液(3:1 : 1 、 V/V
)て展開後、ガラスシートをドライヤーて乾燥し、ニ
ンヒドリンのメタノール溶液(0,2g/loo 層
l)をスプレーし、ドライヤーの熱風て乾燥させながら
呈色反応させた。
各アミノ酸は紫色に呈色した。第5.6図は夫々II、
500人、 6,700人の小孔を有するシートを用い
た場合のクロマトグラムである。各アミノ酸は図に示す
ように、どちらのシートでもよく分離した。展開所要時
間は夫々25m1n、25m1nであった。
500人、 6,700人の小孔を有するシートを用い
た場合のクロマトグラムである。各アミノ酸は図に示す
ように、どちらのシートでもよく分離した。展開所要時
間は夫々25m1n、25m1nであった。
[発明の効果]
試料の展開、分離を短時間で精度よく行うことかでき、
又分離された成分の同定、定量を強い反応性を有する検
出試薬を用い、或は高温で行うことが可能となる。
又分離された成分の同定、定量を強い反応性を有する検
出試薬を用い、或は高温で行うことが可能となる。
又分離された各成分の付着したシートの所定部分を切取
り、次工程に利用することが可能となる。
り、次工程に利用することが可能となる。
第1〜6図は本発明の薄層クロマトグラフィーシートを
用いて得られたクロマトグラムである。 第1図 箭4図
用いて得られたクロマトグラムである。 第1図 箭4図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)多数の小孔を有する多孔質ガラスシートよりなる
薄層クロマトグラフィーシート。(2)多孔質ガラスは
SiO_245〜70wt%、B_2O_38〜30w
t%、CaO8〜25wt%、Al_2O_35〜15
wt%、Na_2O3〜8wt%、K_2O1〜5wt
%、Na_2O+k_2O4〜13wt%、MgO0〜
8wt%、又はSiO_245〜70wt%、B_2O
_38〜30wt%、CaO8〜25wt%、Al_2
O_35〜15wt%なる組成を有するガラスを熱処理
してB_2O_3、CaOを主体とする相を分相せしめ
、この相を溶解除去することによって得られるものであ
る請求項1記載の薄層クロマトグラフィーシート。 (3)多孔質ガラスの孔径は1,000〜12,000
Åである請求項2記載の薄層クロマトグラフィーシート
。 (4)SiO_245〜70wt%、B_2O_38〜
30wt%、CaO8〜25wt%、Al_2O_35
〜15wt%、Na_2O3〜8wt%、K_2O1〜
5wt%、Na_2O+K_2O4〜13wt%、Mg
O0〜8wt%、又はSiO_245〜70wt%、B
_2O_38〜30wt%、CaO8〜25wt%、A
l_2O_35〜15wt%なる組成を有するガラス成
形体を熱処理してB_2O_3、CaOを主体とする相
を分相せしめ、この相を溶解除去することを特徴とする
薄層クロマトグラフィーシートの製造法。 (5)B_2O_3、CaO相の分相除去をB_2O_
3が残存する条件下に行なう請求項4記載の薄層クロマ
トグラフィーシートの製造法。 (6)B_2O_3の残存量が0.5wt%以上である
請求項5記載の薄層クロマトグラフィーシートの製造法
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16582888A JPH0216447A (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 薄層クロマトグラフィーシート並びにその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16582888A JPH0216447A (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 薄層クロマトグラフィーシート並びにその製造法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0216447A true JPH0216447A (ja) | 1990-01-19 |
Family
ID=15819775
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16582888A Pending JPH0216447A (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 薄層クロマトグラフィーシート並びにその製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0216447A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8256370B2 (en) | 2008-05-14 | 2012-09-04 | Tokyo Electron Limited | Coating apparatus and method |
US8551563B2 (en) | 2008-05-13 | 2013-10-08 | Tokyo Electron Limited | Coating method |
-
1988
- 1988-07-05 JP JP16582888A patent/JPH0216447A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8551563B2 (en) | 2008-05-13 | 2013-10-08 | Tokyo Electron Limited | Coating method |
US8256370B2 (en) | 2008-05-14 | 2012-09-04 | Tokyo Electron Limited | Coating apparatus and method |
US8808798B2 (en) | 2008-05-14 | 2014-08-19 | Tokyo Electron Limited | Coating method |
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