JPH01145906A - 収納物移載保管装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体の製造設備として用いられるのに好適
な、固定棚と、固定棚に収納物を搬出搬入する移載装置
とを備えた収納物移載保管装置に関する。

従来技術及びその問題点 従来、この種収納物移載保管装置として、第１７図に示
すものがあった。

この収納物移載保管装置Ａは、収納物Ｗを収納する複数
の棚２１を有し紙面と垂直の方向に配置された固定棚２
２の前面（図の左側）に沿って垂直（図の上下方向）、
水平（紙面と垂直方向）移動する移載装置２３が、無人
台車２４と固定棚２２の間で図の左右方向に移動して収
納物Ｗを移載するようになっている。

２５は移載装置２３の垂直移動案内をするレールである
。

ところが、このような収納物移載保管装置であると、移
載装置２３の走行装置２６が、移載装置２３の下部で、
固定棚２２と無人台車２４の間に位置を占めているため
、固定棚２２と無人台車２４の間隔（Ｈ）が広がり、収
納物移載保管装置Ａ全体の占める床面積が広くなる問題
点を有していた。特に、半導体の製造設備に関連するク
リーンルーム等は、単位面積当たりの単価が高価であり
、少しでも専有面積を小さくする必要がある。

問題点を解決するための手段 本発明は、複数の収納物を収納する固定棚と、該固定棚
の前面に移動自在に設けられた移載装置を有してなり、
前記移載装置の走行駆動部が前記固定棚の下部に設けら
れている収納物移載保管装置により前記問題点を解決し
たものである。

作　　　　　　　　　用 移載装置は、必要に応じて固定棚の前面を移動して固定
棚に対する収納物の移載を行うが、移載装置の走行駆動
部が固定棚の下部に設けられているため、走行駆動部を
も含めた固定棚の前後方向寸法が固定棚の前後方向寸法
より僅かに大きいだけですむので、移載保管装置の専有
面積が大幅に削減される。

実　　　　施　　　　例 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

収納物移載保管袋ｆｉＢは、収納物Ｗを複数収納する固
定棚３０と、固定棚前面に設けられ固定棚の前面に沿っ
て垂直水平方向に移動する移載装置３１と、固定棚３０
の前面に沿って平行に移動し収納物Ｗを搬送する無人台
車３２から構成されている。

固定棚３０は第２図乃至第５図に示すように収納物Ｗを
収納する棚３３を複数段具えている。

移載装置３１は第４図に示すように、固定棚３０の下部
に設けられ床に沿って移動する走行駆動部４０と、走行
駆動部４０の前面（第４図において左側）に設けられた
支柱４１と、支柱４１の前面を昇降する昇降ユニット４
２と、昇降ユニット４２を昇降させる昇降駆動部４３で
構成されている。昇降ユニット４２には収納物Ｗを固定
棚３０と無人台車３２の間で収納物Ｗを移し替えるハン
ドユニット４４が設けられている。

走行駆動部４０は第６図と第７図に示す構造になってい
る。

走行駆動部４０の全体の機構は棚の底部５０に設けた下
部レール５ｊと第１段の１ｌｌ１３３の下部に設けた上
部レール５２とによって案内されて移動するようになっ
ている。また、走行駆動部４０は全体が筺体５３により
包まれるようにして密閉されている。しかも筺体５３の
上部は第６図において右下がりの傾斜になっている。こ
の密閉は走行駆動部の塵埃が飛散するのを防止するため
であり、又、斜面は固定棚５０の上方から吹き下ろされ
るクリーンエアーの流れを規制するために形成しである
。筐体５３の下部には下部レール５１に跨がる形状をし
た直線運動用ベアリング５５が設けである。また筺体５
３の上部には上部レール５２に保合案内される一対のロ
ーラー５６．５６が設けである。筐体５３の第６図の左
側にはブレーキを備えたＡＣサーボモータ５７が水平に
具えられている。ＡＣサーボモータ５７にはウオーム減
速機５８が連結されている。ウオーム減速機５８の出力
軸にはピニオン５９が取付けである。ピニオン５９は下
部レール５１と平行に配設しであるラック６０に噛合し
ている。ＡＣサーボモータ５７の上方にはケーブル保護
機構６１の一端を支持する水平の梁６２が設けである。

ケーブル保護機構６１は鎖状をしており、他端が固定棚
３０の底部５０に設けられ、走行駆動部４０と後に説明
する昇降ユニット４２、昇降駆動部４３等の電源となる
ケーブルを保護するためのものである。

次に走行駆動部４０の動作を説明する。

ＡＣサーボモータ５７を駆動すると、ウオーム減速機５
８によってモータの回転が減速され、ピニオン５９が低
速回転し、ラック６０との噛合により移載装置３１の全
体を第３図において左右の方向に移動させる。この際ケ
ーブル保護機構６１は走行駆動部４０の移動にともない
屈曲し、ケーブル（図示省略）を保護し供給電圧の異常
をきたさないようにしている。

次に昇降駆動部４３を説明する。

支柱４１は断面が矩形状をしており下部が走行駆動部４
０の筐体５３の前面（第６図の左側）にボルト６５によ
って取付けられている。

支柱４１の内部には後述する昇降ユニット４２を昇降さ
せる昇降駆動部４３が具えられている。

支柱４１の内部の下部には昇降モータ６６とモータ６６
の出力を減速する減速機６７が具えである。支柱４１内
には更に減速機６７の近くと、支柱の上端に、夫々プー
リ６Ｂ、６９が回転自在に設けられている。この一対の
上下のプーリ６８゜６９には２本のベルト７０が掛渡し
である。さらに下部のプーリ６８と前記減速機６７の間
には駆動ベルト７１が掛渡しである。

昇降ユニット４０は第８図乃至第１０図に示す構造にな
っている。

昇降ユニット４０には支柱４１の内部に支柱の長手方向
と平行に設けたレール７５に案内されて上下に垂直移動
（第９図において図の上下方向）するものである。レー
ル７５を跨ぐように一対の直線運動用ベアリング７６が
設けである。一対の直線運動用ヘアリング７６には支持
体７７が設けである。支持体の右側面（第８図の右側）
には先端部分が支柱４１の長手方向と平行に形成したス
リンｌ−４１ａから突出している連結部材７８が設けで
ある。支持体７７は前記ベルト７７に取付けられている
。支柱４１から突出している連結部材７８には昇降ユニ
ットフレーム７９が設けられている。昇降ユニットフレ
ーム７９にはハンドユニットモータ８０が水平に取付け
られている。

次に昇降ユニット４２と昇降駆動部４３を説明する。

昇降モータ６６を駆動すると減速機６７により回転が減
速され駆動ベルト７１を介して２本のベルト７０が回転
する。これによりベルト７０に設けられた支持体７７が
直線運動用ベアリング７６とレール７５に案内されて垂
直上下移動する。この垂直上下移動により支持体７７に
設けである連結部材７８も上下し、昇降ユニットフレー
ム７９が一体となって上下動を行う。

ハンドユニット４４は第１１図および第１２図に示す構
造になっている。

ハンドユニット４４の全体は昇降ユニット４２に設けら
れ複数のリンクとチェーン等によって構成されている。

昇降ユニットフレーム７９には、ハンドユニットモータ
８０と、減速機構８５と減速機構８５の出力軸８６と、
第１の駆動スプロケット８７がそれぞれ設けられている
。出力軸８６の先端（第１１図の手前側）には駆動アー
ム８８が一体に取付けられている。駆動アーム８８の右
端部（第１１図の右側）には従動アーム８９を固着した
中間軸９１がベアリング９０によって回転自在に一体に
取付けられている。中間軸９１には第１の駆動スプロケ
ット８７と対向する第１の従動スプロケット９２が一体
に取付けられている。第１の駆動スプロケット８７と第
１の従動スプロケット９２の間には駆動チェーン９３が
掛渡しである。また、駆動アーム８８の右端部手前側に
は従動アーム８９内に位置するように第２の駆動スプロ
ケット９４が取付けられている。従動アーム８９の右端
部にはベアリング９５によって従動軸９６が回転自在に
設けられている。この従動軸９６には前記第２の駆動ス
プロケット９４と対向する第２の従動スプロケット９７
が従動アーム８９内に位置するように一体に設けられて
いる。第２の駆動スプロケット９４と第２の従動スプロ
ケット９７の間には従動チェーン９８が掛渡しである。

駆動アーム８８と従動アーム８９の側面には、スプロケ
ットやチェーン等から生じる塵埃が飛散するのを密閉封
止するためにカバー９９，１００がそれぞれ取付けられ
ている。従動軸９４の手前側端部には収納物Ｗに係合す
るフック１０１が取付けられている。

次にハンドユニット４４の動作を説明する。

まず、昇降ユニット４２をわずかに上昇させ、フック１
０１を収納物Ｗに係合する。すると、収納物Ｗは棚３３
かられずかに持上げられた状態になる。収納物Ｗをわず
かに持上げた状態でハンドユニットモータ８０を駆動し
減速機構８５により減速回転をさせ出力軸８６で駆動ア
ーム８８を第１２図において右回転させると第１の駆動
スプロケット８７は固定されているため駆動チェーン９
３を介して第１の従動スプロケット９２が左回転させら
れる。これに伴い中間軸９１も左回転し中間軸９１と一
体の従動アーム８９が同様に左方向に回転する。これに
より従動アーム８９の右端部が水平に第１２図において
左方に移動し、収納物Ｗを棚３３から徐々に引き出す。

ハンドユニットモータ８８がなお回転を続けるのに従っ
て駆動アーム８８は右回転を継続する。これに伴い従動
アーム８９は中間軸９１を中心として左回転する。

しかし従動アーム８９の右端部は水平移動しながら出力
軸８６の方に近づいていく。これにより収納物Ｗは棚３
３から水平状態で搬出を継続する。

駆動アームがさらに回転し、第１２図において左側の想
像線の位置までくると、従動アーム８９の端部は左側の
方に水平移動し、無人台車３２の真上に位置することに
なる。その後昇降ユニット４２を降下させ、収納物Ｗを
無人台車３２の上に載せる。昇降ユニット４２をさらに
わずかに下降させると、フック１０１が収納物Ｗからは
ずれる。

これにより収納物Ｗの搬出が終了する。

次に収納物移載保管装置Ｂの全体の動作を説明する。

固定棚３０に収納されている収納物Ｗを搬出するには、
搬出を希望する収納物Ｗが収納されている位置に支柱４
１を走行駆動部４０により水平移動させる。次に昇降駆
動部４３を駆動させ昇降ユニット４２を支柱４１に沿っ
て搬出希望をする収納物Ｗの位置に昇降させる。次に、
ハンドユニットのモータ８０を駆動し、ハンドユニット
のフッりを収納物Ｗの両脇に差し込むようにして棚３３
の間に差し込む。この状態で昇降ユニット４２をわずか
に上昇させフック１０１を収納物に係合させた後、ハン
ドユニットモータ８０を逆転駆動し、ハンドユニット４
４により収納物Ｗを棚３３から取出す。この取り出した
状態で再度昇降駆動部４３を駆動させ昇降ユニット４２
を無人台車３２の高さ位置まで下降もしくは上昇させる
。次に走行駆動部４０を駆動して昇降ユニットが無人台
車３２の脇に位置するところまで支柱４１を移動させる
。このようにして、無人台車３２の脇に運ばれた収納物
Ｗは、ハンドユニット４４の係止を解除することにより
無人台車３２に積載することができる。

以上の実施例では、固定棚３０は１列しか配列していな
いが、第１３図に示す如く、無人台車３２の移動方向の
延長上に別の固定棚３０Ｂを設けてもよい。さらに、第
１４図に示す如く、無人台車３２の走行する上部に新た
な固定棚３０Ｃを天井の梁１１０につりさげるようにし
て設けてもよい。また無人台車３２は床の上を走行する
ようになっているが、無人台車３２の替わりに有軌道台
車１１３を第１５図、第１６図に示す如く固定棚３０．
３０ｄの上方に位置する天上に固定された梁１１１上の
レール１１２を走行させるようにしてもよい。

以上の実施例によると、移載装置３１の走行駆動部４０
を固定棚３０の下部に設は且つ走行可能にしであるので
、固定棚専有面積に比べ移載装置の専有面積が小さくな
ると共に、無人台車と固定棚３０との間の距離Ｈ（第１
図）を従来より大巾に狭くすることができる。

さらに、収納物Ｗの搬出搬入を行うのに複数のリンク機
構からなるハンドユニットを使用したので機構が伸縮自
在となり、狭い空間に適合することができ、より一層前
記の間隔Ｈをせばめることができる。

さらに、移載装置３１全体が固定棚３０に取付けられた
構成になっているので、固定棚３０を設置する際、従来
行っていた移載装置との相互間の位置決め調整が不要と
なる。

また、クリーンルーム内で使用するときは、走行駆動部
４０と昇降駆動部４３は固定棚３０の下部にあることに
より駆動部４０．４３の駆動時における塵埃が室内に飛
散することが少なくなる。

さらに、各機構とも密封状態にしであるので、各機構部
から発生する塵埃が室内に飛散することがない。

発明の効果 以上のように、本発明によると、走行駆動部を固定棚の
下部に具えているので、移載装置の床専有面積が少なく
なり収納物移載保管装置全体の専有面積を狭めることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第１６図は本発明の実施例で、第１図は収納
物移載保管装置の全体側面図、第２図は、固定棚部分の
斜視図、第３図は固定棚で昇降駆動部の一部を省略した
正面図、第４図は第３図の右側面図、第５図は第３図中
５−５断面矢視図で走行駆動部の筐体の傾斜を除いた図
、第６図は第５図下部の部分拡大図、第７図は第６図中
７−７矢視断面図、第８図は第３図において支柱４１が
右端に移動し昇降ユニットが下降したとき固定棚を水平
に断面にした図、第９図は第８図の正面図、第１０図は
昇降ユニットが上昇したときの第８図の右側面図、第１
１図はハンドユニットの拡大断面図、第１２図は第１１
図の正面図、第１３図乃至第１６図はいずれも他の実施
例の収納物移載保管装置の側面図、第１７図は従来のも
のの側面図である。 Ｂ・・・収納物移載保管装置 Ｗ・・・収納物 ３０・・・固定棚 ３１・・・移載装置 ４０・・・走行駆動部 第１図 第５図 第６図 ７］ノ ′］ ４１．７　　　　　　　　　　　６２ ：６１ 暮　　　　１ ゛　６←→ 第１３図 Ｂ ＼ 第１４図 第１５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　複数の収納物を収納する固定棚と、 該固定棚の前面に移動自在に設けられた移載装置を有し
   てなり、 前記移載装置の走行駆動部が前記固定棚の下部に設けら
   れていることを特徴とする、 収納物移載保管装置。