JP7408235B2 - processing equipment - Google Patents

Description

本発明は、保持テーブルと、加工ユニットと、を有し、該保持テーブルで保持された板状の被加工物を該加工ユニットで加工する加工装置に関する。 The present invention relates to a processing device that includes a holding table and a processing unit, and uses the processing unit to process a plate-shaped workpiece held by the holding table.

携帯電話やコンピュータ等の電子機器に使用されるデバイスチップや電子部品の製造工程では、半導体ウェーハやセラミックス基板等の板状の被加工物が各種の加工装置で加工される。例えば、ウェーハの表面に互いに交差する複数の分割予定ラインが設定される。ウェーハの表面の分割予定ラインによって区画される各領域には、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ(Large Scale Integration)等のデバイスが形成される。その後、分割予定ラインに沿ってウェーハを分割すると個々のデバイスチップを形成できる。 In the manufacturing process of device chips and electronic components used in electronic devices such as mobile phones and computers, plate-shaped workpieces such as semiconductor wafers and ceramic substrates are processed using various processing devices. For example, a plurality of dividing lines that intersect with each other are set on the surface of the wafer. For example, devices such as ICs (Integrated Circuits) and LSIs (Large Scale Integrations) are formed in each region defined by the dividing line on the surface of the wafer. Thereafter, the wafer is divided along the planned division lines to form individual device chips.

ウェーハ等の被加工物の分割は、例えば、切削ユニットを有する切削装置やレーザ加工ユニットを有するレーザ加工装置等の加工装置で実施される。加工装置は、被加工物を撮像する撮像ユニットを備える。切削ユニットまたはレーザ加工ユニット等の加工ユニットにより被加工物を分割予定ラインに沿って加工する際、予め撮像ユニットで被加工物の表面側が撮像される。そして、分割予定ラインの位置及び向き等が検出され、加工ユニットと被加工物との相対的な位置や向きが調整される（特許文献１参照）。 The division of a workpiece such as a wafer is performed by a processing device such as a cutting device having a cutting unit or a laser processing device having a laser processing unit. The processing device includes an imaging unit that captures an image of the workpiece. When processing a workpiece along a line to be divided by a processing unit such as a cutting unit or a laser processing unit, an image of the front side of the workpiece is captured in advance by an imaging unit. Then, the position and direction of the planned dividing line are detected, and the relative position and direction of the processing unit and the workpiece are adjusted (see Patent Document 1).

また、加工装置は、各構成要素を制御するコンピュータ等で構成される制御ユニットを備える。該制御ユニットは各種の被加工物を加工するための加工条件等の情報が登録される記憶部を有する。制御ユニットは、記憶部に登録された加工条件を読み出し、該加工条件に従って加工ユニット等を制御して被加工物を分割予定ラインに沿って加工する。 Further, the processing device includes a control unit including a computer or the like that controls each component. The control unit has a storage section in which information such as processing conditions for processing various workpieces is registered. The control unit reads the machining conditions registered in the storage section, controls the machining unit, etc. according to the machining conditions, and processes the workpiece along the planned dividing line.

特開２００５－８５９７３号公報Japanese Patent Application Publication No. 2005-85973

加工装置を操作する作業者は、各種の被加工物を加工する間に、それぞれの被加工物に特有の注意事項や問題点を見つけることがある。そして、作業者は、自身や他の作業者が後に該被加工物や同種の被加工物を加工する際にこれらの情報を参照できるように、加工装置に付随して設置される情報端末や記録ノート等の各種の媒体に該情報を記録する。そして、被加工物を加工装置で加工する際、作業者は、被加工物の加工に有用な情報が該媒体に記録されているか否かを確認し、該情報を確認して加工装置を操作する。 While processing various workpieces, a worker who operates a processing device may find precautions or problems specific to each workpiece. The worker then uses an information terminal or an information terminal installed along with the processing equipment so that he or other workers can refer to this information when processing the workpiece or similar workpieces later. The information is recorded on various media such as a recording notebook. When processing a workpiece with a processing device, the operator checks whether information useful for processing the workpiece is recorded on the medium, and operates the processing device after confirming the information. do.

ここで、被加工物の表面の特定の点に注意事項や問題点等の記録されるべき情報が生じる場合がある。この場合、該情報の内容を示す文字等とともに該特定の点の位置情報が記録される必要がある。しかしながら、加工装置の外部の媒体に位置情報を記録するのは手間がかかる。また、該媒体に記録された情報の内容を確認するために被加工物の表面の該特定の点を撮像ユニットで撮像しようとすると、作業者は該媒体に記録された位置情報に基づいて撮像ユニット及び被加工物を精密に移動させねばならず、手間と時間がかかる。 Here, information such as precautions and problems that should be recorded may occur at specific points on the surface of the workpiece. In this case, the position information of the specific point needs to be recorded along with characters etc. indicating the content of the information. However, it is time-consuming to record position information on a medium external to the processing device. Furthermore, when attempting to capture an image of a specific point on the surface of a workpiece with an imaging unit in order to confirm the content of information recorded on the medium, the operator takes an image based on the positional information recorded on the medium. The unit and workpiece must be moved precisely, which takes time and effort.

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被加工物に関する情報を位置情報とともに容易に登録できる加工装置を提供することである。 The present invention has been made in view of such problems, and its purpose is to provide a processing device that can easily register information regarding a workpiece together with position information.

本発明の一態様によれば、板状の被加工物を加工する加工装置であって、該被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該保持テーブルで保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、表示ユニットと、入力ユニットと、制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該撮像ユニットで撮像された撮像画像を含み、該撮像画像に表示された該被加工物の特定の点を該入力ユニットで選択できる位置選択画面を該表示ユニットに表示させる位置選択画面表示部と、該表示ユニットに表示された該位置選択画面において該被加工物の該特定の点が選択されたとき、文字情報を該入力ユニットで入力できる情報入力欄を該表示ユニットに表示させる情報入力欄表示部と、該情報入力欄に入力された該文字情報と、該特定の点の該被加工物における座標情報と、を関連付けて記憶する記憶部と、を含むことを特徴とする加工装置が提供される。 According to one aspect of the present invention, there is provided a processing apparatus for processing a plate-shaped workpiece, including a holding table for holding the workpiece, and a processing apparatus for processing the workpiece held by the holding table. unit, an imaging unit configured to take an image of the workpiece held on the holding table, a display unit, an input unit, and a control unit, the control unit configured to display the captured image captured by the imaging unit. a position selection screen display section that causes the display unit to display a position selection screen that allows the input unit to select a specific point of the workpiece displayed in the captured image; an information input column display section for displaying on the display unit an information input column in which character information can be entered in the input unit when the specific point of the workpiece is selected on the position selection screen; A processing device is provided that includes a storage unit that stores the input character information and coordinate information of the specific point on the workpiece in association with each other.

好ましくは、該制御ユニットは、該被加工物の形状を表す模式図を含み、該座標情報に基づいて該模式図上に配され該特定の点の位置を示す目印が表示された情報選択画面を該表示ユニットに表示させる情報選択画面表示部と、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該特定の点に関連付けられて該記憶部に記憶された該文字情報を該表示ユニットに表示させる情報表示部と、をさらに含む。 Preferably, the control unit includes an information selection screen that includes a schematic diagram representing the shape of the workpiece, and displays a mark arranged on the schematic diagram and indicating the position of the specific point based on the coordinate information. an information selection screen display section that causes the display unit to display an information selection screen display section; The information display unit further includes an information display section that causes the display unit to display character information.

さらに、好ましくは、該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該記憶部に記憶された該座標情報に基づいて該撮像ユニット及び該保持テーブルを相対的に移動させ、該被加工物の該特定の点を該撮像ユニットが撮像した画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させる。 Furthermore, preferably, when the landmark displayed on the information selection screen is selected by the input unit, the information display section selects the imaging unit and the holding unit based on the coordinate information stored in the storage section. The table is moved relatively, and an image taken by the imaging unit of the specific point on the workpiece is displayed on the display unit together with the text information.

または、好ましくは、該記憶部は、該文字情報と、該座標情報と、に加えて該撮像ユニットで撮像した該撮像画像を関連付けて記憶し、該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該記憶部に記憶された該撮像画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させる。 Alternatively, preferably, the storage section associates and stores the character information, the coordinate information, and the captured image captured by the imaging unit, and the information display section displays the text information on the information selection screen. When the marked mark is selected by the input unit, the captured image stored in the storage section is displayed on the display unit together with the character information.

または、好ましくは、該制御ユニットは、該被加工物の該保持テーブルにおける位置を第１の保持位置として該記憶部に登録させる第１の保持位置登録部と、該被加工物と同種の新規被加工物が該保持テーブルに保持されたとき、該新規被加工物の該保持テーブルにおける位置を第２の保持位置として該記憶部に登録させる第２の保持位置登録部と、該記憶部に登録された該第１の保持位置及び該第２の保持位置の位置ずれ量を算出し、該記憶部に記憶された該座標情報を該位置ずれ量で補正する位置ずれ補正部と、をさらに有し、該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該位置ずれ補正部により補正された該座標情報に基づいて該撮像ユニット及び該保持テーブルを相対的に移動させ、該被加工物の該特定の点に対応する位置において該撮像ユニットに該新規被加工物を撮像させ、該新規被加工物が写る画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させる。 Alternatively, preferably, the control unit includes a first holding position registration section that registers the position of the workpiece on the holding table as a first holding position in the storage section, and a first holding position registration section that registers a position of the workpiece on the holding table as a first holding position; a second holding position registration unit for registering the position of the new workpiece in the holding table as a second holding position in the storage unit when the workpiece is held in the holding table; a positional deviation correction unit that calculates a positional deviation amount between the registered first holding position and the second holding position and corrects the coordinate information stored in the storage unit using the positional deviation amount; and the information display unit displays the image pickup unit and the holding unit based on the coordinate information corrected by the positional deviation correction unit when the landmark displayed on the information selection screen is selected by the input unit. The table is moved relatively, the imaging unit is caused to image the new workpiece at a position corresponding to the specific point on the workpiece, and an image of the new workpiece is displayed together with the text information. display on the unit.

また、好ましくは、該入力ユニットは、該表示ユニットに重ねられたタッチパネルである。 Further, preferably, the input unit is a touch panel overlaid on the display unit.

本発明の一態様に係る加工装置では、作業者は、表示ユニットに表示された撮像画像を見て特定の点を選択するだけで該特定の点の位置を座標情報として記録できる。そして、文字を入力するだけで、文字情報を座標情報と関連付けて加工装置に登録できる。また、該加工装置は、座標情報に基づいて自動的に被加工物等を移動できる。作業者は、確認したい情報を選択するだけで被加工物の該特定の点が写る撮像画像を確認できる。そのため、情報を入力する手間、管理する手間、及び確認する手間が大幅に軽減される。 In the processing apparatus according to one aspect of the present invention, an operator can record the position of a specific point as coordinate information simply by viewing a captured image displayed on a display unit and selecting a specific point. By simply inputting characters, character information can be associated with coordinate information and registered in the processing device. Further, the processing device can automatically move the workpiece etc. based on the coordinate information. The operator can check the captured image showing the specific point on the workpiece simply by selecting the information he or she wants to check. Therefore, the time and effort required to input, manage, and confirm information can be significantly reduced.

したがって、本発明により被加工物に関する情報を位置情報とともに容易に登録できる加工装置が提供される。 Therefore, the present invention provides a processing device that can easily register information regarding a workpiece together with position information.

フレームユニットを模式的に示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view schematically showing a frame unit. 加工装置を模式的に示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view schematically showing a processing device. 図３（Ａ）は、保持テーブルで保持された被加工物を模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、保持テーブルで保持された被加工物の表面を撮像ユニットで撮像する様子を模式的に示す断面図であり、図３（Ｃ）は、撮像ユニット及び保持テーブルを相対的に移動させる様子を模式的に示す断面図である。FIG. 3(A) is a cross-sectional view schematically showing a workpiece held on a holding table, and FIG. 3(B) is an image of the surface of the workpiece held on a holding table with an imaging unit. FIG. 3C is a cross-sectional view schematically showing how the imaging unit and the holding table are moved relative to each other. 制御ユニットの構成を説明するブロック図である。FIG. 2 is a block diagram illustrating the configuration of a control unit. 位置選択画面を表示する表示ユニットを模式的に示す正面図である。FIG. 3 is a front view schematically showing a display unit that displays a position selection screen. 情報入力欄を表示する表示ユニットを模式的に示す正面図である。FIG. 3 is a front view schematically showing a display unit that displays an information input field. 情報選択画面を表示する表示ユニットを模式的に示す正面図である。FIG. 3 is a front view schematically showing a display unit that displays an information selection screen. 情報を表示する表示ユニットを模式的に示す正面図である。FIG. 2 is a front view schematically showing a display unit that displays information.

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。本実施形態に係る加工装置は、例えば、被加工物を切削する切削装置や被加工物をレーザ加工するレーザ加工装置等の加工装置である。図１は、加工装置で加工される被加工物１を含むフレームユニット１１を模式的に示す斜視図である。まず、被加工物１について説明する。 Embodiments according to one aspect of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The processing apparatus according to the present embodiment is, for example, a processing apparatus such as a cutting apparatus that cuts a workpiece or a laser processing apparatus that processes a workpiece with a laser beam. FIG. 1 is a perspective view schematically showing a frame unit 11 including a workpiece 1 processed by a processing device. First, the workpiece 1 will be explained.

被加工物１は、例えば、Ｓｉ（シリコン）、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ＧａＮ（ガリウムナイトライド）、ＧａＡｓ（ヒ化ガリウム）、若しくは、その他の半導体等の材料、または、サファイア、ガラス、石英等の材料からなる基板等である。該ガラスは、例えば、アルカリガラス、無アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス等である。 The workpiece 1 is made of, for example, materials such as Si (silicon), SiC (silicon carbide), GaN (gallium nitride), GaAs (gallium arsenide), or other semiconductors, or sapphire, glass, quartz, etc. A substrate made of the same material. Examples of the glass include alkali glass, non-alkali glass, soda lime glass, lead glass, borosilicate glass, and quartz glass.

被加工物１の表面１ａ側には互いに交差する複数の分割予定ライン３が設定される。分割予定ライン３によって区画された各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイス５が形成されている。 A plurality of planned dividing lines 3 that intersect with each other are set on the surface 1a side of the workpiece 1. A device 5 such as an IC (Integrated Circuit) or an LSI (Large Scale Integration) is formed in each area partitioned by the planned dividing line 3 .

なお、被加工物１は円板状のウェーハ以外でもよく、被加工物１の材質、形状、構造等に制限はない。例えば、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板を被加工物１として用いることもできる。また、デバイス５の種類、数量、配置等にも制限はない。表面１ａに複数のデバイス５が形成された被加工物１の裏面１ｂ側から研削して薄化し、被加工物１を分割予定ライン３に沿って分割すると、個々のデバイスチップが得られる。 Note that the workpiece 1 may be other than a disk-shaped wafer, and there are no restrictions on the material, shape, structure, etc. of the workpiece 1. For example, a substrate made of materials such as ceramics, resin, metal, etc. can also be used as the workpiece 1. Furthermore, there are no restrictions on the type, quantity, arrangement, etc. of the devices 5. The workpiece 1 on which a plurality of devices 5 are formed on the front surface 1a is thinned by grinding from the rear surface 1b side, and the workpiece 1 is divided along the dividing lines 3 to obtain individual device chips.

被加工物１は、加工装置に搬入され加工される前に、基材層及び糊層を備える粘着テープ７と、金属等の材料で形成された環状フレーム９と、と一体化されてフレームユニット１１となる。フレームユニット１１では、環状フレーム９の開口を塞ぐように該環状フレーム９に粘着テープ７が貼着されており、環状フレーム９の該開口に露出した粘着テープ７が被加工物１の裏面１ｂに貼着されている。すなわち、被加工物１は、粘着テープ７を介して環状フレーム９に支持される。 Before being carried into a processing device and processed, the workpiece 1 is integrated with an adhesive tape 7 having a base material layer and an adhesive layer, and an annular frame 9 made of a material such as metal to form a frame unit. It becomes 11. In the frame unit 11, an adhesive tape 7 is attached to the annular frame 9 so as to close the opening of the annular frame 9, and the adhesive tape 7 exposed at the opening of the annular frame 9 is attached to the back surface 1b of the workpiece 1. It is pasted. That is, the workpiece 1 is supported by the annular frame 9 via the adhesive tape 7.

次に、本実施形態に係る加工装置について説明する。該加工装置は、被加工物１を分割予定ライン３に沿って加工して分割する。例えば、該加工装置は、加工ユニットとして円環状の切削ブレードを備える切削ユニットを含む切削装置である。または、レーザビームを分割予定ライン３に沿って被加工物１に集光させるレーザ加工ユニットを含むレーザ加工装置である。以下、本実施形態に係る加工装置が切削装置である場合を例に説明するが、本実施形態に係る加工装置はこれに限定されない。 Next, a processing apparatus according to this embodiment will be explained. The processing device processes and divides the workpiece 1 along the dividing line 3. For example, the processing device is a cutting device including a cutting unit provided with an annular cutting blade as a processing unit. Alternatively, it is a laser processing apparatus including a laser processing unit that focuses a laser beam on the workpiece 1 along the dividing line 3. Hereinafter, a case where the processing device according to the present embodiment is a cutting device will be described as an example, but the processing device according to the present embodiment is not limited to this.

図２は、切削装置（加工装置）２を模式的に示す斜視図である。切削装置２は、各構成要素を支持する基台４を備えている。基台４の中央上部には、Ｘ軸移動テーブル６と、該Ｘ軸移動テーブル６をＸ軸方向（加工送り方向）に移動させるＸ軸方向移動機構と、Ｘ軸方向移動機構を覆う排水路２０と、が設けられている。該Ｘ軸方向移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール１２を備えており、Ｘ軸ガイドレール１２には、Ｘ軸移動テーブル６がスライド可能に取り付けられている。 FIG. 2 is a perspective view schematically showing the cutting device (processing device) 2. As shown in FIG. The cutting device 2 includes a base 4 that supports each component. At the upper center of the base 4, there is an X-axis moving table 6, an X-axis moving mechanism for moving the X-axis moving table 6 in the X-axis direction (processing feed direction), and a drainage channel that covers the X-axis moving mechanism. 20 are provided. The X-axis direction movement mechanism includes a pair of X-axis guide rails 12 parallel to the X-axis direction, and an X-axis movement table 6 is slidably attached to the X-axis guide rails 12.

Ｘ軸移動テーブル６の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレール１２に平行なＸ軸ボールねじ１４が螺合されている。Ｘ軸ボールねじ１４の一端部には、Ｘ軸パルスモータ１６が連結されている。Ｘ軸パルスモータ１６でＸ軸ボールねじ１４を回転させると、Ｘ軸移動テーブル６はＸ軸ガイドレール１２に沿ってＸ軸方向に移動する。 A nut portion (not shown) is provided on the lower surface side of the X-axis moving table 6, and an X-axis ball screw 14 parallel to the X-axis guide rail 12 is screwed into this nut portion. An X-axis pulse motor 16 is connected to one end of the X-axis ball screw 14 . When the X-axis ball screw 14 is rotated by the X-axis pulse motor 16, the X-axis moving table 6 moves in the X-axis direction along the X-axis guide rail 12.

Ｘ軸移動テーブル６上には、被加工物１を吸引、保持するための保持テーブル８が設けられている。保持テーブル８は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、保持テーブル８の上面に垂直な回転軸の周りに回転可能である。また、保持テーブル８は、上述したＸ軸方向移動機構によりＸ軸方向に送られる。 A holding table 8 for sucking and holding the workpiece 1 is provided on the X-axis moving table 6. The holding table 8 is connected to a rotational drive source (not shown) such as a motor, and is rotatable around a rotation axis perpendicular to the upper surface of the holding table 8. Further, the holding table 8 is sent in the X-axis direction by the above-mentioned X-axis direction movement mechanism.

保持テーブル８の上部には、被加工物１の径に対応する円板状の多孔質部材が露出しており、該多孔質部材の上面が被加工物１を吸引、保持する保持面８ａとなる。この多孔質部材には、保持テーブル８の内部に形成された吸引路（不図示）を介して吸引源（不図示）が接続されている。該保持面８ａの周囲には、フレームユニット１１の環状フレーム９を固定するためのクランプ１０が配設されている。 A disk-shaped porous member corresponding to the diameter of the workpiece 1 is exposed at the upper part of the holding table 8, and the upper surface of the porous member serves as a holding surface 8a that sucks and holds the workpiece 1. Become. A suction source (not shown) is connected to this porous member via a suction path (not shown) formed inside the holding table 8. A clamp 10 for fixing the annular frame 9 of the frame unit 11 is disposed around the holding surface 8a.

図３（Ａ）は、保持テーブル８で保持された被加工物１を模式的に示す断面図である。フレームユニット１１の環状フレーム９は、クランプ１０に把持される。そして、被加工物１は、粘着テープ７を介して保持テーブル８で吸引保持される。 FIG. 3(A) is a cross-sectional view schematically showing the workpiece 1 held by the holding table 8. As shown in FIG. The annular frame 9 of the frame unit 11 is held by a clamp 10. The workpiece 1 is then held by suction on the holding table 8 via the adhesive tape 7.

基台４の上面には、被加工物１を切削する２つの切削ユニット１８を支持する支持構造２２が、Ｘ軸方向移動機構を跨ぐように配置されている。支持構造２２の前面上部には、２つの切削ユニット１８をそれぞれＹ軸方向（割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる切削ユニット移動機構が設けられている。 A support structure 22 that supports two cutting units 18 that cut the workpiece 1 is arranged on the upper surface of the base 4 so as to straddle the X-axis direction movement mechanism. A cutting unit moving mechanism is provided at the upper front surface of the support structure 22 to move the two cutting units 18 in the Y-axis direction (index feed direction) and the Z-axis direction, respectively.

切削ユニット移動機構は、支持構造２２の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２４を備えている。Ｙ軸ガイドレール２４には、２つの切削ユニット１８のそれぞれに対応する２つのＹ軸移動プレート２６がスライド可能に取り付けられている。それぞれのＹ軸移動プレート２６の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、それぞれに対応するＹ軸ガイドレール２４に平行なＹ軸ボールねじ２８が螺合されている。 The cutting unit moving mechanism includes a pair of Y-axis guide rails 24 arranged in front of the support structure 22 and parallel to the Y-axis direction. Two Y-axis moving plates 26 corresponding to each of the two cutting units 18 are slidably attached to the Y-axis guide rail 24. A nut portion (not shown) is provided on the back side of each Y-axis moving plate 26, and a Y-axis ball screw 28 parallel to the corresponding Y-axis guide rail 24 is screwed into this nut portion. are combined.

それぞれのＹ軸ボールねじ２８の一端部には、Ｙ軸パルスモータ２８ａが連結されている。Ｙ軸パルスモータ２８ａでＹ軸ボールねじ２８を回転させると、対応するＹ軸移動プレート２６は、Ｙ軸ガイドレール２４に沿ってＹ軸方向に移動する。Ｙ軸移動プレート２６の表面（前面）には、それぞれ、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３０が設けられている。それぞれのＺ軸ガイドレール３０には、Ｚ軸移動プレート３２がスライド可能に取り付けられている。 A Y-axis pulse motor 28a is connected to one end of each Y-axis ball screw 28. When the Y-axis ball screw 28 is rotated by the Y-axis pulse motor 28a, the corresponding Y-axis moving plate 26 moves in the Y-axis direction along the Y-axis guide rail 24. A pair of Z-axis guide rails 30 parallel to the Z-axis direction are provided on the front surface (front surface) of the Y-axis moving plate 26, respectively. A Z-axis moving plate 32 is slidably attached to each Z-axis guide rail 30.

Ｚ軸移動プレート３２の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３０に平行なＺ軸ボールねじ３４が螺合されている。Ｚ軸ボールねじ３４の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３６が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３６でＺ軸ボールねじ３４を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３２は、Ｚ軸ガイドレール３０に沿ってＺ軸方向（切り込み送り方向）に移動する。 A nut portion (not shown) is provided on the back side (rear side) of the Z-axis moving plate 32, and a Z-axis ball screw 34 parallel to the Z-axis guide rail 30 is screwed into this nut portion. ing. A Z-axis pulse motor 36 is connected to one end of the Z-axis ball screw 34 . When the Z-axis ball screw 34 is rotated by the Z-axis pulse motor 36, the Z-axis moving plate 32 moves in the Z-axis direction (cutting feed direction) along the Z-axis guide rail 30.

２つのＺ軸移動プレート３２のそれぞれの下部には、保持テーブル８で保持された被加工物１を切削（加工）する切削ユニット（加工ユニット）１８と、保持テーブル８で保持された被加工物１を撮像する撮像ユニット３８と、が固定されている。Ｙ軸移動プレート２６をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット１８及び撮像ユニット３８はＹ軸方向（割り出し送り方向）に移動する。Ｚ軸移動プレート３２をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット１８及び撮像ユニット３８はＺ軸方向（切り込み送り方向）に移動する。 At the bottom of each of the two Z-axis moving plates 32, there is a cutting unit (processing unit) 18 for cutting (processing) the workpiece 1 held by the holding table 8, and a cutting unit (processing unit) 18 for cutting (processing) the workpiece 1 held by the holding table 8. 1 is fixed. When the Y-axis moving plate 26 is moved in the Y-axis direction, the cutting unit 18 and the imaging unit 38 are moved in the Y-axis direction (index feed direction). When the Z-axis moving plate 32 is moved in the Z-axis direction, the cutting unit 18 and the imaging unit 38 are moved in the Z-axis direction (infeeding direction).

切削ユニット１８は、Ｙ軸方向に平行な回転軸を構成するスピンドル１８ａ（図３（Ｂ）参照）を備える。スピンドル１８ａの先端には円環状の切削ブレード１８ｂ（図３（Ｂ）参照）が装着される。スピンドル１８ａの他端側にはモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。該回転駆動源を使用してスピンドル１８ａを回転させると、スピンドル１８ａの先端に装着された切削ブレード１８ｂが回転する。 The cutting unit 18 includes a spindle 18a (see FIG. 3(B)) that constitutes a rotation axis parallel to the Y-axis direction. An annular cutting blade 18b (see FIG. 3(B)) is attached to the tip of the spindle 18a. A rotational drive source (not shown) such as a motor is connected to the other end of the spindle 18a. When the spindle 18a is rotated using the rotational drive source, the cutting blade 18b attached to the tip of the spindle 18a rotates.

図３（Ｂ）には、切削ブレード１８ｂを模式的に示す側面図が含まれている。切削ブレード１８ｂは、例えば、円環状の基台１８ｃと、基台１８ｃの外周部に固定された円環状の刃先１８ｄと、を有している。基台１８ｃの中央部には、この基台１８ｃを貫通する略円形の装着穴が設けられており、切削ブレード１８ｂを切削ユニット１８に装着する際には、該装着穴にスピンドル１８ａが突き通される。 FIG. 3(B) includes a side view schematically showing the cutting blade 18b. The cutting blade 18b has, for example, an annular base 18c and an annular cutting edge 18d fixed to the outer periphery of the base 18c. A substantially circular mounting hole passing through the base 18c is provided in the center of the base 18c, and when the cutting blade 18b is mounted on the cutting unit 18, the spindle 18a is inserted through the mounting hole. be done.

切削ブレード１８ｂの刃先１８ｄは、金属または樹脂等で形成された結合材と、該結合材に分散固定された複数のダイヤモンド砥粒と、を含み、砥石部とも呼ばれる。結合材からはダイヤモンド砥粒が表出しており、切削ブレード１８ｂを回転させながら被加工物１に切り込ませると、表出した該ダイヤモンド砥粒が被加工物１に接触して被加工物１が切削される。 The cutting edge 18d of the cutting blade 18b includes a binding material made of metal, resin, or the like, and a plurality of diamond abrasive grains dispersed and fixed to the binding material, and is also called a grindstone portion. Diamond abrasive grains are exposed from the binding material, and when the cutting blade 18b is rotated and cut into the workpiece 1, the exposed diamond abrasive grains come into contact with the workpiece 1 and cut into the workpiece 1. is cut.

切削装置２は、保持テーブル８で保持された被加工物１の切削を実施する際、まず、撮像ユニット３８で被加工物１の表面１ａを撮像し、分割予定ライン３の位置及び向きを検出する。そして、保持テーブル８を回転させて分割予定ライン３の向きをＸ軸方向（加工送り方向）に合わせる。その後、切削ブレード１８ｂを分割予定ライン３の延長線上方に位置付ける。そして、切削ユニット１８をＺ軸方向に沿って下降させて切削ブレード１８ｂを所定の高さ位置に位置付ける。 When cutting the workpiece 1 held by the holding table 8, the cutting device 2 first images the surface 1a of the workpiece 1 with the imaging unit 38, and detects the position and orientation of the planned dividing line 3. do. Then, the holding table 8 is rotated to align the planned dividing line 3 with the X-axis direction (processing feed direction). Thereafter, the cutting blade 18b is positioned above the extension line of the planned dividing line 3. Then, the cutting unit 18 is lowered along the Z-axis direction to position the cutting blade 18b at a predetermined height position.

その後、Ｘ軸方向移動機構を作動させて保持テーブル８を加工送り方向に移動させ、高速回転する切削ブレード１８ｂを被加工物１に切り込ませて該被加工物１を切削する。一つの分割予定ライン３に沿って切削ブレード１８ｂで被加工物１を切削した後、切削ユニット１８を割り出し送り方向に移動させ、隣接する他の分割予定ライン３に沿って同様に被加工物１を切削する。 Thereafter, the X-axis direction movement mechanism is operated to move the holding table 8 in the processing feed direction, and the cutting blade 18b rotating at high speed is cut into the workpiece 1 to cut the workpiece 1. After cutting the workpiece 1 with the cutting blade 18b along one dividing line 3, the cutting unit 18 is moved in the indexing and feeding direction, and the workpiece 1 is similarly cut along another adjacent dividing line 3. to cut.

一つの方向に沿ったすべての分割予定ライン３に沿って被加工物１を切削した後、保持テーブル８を回転させて他の方向に沿った分割予定ライン３に沿って被加工物１を切削する。そして、被加工物１のすべての分割予定ライン３に沿って被加工物１を切削すると、切削装置２における被加工物１の切削が完了する。 After cutting the workpiece 1 along all the dividing lines 3 along one direction, the holding table 8 is rotated to cut the workpiece 1 along the dividing lines 3 along the other direction. do. Then, when the workpiece 1 is cut along all of the planned division lines 3 of the workpiece 1, cutting of the workpiece 1 by the cutting device 2 is completed.

切削装置２は、さらに、切削装置２の状態や操作画面、警告画面等を表示する表示ユニットと、切削装置２に各種の指令を入力する入力ユニットと、を備える。表示ユニットは、例えば、液晶ディスプレイである。また、入力ユニットは、例えば、キーボード及びマウスである。 The cutting device 2 further includes a display unit that displays the status of the cutting device 2, an operation screen, a warning screen, etc., and an input unit that inputs various commands to the cutting device 2. The display unit is, for example, a liquid crystal display. Further, the input unit is, for example, a keyboard and a mouse.

さらに、入力ユニットは、表示ユニットに重ねられたタッチパネルでもよい。この場合、切削装置２は、表示ユニットと入力ユニットが一体化されたタッチパネル付きディスプレイ４０を備えることとなる。切削装置２を使用する作業者は、タッチパネルを用いて切削装置２を操作でき、また、切削装置２に加工条件等の情報を入力できる。以下、入力ユニットが表示ユニットに重ねられたタッチパネルである場合を例に説明するが、本実施形態に係る加工装置はこれに限定されない。 Furthermore, the input unit may be a touch panel overlaid on the display unit. In this case, the cutting device 2 will be equipped with a touch panel display 40 in which a display unit and an input unit are integrated. A worker using the cutting device 2 can operate the cutting device 2 using a touch panel, and can input information such as processing conditions into the cutting device 2. Hereinafter, a case in which the input unit is a touch panel stacked on a display unit will be described as an example, but the processing apparatus according to the present embodiment is not limited to this.

切削装置２は、さらに、制御ユニット４２を備える。制御ユニット４２は、切削ユニット１８、保持テーブル８、各移動機構、撮像ユニット３８、及び表示ユニット等の切削装置２の各構成要素を制御する機能を有する。制御ユニット４２は、所定の加工条件に従って切削装置２の各構成要素を制御して、被加工物１の加工を遂行する。 The cutting device 2 further includes a control unit 42. The control unit 42 has a function of controlling each component of the cutting device 2, such as the cutting unit 18, the holding table 8, each moving mechanism, the imaging unit 38, and the display unit. The control unit 42 controls each component of the cutting device 2 according to predetermined processing conditions to process the workpiece 1.

制御ユニット４２は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成される。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御ユニット４２の機能が実現される。 The control unit 42 is configured by a computer including, for example, a processing device such as a CPU (Central Processing Unit), a main storage device such as a DRAM (Dynamic Random Access Memory), and an auxiliary storage device such as a flash memory. The functions of the control unit 42 are realized by operating the processing device and the like according to software stored in the auxiliary storage device.

切削装置２では、次々に同種の被加工物１が搬入され、加工され、搬出される。ここで、切削装置２を操作する作業者は、被加工物１を加工する際に、被加工物１に特有の注意事項や問題点を見つけることがある。 In the cutting device 2, workpieces 1 of the same type are successively carried in, processed, and carried out. Here, the operator operating the cutting device 2 may find precautions or problems specific to the workpiece 1 when processing the workpiece 1.

このとき、作業者は、自身や他の作業者が後に同種の被加工物１を加工する際にこれらの情報を参照できるように、切削装置２に付随して設置される情報端末や記録ノート等の各種の媒体に該情報を記録する。そして、被加工物１を切削装置２で加工する際、作業者は、被加工物１の加工に有用な情報が該媒体に記録されているか否かを確認し、該情報を確認して切削装置２を操作する。 At this time, the worker uses an information terminal or a recording notebook installed along with the cutting device 2 so that he or other workers can refer to this information when processing the same type of workpiece 1 later. The information is recorded on various media such as. When processing the workpiece 1 with the cutting device 2, the operator checks whether information useful for processing the workpiece 1 is recorded on the medium, and checks the information before cutting. Operate device 2.

ここで、被加工物１の表面１ａの特定の点に注意事項や問題点等の記録されるべき情報が生じる場合がある。この場合、該情報の内容を説明する文字等とともに被加工物１における該特定の点の位置を示す位置情報が記録される必要がある。しかしながら、切削装置２の外部の媒体に位置情報を正確に記録するのは手間がかかる。 Here, information to be recorded such as precautions and problems may occur at a specific point on the surface 1a of the workpiece 1. In this case, positional information indicating the position of the specific point on the workpiece 1 needs to be recorded along with characters etc. that explain the content of the information. However, it takes time and effort to accurately record position information on a medium outside the cutting device 2.

また、該媒体に記録された情報の内容を被加工物１で確認するためには、被加工物１の表面１ａの特定の点を撮像ユニット３８で撮像する必要がある。そのために、作業者は、該媒体に記録された位置情報に基づいて切削装置２を操作して撮像ユニット３８及び被加工物１を精密に移動させなければならず、やはり手間がかかる。 Furthermore, in order to confirm the content of the information recorded on the medium on the workpiece 1, it is necessary to image a specific point on the surface 1a of the workpiece 1 with the imaging unit 38. Therefore, the operator must operate the cutting device 2 to precisely move the imaging unit 38 and the workpiece 1 based on the position information recorded on the medium, which also takes time and effort.

そこで、本実施形態に係る加工装置である切削装置２では、被加工物１の表面１ａにおいて記録するべき情報が生じた特定の点について、その位置を示す座標情報とともに該情報の内容を表す文字情報を制御ユニット４２に登録可能とした。そして、切削装置２は、登録された該座標情報に基づいて保持テーブル８及び撮像ユニット３８を移動でき、該特定の点が写る撮像画像を自動的に表示ユニットに表示できる。以下、このような機能を実現するための制御ユニット４２の構成について説明する。 Therefore, in the cutting device 2, which is a processing device according to the present embodiment, regarding a specific point where information to be recorded is generated on the surface 1a of the workpiece 1, coordinate information indicating the position and characters expressing the content of the information are provided. Information can be registered in the control unit 42. The cutting device 2 can move the holding table 8 and the imaging unit 38 based on the registered coordinate information, and can automatically display the captured image of the specific point on the display unit. The configuration of the control unit 42 for realizing such functions will be described below.

図４は、制御ユニット４２の構成を模式的に示すブロック図である。制御ユニット４２を構成する各部の機能は、例えば、ソフトウェアによりコンピュータ等のハードウェア上に実現される。制御ユニット４２は、各種の情報及びソフトウェア等を記憶する記憶部４４を備える。 FIG. 4 is a block diagram schematically showing the configuration of the control unit 42. As shown in FIG. The functions of each part constituting the control unit 42 are realized, for example, by software on hardware such as a computer. The control unit 42 includes a storage section 44 that stores various information, software, and the like.

次に、被加工物１の表面１ａの特定の点に関する情報を制御ユニット４２の記憶部４４に記憶させる機能について説明する。まず、制御ユニット４２は、被加工物１の特定の点を該入力ユニットで選択できる位置選択画面を該表示ユニットに表示させる。すなわち、制御ユニット４２は、位置選択画面を該表示ユニットに表示させる位置選択画面表示部４６を備える。 Next, a function of storing information regarding a specific point on the surface 1a of the workpiece 1 in the storage section 44 of the control unit 42 will be explained. First, the control unit 42 causes the display unit to display a position selection screen in which a specific point on the workpiece 1 can be selected using the input unit. That is, the control unit 42 includes a position selection screen display section 46 that causes the display unit to display a position selection screen.

図５は、表示ユニットとして機能するタッチパネル付きディスプレイ４０に表示された位置選択画面６０を模式的に示す正面図である。位置選択画面６０は、例えば、タッチパネル付きディスプレイ４０に表示されている画面が位置選択画面６０であることを示す画面説明欄６２を含む。また、位置選択画面６０には、例えば、タッチパネルで制御ユニット４２に各種の指令を入力する際に使用されるボタン等のインターフェース画像７０が含まれていてもよい。 FIG. 5 is a front view schematically showing the position selection screen 60 displayed on the touch panel display 40 functioning as a display unit. The position selection screen 60 includes, for example, a screen description field 62 indicating that the screen displayed on the touch panel display 40 is the position selection screen 60. Further, the position selection screen 60 may include an interface image 70 such as buttons used when inputting various commands to the control unit 42 using a touch panel, for example.

さらに、位置選択画面６０には、撮像ユニット３８で撮像されて取得された撮像画像６４が含まれる。撮像画像６４には、被加工物１の表面１ａの拡大画像が写る。例えば、撮像画像６４には、被加工物１の表面１ａの分割予定ライン３及びデバイス５等が写る。 Further, the position selection screen 60 includes a captured image 64 captured and acquired by the imaging unit 38. The captured image 64 shows an enlarged image of the surface 1a of the workpiece 1. For example, the captured image 64 shows the dividing line 3 on the surface 1a of the workpiece 1, the device 5, and the like.

まず、切削装置２を使用する作業者は、記憶されるべき情報が存在する特定の点が撮像画像６４に写るように、切削装置２を操作して保持テーブル８及び撮像ユニット３８を相対的に移動させる。図３（Ｂ）には、撮像画像６４に被加工物１の表面１ａの該特定の点が写るように動かされた保持テーブル８及び撮像ユニット３８を模式的に示す側面図が含まれている。 First, an operator using the cutting device 2 operates the cutting device 2 to relatively move the holding table 8 and the imaging unit 38 so that a specific point where information to be stored is shown in the captured image 64. move it. FIG. 3B includes a side view schematically showing the holding table 8 and the imaging unit 38 that have been moved so that the specific point on the surface 1a of the workpiece 1 is captured in the captured image 64. .

次に、作業者は、撮像画像６４に写る該特定の点を選択する。例えば、タッチパネルで撮像画像６４に写る該特定の点をタッチすることで、該特定の点を選択する。このとき、制御ユニット４２は、撮像画像６４上の該特定の点の位置と、保持テーブル８及び撮像ユニット３８の位置関係と、に基づいて、被加工物１の表面１ａにおける該特定の点の座標情報を作成する。 Next, the operator selects the specific point appearing in the captured image 64. For example, by touching the specific point in the captured image 64 with a touch panel, the specific point is selected. At this time, the control unit 42 controls the position of the particular point on the surface 1a of the workpiece 1 based on the position of the particular point on the captured image 64 and the positional relationship between the holding table 8 and the imaging unit 38. Create coordinate information.

制御ユニット４２は、該表示ユニットに表示された位置選択画面６０において被加工物１の該特定の点が選択されたとき、文字情報を該入力ユニットで入力できる情報入力欄を該表示ユニットに表示させる情報入力欄表示部４８を備える。図６は、表示ユニットとして機能するタッチパネル付きディスプレイ４０に表示された情報入力画面６６を模式的に示す正面図である。 When the specific point of the workpiece 1 is selected on the position selection screen 60 displayed on the display unit, the control unit 42 displays on the display unit an information input field in which character information can be entered using the input unit. The information input column display section 48 is provided. FIG. 6 is a front view schematically showing an information input screen 66 displayed on the touch panel display 40 functioning as a display unit.

情報入力画面６６は、例えば、位置選択画面６０に情報入力欄６８を重ねて表示させることで形成される。情報入力画面６６に含まれる画面説明欄６２には、例えば、タッチパネル付きディスプレイ４０に表示されている画面が情報入力画面６６であることが表示される。切削装置２を操作する作業者は、入力ユニットを使用して情報入力欄６８に該特定の点について記憶されるべき情報の内容を説明する文字情報を入力する。 The information input screen 66 is formed, for example, by displaying an information input field 68 overlapping the position selection screen 60. The screen description column 62 included in the information input screen 66 displays, for example, that the screen displayed on the touch panel display 40 is the information input screen 66. The operator operating the cutting device 2 uses the input unit to input text information into the information input field 68 that describes the content of the information to be stored for the particular point.

例えば、情報入力画面６６には、タッチパネルで情報入力欄６８に文字を入力するためのインターフェース画像７０が表示されてもよく、作業者はタッチパネルを使用して情報入力欄６８に文字情報を入力する。または、入力ユニットとして切削装置２にキーボードが接続されていてもよく、作業者は該キーボードを使用して情報入力欄６８に文字情報を入力してもよい。ここで、文字情報には、文字に加えて数字及び記号等が含まれる。 For example, an interface image 70 for inputting characters into the information input field 68 using a touch panel may be displayed on the information input screen 66, and the operator inputs character information into the information input field 68 using the touch panel. . Alternatively, a keyboard may be connected to the cutting device 2 as an input unit, and the operator may input text information into the information input field 68 using the keyboard. Here, the character information includes numbers, symbols, etc. in addition to characters.

なお、文字入力が実施される際、作業者は一文字ずつ文字を選択してタイピングする必要はない。例えば、該特定の点に関する情報として比較的高い頻度で入力される文字列が存在する場合、該文字列を一度のタッチで入力できる短縮入力ボタンがインターフェース画像７０に含まれてもよく、作業者は短縮入力ボタンを入力に使用してもよい。 Note that when performing character input, the operator does not need to select and type characters one by one. For example, if there is a character string that is input relatively frequently as information regarding the specific point, the interface image 70 may include a shortcut input button that allows the operator to input the character string with a single touch. may use the abbreviated input button for input.

ここで、情報入力欄６８に入力される文字情報の内容に特に限定はない。例えば、制御ユニット４２にパターン認識用のキーパターンを登録する際に該特定の点に形成されているデバイス５をキーパターンに設定するのが望まれない場合、その旨を示す文字情報が情報入力欄６８に入力される。 Here, there is no particular limitation on the content of the character information input into the information input field 68. For example, when registering a key pattern for pattern recognition in the control unit 42, if it is not desired to set the device 5 formed at the specific point as the key pattern, character information indicating this is inputted. It is entered in column 68.

また、例えば、該特定の点に分割予定ライン３上に形成されるＴＥＧ（Test Element Group）が存在し、分割予定ライン３に沿って被加工物１を加工したときに形成される加工痕の幅の検査を該特定の点でしてはならない場合、その旨を示す文字情報が入力される。さらに、例えば、該特定の点が分割予定ライン３に沿って被加工物１に形成される加工痕の輪郭に形成されるチッピングと呼ばれる欠けの評価に適さない場合、その旨を示す文字情報が入力される。 Furthermore, for example, there is a TEG (Test Element Group) formed on the planned dividing line 3 at the specific point, and there is a machining mark formed when the workpiece 1 is processed along the planned dividing line 3. If width testing is not to be performed at the particular point, textual information indicating this is entered. Furthermore, for example, if the specific point is not suitable for evaluating chipping, which is formed on the outline of machining marks formed on the workpiece 1 along the planned dividing line 3, textual information indicating this is displayed. is input.

制御ユニット４２は、情報入力欄６８に文字情報が入力されたとき、情報入力欄６８に入力された該文字情報と、該特定の点の被加工物１における座標情報と、を関連付けて記憶部４４に記憶させる。そのため、作業者は、被加工物１における該特定の点の位置に関する情報を別途入力する必要がない。 When character information is input in the information input field 68, the control unit 42 associates the character information input in the information input field 68 with the coordinate information of the specific point on the workpiece 1, and stores the information in the storage section. 44. Therefore, the operator does not need to separately input information regarding the position of the specific point on the workpiece 1.

例えば、該特定の点の位置に関する情報を作業者が文字や絵等の手段により表現して記録する場合、少なくない手間がかかる。また、位置に関する情報を正確に記録するのは容易ではない。その一方で、本実施形態に係る加工装置においては、作業者は撮像画像６４を見て特定の点を指定するだけで該特定の点の座標情報を生成できる。そのため、該特定の点に関する文字情報を該座標情報と関連付けて極めて容易かつ正確に記録できる。 For example, when a worker expresses and records information regarding the position of a particular point using words, pictures, etc., it takes considerable time and effort. Furthermore, it is not easy to accurately record information regarding location. On the other hand, in the processing apparatus according to this embodiment, the operator can generate coordinate information of a specific point by simply looking at the captured image 64 and specifying the specific point. Therefore, character information regarding the specific point can be recorded extremely easily and accurately in association with the coordinate information.

次に、記憶部４４に記憶された情報を該表示ユニットに表示させる機能と、該機能を実現する制御ユニット４２の構成と、について説明する。まず、切削装置２は、該表示ユニットに表示させる情報を作業者が選択できる情報選択画面を該表示ユニットに表示させる。制御ユニット４２は、該情報選択画面を該表示ユニットに表示させる情報選択画面表示部５０を備える。 Next, the function of displaying the information stored in the storage section 44 on the display unit and the configuration of the control unit 42 that realizes this function will be explained. First, the cutting device 2 causes the display unit to display an information selection screen from which the operator can select information to be displayed on the display unit. The control unit 42 includes an information selection screen display section 50 that causes the display unit to display the information selection screen.

図７は、表示ユニットとして機能するタッチパネル付きディスプレイ４０に表示された情報選択画面７２を模式的に示す正面図である。情報選択画面７２は、画面説明欄６２と、被加工物１の形状を表す模式図７４と、を含み、該模式図７４上に該特定の点の位置を示す目印７６が表示されている。 FIG. 7 is a front view schematically showing an information selection screen 72 displayed on the touch panel display 40 functioning as a display unit. The information selection screen 72 includes a screen explanation column 62 and a schematic diagram 74 representing the shape of the workpiece 1, and a mark 76 indicating the position of the specific point is displayed on the schematic diagram 74.

ここで、模式図７４に重ねられて表示される目印７６は、記憶部４４に記憶された座標情報の数だけ生成され、それぞれの座標情報に基づいて模式図７４上に配される。図７には、模式図７４上に３つの目印７６が表示されている場合が例示されている。この場合、記憶部４４に情報が記憶された特定の点が３つであることがわかる。そして、各目印７６で示された特定の点に関連する情報が記憶部４４に記憶されていることがわかる。 Here, the marks 76 displayed superimposed on the schematic diagram 74 are generated by the number of pieces of coordinate information stored in the storage unit 44, and are arranged on the schematic diagram 74 based on the respective pieces of coordinate information. FIG. 7 illustrates a case where three marks 76 are displayed on the schematic diagram 74. In this case, it can be seen that there are three specific points at which information is stored in the storage unit 44. It can also be seen that information related to the specific point indicated by each mark 76 is stored in the storage unit 44.

なお、該目印７６は、該座標情報に関連付けられた文字情報の内容の種別に応じた色または形状で模式図７４上に表示されてもよい。また、情報選択画面７２には、選択された種別の内容の文字情報に対応する目印７６だけを模式図７４上に表示する情報種別選択ボタンが表示されてもよい。情報選択画面表示部５０は、作業者により該情報種別選択ボタンが使用されたとき、特定の種別に該当する目印７６だけを模式図７４上に表示させる。 Note that the mark 76 may be displayed on the schematic diagram 74 in a color or shape depending on the type of text information associated with the coordinate information. Further, the information selection screen 72 may display an information type selection button that displays only the mark 76 corresponding to the text information of the selected type on the schematic diagram 74. The information selection screen display section 50 displays only the marks 76 that correspond to a specific type on the schematic diagram 74 when the information type selection button is used by the operator.

制御ユニット４２は、情報選択画面７２に表示された目印７６が該入力ユニットで選択されたとき、記憶部４４に記憶された該文字情報のうち該目印７６に対応する該特定の点に関連付けられた該文字情報を該表示ユニットに表示させる情報表示部５２をさらに含む。図８は、表示ユニットとして機能するタッチパネル付きディスプレイ４０に表示された情報表示画面７８を模式的に示す正面図である。 When the mark 76 displayed on the information selection screen 72 is selected by the input unit, the control unit 42 causes the character information stored in the storage unit 44 to be associated with the specific point corresponding to the mark 76. The information display unit 52 further includes an information display unit 52 that displays the text information on the display unit. FIG. 8 is a front view schematically showing the information display screen 78 displayed on the touch panel display 40 functioning as a display unit.

情報表示画面７８には、例えば、選択された特定の点の位置が目印７６の位置で示された被加工物１の模式図７４と、文字情報表示欄８０と、画面説明欄６２と、が含まれる。情報表示部５２は、該特定の点に関連付けられた文字情報を記憶部４４から読み出し、文字情報表示欄８０に該文字情報を表示させる。このように、切削装置２を使用する作業者は、情報選択画面７２において模式図７４に重ねて表示される目印７６を選択するだけで、記録された文字情報の内容を極めて容易に確認できる。 The information display screen 78 includes, for example, a schematic diagram 74 of the workpiece 1 in which the position of the selected specific point is indicated by the position of the mark 76, a text information display field 80, and a screen explanation field 62. included. The information display unit 52 reads the text information associated with the specific point from the storage unit 44 and displays the text information in the text information display field 80. In this way, the operator using the cutting device 2 can extremely easily confirm the contents of the recorded text information by simply selecting the mark 76 displayed over the schematic diagram 74 on the information selection screen 72.

さらに、情報表示部５２は、情報選択画面７２に表示された目印７６が該入力ユニットで選択されたとき、被加工物１の該特定の点を撮像ユニット３８が撮像した撮像画像６４を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させてもよい。すなわち、情報表示画面７８には、撮像画像６４が含まれてもよい。 Furthermore, when the mark 76 displayed on the information selection screen 72 is selected by the input unit, the information display section 52 displays the image 64 captured by the imaging unit 38 of the specific point on the workpiece 1 as the character. It may be displayed on the display unit together with the information. That is, the information display screen 78 may include the captured image 64.

情報表示部５２は、記憶部４４に記憶された該特定の点の該座標情報に基づいて撮像ユニット３８及び保持テーブル８を相対的に移動させ、撮像ユニット３８の下方に該特定の点を位置付ける。図３には、該特定の点の該座標情報に基づいて撮像ユニット３８及び保持テーブル８が相対的に移動する様子を模式的に示す側面図が含まれている。 The information display unit 52 relatively moves the imaging unit 38 and the holding table 8 based on the coordinate information of the specific point stored in the storage unit 44, and positions the specific point below the imaging unit 38. . FIG. 3 includes a side view schematically showing how the imaging unit 38 and the holding table 8 move relative to each other based on the coordinate information of the specific point.

この場合、切削装置２を使用する作業者は、該特定の点に関する文字情報を確認できるだけでなく、該特定の点を写す撮像画像６４を確認できるため、該特定の点の状態をより詳細に把握できる。このとき、撮像ユニット３８及び保持テーブル８が自動的に動かされるため、作業者は、撮像ユニット３８及び保持テーブル８を移動させる操作をする必要がない。その上、作業者が操作を誤り該特定の点ではない位置を撮像する可能性もない。 In this case, the operator using the cutting device 2 can not only check the textual information regarding the specific point, but also the captured image 64 that shows the specific point, so the operator can see the state of the specific point in more detail. I can understand it. At this time, since the imaging unit 38 and the holding table 8 are automatically moved, the operator does not need to perform an operation to move the imaging unit 38 and the holding table 8. Moreover, there is no possibility that the operator will make a mistake in the operation and image a position other than the specific point.

また、切削装置２は、被加工物１の加工が完了する等して保持テーブル８から被加工物１が搬出された後においても、記憶部４４に記憶された被加工物１の該特定の点に関する情報を確認できる機能を備えてもよい。この場合、例えば、被加工物１が保持テーブル８から搬出された後においても該特定の点の写る撮像画像６４を確認できるように、記憶部４４には、撮像ユニット３８で撮像した撮像画像６４が記憶されてもよい。 In addition, even after the workpiece 1 is carried out from the holding table 8 after the processing of the workpiece 1 is completed, the cutting device 2 continues to use the specific information of the workpiece 1 stored in the storage unit 44. It may also include a function that allows you to check information regarding points. In this case, for example, the storage unit 44 stores the captured image 64 captured by the imaging unit 38 so that the captured image 64 showing the specific point can be checked even after the workpiece 1 is carried out from the holding table 8. may be stored.

すなわち、記憶部４４は、該特定の点に関する該文字情報と、該座標情報と、に加えて被加工物１を撮像ユニット３８で撮像した撮像画像６４を関連付けて記憶部４４に記憶してもよい。なお、記憶部４４には、例えば、表示ユニットに表示された位置選択画面６０において被加工物１の該特定の点が選択されたとき、該位置選択画面６０に含まれていた撮像画像６４が記憶される。 That is, the storage unit 44 may store the text information regarding the specific point, the coordinate information, and the captured image 64 of the workpiece 1 captured by the imaging unit 38 in association with each other. good. Note that, for example, when the specific point of the workpiece 1 is selected on the position selection screen 60 displayed on the display unit, the captured image 64 included in the position selection screen 60 is stored in the storage unit 44. be remembered.

そして、情報表示部５２は、情報選択画面７２に表示された目印７６が該入力ユニットで選択されたとき、記憶部４４に記憶された撮像画像６４を読み出して該文字情報とともに該表示ユニットに表示させる。この場合、作業者は、被加工物１が保持テーブル８から搬出された後においても、記憶部４４に登録された該文字情報とともに該特定の点が写る撮像画像６４を確認できる。 Then, when the mark 76 displayed on the information selection screen 72 is selected by the input unit, the information display unit 52 reads the captured image 64 stored in the storage unit 44 and displays it on the display unit together with the character information. let In this case, even after the workpiece 1 is removed from the holding table 8, the operator can check the captured image 64 showing the specific point together with the character information registered in the storage unit 44.

また、加工される前の被加工物１が写る撮像画像６４が記憶部４４に記憶される場合、該撮像画像６４は、被加工物１が保持テーブル８から搬出される前においても有用である。例えば、加工が実施された被加工物１を撮像ユニット３８で撮像した画像と、記憶部４４に記憶された加工前の被加工物１が写る撮像画像６４と、を比較することもできる。 Further, when the captured image 64 showing the workpiece 1 before being processed is stored in the storage unit 44, the captured image 64 is useful even before the workpiece 1 is carried out from the holding table 8. . For example, it is also possible to compare an image captured by the imaging unit 38 of the processed workpiece 1 with a captured image 64 of the processed workpiece 1 stored in the storage unit 44 before processing.

ところで、切削装置２では、同種の複数の被加工物１が次々に連続的に加工される。そして、特定の点に関する文字情報及び座標情報の記憶部４４への登録に使用された被加工物１とは異なる新規被加工物において該特定の点に関する文字情報と、該新規被加工物における該特定の点の状態と、を確認したい場合がある。 By the way, in the cutting device 2, a plurality of workpieces 1 of the same type are continuously machined one after another. Then, in a new workpiece different from the workpiece 1 that was used to register the character information and coordinate information regarding the specific point in the storage unit 44, the character information regarding the specific point and the coordinate information in the new workpiece are stored. You may want to check the status of a specific point.

この場合、制御ユニット４２の情報選択画面表示部５０が表示ユニットに情報選択画面７２を表示させ作業者が模式図７４上の目印７６を選択したときに、記憶部４４に登録された座標情報に基づいて撮像ユニット３８等を移動させることが考えられる。しかしながら、該座標情報が取得された際の保持テーブル８の保持面８ａにおける被加工物１の位置と、保持面８ａにおける新規被加工物の位置と、が同一になるとは限らない。 In this case, when the information selection screen display section 50 of the control unit 42 displays the information selection screen 72 on the display unit and the operator selects the mark 76 on the schematic diagram 74, the coordinate information registered in the storage section 44 is displayed. It is conceivable to move the imaging unit 38 and the like based on this. However, the position of the workpiece 1 on the holding surface 8a of the holding table 8 when the coordinate information is acquired is not necessarily the same as the position of the new workpiece on the holding surface 8a.

より詳細に説明すると、切削装置２では、Ｘ軸方向移動機構及び切削ユニット移動機構により保持テーブル８と、切削ユニット１８及び撮像ユニット３８と、が相対的に動かされる。そして、制御ユニット４２は、被加工物１の撮像や加工が所定の通りに実施されるように、保持テーブル８と、撮像ユニット３８等と、の相対的な位置関係を制御することで被加工物１を移動させる。 To explain in more detail, in the cutting device 2, the holding table 8, the cutting unit 18, and the imaging unit 38 are relatively moved by the X-axis direction movement mechanism and the cutting unit movement mechanism. The control unit 42 controls the relative positional relationship between the holding table 8, the imaging unit 38, etc., so that the imaging and processing of the workpiece 1 is carried out in a predetermined manner. Move object 1.

そのため、実用のために、該特定の点の該被加工物１における座標情報を登録する際、保持テーブル８と、撮像ユニット３８等と、の位置関係が該座標情報として記憶部４４に記憶される場合がある。なお、保持テーブル８の保持面８ａにおける被加工物１の位置が変化しない限り、該位置関係が該座標情報として記憶部４４に記憶されても特に問題とはならない。 Therefore, for practical purposes, when registering the coordinate information of the specific point on the workpiece 1, the positional relationship between the holding table 8 and the imaging unit 38 etc. is stored in the storage unit 44 as the coordinate information. There may be cases. Note that as long as the position of the workpiece 1 on the holding surface 8a of the holding table 8 does not change, there is no particular problem even if the positional relationship is stored in the storage unit 44 as the coordinate information.

しかしながら、保持テーブル８に被加工物１に代えて新規被加工物が保持されたときに問題となる場合がある。すなわち、記憶部４４に登録された該座標情報に基づいて新規被加工物を保持する保持テーブル８と、撮像ユニット３８と、の相対位置を調整しても、新規被加工物における特定の点が撮像ユニット３８の下方に位置付けられない場合がある。これは、被加工物１と新規被加工物とで保持テーブル８の保持面８ａにおける固定位置が完全に同一になるとは限らないためである。 However, a problem may arise when a new workpiece is held on the holding table 8 instead of the workpiece 1. That is, even if the relative positions of the holding table 8 that holds the new workpiece and the imaging unit 38 are adjusted based on the coordinate information registered in the storage unit 44, a specific point on the new workpiece is not fixed. There are cases where it cannot be positioned below the imaging unit 38. This is because the fixing positions of the holding table 8 on the holding surface 8a of the workpiece 1 and the new workpiece are not necessarily completely the same.

そこで、本実施形態に係る加工装置である切削装置２は、保持テーブル８に保持された新規被加工物における該特定の点を撮像ユニット３８の下方に位置付けるために、記憶部４４に登録された座標情報を補正する。すなわち、被加工物１と新規被加工物との保持テーブル８の保持面８ａにおける固定位置の位置ずれ量を算出し、該位置ずれ量で座標情報を補正し、補正された位置情報に基づいて保持テーブル８及び撮像ユニット３８を相対的に移動させる。 Therefore, the cutting device 2, which is the processing device according to the present embodiment, has a point registered in the storage unit 44 in order to position the specific point on the new workpiece held on the holding table 8 below the imaging unit 38. Correct the coordinate information. That is, the amount of positional deviation between the fixed positions on the holding surface 8a of the holding table 8 between the workpiece 1 and the new workpiece is calculated, the coordinate information is corrected by the amount of positional deviation, and the coordinate information is corrected based on the corrected positional information. The holding table 8 and the imaging unit 38 are moved relatively.

制御ユニット４２は、被加工物１の保持テーブル８における位置を第１の保持位置として記憶部４４に登録させる第１の保持位置登録部５６を有する。さらに、制御ユニット４２は、被加工物１と同種の新規被加工物が保持テーブル８に保持されたとき、該新規被加工物の保持テーブル８における位置を第２の保持位置として記憶部４４に登録させる第２の保持位置登録部５８を有する。 The control unit 42 includes a first holding position registration section 56 that registers the position of the workpiece 1 on the holding table 8 in the storage section 44 as a first holding position. Further, when a new workpiece of the same type as the workpiece 1 is held on the holding table 8, the control unit 42 stores the position of the new workpiece on the holding table 8 as a second holding position in the storage unit 44. It has a second holding position registration section 58 for registration.

ここで、保持テーブル８における被加工物１及び新規被加工物の位置の検出は、例えば、被加工物１等を分割予定ライン３に沿って加工するために、撮像ユニット３８で被加工物１等を撮像して分割予定ライン３の位置及び向きを検出する際に実施されるとよい。 Here, the positions of the workpiece 1 and the new workpiece on the holding table 8 are detected by the imaging unit 38, for example, in order to process the workpiece 1 etc. along the dividing line 3. It is preferable to carry out this process when detecting the position and orientation of the planned dividing line 3 by capturing an image of the dividing line 3.

制御ユニット４２は、記憶部４４に登録された該第１の保持位置及び該第２の保持位置の位置ずれ量を算出し、記憶部４４に記憶された該座標情報を該位置ずれ量で補正する位置ずれ補正部５４をさらに有する。そして、情報表示部５２は、情報選択画面７２に表示された目印７６が該入力ユニットで選択されたとき、位置ずれ補正部５４により補正された座標情報に基づいて撮像ユニット３８及び保持テーブル８を相対的に移動させる。 The control unit 42 calculates the positional deviation amount between the first holding position and the second holding position registered in the storage unit 44, and corrects the coordinate information stored in the storage unit 44 using the positional deviation amount. It further includes a positional deviation correction section 54 that performs the following. Then, when the mark 76 displayed on the information selection screen 72 is selected by the input unit, the information display section 52 displays the imaging unit 38 and the holding table 8 based on the coordinate information corrected by the positional deviation correction section 54. Move relatively.

すなわち、情報表示部５２は、被加工物１の該特定の点に対応する位置において撮像ユニット３８に該新規被加工物を撮像させる。そして、情報表示部５２は、該新規被加工物が写る画像を該特定の点に関する該文字情報とともに該表示ユニットに表示させて情報表示画面７８を生成する。このように、記憶部４４に記憶された座標情報を補正できると、複数の被加工物１を連続的に加工する過程において、いずれの被加工物１が保持テーブル８に保持されていても、該特定の点が写る撮像画像６４を表示ユニットに表示できる。 That is, the information display section 52 causes the imaging unit 38 to image the new workpiece at a position corresponding to the specific point on the workpiece 1. Then, the information display section 52 generates an information display screen 78 by displaying an image of the new workpiece together with the character information regarding the specific point on the display unit. In this way, if the coordinate information stored in the storage unit 44 can be corrected, no matter which workpiece 1 is held on the holding table 8 in the process of continuously processing a plurality of workpieces 1, A captured image 64 showing the specific point can be displayed on the display unit.

なお、本発明は、上記の実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記の実施形態において、加工装置（切削装置２）のタッチパネル付きディスプレイ４０に被加工物１の特定の点に関する文字情報及び座標情報を表示させる場合について説明したが、本発明の一態様に係る加工装置はこれに限定されない。すなわち、記憶部４４が記憶する各種の情報は、加工装置の外部の表示装置において表示されてもよい。 Note that the present invention is not limited to the description of the embodiments described above, and can be implemented with various modifications. For example, in the above embodiment, a case has been described in which text information and coordinate information regarding a specific point on the workpiece 1 are displayed on the touch panel display 40 of the processing device (cutting device 2). Such processing equipment is not limited to this. That is, various types of information stored in the storage unit 44 may be displayed on a display device external to the processing device.

例えば、記憶部４４に記憶された情報が引き出されて有線、無線、または記憶媒体を介して加工装置の外部のコンピュータ等に移され、該コンピュータ等のモニターに表示されてもよい。この場合、該モニターが表示ユニットとなる。 For example, the information stored in the storage unit 44 may be extracted and transferred to a computer or the like external to the processing device via wire, wireless, or storage medium, and displayed on a monitor of the computer or the like. In this case, the monitor becomes a display unit.

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, etc. according to the above embodiments can be modified and implemented as appropriate without departing from the scope of the objective of the present invention.

１ 被加工物
１ａ 表面
１ｂ 裏面
３ 分割予定ライン
５ デバイス
７ 粘着テープ
９ 環状フレーム
１１ フレームユニット
２ 切削装置（加工装置）
４ 基台
６ Ｘ軸移動テーブル
８ 保持テーブル
８ａ 保持面
１０ クランプ
１２，２４，３０ ガイドレール
１４，２８，３４ ボールねじ
１６，２８ａ，３６ パルスモータ
１８ 切削ユニット（加工ユニット）
１８ａ スピンドル
１８ｂ 切削ブレード
１８ｃ 基台
１８ｄ 刃先
２０ 排水路
２２ 支持構造
２６，３２ 移動プレート
３８ 撮像ユニット（カメラ）
４０ タッチパネル付きディスプレイ
４２ 制御ユニット
４４ 記憶部
４６ 位置選択画面表示部
４８ 情報入力欄表示部
５０ 情報選択画面表示部
５２ 情報表示部
５４ 位置ずれ補正部
５６ 第１の保持位置登録部
５８ 第２の保持位置登録部
６０ 位置選択画面
６２ 画面説明欄
６４ 撮像画像
６６ 情報入力画面
６８ 情報入力欄
７０ インターフェース画像
７２ 情報選択画面
７４ 模式図
７６ 目印
７８ 情報表示画面
８０ 文字情報表示欄 1 Workpiece 1a Front side 1b Back side 3 Planned dividing line 5 Device 7 Adhesive tape 9 Annular frame 11 Frame unit 2 Cutting device (processing device)
4 Base 6 X-axis moving table 8 Holding table 8a Holding surface 10 Clamp 12, 24, 30 Guide rail 14, 28, 34 Ball screw 16, 28a, 36 Pulse motor 18 Cutting unit (processing unit)
18a spindle 18b cutting blade 18c base 18d cutting edge 20 drainage channel 22 support structure 26, 32 moving plate 38 imaging unit (camera)
40 Display with touch panel 42 Control unit 44 Storage section 46 Position selection screen display section 48 Information input field display section 50 Information selection screen display section 52 Information display section 54 Position deviation correction section 56 First holding position registration section 58 Second holding section Location registration section 60 Location selection screen 62 Screen explanation field 64 Captured image 66 Information input screen 68 Information input field 70 Interface image 72 Information selection screen 74 Schematic diagram 76 Landmark 78 Information display screen 80 Text information display field

Claims (6)

板状の被加工物を加工する加工装置であって、
該被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
該保持テーブルで保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、
表示ユニットと、
入力ユニットと、
制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、
該撮像ユニットで撮像された撮像画像を含み、該撮像画像に表示された該被加工物の特定の点を該入力ユニットで選択できる位置選択画面を該表示ユニットに表示させる位置選択画面表示部と、
該表示ユニットに表示された該位置選択画面において該被加工物の該特定の点が選択されたとき、文字情報を該入力ユニットで入力できる情報入力欄を該表示ユニットに表示させる情報入力欄表示部と、
該情報入力欄に入力された該文字情報と、該特定の点の該被加工物における座標情報と、を関連付けて記憶する記憶部と、を含むことを特徴とする加工装置。 A processing device for processing a plate-shaped workpiece,
a holding table that holds the workpiece;
a processing unit that processes the workpiece held by the holding table;
an imaging unit that images the workpiece held by the holding table;
a display unit;
an input unit,
comprising a control unit;
The control unit includes:
a position selection screen display section that causes the display unit to display a position selection screen that includes a captured image captured by the imaging unit and allows the input unit to select a specific point of the workpiece displayed in the captured image; ,
an information input field display that causes the display unit to display an information input field in which character information can be entered with the input unit when the specific point of the workpiece is selected on the position selection screen displayed on the display unit; Department and
A processing device comprising: a storage unit that associates and stores the character information input in the information input field and coordinate information of the specific point on the workpiece. 該制御ユニットは、
該被加工物の形状を表す模式図を含み、該座標情報に基づいて該模式図上に配され該特定の点の位置を示す目印が表示された情報選択画面を該表示ユニットに表示させる情報選択画面表示部と、
該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該特定の点に関連付けられて該記憶部に記憶された該文字情報を該表示ユニットに表示させる情報表示部と、をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。 The control unit includes:
Information that causes the display unit to display an information selection screen that includes a schematic diagram representing the shape of the workpiece and displays a mark arranged on the schematic diagram and indicating the position of the specific point based on the coordinate information. a selection screen display section;
an information display unit that causes the display unit to display the character information stored in the storage unit in association with the specific point when the landmark displayed on the information selection screen is selected by the input unit; The processing apparatus according to claim 1, further comprising: a. 請求項２に記載の加工装置であって、
該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該記憶部に記憶された該座標情報に基づいて該撮像ユニット及び該保持テーブルを相対的に移動させ、該被加工物の該特定の点を該撮像ユニットが撮像した画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させることを特徴とする加工装置。 The processing device according to claim 2,
The information display section relatively displays the imaging unit and the holding table based on the coordinate information stored in the storage section when the landmark displayed on the information selection screen is selected using the input unit. A processing apparatus characterized by moving the workpiece and displaying an image taken by the imaging unit of the specific point of the workpiece on the display unit together with the text information. 請求項２に記載の加工装置であって、
該記憶部は、該文字情報と、該座標情報と、に加えて該撮像ユニットで撮像した該撮像画像を関連付けて記憶し、
該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該記憶部に記憶された該撮像画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させることを特徴とする加工装置。 The processing device according to claim 2,
The storage unit stores the character information, the coordinate information, and the captured image captured by the imaging unit in association with each other,
The information display unit is characterized in that when the landmark displayed on the information selection screen is selected by the input unit, the captured image stored in the storage unit is displayed on the display unit together with the text information. processing equipment. 請求項２に記載の加工装置であって、
該制御ユニットは、
該被加工物の該保持テーブルにおける位置を第１の保持位置として該記憶部に登録させる第１の保持位置登録部と、
該被加工物と同種の新規被加工物が該保持テーブルに保持されたとき、該新規被加工物の該保持テーブルにおける位置を第２の保持位置として該記憶部に登録させる第２の保持位置登録部と、
該記憶部に登録された該第１の保持位置及び該第２の保持位置の位置ずれ量を算出し、該記憶部に記憶された該座標情報を該位置ずれ量で補正する位置ずれ補正部と、をさらに有し、
該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該位置ずれ補正部により補正された該座標情報に基づいて該撮像ユニット及び該保持テーブルを相対的に移動させ、該被加工物の該特定の点に対応する位置において該撮像ユニットに該新規被加工物を撮像させ、該新規被加工物が写る画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させることを特徴とする加工装置。 The processing device according to claim 2,
The control unit includes:
a first holding position registration unit that registers the position of the workpiece on the holding table as a first holding position in the storage unit;
a second holding position in which, when a new workpiece of the same type as the workpiece is held on the holding table, the position of the new workpiece on the holding table is registered in the storage unit as a second holding position; Registration department and
a positional deviation correction unit that calculates a positional deviation amount between the first holding position and the second holding position registered in the storage unit, and corrects the coordinate information stored in the storage unit by the positional deviation amount; and further has
When the landmark displayed on the information selection screen is selected by the input unit, the information display section relative to the imaging unit and the holding table based on the coordinate information corrected by the positional deviation correction section. moving the new workpiece, causing the imaging unit to image the new workpiece at a position corresponding to the specific point on the workpiece, and displaying an image of the new workpiece together with the text information on the display unit. A processing device characterized by: 該入力ユニットは、該表示ユニットに重ねられたタッチパネルであることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の加工装置。 6. The processing apparatus according to claim 1, wherein the input unit is a touch panel overlaid on the display unit.

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