JPH01255263A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JPH01255263A
JPH01255263A JP63083700A JP8370088A JPH01255263A JP H01255263 A JPH01255263 A JP H01255263A JP 63083700 A JP63083700 A JP 63083700A JP 8370088 A JP8370088 A JP 8370088A JP H01255263 A JPH01255263 A JP H01255263A
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input
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康弘 布川
Hirotaka Mochizuki
博隆 望月
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Hitachi Ltd
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    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/04Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
    • H01L27/06Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体集積回路装置に関し、例えばソース
フォロワ形態の出力MOS F ETを用いて誘導性負
荷を駆動する出力回路に利用して有効な技術に関するも
のである。
(従来の技術〕 誘導性負荷を駆動するパワー出力回路の例として、例え
ば雑誌「電子技術J1987年11月号、頁22〜頁2
5がある。このパワーMO3FETは、ソースを接地し
、ドレインに誘導性負荷であるモータ等を接続するもの
である。
〔発明が解決しようとする課題〕
電子燃料噴射用のソレノイド等のように自動車搭載用の
パワー出力回路は、パワー出力素子を電源電圧側とし、
負荷を回路の接地電位側にするハイサイド駆動回路(ソ
ースフォロワ回路)とすることが望ましい。なぜなら、
負荷を電源電圧側に接続すると、衝突事故等により負荷
が接地されると、そこに過電流が流れて火災を引き起こ
す虞れがあるからである。
ところが、第9図に示すようなソースフォロワ出力回路
においては、駆動MO3FETQ2をオン状態にして、
出力MO3FETQIのゲートを回路の接地電位のよう
なロウレベルにすると出力MOS F ETQ 1をオ
ン状態からオフ状態にすることができる。しかし、負荷
りに逆起電圧が発生するため、第1O図に示すように、
出力MO3FETQIのソース電位が負電位になり、そ
れが出力MO3FETQIの実質的なしきい値電圧vt
hに達すると、出力MO3FETQIが再びオン状態に
なり出力端子OUTの電位をクランプさせる。
上記しきい値電圧vthは、絶対値的に比較的小さな電
圧であるため、上記負荷りに蓄えられたエネルギーを放
出させるのに時間がかかり、実質的な出力MOS F 
ETのオフ状態への切り換えを遅くする。このことは、
上記負荷りをパルス幅変調信号により駆動する場合、上
記逆起電圧期間、言い換えるならば、上記出力MOS 
F ETの実質的なオフ状態への切り換え時間が長くな
ると、その分パルス幅変調信号のパルス幅デユーティが
制約を受けて制御範囲が狭くなる。
上記のような出力回路の他、第11図に示すようなPN
P型トランジスタTIによる入力回路にあっては、入力
端子INに供給される入力信号が負極性の電圧になろう
とすると、PNP )ランジスタの構造上存在するダイ
オードD3がオン状態となり、入力信号をクランプする
とともに、その電流により内部回路が誤動作してしまう
。例えば、テレビジョン受像回路において、フライバッ
クトランス等により形成される信号は負極性の電圧にな
るため、上記のような入力回路を用いると誤動作を生じ
る。
すなわち、従来の半導体集積回路装置では、回路の動作
電圧及び接地電位が回路外部もしくは内部の低インピー
ダンス電源により一義的に決められていることから、入
力又は出力端子からみた場合、その電圧が動作電圧以上
及び回路の接地電位以下になったとき、動作保証がなさ
なていないという問題を有するものである。
この発明の目的は、入出力端子からみた信号のダイナミ
ックレンジを拡大できる半導体集積回路装置を提供する
ことにある。
この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は
、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。
〔課題を解決するための手段〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
すなわち、半導体集積回路に対して一方向性素子を介し
て外部から動作電圧及び/又は回路の接地電位を供給す
るとともに、内部の接地電位から入出力端子に向かう一
方向性素子及び/又は入出力端子から内部の動作電圧に
向かう一方向性素子を設ける。
〔作 用〕
上記した手段によれば、一方向性素子のスイッチング動
作により入力及び/又は出力端子の信号は、内部の動作
電圧及び/又は接地電位の制約を受けるとなく拡大でき
る。
〔実施例〕
第1図には、この発明に係るパワー出力回路をモータや
ソレノイド等のような誘導性負荷りを駆動するハイサイ
ド駆動回路(ソースフォロワ回路)に用いた場合の一実
施例の回路図が示されている。
この実施例のパワー出力回路は、同図に破線で示したよ
うに1つの集積回路ICとして形成され、特に制限され
ないが、パワーMO3FETQIは、後述するようにそ
のドレイン領域として基板が用いられ、基板の裏面側に
ドレイン電極が設けられる構造とされる。
パワーMO3FETQIのドレインは、電源電圧Vcc
に結合される。上記MO3FETQIのソースは、外部
端子OUTに結合され、そこに上記モータやソレノイド
等のようなりM 導性の負荷りが設けられる。それ故、
パワー出力MO3FETQ1は、ソースフォロワ出力M
OS F ETとして動作する。
上記パワーMO3FETQIのゲートには駆動MOSF
ETQ2と負荷抵抗RLからなる駆動回路が設けられる
。駆動回路の動作電圧は、昇圧回路BSTにより上記電
源電圧Vccを昇圧した電圧Vcc+Vが用いられる。
上記駆動MOS F BTQ2のゲートには、特に制限
されないが、インバータ回路N1を通して制御信号in
が供給される。
特に制限されないが、インバータ回路N1は、その動作
電圧が上記電源電圧Vccに比べて比較的低い5■系の
電圧とされる。これに応じて、上記制御信号inはハイ
レベルを5■として、ロウL/ベルの回路の接地電位の
ような比較的低い論理レベルとされる。したがって、上
記インバータ回路N1とMO3FETQ2と抵抗Rから
なる駆動回路は一種のレベル変換動作を行うものである
この実施例では、上記出力MO3FETQIのオフ状態
への実質的なスイッチング速度を速くするために次の構
成にされる。すなわち、上記駆動MO3FETQ2のソ
ースのような内部回路の接地電位GND’ は、ダイオ
ードDIを通して与えられる。すなわち、外部の接地電
位GNDに対してIC内部回路の接地電位GND’ は
、上記ダイオードD1の順方向電圧骨だけレベルシフト
された高い電圧になる。この接地電位GND’ は、上
記インバータ回路N1や昇圧回路BSTの接地電位とし
ても用いられる。そして、出力端子OUTにおける負極
性側のダイナミックレンジを拡大するために、言い換え
るならば、出力MO5FETQ1が負荷りの逆起電圧に
よって再びオン状態にならないようにするため、回路の
接地電位GND゛から上記出力端子OUTに向かうダイ
オードD2が設けられる。
例えば、制御信号inがハイレベルのときインバータ回
路Nlの出力信号が回路の接地電位のようなロウレベル
になる。この出力信号のロウレベルに応じて駆動MOS
 F BTQ 2がオフ状態にされ、パワーMO3FE
TQIのゲートには、抵抗Rを通して昇圧された動作電
圧Vcc+Vが供給される。上記昇圧回路BSTにより
形成される昇圧電圧+■をMO3FETQIの実質的な
しいき値電圧以上に設定される。したがって、第2図の
波形図に示すように、MO3FETQIがオン状態のと
き、そのソースからは電源電圧Vccがそのまま出力さ
れるので電圧損失の無い高い出力電圧を得ることができ
る。このような定常的な動作状態では、ダイオードD2
は逆バイアスされるためオフ状態になっており、上記出
力信号を得ることができる。
制御信号inがハイレベルからロウレベルに切り変わる
と、インバータ回路N1の出力信号がハイレベルになっ
て駆動MO3FETQ2をオン状態にする。これにより
、パワーMO3FETQIのゲートとソースが短絡され
るから、パワーMO3FETQIがオン状態からオフ状
態に切り換えられる。このとき、負荷りには、逆起電圧
が発生しパワーMO3FETQIのソースが結合された
出力端子OUTを負電位に低下させる。この逆起電圧に
応じてダイオードD2がオン状態になり、IC内部の接
地電位GND” も低下させる。それ故、上記逆起電圧
が発生してもMOS F ETQ 2は、上記インバー
タ回路Nlの出力信号のハイレベルによりオン状態を維
持するから、出力MO3FETQIはオフ状態のままに
される。すなわち、出力端子OUTの電圧は、内部回路
でクランプされることがなく、内部回路の動作の保証も
行われるものとなる。
この実施例では、上記負荷りに対してダイオードD3と
ツェナーダイオードZDからなる電圧クランプ回路が設
けられている。このため、第2図の波形図に示すように
、上記出力MO3FETQ1がオフ状態に切り換えられ
るときの出力端子OUTの電位は、−(VD3+VZD
)な負極性の大きな電圧になる。ここで、VD3は、ダ
イオードD3の順方向電圧であり、VZDはツェナーダ
イオードZDのツェナー電圧である。上記クランプ電圧
を絶対値的に高く設定することにより、誘導性の負荷り
に蓄えられてエネルギーを短時間で放出させることがで
きる。これにより、出力MO3F ETQ 1をパルス
幅変調信号で制御するときの制御範囲を拡大できるもの
である。
第3図は、この発明をPNP l−ランジスタを用いた
入力回路に適用した場合の一実施例の回路図が示されて
いる。
この実施例でも、IC内部回路には、ダイオードD1を
介して接地電位が与えられる。そして、入力端子TNに
おける負極性側のダイナミックレンジを拡大させるため
に、前記のような内部接地電位GND’から入力端子I
Nに向かうダイオードD3が付加される。この構成にお
いては、入力端子INに供給される信号が、負極性にな
るとダイオードD3がオン状態になって内部接地電位G
ND’ を入力端子INの信号に従って低下させる。
これにより、入力端子INの信号が内部回路のダイオー
ド等により電圧クランプされることがなく、入力ダイナ
ミックレンジを接地電位以下に拡大することができる。
この場合、内部回路は、上記入力信号に応じて接地電位
GND’  も低下するから、内部回路の動作保証が行
われる。
第4図には、この発明を一般概念的に示したブロック図
である。
この実施例では、半導体集積回路に構成される増幅回路
AMPを例にして、その入力及び出力のダイナミックレ
ンジを接地電位以下の負極性側及び電源電圧VCC以上
の正極性側に拡大させる一般的手法が示されている。
すなわち、回路の接地電位GND’及び動作電圧VCC
’ は、それぞれダイオードDIとD4を通して供給さ
れる。それ故、接地電位GND’ は前記のように外部
の接地電位GNDに対してダイオードD1の順方向電圧
分だけレベルが高くされる。
動作電圧Vcc’ は、ダイオードD4の順方向電圧分
だけ外部の電源電圧Vccに対して低くされる。
そして、接地電位GND以下の負極性のダイナミックレ
ンジを拡大させるために、入力端子IN及び出力端子O
UTと接地電位GND’ との間には、前記のように接
地電位GND’ 側から入力端子IN及び出力端子0t
JTにそれぞれ向かうダイオードD3及びD2が設けら
れる。
一方、電源電圧VC(、以上の正極性側のダイナミック
レンジを拡大させるために、入力端子IN及び出力端子
OUTと動作電圧VCC’ との間には、入力端子IN
及び出力端子から動作電圧Vcc’ にそれぞれ向かう
ダイオードD6及びD5が設けられる。
この構成では、入力端子IN又は出力端子OUTの電位
が前記のような負極性になると、ダイオードD3又はD
2により接地電位GND’ もそれに追従して低下する
。逆に、入力端子IN又は出力端子OUTの電位が電源
電圧Vcc以上に高くなると、ダイオードD6又はD5
により動作電圧■cc’ もそれに追従して高くなる。
このように、この実施例の増幅回路へMPは、入力端子
IN又は出力端子OUTのいずれかが、上記与えられる
接地電位GNDや電圧電圧VCCの範囲を越えて絶対値
的に大きくなると、それに追従して内部の接地電位及び
動作電圧も変化するから、信号のダイナミックレンジを
拡大しつつ、内部回路の動作保証が可能になる。
第5図には、他の一実施例の要部回路図が示されている
や 同図においては、前記のようなダイオードDIに代えて
トランジスタT2のベース、エミッタを介して半導体集
積回路ICの内部接地電位GND″が供給される。また
、入力端子INと接地電位G N D ’ との間に設
けられるダイオードD3に代えてトランジスタT3のベ
ース、エミッタが利用される。この構成では、トランジ
スタT2にコレクタ電流T S 2とトランジスタT3
のコレクタ電流ISIをセンス電流として用いることに
より、一番低い電位になっている端子を検出することが
できる。例えば、トランジスタT2のコレクタ電流IS
2が流れている時には、接地電位GNDを供給する端子
が最低電位であり、トランジスタT3のコレクタ電流■
Slが流れている時には、接地電位GND’ は、入力
端子INが最低電位になっていることを示す。各端子に
トランジスタT3のようなトランジスタを設ければ、複
数の端子のうち最も低い電位にされる端子を検出するこ
とができる。このような構成を採ることにより、それを
帰還等にも利用することができる。
第6図には、この発明の更に他の一実施例のブロック図
が示されている。
この実施例では、半導体集積回路ICに構成される回路
が複数ブロックCBI、CB2及びCB3に分割される
。そして、各回路ブロックCBIないしCB3に対して
ダイオードD1”、DI’及びDIを介して外部端子か
らそれぞれ接地電位GNDが与えられる。回路ブロック
CBIに入力信号を供給する入力端子INとそれに対応
した接地電位との間に前記のようなダイオードD3が設
けられる。回路ブロックCB3に出力信号を送出する出
力端子OUTとそれに対応した接地電位との間に前記の
ようなダイオードD2が設けられる。
この構成では、入力端子INが負極性の電位にされた場
合、それに対応した回路ブロックCBIの接地電位がそ
れに追従し、他の回路ブロックCB2やCB3は上記ダ
イオードDi’ 、DIを介した接地電位にすることが
できる。逆に、出力端子OUTが負極性の電位にされた
場合、それに対応した回路ブロックCB3の接地電位が
それに追従し、他の回路ブロックCBIやCB2は上記
ダイオードD1″、DI“を介した接地電位にすること
ができる。このような構成を採ることによって、入力電
圧や出力電圧の影響を受けたくない回路ブロックを持つ
半導体集積回路を得ることができるものである。
第7図には、前記第1図の実施例回路のMO3FETQ
1及びダイオードDI、D2の一実施例の構造断面図が
示されている。
パワーMO5FETQIは、そのドレイン令σ域がN型
基板とされる。それ故、ドレイン電極りは基板の裏面側
に設けられる。上記ドレイン電極りには電源電圧VCC
が与えられる。パワーMO5FETQ1を構成するP型
のチャンネル領域は、基板の表面にリング状に形成され
る。このP型のチャンネル領域の表面に同様にリング状
のN型のソース領域が形成される。上記ソース領域とド
レイン領域としての基板との間に挾まれたチャンネル領
域の表面には、ゲート絶縁膜を介してゲート電極Gが形
成される。上記ソース領域とチャンネル領域とは共通接
続されてソース電極Sとされる。
これにより、MO3FETQIの駆動電流は、基板の縦
方向に流れるものとなる。
このようなパワーMO3FETQIと、上記各回路素子
は同じ基板上に形成される。それ故、上記N型基板にP
型の分離領域(150)が形成され、このP型置#i領
域ISOを介して上記各回路素子が形成される。例えば
、ダイオードD1は、トランジスタをダイオード接続し
たものが用いられる。すなわち、上記P型骨HH域IS
O内にN型のコレクタ領域が形成され、このコレクタ領
域内にP型のベース領域を、そのベース領域内にN型の
エミッタ領域を形成してNPN型のトランジスタを構成
する。そして、上記ベースとしてのP型頭域とコレクタ
としてのN型領域とを接続してダイオード接続する。そ
して、そのカソードして作用するN型のエミッタ領域に
は外部端子を介して回路の接地電位GNDが供給される
。アノードとして共通接続されたベース、コレクタ領域
は、を記P型分離領域ISOへのバイアス電圧、回路の
接地電位点GND’ に接続される。また、上記アノー
ドとして共通接続されたベース、コレクタ領域は、ダイ
オードD2のアノード側に接続される。ダイオードD2
も上記同様な構造のトランジスタが用いられ、そのベー
スとコレクタが共通接続されてダイオード構成とされる
。そして、そのベース、コレクタは、上記ダイオードD
Iのアノード電極としてのベース、コレクタに接続され
る。
このダイオードD2を構成するトランジスタのエミッタ
は、カソード電極としてMO3FETQIのソースSに
接続される。
このような半導体構造においては、ト記分離領域ISO
と基板との間で大きな寄生ダイオードが存在する。それ
故、電源電圧Vccと回路の接地電位点GNDとを逆接
続しても、言い換えるならば、端子Vccに接地電位を
与え、端子GNDに↓12■のような電圧を与えるもの
としても、ダイオードDiが挿入されているから、素子
を破壊させるような過大電流が流れることはない。した
がって、この実施例の半導体集積回路装置は、自動車搭
載用のパワースイッチ回路に適したものとなる。なぜな
ら、自動車にあっては、バッテリーの放電によりエンジ
ンスタートが不能になったとき、他の自動車のバッテリ
ーと接続してエンジンスタートを行うことがしはしば生
じる。この場合、バッテリー間をケーブルによって逆接
続してしまう可能性が極めて高いからである。このよう
な逆接続が行われても、上記の半導体集積回路装置では
素子が破壊してしまうことがない。
第8図には、他の一実施例の構造断面図が示されている
。この実施例では、半導体集積回路に第6図の実施例と
同様に複数のブロックが設けられる。すなわち、半導体
基板上には、2つの分離領域rsO1とlSO2が設け
られる。例えば、分離領域1soiには、第6図の回路
ブロックCB1のように入力端子INが設けられる場合
、前記同様にトランジスタ構造を利用してダイオードD
3とDi”を構成し、接地電位の供給及び接地電位と入
力端子INとの接続を行う。他方の分離領域lSO2に
は、第6図の回路ブロックCB3のような出力端子OU
Tが設けられる場合、同様な構造のダイオードD1及び
D2を構成し、接地電位の供給及び接地電位と出力端子
OUTとの接続を行う。
上記分離領域l5OIとlSO2には、それぞれダイオ
ードDI及びDl”を介して接地電位が与えられる。こ
の構成では、分離領域1301及びlSO2の電位は、
それぞれ端子IN及びOUTの最低電位に追従して変化
し、回路の最低電位に維持できる。したがって、上記分
離領域1301  (lSO2)をベースとする縦方向
の寄生トランジスタ(T4)が動作することを抑えるこ
とができる。また、基板には電a電圧Vccが与えられ
るから、上記2つの分離領域rsO1と1302をエミ
ッタとコレクタとし、その間の基板をペースとするよう
な横方向の寄生トランジスタの発生も抑えることができ
る。
なお、第4図の実施例のように、動作電圧もダイオード
を通して供給する方式では、基板にも上記ダイオードを
介した電圧が供給される。
上記の実施例から得られる作用効果は、下記の通りであ
る。すなわち、 (1)半導体集積回路に対して一方向性素子を介して外
部から動作電圧及び/又は回路の接地電位を供給すると
ともに、内部の接地電位から入出力端子に向かう一方向
性素子及び/又は入出力端子から内部の動作電圧に向か
う一方向性素子を設けることにより、一方向性素子のス
イッチング動作により入力及び/又は出力端子の信号は
、内部の動作電圧及び/又は接地電位の制約を受けると
なく拡大できるという効果が得られる。
(2)ハイサイド駆動回路を構成する半導体集積回路に
対して、ダイオードを介して接地電位を供給するととも
に、接地電位とソースフォロワ出力端子との間にダイオ
ードを挿入する構成を採ることにより、出力MOS F
 ETを実質的にオフ状態にさせる時間を短くできる。
これにより、誘導性負荷をパルス幅変調信号により駆動
することが可能になるという効果かえられる。
(3)上記fil又は(2)のように、接地電位をダイ
オードを介して供給する構成を採ることによって、電源
を逆接続した場合の破壊強度の向上を図ることができる
という効果が得られる。
(4)半導体集積回路に構成される回路を複数ブロック
に分割し、それぞれにダイオードを介して接地電位又は
動作電圧を供給し、それと信号の授受を行う外部端子と
の間にダイオードを設ける構成を採ることにより、外部
端子の電圧に対応して各ブロック単位で接地電位以下の
最低電位及び動作電圧以上の最高電位を決めることがで
きる。この構成においては、入力電圧や出力電圧の影響
を受けたくない回路ブロックを持つ半導体集積回路を得
ることができるという効果が得られる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本願発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種に変更が
可能である。例えば、第4図の実施例において、端子I
N又はOUTの電圧に応じて、付加するダイオードD1
〜D6の組み合わせを種々選ぶことができるものである
。また、パワーMO3FETは、1つの半導体基板上に
複数個設ける構成としてもよい。この場合、基板をドレ
インとするパワーMO3FETにおいては、必然的にド
レインを共通化したハイサイド駆動回路(ソースフォロ
ワ回路)として用いられるものである。上記パワーMO
3FETは、第1図のようなモータやソレノイドといっ
たようなインダクタンス負荷を駆動するものの他、自動
車ヘッドランプ等のランプ類を駆動する駆動回路等従来
の機械的なスイッチ素子に置き換えられる電子式のパワ
ースイッチ回路に適したものとなる。
また、ロウサイド駆動回路を構成する場合には、出力M
O3FET及び駆動MOS F ETとしてPチャンネ
ルMOS F ETを用いるものとすればよい。この構
成では、PチャンネルMO3FETのドレインには、回
路の接地電位が与えられるから、負荷を電源電圧Vcc
側とするロウサイド駆動回路が構成できる。
この発明は、半導体集積回路装置に広く利用できるもの
である。
〔発明の効果〕
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。すなわち、半導体集積回路に対して一方向性素子を介
して外部から動作電圧及び/又は回路の接地電位を供給
するとともに、内部の接地電位から入出力端子に向かう
一方向性素子及び/又は入出力端子から内部の動作電圧
に向かう一方向性素子を設けることにより、一方向性素
子のスイッチング動作により入力及び/又は出力端子の
信号は、内部の動作電圧及び/又は接地電位の制約を受
けるとなく拡大できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の一実施例を示す回路図、第2図は
、その動作を説明するための波形図、第3図は、この発
明の他の一実施例を示す回路図、 第4図は、この発明を一般概念的に示した一実施例のブ
ロック図、 第5図は、この発明の他の一実施例を示す要部回路図、 第6図は、この発明の更に他の一実施例を示すブロック
図、 第7図は、上記第1図の回路の一実施例を示す構造断面
図、 第8図は、上記第6図のに対応した一実施例を示す断面
図、 第9図は、ソースフォロワ出力回路の一例を示す回路図
、 第10図は、その動作の一例を説明するための波形図、 第11図は、入力回路の一例を説明するための回路図で
ある。 IC・・半導体集積回路、L・・負荷(誘導性)、BS
T・・昇圧回路、N1・・インバータ回路、AMP・・
増幅回路、CBI〜CB3・・回路ブロック、To・・
定電流源

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、外部端子から供給される接地電位及び/又は動作電
    圧を内部回路の接地電位又は動作電圧に伝えるよう設け
    られた一方向性素子と、上記回路の接地電位から入力及
    び/又は出力端子へ向かう電流を流すよう設けられた一
    方向性及び/又は上記入力及び/又は出力端子から上記
    回路の動作電圧に向かう電流を流すように設けられた一
    方向性素子とを具備することを特徴とする半導体集積回
    路装置。 2、上記一方向性素子は、ダイオード形態のトランジス
    タからなるものであることを特徴とする特許請求の範囲
    第1項記載の半導体集積回路装置。 3、上記回路の接地電位は、素子を分離する分離領域に
    も供給されるものであることを特徴とする特許請求の範
    囲第1又は第2項記載の半導体集積回路装置。
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