JPH01186916A - 薄膜トランジスタアレイ - Google Patents
薄膜トランジスタアレイInfo
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- JPH01186916A JPH01186916A JP63011165A JP1116588A JPH01186916A JP H01186916 A JPH01186916 A JP H01186916A JP 63011165 A JP63011165 A JP 63011165A JP 1116588 A JP1116588 A JP 1116588A JP H01186916 A JPH01186916 A JP H01186916A
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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-
- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は液晶表示装置に応用される薄膜トランジスタ（
以下、ＴＰＴと呼ぶ）アレイに関するものである。
以下、ＴＰＴと呼ぶ）アレイに関するものである。
従来の技術
近年、液晶表示装置の表示容量増大に伴って走査線数が
増え、そのため従来から用いられている電極マトリック
ス方式では、液晶表示装置の表示特性向上のためにマト
リックス型液晶表示装置にＴＦＴアレイが応用されはじ
めている。
増え、そのため従来から用いられている電極マトリック
ス方式では、液晶表示装置の表示特性向上のためにマト
リックス型液晶表示装置にＴＦＴアレイが応用されはじ
めている。
以下、図面を参照しながら、従来のＴＦＴアレイについ
て説明する。
て説明する。
第２図は従来のＴＦＴアレイの一部平面構造図を示した
ものである。走査線１と信号線２の各交点に、走査線１
及び信号線２に各々ゲート電極３及びソース電極４を接
続し、ドレイン電極５に絵素電極６を接続したＴＰＴを
備えている。
ものである。走査線１と信号線２の各交点に、走査線１
及び信号線２に各々ゲート電極３及びソース電極４を接
続し、ドレイン電極５に絵素電極６を接続したＴＰＴを
備えている。
第３図は、ＴＦＴアレイの構成要素であるＴＰＴの断面
構造を示したものである。ガラス基板等の透明絶縁基板
７の表面に走査線１、ゲート電極３及び絵素透明電極６
を設け、走査線１及びゲート電極３を覆うごとく絶縁層
８を設け、その上に半導体層９、保護用絶縁層１ｏ、信
号線４及び絵素透明電極６の一端と接続されているドレ
イン電極５を順次設けた構造になっている。
構造を示したものである。ガラス基板等の透明絶縁基板
７の表面に走査線１、ゲート電極３及び絵素透明電極６
を設け、走査線１及びゲート電極３を覆うごとく絶縁層
８を設け、その上に半導体層９、保護用絶縁層１ｏ、信
号線４及び絵素透明電極６の一端と接続されているドレ
イン電極５を順次設けた構造になっている。
以上の様な構造では、走査線１と信号線４、ゲート電極
３とソース電極４及びドレイン電極５が絶縁層８と半導
体層９を介して積層されているため、ＴＦＴアレイ作成
工程のトラブルの発生によって、ゲート・ソース間及び
ゲートψドレイン間で短絡が発生する。
３とソース電極４及びドレイン電極５が絶縁層８と半導
体層９を介して積層されているため、ＴＦＴアレイ作成
工程のトラブルの発生によって、ゲート・ソース間及び
ゲートψドレイン間で短絡が発生する。
ゲート・ソース間で短絡が発生すると、この欠陥が発生
している走査線１と信号線２に接続されているＴＰＴの
動作が異常となシ、表示特性における十字状の線欠陥と
なることから、表示品位を著しく低下させる。また、ゲ
ート・ドレイン間で短絡が発生すると、この短絡が発生
しているＴＰＴの動作のみが異常となることから、この
ＴＰＴに接続されている絵素のみが異常な表示、すなわ
ち表示特性上における点欠陥となシ、上記線欠陥と同じ
く表示品位を低下させる要因となる。
している走査線１と信号線２に接続されているＴＰＴの
動作が異常となシ、表示特性における十字状の線欠陥と
なることから、表示品位を著しく低下させる。また、ゲ
ート・ドレイン間で短絡が発生すると、この短絡が発生
しているＴＰＴの動作のみが異常となることから、この
ＴＰＴに接続されている絵素のみが異常な表示、すなわ
ち表示特性上における点欠陥となシ、上記線欠陥と同じ
く表示品位を低下させる要因となる。
従来の構成のＴＦＴアレイではゲート拳ソース間で短絡
欠陥が発生した場合、短絡欠陥を有するＴＦＴをレーザ
・ビームまたは電子ビーム等を照射することによって消
滅させて、ゲート・ソース間を開放状態にしたシ、或い
は走査線及び信号線の少なくともいっぽうの配線を短絡
欠陥を有するＴＰＴを挟む２ケ所で切断することによシ
、線欠陥を点欠陥に修正していた。
欠陥が発生した場合、短絡欠陥を有するＴＦＴをレーザ
・ビームまたは電子ビーム等を照射することによって消
滅させて、ゲート・ソース間を開放状態にしたシ、或い
は走査線及び信号線の少なくともいっぽうの配線を短絡
欠陥を有するＴＰＴを挟む２ケ所で切断することによシ
、線欠陥を点欠陥に修正していた。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記の様な構成のＴＦＴアレイでは、ゲ
ート・ソース間の短絡欠陥の修正で走査線及び信号線の
少なくとも一方の配線を切断しなければならず、一つの
配線に２つ以上の短絡欠陥が発生した場合には、部分的
なｉ欠陥が残−てしまうと言う問題点を有し、またＴＰ
Ｔプレイを用いて液晶表示装置とするための組立工程中
のトラブルによって新たに発生する短絡欠陥に対して、
修正することが困難になると云う問題点を有していた。
ート・ソース間の短絡欠陥の修正で走査線及び信号線の
少なくとも一方の配線を切断しなければならず、一つの
配線に２つ以上の短絡欠陥が発生した場合には、部分的
なｉ欠陥が残−てしまうと言う問題点を有し、またＴＰ
Ｔプレイを用いて液晶表示装置とするための組立工程中
のトラブルによって新たに発生する短絡欠陥に対して、
修正することが困難になると云う問題点を有していた。
本発明はこの様な従来例の問題点を解消したものであり
、その目的とするところはＴＦＴアレイ作成時に発生す
る欠陥に加えて、液晶表示装置に応用する場合の組立工
程中のトラブルによって発生するゲート・ソース間の短
絡による線欠陥を容易に点欠陥に修正し得るＴＦＴアレ
イを提供するものである。
、その目的とするところはＴＦＴアレイ作成時に発生す
る欠陥に加えて、液晶表示装置に応用する場合の組立工
程中のトラブルによって発生するゲート・ソース間の短
絡による線欠陥を容易に点欠陥に修正し得るＴＦＴアレ
イを提供するものである。
課題を解決するための手段
上記問題点を解決するために、本発明のＴＦＴアレイで
は、走査線とこれに接続するＴＰＴのゲート電極の接続
部をＴＰＴの駆動電流以上の電流で溶断可能な構成にす
るものである。
は、走査線とこれに接続するＴＰＴのゲート電極の接続
部をＴＰＴの駆動電流以上の電流で溶断可能な構成にす
るものである。
作 用
本発明は上記の様な構成にすることによシ、ゲート・ソ
ース間の短絡による線欠陥の配線を切断することなく、
修正することができ、尚且つ液晶表示装置に応用した場
合でも容易に修正することができるものである。
ース間の短絡による線欠陥の配線を切断することなく、
修正することができ、尚且つ液晶表示装置に応用した場
合でも容易に修正することができるものである。
実施例
以下本発明のＴＦＴアレイの一実施例について図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
第１図は本発明の一実施例のＴＦＴアレイの一部平面構
造図を示したものである。第２図と同一部分もしくは相
当部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略す
る。
造図を示したものである。第２図と同一部分もしくは相
当部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略す
る。
走査線１にＴＦＴの駆動電流以上の電流で溶断てきるよ
うに部分的に線幅を細くした接続部１ｏＯを介して、ゲ
ート電極３に接続している。走査線１にＴＰＴをＯＮ状
態にするような電圧を印加し、信号線２をアース電位に
すると、ゲート・ソース間短絡が存在する場合、各線の
抵抗及び短絡部の抵抗で決まる比較的大きな電流が流れ
るため、接続部１ｏｏは短絡電流によるジュール熱によ
って溶断される。また、ゲート・ドレイン間短絡が存在
する場合、走査線１に印加された電圧が短絡部１ｏｏを
通じでドレイン電極６に印加されることから、接続部１
ｏＯにはＴＰＴのＯＮ電流（駆動電流を意味する。）が
流れることになり、ＯＮ電流によるジュール熱により接
続部１ｏＯは溶断される。
うに部分的に線幅を細くした接続部１ｏＯを介して、ゲ
ート電極３に接続している。走査線１にＴＰＴをＯＮ状
態にするような電圧を印加し、信号線２をアース電位に
すると、ゲート・ソース間短絡が存在する場合、各線の
抵抗及び短絡部の抵抗で決まる比較的大きな電流が流れ
るため、接続部１ｏｏは短絡電流によるジュール熱によ
って溶断される。また、ゲート・ドレイン間短絡が存在
する場合、走査線１に印加された電圧が短絡部１ｏｏを
通じでドレイン電極６に印加されることから、接続部１
ｏＯにはＴＰＴのＯＮ電流（駆動電流を意味する。）が
流れることになり、ＯＮ電流によるジュール熱により接
続部１ｏＯは溶断される。
以上の様な構成のＴＦＴアレイであれば、ゲート・ソー
ス間の短絡による線欠陥に対して、配線を切断する事な
く修正することができ、尚且つ走査線にＴＦＴｆ：ＯＮ
状態するような電圧を印加するだけで、修正することが
できるため、液晶表示装置に応用した場合の組立工程中
に新たに発生する欠陥に対しても適用できる。
ス間の短絡による線欠陥に対して、配線を切断する事な
く修正することができ、尚且つ走査線にＴＦＴｆ：ＯＮ
状態するような電圧を印加するだけで、修正することが
できるため、液晶表示装置に応用した場合の組立工程中
に新たに発生する欠陥に対しても適用できる。
発明の効果
以上の様に本発明は、ＴＦＴアレイの走査線とこれに接
続するＴＰＴのゲート電極の接続部をＴＰＴの駆動電流
以上の電流で溶断てきるように構成したことで、ゲート
・ソース間短絡による線欠陥の配線を切断することなく
、修正することができることから、一つの配線に２ケ所
以上の短絡欠陥が発生した場合でも全て点欠陥とするこ
とができ、また、走査線にＴＦＴｔ−ＱＮ状態にするよ
うな電圧を印加するだけで、修正することができるため
、液晶表示装置に応用した場合の組立工程中に新たに発
生する欠陥に対しても適用できることから、ＴＦＴアレ
イ及びＴＦＴアレイを応用した液晶表示装置の歩留りを
大幅に改善することができる。
続するＴＰＴのゲート電極の接続部をＴＰＴの駆動電流
以上の電流で溶断てきるように構成したことで、ゲート
・ソース間短絡による線欠陥の配線を切断することなく
、修正することができることから、一つの配線に２ケ所
以上の短絡欠陥が発生した場合でも全て点欠陥とするこ
とができ、また、走査線にＴＦＴｔ−ＱＮ状態にするよ
うな電圧を印加するだけで、修正することができるため
、液晶表示装置に応用した場合の組立工程中に新たに発
生する欠陥に対しても適用できることから、ＴＦＴアレ
イ及びＴＦＴアレイを応用した液晶表示装置の歩留りを
大幅に改善することができる。
また、ゲート・ソース間短絡の検査と同時に修正もでき
ることから、修正工程を設ける必要がないだめ工程を簡
略化することができる。
ることから、修正工程を設ける必要がないだめ工程を簡
略化することができる。
第１図は本発明の一実施例のＴＦＴアレイの一部平面構
造図、第２図は従来のＴＰＴプレイの一部平面構造図、
第３図は第２図のＡ −Ａ／線での断面構造図でちる。 １・・・・・・走査線、２・・・・・・信号線、３・・
・・・・ゲート電極、４・・・・・・ソース電極、６・
・・・・・ドレイン電極、６・・・・・・絵素電極、了
・・・・・・絶縁基板、８・・・・・・絶縁層、９・・
・・・・半導体層、１ｏ・・・・・・保護用絶縁層、１
ｏＯ・・・・・・接続部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名／−
−−走査線 ２− 信号線 ３−ゲート電極 ４−ソース電極 ５−トレインせ極 第２図
造図、第２図は従来のＴＰＴプレイの一部平面構造図、
第３図は第２図のＡ −Ａ／線での断面構造図でちる。 １・・・・・・走査線、２・・・・・・信号線、３・・
・・・・ゲート電極、４・・・・・・ソース電極、６・
・・・・・ドレイン電極、６・・・・・・絵素電極、了
・・・・・・絶縁基板、８・・・・・・絶縁層、９・・
・・・・半導体層、１ｏ・・・・・・保護用絶縁層、１
ｏＯ・・・・・・接続部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名／−
−−走査線 ２− 信号線 ３−ゲート電極 ４−ソース電極 ５−トレインせ極 第２図
Claims (1)
- 複数本の走査線及びこれらの走査線と直交する複数本
の信号線を備え、その各交点に薄膜トランジスタを設け
た薄膜トランジスタアレイであって、前記走査線とこれ
に接続する薄膜トランジスタのゲート電極の接続部を前
記薄膜トランジスタの駆動電流以上の電流で溶断可能と
したことを特徴とする薄膜トランジスタアレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63011165A JPH01186916A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 薄膜トランジスタアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63011165A JPH01186916A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 薄膜トランジスタアレイ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01186916A true JPH01186916A (ja) | 1989-07-26 |
Family
ID=11770431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63011165A Pending JPH01186916A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 薄膜トランジスタアレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01186916A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0456338A2 (en) * | 1990-05-11 | 1991-11-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | An active matrix display device and a method of manufacturing the same |
| EP0458173A2 (de) * | 1990-05-22 | 1991-11-27 | Daimler-Benz Aktiengesellschaft | Flüssigkristallanzeigevorrichtung |
-
1988
- 1988-01-21 JP JP63011165A patent/JPH01186916A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0456338A2 (en) * | 1990-05-11 | 1991-11-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | An active matrix display device and a method of manufacturing the same |
| EP0717303A1 (en) * | 1990-05-11 | 1996-06-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | An active matrix display device and a method of manufacturing the same |
| EP0458173A2 (de) * | 1990-05-22 | 1991-11-27 | Daimler-Benz Aktiengesellschaft | Flüssigkristallanzeigevorrichtung |
| EP0458173A3 (en) * | 1990-05-22 | 1992-07-22 | Daimler-Benz Aktiengesellschaft | Liquid crystal display device |
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