JPH01305540A - Al系配線 - Google Patents
Al系配線Info
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- JPH01305540A JPH01305540A JP13696388A JP13696388A JPH01305540A JP H01305540 A JPH01305540 A JP H01305540A JP 13696388 A JP13696388 A JP 13696388A JP 13696388 A JP13696388 A JP 13696388A JP H01305540 A JPH01305540 A JP H01305540A
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- Japan
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- film
- wiring pattern
- protective film
- wiring
- thickness
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- Pending
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 11
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 abstract description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 abstract description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 abstract 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Local Oxidation Of Silicon (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置のAQ系配線に関する。
従来、半導体装置集積回路のAQ系配線にはl11m程
度の厚さの燐ガラスや窒化珪素等の保護膜が形成されて
いる。
度の厚さの燐ガラスや窒化珪素等の保護膜が形成されて
いる。
上記のようなAQ系配線によれば、半導体装置集積回路
をセラミックパッケージに封じ込める際のように400
’ C以上の温度に晒されると、配線中にボイドを発生
し、断線を引き起こすという問題を生ずる。
をセラミックパッケージに封じ込める際のように400
’ C以上の温度に晒されると、配線中にボイドを発生
し、断線を引き起こすという問題を生ずる。
本発明の目的は上記問題点を解消したAQ系配線を提供
することにある。
することにある。
上記目的を達成するため、本発明のAQ系配線において
は、基板上に形成されたAQ系配線を被覆する保護膜の
一部に、該AQ系配線の厚さの、0.3倍以下の厚さの
部分を有するものである。
は、基板上に形成されたAQ系配線を被覆する保護膜の
一部に、該AQ系配線の厚さの、0.3倍以下の厚さの
部分を有するものである。
厚さ1.の燐ガラス等の保護膜に封じられた厚さ1p2
幅1諷のAIl系配線を400°C以上の温度に昇温す
ると、保護膜よりAQ系配線の方が膨張係数が大きいた
め、AQ系配線は0.1GPa以上の高圧力下に置かれ
る。このような高圧力下では、一般に結晶中の原子空孔
濃度は極めて少ないと考えられている。ところで、保護
膜からAfl系配線が受ける圧力は、AQ系配線上面の
方が側面より小さい傾向があり、この圧力不均衡のため
にAQ系配線の結晶粒界が動こうとする。この際に、過
飽和の原子空孔が局所的に高密度になった部分が生成し
、一連の結晶粒界の動きが鎮静化したとき、過飽和の原
子空孔を急速に放出して、ボイドが発生する。
幅1諷のAIl系配線を400°C以上の温度に昇温す
ると、保護膜よりAQ系配線の方が膨張係数が大きいた
め、AQ系配線は0.1GPa以上の高圧力下に置かれ
る。このような高圧力下では、一般に結晶中の原子空孔
濃度は極めて少ないと考えられている。ところで、保護
膜からAfl系配線が受ける圧力は、AQ系配線上面の
方が側面より小さい傾向があり、この圧力不均衡のため
にAQ系配線の結晶粒界が動こうとする。この際に、過
飽和の原子空孔が局所的に高密度になった部分が生成し
、一連の結晶粒界の動きが鎮静化したとき、過飽和の原
子空孔を急速に放出して、ボイドが発生する。
しかし、へα系配線内の圧力を逃すことができるように
、保護膜に薄い部分を設ければ、熱処理を行っても結晶
粒界は動かす、過飽和の原子空孔も生成しないので、ボ
イドは発生しない。
、保護膜に薄い部分を設ければ、熱処理を行っても結晶
粒界は動かす、過飽和の原子空孔も生成しないので、ボ
イドは発生しない。
本発明の実施例を図を用いて説明する。第1図はその一
例である。図において、層間絶縁膜として5in2膜1
を有する基板2上に、Afl−1%Si膜を形成し、フ
ォトレジスト工程とドライエツチング工程によって配線
パターン3を形成した後、CVDによって燐ガラス4を
側面保護膜として1μm堆積する。このとき、配線パタ
ーン3の上面にも燐ガラスが堆積されるが、ポリイミ1
〜塗布及びドライエツチングによるエッチバック平坦化
工程によって配線パターン上面の燐ガラスを除去する。
例である。図において、層間絶縁膜として5in2膜1
を有する基板2上に、Afl−1%Si膜を形成し、フ
ォトレジスト工程とドライエツチング工程によって配線
パターン3を形成した後、CVDによって燐ガラス4を
側面保護膜として1μm堆積する。このとき、配線パタ
ーン3の上面にも燐ガラスが堆積されるが、ポリイミ1
〜塗布及びドライエツチングによるエッチバック平坦化
工程によって配線パターン上面の燐ガラスを除去する。
その後、プラズマCVDによって窒化珪素膜5を上面保
護膜として0.3μm堆積し、第1図のように配線パタ
ーン3を被覆する。
護膜として0.3μm堆積し、第1図のように配線パタ
ーン3を被覆する。
また、第2図のような配線でも良い。この場合上記と同
様に配線パターン3を形成した後、配線パターン3上に
真空蒸着によって保護膜の燐ガラス4を0.5 I1m
堆積する。真空蒸着では配線パターン3の側面には殆ど
膜が堆積しないので、図のように燐ガラス4が堆積する
。その後、プラズマCvDによって窒化珪素膜5を上面
保護膜として0.3但堆積することによって第2図のよ
うに形成できる。
様に配線パターン3を形成した後、配線パターン3上に
真空蒸着によって保護膜の燐ガラス4を0.5 I1m
堆積する。真空蒸着では配線パターン3の側面には殆ど
膜が堆積しないので、図のように燐ガラス4が堆積する
。その後、プラズマCvDによって窒化珪素膜5を上面
保護膜として0.3但堆積することによって第2図のよ
うに形成できる。
上記のようなAQ系配線は、450°C程度の熱処理で
はボイドの発生が見られなかった。前述のように保護膜
からAll系配線パターンが受ける圧力はAQ系配線パ
ターンの上面の方が側面より小さいため、実施例の場合
には側方から受けた圧力をAQ系配線パターンの上方に
逃すことになる。400〜500℃に熱処理される場合
、上面保護膜となる窒化珪素膜5の厚さの上限はAQ系
配線パターンの厚味の0.3倍以下が好ましい。
はボイドの発生が見られなかった。前述のように保護膜
からAll系配線パターンが受ける圧力はAQ系配線パ
ターンの上面の方が側面より小さいため、実施例の場合
には側方から受けた圧力をAQ系配線パターンの上方に
逃すことになる。400〜500℃に熱処理される場合
、上面保護膜となる窒化珪素膜5の厚さの上限はAQ系
配線パターンの厚味の0.3倍以下が好ましい。
以上のように本発明によれば、400〜500℃の温度
に晒されてもボイド発生のない半導体装置集積回路のA
Q系配線を得ることができる。
に晒されてもボイド発生のない半導体装置集積回路のA
Q系配線を得ることができる。
=3−
第1図及び第2図はそれぞれ本発明の詳細な説明する配
線の模式図である。 1・・・5in2膜 2・・・基板3・・
・配線パターン 4・・・燐ガラス5・・窒化珪
素膜
線の模式図である。 1・・・5in2膜 2・・・基板3・・
・配線パターン 4・・・燐ガラス5・・窒化珪
素膜
Claims (1)
- (1)基板上に形成されたAl系配線を被覆する保護膜
の一部に、該Al系配線の厚さの0.3倍以下の厚さの
部分を有することを特徴とするAl系配線。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13696388A JPH01305540A (ja) | 1988-06-02 | 1988-06-02 | Al系配線 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13696388A JPH01305540A (ja) | 1988-06-02 | 1988-06-02 | Al系配線 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01305540A true JPH01305540A (ja) | 1989-12-08 |
Family
ID=15187584
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13696388A Pending JPH01305540A (ja) | 1988-06-02 | 1988-06-02 | Al系配線 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01305540A (ja) |
-
1988
- 1988-06-02 JP JP13696388A patent/JPH01305540A/ja active Pending
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