JP7427168B2 - ガラス板製造方法及びガラス板製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、ガラス板の製造方法及びその製造装置に関する。

ガラス板は、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の薄型表示機器やセンサの基板、あるいは固体撮像素子やレーザーダイオード等の半導体パッケージ用カバー、さらには薄膜化合物太陽電池の基板等に使用される。

この種のガラス板の製造工程では、元になる複数枚のガラス板を保護シートと交互に積層した状態で輸送した後、その積層体から１枚ずつガラス板を取り出して後工程に搬送することが行われている。その具体例として、特許文献１には、パレットの背板に傾斜姿勢で立て掛け支持された積層体から、最前列の第一ガラス板と共にその第一ガラス板の前側に存する前側保護シートを受け渡しパッドにより吸着保持して引き離すことが開示されている。

また、同文献には、第一ガラス板と前側保護シートを積層体から引き離す前に、押え部材によって、前側保護シートの上端部及び後側保護シートの上端部並びにそれらの後方に存する保護シートの上端部を押えることで、それらの上端部が前方に向かって倒れないようにすることが開示されている。押え部材の先端の押え部分は、可撓性を有するブラシ等で構成される。

特開２０１９－１０４５６６号公報

特許文献１に開示の押え部材は、積層体が載置されたパレットが準備されると、最初に積層体の上方に移送され、保護シートの上端部を前側に倒れないように押えるようになっている（同文献の段落００４４、図５（ａ）を参照）。

しかしながら、保護シートの上端部等の食み出し部は、押え部材で押える前に既に前側に倒れている場合もある。また、食み出し部が前側に倒れている場合、その態様も不規則である。したがって、積層体の上方に押え部材を単に移送させるだけでは、食み出し部を確実に押えることが難しいという問題がある。そして、食み出し部が確実に押えられていないと、保護シートが邪魔になってガラス板の取り出し作業を円滑に行えないおそれがある。

本発明は、ガラス板の取り出し作業を円滑に行うことを課題とする。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、傾斜姿勢のガラス板と、傾斜姿勢の保護シートとを前後方向に積層して含み、かつ、保護シートが、ガラス板から食み出す食み出し部と、ガラス板と重なる重なり部とを有する積層体から、最前列の第一ガラス板を順次取り出すガラス板製造方法であって、第一ガラス板の取り出しに関連して、重なり部外の押え位置で押え部材によって食み出し部を押える押え工程を備え、押え工程では、押え部材を、第一ガラス板の前面に沿って、押え位置の前方側に位置する中間位置よりも重なり部寄りの初期位置から中間位置まで移動させる第一工程と、中間位置に存する押え部材を、押え位置に向かって後方側に移動させて食み出し部を押える第二工程とを含むことを特徴とする。

このようにすれば、保護シートの食み出し部が前側に倒れている場合であっても、押え部材が、押え工程の第一工程で第一ガラス板の前面に沿って移動する過程で、食み出し部の前側に倒れている部分と接触する。この状態で、押え部材が第一ガラス板の前面に沿ってさらに中間位置側に移動すると、食み出し部の前側に倒れている部分が押え部材によって持ち上げられ、その前側への倒れが矯正される。そして、このように倒れが矯正された食み出し部であれば、押え工程の第二工程において、中間位置に存する押え部材を押え位置に向かって後方側に移動させることで、確実に押えることができる。したがって、食み出し部が前側へ倒れている場合でも保護シートを確実に押え、ガラス板の取り出し作業を円滑に行うことが可能となる。

上記の構成において、押え部材は、第一ガラス板を取り出す前に、第一ガラス板の前側に存する保護シート（前側保護シート）の食み出し部を押えてもよい。

このようにすれば、第一ガラス板を取り出す前に、前側保護シートの食み出し部を押え部材で確実に押えることができる。このため、取り出し用の保持部材等を前側保持部材に対して正確に位置決めできる。

上記の構成において、押え部材は、第一ガラス板を取り出す際に、第一ガラス板の後側に存する保護シート（後側保護シート）の食み出し部を押えてもよい。

このようにすれば、第一ガラス板を取り出す際に、後側保護シートの食み出し部を押え部材で確実に押えることができる。このため、取り出し用の保持部材等により、第一ガラス板を、後側保護シートと確実に分離して取り出すことができる。

上記の構成において、初期位置は、重なり部内に位置することが好ましい。

このようにすれば、初期位置が、保護シートの食み出し部の前側への倒れの影響の少ない位置となる。つまり、このような初期位置から押え部材の移動を開始させると、食み出し部の前側に倒れている部分に押え部材を潜り込ませて持ち上げ易くなる。この結果、食み出し部の前側への倒れをより確実に矯正できる。

上記の構成において、押え部材は、第一ガラス板の上端縁から上側に食み出している保護シートの上端部を押えることが好ましい。

保護シートの上端部は、重力の影響を受けて前側に倒れ易いため、前側への倒れを矯正できる本発明が特に有用となる。

上記の構成において、押え部材は、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側で、保護シートの上端部を押えることが好ましい。

このようにすれば、保護シートの上端部の動き（前側又は後側への倒れ）が、第一ガラス板の上端縁によってある程度規制されるため、押え部材により保護シートを押え易くなる。

上記の構成において、押え部材が、保護シートを吸着保持する吸着パッドを備えることが好ましい。

このようにすれば、押え部材で保護シートを押えている状態で、両者の間で滑りが生じ難いため、押え部材によって保護シートを確実に押えることができる。

押え部材が吸着パッドを備える場合、第二工程では、吸着パッドを移動させながら、吸着パッドの吸着面の傾きを変化させることが好ましい。

このようにすれば、食み出し部が後側に倒れている場合でも、食み出し部を確実に押えることができる。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、傾斜姿勢のガラス板と、傾斜姿勢の保護シートとを前後方向に積層して含み、かつ、保護シートが、ガラス板から食み出す食み出し部と、ガラス板と重なる重なり部とを有する積層体から、最前列の第一ガラス板を順次取り出すガラス板製造装置であって、第一ガラス板の取り出しに関連して、重なり部外の押え位置で食み出し部を押える押え部材と、押え部材を、第一ガラス板の前面に沿って、押え位置の前方側に位置する中間位置よりも重なり部寄りの初期位置から中間位置まで移動させる第一移動機構と、食み出し部を押えるために、中間位置に存する押え部材を、押え位置に向かって後方側に移動させる第二移動機構とを備えることを特徴とする。

このようにすれば、既に述べた対応する構成と同様の作用効果を享受できる。

本発明によれば、ガラス板の取り出し作業を円滑に行うことができる。

本発明の第一実施形態に係るガラス板製造方法及びそれを実施するための製造装置を示す側面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す要部拡大正面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス板製造方法の手順（押え工程）を示す要部拡大側面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す要部拡大正面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す要部拡大正面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す要部拡大正面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す要部拡大正面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す要部拡大正面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す側面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラス板製造方法の手順を示す側面図である。 本発明の第二実施形態に係るガラス板製造方法及びそれを実施するための製造装置を示す要部拡大側面図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。なお、各実施形態において対応する構成要素には同一符号を付すことにより、重複する説明を省略する場合がある。各実施形態において構成の一部分のみを説明している場合、当該構成の他の部分については、先行して説明した他の実施形態の構成を適用することができる。また、各実施形態の説明において明示している構成の組み合わせばかりではなく、特に組み合わせに支障が生じなければ、明示していなくても複数の実施形態の構成同士を部分的に組み合わせることができる。

（第一実施形態）
図１は、本発明の第一実施形態に係るガラス板製造装置１を示す側面図である。同図における左方向が前方側であって右方向が後方向である。同図に示すように、パレット２の床板２ａ上には、前後方向に保護シート３とガラス板４とが交互に積層された積層体５が載置されている。積層体５は、パレット２の背板２ｂに傾斜姿勢で立て掛け支持されている。このため、保護シート３及びガラス板４も傾斜姿勢となっている。

図２に示すように、保護シート３の上端部３ａは、ガラス板４の上端縁４ａから上側に食み出しており、保護シート３の幅方向両端部３ｂは、ガラス板４の幅方向両端縁４ｂからそれぞれ幅方向外側に食み出している。つまり、保護シート３のうち、上端部３ａ及び幅方向両端部３ｂが、ガラス板４から食み出す食み出し部となる。一方、保護シート３のうち、上端部３ａ及び幅方向両端部３ｂを除く部分が、ガラス板４と重なる重なり部３ｃとなる。

保護シート３の上端部３ａの食み出し寸法は、例えば４０～８０ｍｍとされ、保護シート３の幅方向端部３ｂの食み出し寸法は、例えば４０～１５０ｍｍとされる。

保護シート３は、発泡樹脂シート等の合成樹脂、紙等とされる。発泡樹脂シートとしては、例えば、材質がポリエチレン等であって、厚みが０．１～０．５ｍｍ、発泡倍率が５～２０倍のものを使用できる。保護シート３は、皺の発生を抑制する観点から伸縮性を有することが好ましい。

ここで、図１～図２、図４～図１０では、保護シート３及びガラス板４を簡略化しているが、保護シート３の上端部３ａや幅方向端部３ｂは前側又は後側へ倒れる場合もある。以下の説明においては、積層体５における最前列のガラス板４を第一ガラス板といい、最前列のガラス板４の前側に存する保護シート３を前側保護シートといい、最前列のガラス板４の後側に存する保護シート３を後側保護シートという。

図１～図１０に示すように、この製造装置１は、後側保護シート３の食み出し部の一部が露出した状態になるように前側保護シート３をめくるめくり用吸着部材６と、保護シート３の食み出し部を押える押え部材７と、第一ガラス板４と共に前側保護シート３を保持して積層体５から引き離す保持部材８と、保持部材８によって積層体５から引き離された第一ガラス板４及び前側保護シート３を吊り下げ支持するチャック９とを備える。

図１、図４～図１０に示すように、めくり用吸着部材６は、前側保護シート３の重なり部３ｃを吸着保持する第一吸着パッド６ａと、前側保護シート３の食み出し部を吸着保持する第二吸着パッド６ｂとを別々に備える。第一吸着パッド６ａの保持エリアと、第二吸着パッド６ｂの保持エリアとは、互いに離れて独立している。

本実施形態では、図４に示すように、第一吸着パッド６ａは、第一ガラス板４の上側角部４ｃの近傍で、前側保護シート３の重なり部３ｃの上部を吸着保持し、第二吸着パッド６ｂは、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側で、前側保護シート３の上端部３ａを吸着保持するようになっている。

図６に示すように、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂは、後側保護シート３の上端部３ａのうち、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側に位置する部分が露出するように、前側保護シート３をめくるようになっている。なお、第一ガラス板４に対する前側保護シート３の位置ずれを抑制する観点からは、後側保護シート３の露出部Ｘの面積は小さいことが好ましい。つまり、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂによる前側保護シート３のめくり動作により、後側保護シート３の上端部３ａの幅方向中央部は露出させないことが好ましい。この場合、露出部Ｘは、例えば、後側保護シート３の上側角部を含む三角形状の領域となる。

第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂは、前側保護シート３をめくる際に、前側保護シート３を吸着保持した状態で、前方かつ幅方向内側に向かって斜めに移動するようになっている。なお、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂの移動方向は、後側保護シート３に露出部Ｘが形成される限り、特に限定されない。例えば、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂの移動方向は、前方のみ、下方のみ、幅方向内側のみ、あるいは、前方・下方・幅方向内側のうちの少なくとも２方向を含む方向であってもよい。

図１～図４、図７～図１０に示すように、押え部材７は、重なり部３ｃ外の押え位置Ｌ１で、保護シート３の食み出し部を吸着保持する第三吸着パッド７ａを備える。また、本実施形態では、図３に示すように、押え部材７は、第三吸着パッド７ａの側面を取り囲むポリ塩化ビニル等の低摩擦材料から形成された筒状のガイド部７ｂをさらに備える。

図３では、第三吸着パッド７ａが、前側保護シート３を押える場合を例示しているが、第三吸着パッド７ａは、前側保護シート３を押える場合（図２～図４を参照）と、後側保護シート３を押える場合（図７～図１０を参照）とにそれぞれ使用される。いずれの場合も、押える対象となる保護シート３が異なるだけで、第三吸着パッド７ａの動作は実質的に同じである。

図２、図７に示すように、第三吸着パッド７ａは、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側で、前側保護シート３又は後側保護シート３の上端部３ａを吸着保持するようになっている。

第三吸着パッド７ａは、図示しない第一移動機構及び第二移動機構により移動可能とされている。図３に示すように、第一移動機構は、第三吸着パッド７ａを、第一ガラス板４の前面に沿って、押え位置Ｌ２の前方側に位置する中間位置Ｌ１よりも重なり部３ｃ寄りの初期位置Ｌ０から中間位置Ｌ１まで上昇移動させる（矢印Ａの動作）。第二移動機構は、前側保護シート３又は後側保護シート３の上端部３ａを押えるために、中間位置Ｌ１に存する押え部材７を、押え位置Ｌ２に向かって後方側に移動させる（矢印Ｂ，Ｃの動作）。ここで、本実施形態では、初期位置Ｌ０及び中間位置Ｌ１は、第一ガラス板３ａの前面よりも前方側に位置し、押え位置Ｌ２は、第一ガラス板３ａの前面よりも後方側に位置する。なお、矢印Ａの動作は、正面からみると、図２又は図７に示すような態様となる。矢印Ａの動作方向は、側面からみた場合に、第一ガラス板４の前面と完全に平行である必要はなく、第一ガラス板４の前面と平行な方向に対して前後方向のいずれかに傾斜していてもよい。同様に、矢印Ｂの動作方向も、側面からみた場合に、積層体５の積層方向（パレット２の床板２ａの傾斜方向）と完全に平行である必要はなく、積層方向と平行な方向に対して上下方向のいずれかに傾斜していてもよい。

第一移動機構によって第三吸着パッド７ａを第一ガラス板４の前面に沿って上昇移動させる際、第三吸着パッド７ａの吸着面は、第一ガラス板４の前面と平行な状態を維持する。この際、保護シート３の上端部３ａが前側に倒れていても、保護シート３の上端部３ａが第三吸着パッド７ａの側面と直接接触せず、ガイド部７ｂと接触する。ガイド部７ｂは低摩擦材料で構成されているため、保護シート３との間に適度な滑りが維持される。このため、第三吸着パッド７ａの上昇移動を円滑に行うことができる。なお、第一移動機構による上昇動作の際の第三吸着パッド７ａの吸着面の向きは特に限定されない。また、ガイド部７ｂは、必須の構成ではなく省略してもよい。

第二移動機構は、矢印Ｃに示すように、第三吸着パッド７ａを移動させながら、第三吸着パッド７ａの吸着面の角度を変化させる。本実施形態では、第三吸着パッド７ａの吸着面は、第一ガラス板４の前面と平行な状態から、第一ガラス板４の上端縁４ａ側に接近するように後側に傾く。第三吸着パッド７ａの吸着面の最終的な角度は、保護シート３の上端部３ａの状態をセンサ等で検知して自動調整してもよいし、保護シート３の上端部３ａの状態を作業者が目視等で確認して手動調整するようにしてもよい。なお、保護シート３の上端部３ａが後側に倒れている場合にのみ、第三吸着パッド７ａの吸着面の角度を変化させるようにしてもよい。つまり、保護シート３の上端部３ａが前側に倒れている場合には、第三吸着パッド７ａの吸着面は、角度を変化させることなく、第一ガラス板４の前面と平行な状態のままでもよい。保護シート３の上端部３ａは、積層体５の積層枚数が多い場合に後側に倒れる傾向があり、積層体５の積層枚数が少ない場合に前側に倒れる傾向がある。

初期位置Ｌ０は、重なり部３ｃ内、つまり、第一ガラス板４の上端縁４ａよりも下方であることが好ましい。なお、初期位置Ｌ０は、中間位置Ｌ１（押え位置Ｌ２）よりも下方であれば、第一ガラス板４の上端縁４ａよりも上方であってもよい。

初期位置Ｌ０に位置する第三吸着パッド７ａは、第一ガラス板４の前面から前方に１０～２０ｍｍ離れていることが好ましい。また、中間位置Ｌ１に位置する第三吸着パッド７ａは、第一ガラス板４の前面と平行な方向に第一ガラス板４の上端縁４ａから上方に３０～４０ｍｍ離れていることが好ましい。

第一移動機構及び第二移動機構は、単一の機構であってもよいし別々の機構であってもよい。具体的には、単一の機構とする場合、例えば、マニピュレータで構成され、別々の機構とする場合、例えば、複数の送り機構を組み合わせて構成される。

図１、図４～図１０に示すように、保持部材８は、第一ガラス板４及び前側保護シート３の重なり部３ｃを同時に吸着保持する第四吸着パッド８ａを備える。

第四吸着パッド８ａは、図示は省略するが、前側保護シート３に通気用の貫通部を形成すると共に、その貫通部を介して第一ガラス板４に負圧を作用させ、第一ガラス板４及び前側保護シート３を同時に吸着保持するようになっている。

第四吸着パッド８ａは、第一吸着パッド６ａが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアよりも下方で、前側保護シート３の重なり部３ｃの上部と、第一ガラス板４の上部とを吸着保持するようになっている。

図９に示すように、第四吸着パッド８ａは、第一ガラス板４と前側保護シート３とを吸着保持した状態で、前方（又は前方かつ上方）に移動するようになっている。この際、第一ガラス板４の下端縁４ｄは、パレット２の床板２ａに接地していてもよいし、パレット２の床板２ａから離れていてもよい。

第四吸着パッド８ａが第一ガラス板４及び前側保護シート３を吸着保持する保持エリアは、第一吸着パッド６ａが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアよりも大きい。同様に、第四吸着パッド８ａが第一ガラス板４及び前側保護シート３を吸着保持する保持エリアは、第二吸着パッド６ｂが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアよりも大きい。なお、第一ガラス板４及び前側保護シート３を安定した搬送できる態様であれば、各保持エリアの大小関係はこれに限定されない。

図９、図１０に示すように、チャック９は、受け渡し位置Ｐで、第四吸着パッド８ａによって搬送された第一ガラス板４及び前側保護シート３の上端部を把持することで、これらを吊り下げ支持して後工程に搬送するようになっている。受け渡し位置Ｐは、図示例のようにパレット２上であってもよいし、パレット２から前方や側方等に離れた位置であってもよい。

ここで、図２、図４～図８では、積層体５の幅方向一方側の半領域を図示し、この半領域におけるめくり用吸着部材６、押え部材７及び保持部材８の動作を例示している。なお、積層体５の幅方向他方側の半領域についても、幅方向一方側の半領域と対称となるように、めくり用吸着部材６、押え部材７及び保持部材８を配置してもよい。あるいは、積層体５の幅方向他方側の半領域には、めくり用吸着部材６等の代わりに作業者を配置し、幅方向一方側の半領域に配置されためくり用吸着部材６、押え部材７及び保持部材８の動作を補助するようにしてもよい。

次に、上記の構成を備えた製造装置１を用いたガラス板製造方法を説明する。この製造方法は、第一押え工程と、めくり工程と、第二押え工程と、分離工程と、搬送工程とをこの順に含む。

（第一押え工程）
図２に示すように、第一押え工程は、第三吸着パッド７ａにより、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側で、前側保護シート３の上端部３ａを吸着保持して押える工程である。これにより、第三吸着パッド７ａの保持エリアのシート状態が安定し易くなるため、前側保護シート３の上端部３ａを確実に吸着保持できる。なお、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向外側では、第一ガラス板４の上端縁４ａによる前側保護シート３の動きの規制が弱くなるため、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側に比べてシート状態が不安定になり易い。

図３の矢印Ａに示すように、第一押え工程では、まず、第三吸着パッド７ａが、第一ガラス板４の前面に沿って、押え位置Ｌ２の前方側に位置する中間位置Ｌ１よりも重なり部３ｃ寄りの初期位置Ｌ０から中間位置Ｌ１まで上昇移動する（第一工程）。その後、同図の矢印Ｂ，Ｃに示すように、中間位置Ｌ１に存する第三吸着パッド７ａが、前側保護シート３の上端部３ａを押えるために、押え位置Ｌ２に向かって後方側に移動する（第二工程）。このようにすれば、前側保護シート３の上端部３ａが前側に倒れている場合であっても、第一工程で、第三吸着パッド７ａが第一ガラス板４の前面に沿って上昇移動する過程で、前側保護シート３の上端部３ａの前側に倒れている部分を第三吸着パッド７ａにより持ち上げ、その倒れを矯正できる。そして、第二工程において、中間位置Ｌ１に存する第三吸着パッド７ａが前後移動する過程で、前側への倒れが矯正された前側保護シート３の上端部３ａを確実に吸着保持して押えることができる。

第二工程では、第三吸着パッド７ａは、矢印Ｂの動作により前後方向に沿って直進移動した後に、矢印Ｃの動作によりその吸着面の角度を変化させながら移動する。このようにすれば、前側保護シート３の上端部３ａが後側に倒れている場合でも、その上端部３ａに倣うように第三吸着パッド７ａの吸着面の角度を調整できる。このため、第一工程の矢印Ａの上昇動作と併せれば、前側保護シート３の上端部３ａが前後いずれに向かって倒れている場合でも、第三吸着パッド７ａで上端部３ａを確実に吸着保持して押えることができる。

なお、第一工程では第三吸着パッド７ａの吸着力を作用させない状態（吸着オフ状態）とし、第二工程では第三吸着パッド７ａの吸着力を作用させた状態（吸着オン状態）とすることが好ましい。このようにすれば、第一工程で、押え部材７で保護シート３を持ち上げる際に、第三吸着パッド７ａが保護シート３の不要な位置で吸着するのを防止できる。

（めくり工程）
図４～図８に示すように、めくり工程は、後側保護シート３の上端部３ａのうち、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側に位置する部分が露出するように、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂにより、前側保護シート３をめくる工程である。

図４に示すように、めくり工程では、第三吸着パッド７ａで前側保護シート３の上端部３ａを吸着保持した状態で、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂで前側保護シート３を吸着保持すると共に、第四吸着パッド８ａで前側保護シート３及び第一ガラス板４を吸着保持する。

詳細には、第二吸着パッド６ｂは、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側で、前側保護シート３の上端部３ａを吸着保持する。これにより、第二吸着パッド６ｂの保持エリアのシート状態が安定し易くなるため、前側保護シート３の上端部３ａを確実に吸着保持できる。

第二吸着パッド６ｂが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアは、第三吸着パッド７ａが前側保護シート３（又は後側保護シート３）を吸着保持する保持エリアよりも幅方向内側に位置している。これにより、めくり工程で、第二吸着パッド６ｂを幅方向内側に移動させても、第二吸着パッド６ｂと第三吸着パッド７ａとが互いに干渉し難くなる。

第一吸着パッド６ａが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアは、第四吸着パッド８ａが第一ガラス板４及び前側保護シート３を吸着保持する保持エリアよりも幅方向外側に位置する部分を有する。これにより、第一吸着パッド６ａが、第四吸着パッド８ａよりも幅方向外側で前側保護シート３を吸着保持できる。このため、めくり工程で、第一ガラス板４及び前側保護シート３を吸着保持した第四吸着パッド８ａを定位置で静止させた状態でも、第一吸着パッド６ａを幅方向内側に移動させて、前側保護シート３をめくり易くなる。なお、本実施形態では、第二吸着パッド６ｂが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアは、第一吸着パッド６ａが前側保護シート３を吸着保持する保持エリアよりも幅方向内側に位置する。

図５に示すように、めくり工程では、第一吸着パッド６ａ、第二吸着パッド６ｂ及び第四吸着パッド８ａによる吸着保持が完了した段階で、第三吸着パッド７ａは、前側保護シート３の吸着保持を解除して前側保護シート３から離れる。

図６に示すように、めくり工程では、第三吸着パッド７ａが離れた後、前側保護シート３及び第一ガラス板４を吸着保持した第四吸着パッド８ａを定位置で静止させた状態で、前側保護シート３を吸着保持した第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂを移動させる。これにより、後側保護シート３の上端部３ａのうち、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側に位置する部分が露出するように、前側保護シート３がめくられる。この結果、後側保護シート３において、露出部Ｘが形成される。このようにすれば、前側保護シート３の重なり部３ｃ及び上端部３ａのそれぞれが、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂにより、別々に吸着保持される。つまり、第一吸着パッド６ａの姿勢や吸着力の大きさ等を前側保護シート３の重なり部３ｃの状態に応じて適正化しつつ、第二吸着パッド６ｂの姿勢や吸着力の大きさ等を前側保護シート３の上端部３ａの状態に応じて適正化できる。したがって、前側保護シート３の重なり部３ｃ及び上端部３ａを同時に安定して保持できるため、めくり工程において、前側保護シート３が、不当に折れ曲がったり他部材に引っ掛かったりする等の不具合を確実に抑制できる。

（第二押え工程）
図７に示すように、第二押え工程は、露出した後側保護シート３の上端部３ａを、第三吸着パッド７ａにより、第一ガラス板４の上側角部４ｃよりも幅方向内側で吸着保持して押える工程である。

詳細には、第二押え工程では、第三吸着パッド７ａで吸着保持する対象が後側保護シート３の上端部３ａに代わる点を除き、押え部材７の基本的な動作は上述の第一押え工程と実質的に同じである。つまり、図示は省略するが、第三吸着パッド７ａは、第一移動機構（図示省略）により、第一ガラス板４の前面に沿って、押え位置Ｌ２の前方側に位置する中間位置Ｌ１よりも重なり部３ｃ寄りの初期位置Ｌ０から中間位置Ｌ１まで上昇移動する（第一工程）。その後、第三吸着パッド７ａは、第二移動機構（図示省略）により、後側保護シート３の上端部３ａを押えるために、中間位置Ｌ１から押え位置Ｌ２に向かって後方側に移動する（第二工程）。なお、第一押え工程で前側保護シート３を押える押え位置Ｌ２と、第二押え工程で後側保護シート３を押える押え位置Ｌ２とは、同じ位置であってもよいし、異なる位置であってもよい。

なお、本実施形態では、図８に示すように、第三吸着パッド７ａが上述のように後側保護シート３の上端部３ａを吸着保持して押えた後、その状態を維持したまま、前側保護シート３を吸着保持した第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂを元の位置に戻す。この動作により、後側保護シート３を吸着保持した第三吸着パッド７ａは、図中に点線で示すように、前側保護シート３の後側に隠れる場合がある。

（分離工程）
図９に示すように、分離工程は、第一ガラス板４及び前側保護シート３を積層体５から引き離す工程である。

詳細には、分離工程では、第三吸着パッド７ａで後側保護シート３の上端部３ａを吸着保持して押えた状態で、第一ガラス板４及び前側保護シート３を吸着保持した第四吸着パッド８ａを移動させる。これにより、第一ガラス板４及び前側保護シート３を積層体５から引き離す。

本実施形態では、第一ガラス板４及び前側保護シート３を積層体５から引き離す際、前側保護シート３を吸着保持した第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂも、第四吸着パッド８ａと共に同方向に移動する。つまり、第四吸着パッド８ａによって第一ガラス板４及び前側保護シート３を搬送する際に、前側保護シート３が、第一吸着パッド６ａ及び第二吸着パッド６ｂにより補助的に吸着保持される。これにより、第一ガラス板４及び前側保護シート３を同時に積層体５から円滑に引き離すことができる。

（搬送工程）
図１０に示すように、搬送工程は、チャック９によって第一ガラス板４及び前側保護シート３を把持して搬送する工程である。

搬送工程では、第一吸着パッド６ａ、第二吸着パッド６ｂ及び第四吸着パッド８ａにより、第一ガラス板４及び前側保護シート３を受け渡し位置Ｐまで搬送する。受け渡し位置Ｐでは、チャック９により、第一吸着パッド６ａ、第二吸着パッド６ｂ及び第四吸着パッド８ａによって吸着保持された第一ガラス板４及び前側保護シート３の上端部を把持する。これにより、第一ガラス板４及び前側保護シート３が、チャック９に受け渡される。この受け渡しが完了すると、チャック９により、第一ガラス板４及び前側保護シート３を後工程まで搬送する。

上記の受け渡し位置Ｐにおける受け渡しの際、第二吸着パッド６ｂの吸着保持は、チャック９で第一ガラス板４及び前側保護シート３の上端部を把持する前に解除される。一方、第一吸着パッド６ａ及び第四吸着パッド８ａの吸着保持は、チャック９で第一ガラス板４及び前側保護シート３の上端部を把持した後に解除される。つまり、第二吸着パッド６ｂの吸着保持が、第一吸着パッド６ａの吸着保持よりも先に解除される。これにより、チャック９で把持する前に、前側保護シート３の弾性により、前側保護シート３の上端部の皺が低減する。なお、皺が発生した状態のまま前側保護シート３の上端部をチャック９で把持すれば、後工程で不具合の原因となる前側保護シート３の破れ等が生じるおそれがある。

なお、チャック９は、後工程で、姿勢変換装置（図示省略）に前側保護シート３と第一ガラス板４とを受け渡す。姿勢変換装置は、前側保護シート３の上に第一ガラス板４が載置された水平姿勢となるように姿勢変換をした後、搬送コンベアに受け渡す。そして、前側保護シート３の上に第一ガラス板４が載置された状態の下で、第一ガラス板４にスクライブを入れる工程と、そのスクライブに沿って折り割りをする工程とが実行される。その後、前側保護シート３が第一ガラス板４から離れ、第一ガラス板４に対する端面加工や洗浄等が行われる。

以上のような動作は、後続のガラス板４及び保護シート３についても同様に行われる。このようにして、ガラス板４の製造ラインでの取り出しから洗浄等までの各工程が実行される。

（第二実施形態）
図１１に示すように、本発明の第二実施形態に係るガラス板製造装置１及びガラス板製造方法では、押え工程における押え部材７の第三吸着パッド７ａの動作が、第一実施形態とは異なる。

第二実施形態では、第三吸着パッド７ａを、第一移動機構（図示省略）により、矢印Ｄに示すように、第一ガラス板４の前面に沿って、押え位置Ｌ２の前方側に位置する中間位置Ｌ１よりも重なり部３ｃ寄りの初期位置Ｌ０から中間位置Ｌ１まで上昇移動させる（押え工程の第一工程）。その後、第二移動機構（図示省略）により、保護シート３の上端部３ａを押えるために、矢印Ｅ，Ｆ，Ｇに示すように、中間位置Ｌ１に存する第三吸着パッド７ａを、押え位置Ｌ２に向かって後方側に移動させる（押え工程の第二工程）。

第一工程では、矢印Ｄの動作の際に、第三吸着パッド７ａの吸着面は、上方を向いている。一方、第二工程では、矢印Ｅの動作の際に、第三吸着パッド７ａの吸着面は、上方を向いた状態から第一ガラス板４の前面と平行な状態に変化する。次に、矢印Ｆの動作の際は、第三吸着パッド７ａの吸着面は、第一ガラス板４の前面と平行な状態を維持する。その後、矢印Ｇの動作の際に、第三吸着パッド７ａの吸着面は、第一ガラス板４の前面と平行な状態から、第一ガラス板４の上端縁４ａ側に接近するように後側に傾く。

このようにすれば、第一実施形態と同様、前側保護シート３の上端部３ａが前後いずれに向かって倒れている場合でも、第三吸着パッド７ａで上端部３ａを確実に吸着保持して押えることができる。

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記の実施形態において、押え部材７の第三吸着パッド７ａは、前側保護シート３及び／又は後側保護シート３の幅方向端部３ｂを吸着保持してもよい。この場合、第一移動機構によって、第三吸着パッド７ａを、第一ガラス板４の前面に沿って、押え位置の前方側に位置する中間位置よりも重なり部３ｃ寄りの位置（例えば、第一ガラス板４の幅方向端縁４ｂの内側）から中間位置まで幅方向移動させる。その後、第二移動機構によって、中間位置に存する第三吸着パッド７ａを、押え位置に向かって後方側に移動させる。

上記の実施形態では、押え部材７が、前側保護シート３及び後側保護シート３のそれぞれを上述した同一の動作により押える構成である場合を説明したが、押え部材７は、前側保護シート３及び後側保護シート３のいずれか一方のみを、上述した動作により押える構成であってもよい。この場合、残りの他方を、同一の押え部材７により上述した動作とは異なる動作（例えば第二工程の前後移動のみ）で押えてもよいし、別の押え部材で押えるようにしてもよい。

上記の実施形態では、第四吸着パッド８ａが、前側保護シート３に通気用の貫通部を形成する場合を説明したが、第四吸着パッド８ａとは別に、前側保護シート３に通気用の貫通部を形成する穿孔用部材を設けてもよい。また、前側保護シート３が通気性を有する材質の場合、前側保護シート３に通気用の貫通部を形成するための構成は省略してもよい。

上記の実施形態において、第二吸着パッド６ｂは、保護シート３の幅方向端部３ｂを吸着保持してもよい。

上記の実施形態において、第一吸着パッド６ａ、第二吸着パッド６ｂ、第三吸着パッド７ａ、及び第四吸着パッド８ａは、吸着パッド以外にも、サイクロンタイプやベルヌーイタイプ等の非接触チャックなどの吸着部材であってもよい。

上記の実施形態において、押え部材７は、前側保護シート３及び後側保護シート３を押えることができれば、吸着機構を備えていなくてもよい。

なお、本発明は、以下の発明も含む。

（１） 傾斜姿勢のガラス板と、傾斜姿勢の保護シートとを前後方向に積層して含み、かつ、保護シートが、ガラス板から食み出す食み出し部と、ガラス板と重なる重なり部とを有する積層体から、最前列の第一ガラス板と共に第一ガラス板の前側保護シートを順次取り出すガラス板製造方法であって、第一ガラス板の後側保護シートの食み出し部の一部が露出するように、めくり用吸着部材で前側保護シートをめくるめくり工程と、めくり工程で露出した後側保護シートの食み出し部を押え部材で押えた状態で、第一ガラス板と共に前側保護シートを保持部材で保持して積層体から引き離す分離工程とを備え、めくり用吸着部材が、第一吸着部材と第二吸着部材とを有し、めくり工程では、第一吸着部材で前側保護シートの重なり部を吸着保持すると共に、第二吸着部材で前側保護シートの食み出し部を吸着保持することを特徴とする。

このようにすれば、めくり工程において、前側保護シートの重なり部及び食み出し部のそれぞれが、第一吸着部材及び第二吸着部材により、別々に吸着保持される。つまり、第一吸着部材の姿勢や吸着力の大きさ等を前側保護シートの重なり部の状態に応じて適正化しつつ、第二吸着部材の姿勢や吸着力の大きさ等を前側保護シートの食み出し部の状態に応じて適正化できる。したがって、前側保護シートの重なり部及び食み出し部を同時に安定して保持できるため、めくり工程において、前側保護シートが、不当に折れ曲がったり他部材に引っ掛かったりする等の不具合を確実に抑制できる。この結果、分離工程において、押え部材で後側保護シートの食み出し部を押えた状態で、保持部材により、第一ガラス板及び前側保護シートを同時に積層体から円滑に引き離すことができる。

（２） 上記の（１）において、後側保護シートの食み出し部を押え部材で押えた後、かつ、第一ガラス板及び前側保護シートを保持部材で保持して積層体から引き離す前に、前側保護シートを吸着保持した第一吸着部材及び第二吸着部材を、めくり工程において前側保護シートをめくる前の位置に戻すことが好ましい。

このようにすれば、第一ガラス板に対する前側保護シートの位置関係の狂いが生じ難い状態で、保持部材により、第一ガラス板及び前側保護シートを同時に積層体から引き離すことができる。

（３） 上記の（１）又は（２）において、分離工程では、前側保護シートを第一吸着部材及び第二吸着部材で吸着保持すると共に、第一ガラス板及び前側保護シートを保持部材で保持した状態で、前側保護シート及び第一ガラス板が積層体から引き離される方向に、第一吸着部材、第二吸着部材及び保持部材を移動させることが好ましい。

このようにすれば、第一ガラス板及び前側保護シートを積層体から引き離す際も、前側保護シートの重なり部と食み出し部とが保持されるため、第一ガラス板に対する前側保護シートの位置関係の狂いがより生じ難くなる。

（４） 上記の（１）～（３）のいずれか１つにおいて、第二吸着部材が前側保護シートを吸着保持する保持エリアが、押え部材が後側保護シートを押える押えエリアよりも幅方向内側に位置することが好ましい。

このようにすれば、第二吸着部材を幅方向内側に移動させても、押え部材と干渉し難くなる。したがって、めくり工程等における第二吸着部材の移動態様の自由度が高まるため、装置構成及び／又は装置動作を簡素化できる。

（５） 上記の（１）～（４）のいずれか１つにおいて、第二吸着部材が吸着保持する前側保護シートの食み出し部が、第一ガラス板の上端縁から上側に食み出している前側保護シートの上端部のうち、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側に位置する部分であることが好ましい。

第一ガラス板の上側角部よりも幅方向外側では、第一ガラス板の上端縁による前側保護シートの動き（例えば後方への倒れ込み）の規制が弱くなるため、シート状態が不安定になり易い。これに対し、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側では、第一ガラス板の上端縁による前側保護シートの動きがある程度規制されるため、シート状態が安定し易い。したがって、第二吸着部材は、上記の構成のように、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側において、前側保護シートの食み出し部を吸着保持することが好ましい。これにより、前側保護シートの食み出し部を確実に吸着保持できる。

（６） 上記の（１）～（５）のいずれか１つにおいて、押え部材が押さえる後側保護シートの食み出し部が、第一ガラス板の上端縁から上側に食み出している後側保護シートの上端部のうち、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側に位置する部分であることが好ましい。

つまり、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向外側では、第一ガラス板の上端縁による後側保護シートの動き（例えば前方又は後方への倒れ込み）の規制が弱くなるため、シート状態が不安定になり易い。これに対し、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側では、第一ガラス板の上端縁による後側保護シートの動きがある程度規制されるため、シート状態が安定し易い。したがって、押え部材は、上記の構成のように、第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側において、後側保護シートの食み出し部を押えることが好ましい。これにより、後側保護シートの食み出し部を確実に押えることができる。

（７） 上記の（１）～（６）のいずれか１つにおいて、めくり工程では、第一ガラス板及び前側保護シートを吸着した保持部材を定位置で静止させた状態で、前側保護シートを吸着保持した第一吸着部材及び第二吸着部材を移動させることが好ましい。

このようにすれば、前側保護シートをめくる間も、保持部材の保持エリアでは、第一ガラス板及び前側保護シートが定位置で保持され、両者の位置関係は一定に維持される。したがって、めくり工程で、第一ガラス板に対する前側保護シートの位置関係の狂いが生じ難くなる。

（８） 上記の（７）において、第一吸着部材が前側保護シートを吸着保持する保持エリアが、保持部材が第一ガラス板及び前側保護シートを保持する保持エリアよりも幅方向外側に位置する部分を有することが好ましい。

このようにすれば、保持部材により第一ガラス板及び前側保護シートを定位置で静止させた状態でも、後側保護シートの食み出し部が露出するように前側保護シートをめくり易くなる。

（９） 上記の（１）～（８）のいずれか１つにおいて、前側保護シートに通気用の貫通部を形成し、保持部材が、貫通部を介して第一ガラス板に作用する負圧により第一ガラス板を前側保護シートと共に吸着保持することが好ましい。

このようにすれば、保護シートの材質にかかわらず、貫通部によって保護シートに通気性を持たせることができる。したがって、元々は通気性のない保護シートを使用しても、前側保護シートを介して第一ガラス板を確実に吸着保持できる。

（１０） 上記の（１）～（９）のいずれか１つにおいて、押え部材が、後側保護シートを吸着保持することが好ましい。

このようにすれば、押え部材によって、後側保護シートを確実に押えることができる。

（１１） 上記の（１）～（１０）のいずれか１つにおいて、第一吸着部材及び第二吸着部材は、吸着パッドであることが好ましい。

このようにすれば、保護シート及びガラス板の両方を確実に吸着することができる。

（１２） 傾斜姿勢のガラス板と、傾斜姿勢の保護シートとを前後方向に積層して含み、かつ、前記保護シートが、前記ガラス板から食み出す食み出し部と、前記ガラス板と重なる重なり部とを有する積層体から、最前列の第一ガラス板と共に第一ガラス板の前側保護シートを順次取り出すガラス板製造装置であって、第一ガラス板の後側保護シートの食み出し部の一部が露出するように、前側保護シートをめくるめくり用吸着部材と、めくり用吸着部材により露出した後側保護シートの食み出し部を押える押え部材と、第一ガラス板と共に保護シートを保持して積層体から引き離す保持部材とを備え、めくり用吸着部材が、前側保護シートの重なり部を吸着保持する第一吸着部材と、前側保護シートの食み出し部を吸着保持する第二吸着部材とを有することを特徴とする。

このようにすれば、既に述べた対応する構成と同様の作用効果を享受できる。

１ ガラス板製造装置
２ パレット
３ 保護シート
３ａ 上端部（食み出し部）
３ｂ 幅方向端部（食み出し部）
３ｃ 重なり部
４ ガラス板
５ 積層体
６ めくり用吸着部材
６ａ 第一吸着パッド
６ｂ 第二吸着パッド
７ 押え部材
７ａ 第三吸着パッド
８ 保持部材
８ａ 第四吸着パッド
９ チャック
Ｌ０ 初期位置
Ｌ１ 中間位置
Ｌ２ 押え位置

Claims (9)

1. 傾斜姿勢のガラス板と、傾斜姿勢の保護シートとを前後方向に積層して含み、かつ、前記保護シートが、前記ガラス板から食み出す食み出し部と、前記ガラス板と重なる重なり部とを有する積層体から、最前列の第一ガラス板を順次取り出すガラス板製造方法であって、
   前記第一ガラス板の取り出しに関連して、前記重なり部外の押え位置で押え部材によって前記食み出し部を押える押え工程を備え、
   前記押え工程は、前記押え部材を、前記第一ガラス板の前面に沿って、前記押え位置の前方側に位置する中間位置よりも前記重なり部寄りの初期位置から前記中間位置まで移動させる第一工程と、前記中間位置に存する前記押え部材を、前記押え位置に向かって後方側に移動させて前記食み出し部を押える第二工程とを含むことを特徴とするガラス板製造方法。
2. 前記押え部材は、前記第一ガラス板を取り出す前に、前記第一ガラス板の前側に存する前記保護シートの前記食み出し部を押える請求項１に記載のガラス板製造方法。
3. 前記押え部材は、前記第一ガラス板を取り出す際に、前記第一ガラス板の後側に存する前記保護シートの前記食み出し部を押える請求項１又は２に記載のガラス板製造方法。
4. 前記初期位置が、前記重なり部内に位置する請求項１～３のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。
5. 前記押え部材は、前記第一ガラス板の上端縁から上側に食み出している前記保護シートの上端部を押える請求項１～４のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。
6. 前記押え部材は、前記第一ガラス板の上側角部よりも幅方向内側で、前記保護シートの前記上端部を押える請求項５に記載のガラス板製造方法。
7. 前記押え部材が、前記保護シートを吸着保持する吸着パッドを備える請求項１～６のいずれか１項に記載のガラス板製造方法。
8. 前記第二工程では、前記吸着パッドを移動させながら、前記吸着パッドの吸着面の傾きを変化させる請求項７に記載のガラス板製造方法。
9. 傾斜姿勢のガラス板と、傾斜姿勢の保護シートとを前後方向に積層して含み、かつ、前記保護シートが、前記ガラス板から食み出す食み出し部と、前記ガラス板と重なる重なり部とを有する積層体から、最前列の第一ガラス板を順次取り出すガラス板製造装置であって、
   前記第一ガラス板の取り出しに関連して、前記重なり部外の押え位置で前記食み出し部を押える押え部材と、
   前記押え部材を、前記第一ガラス板の前面に沿って、前記押え位置の前方側に位置する中間位置よりも前記重なり部寄りの初期位置から前記中間位置まで移動させる第一移動機構と、
   前記食み出し部を押えるために、前記中間位置に存する前記押え部材を、前記押え位置に向かって後方側に移動させる第二移動機構とを備えることを特徴とするガラス板製造装置。
   

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