JP2021117655A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
13 テープ(ダイシングテープ)
15 フレーム
2 加工装置
4 基台
6 移動機構(移動ユニット)
8 X軸ガイドレール
10 X軸移動テーブル
12 X軸ボールねじ
14 X軸パルスモータ
16 テーブルベース
18 保持テーブル
18a 保持面
18b クランプ
20 ウォーターケース
22 支持構造
24 移動機構(移動ユニット)
26 Y軸ガイドレール
28 Y軸移動プレート
30 Y軸ボールねじ
32 Y軸パルスモータ
34 Z軸ガイドレール
36 Z軸移動プレート
38 Z軸ボールねじ
40 Z軸パルスモータ
42 加工ユニット
44 撮像ユニット(カメラ)
46 ハウジング
48 スピンドル
50 切削ブレード
52 ノズル
54 検出器
56 表示部
58 入力部
60 制御ユニット(制御部)
62 タッチパネル
64 表示画面(操作画面)
66 表示欄(エラー情報欄)
66a 表示欄(エラー内容情報欄)
66b 表示欄(エラー対策情報欄)
66c 表示欄(エラー関連情報欄)
70 処理部
72 エラー判定部
74 表示制御部
76 書き換え部
80 記憶部
82 エラー情報記憶部
84a エラー内容情報記憶部
84b エラー対策情報記憶部
84c エラー関連情報記憶部
Claims (5)
- 被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルによって保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
表示部と、
入力部と、
制御ユニットと、を備える加工装置であって、
該制御ユニットは、エラーの発生時にエラー情報を該表示部に表示させる機能を有し、
該エラー情報は、該エラーの内容を示すエラー内容情報と、該エラーの内容に関連するエラー関連情報と、を含み、
該エラー関連情報は、該入力部に入力される情報に基づいて変更可能であることを特徴とする加工装置。 - 該エラー情報は、該エラーに対する対策を示すエラー対策情報を更に含み、
該エラー対策情報は、該入力部に入力される情報に基づいて変更されないことを特徴とする請求項1記載の加工装置。 - 該制御ユニットは、該エラーの発生時に該エラー関連情報を該表示部に表示させるか否かを選択可能であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の加工装置。
- 該制御ユニットは、該エラーの発生時に該エラー関連情報に対応するメッセージを該表示部に表示させる機能を有し、
該メッセージは、文字又は画像を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の加工装置。 - 該表示部及び該入力部を構成するタッチパネルを備えることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の加工装置。
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---|---|---|---|---|
JPH08161008A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-06-21 | Canon Inc | デバイス製造装置および方法 |
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