JP2023006378A - 加工装置、及びアライメント条件の登録方法 - Google Patents

Abstract

【課題】アライメント条件の再登録を良好な作業性で実施する。【解決手段】被加工物をストリートに沿って加工する加工ユニットを有する加工装置であって、該被加工物を撮像するカメラと、アライメント条件登録部と、制御ユニットと、を備え、該アライメント条件登録部には、キーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、該キーパターン及び該ストリートの位置関係と、が登録され、該制御ユニットは、該被加工物を該カメラで撮像して得られた撮像画像から該キーパターンを検出し、該アライメント条件登録部に登録された該キーパターン及び該ストリートの該位置関係に基づいて該被加工物の該ストリートの位置を特定することでアライメントを実施でき、該アライメント条件登録部に登録された該キーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、該キーパターン及び該ストリートの該位置関係と、は個別に該アライメント条件登録部に再登録できる。【選択図】図４

Description

本発明は、被加工物を観察してストリート（加工予定ライン）を検出するアライメント条件が登録される加工装置及びアライメント条件の登録方法に関する。

携帯電話やコンピュータ等の電子機器に使用されるデバイスチップの製造工程では、まず、半導体等のウェーハの表面に互いに交差する複数のストリートと呼ばれる加工予定ラインを設定する。そして、ストリートで区画される各領域に、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ(Large Scale Integration)等のデバイスを形成する。次に、ウェーハを裏面側から研削して所定の厚みに薄化し、ストリートに沿ってウェーハを分割して個々のデバイスチップを形成する。

ウェーハの分割は、例えば、円環状の切削ブレードを備える切削装置や、被加工物をレーザ加工するレーザ加工装置等の加工装置により実施される。これらの加工装置は、被加工物のストリートの位置を検出するために被加工物の表面を撮像するカメラを備える。また、加工装置には、被加工物の表面に設けられる特徴的な構造物の形状がキーパターンとして登録されており、このキーパターンとストリートとの位置関係も登録されている。

カメラを被加工物に対して走査しつつ該カメラで被加工物を撮像し、得られた撮像画像からパターンマッチング等の手法によりキーパターンを検出する。すると、登録されたキーパターンとストリートの位置関係から、ストリートの位置を特定できる。そして、検出されたストリートの位置に合わせて切削ブレード等の加工具の位置を調整するアライメントを実施する。

加工装置では、ストリートの位置の検出を高速に実施するために、２段階に分けられたパターンマッチングが実施されることがある。すなわち、まず、カメラにより低倍率で被加工物の表面を広い視野で撮像して低倍率観察用キーパターンを検出する。そして、低倍率観察用キーパターンに基づいて決定された特定の範囲のみをカメラにより高倍率で撮像する。その後、キーパターンを検出してストリートの位置を特定する（特許文献１参照）。

このようなパターンマッチングを利用した加工具のアライメントを実施するには、予めキーパターンと、キーパターンの位置と、キーパターン及び加工予定ラインの位置関係と、等を含むアライメント条件を加工装置の記憶部に登録する必要がある。アライメント条件を加工装置の記憶部に登録する際、作業者は、記憶部に記憶された専用のプログラム等を実行し、所定の手順に従ってアライメント条件の各項目を登録していく。

具体的には、作業者は、カメラの受光レベルとフォーカス位置を決定し、カメラに写る被加工物の向きを調整し、カメラにより被加工物を低倍率で観察して好適な構造物を低倍率観察用キーパターンとして選択して記憶部に登録する。このとき、チャックテーブルとカメラとの相対的な位置関係が取得され、低倍率観察用キーパターンの被加工物における位置が特定され、低倍率観察用キーパターンの位置が該記憶部に登録される。

その後、カメラにより被加工物を高倍率で観察して好適な構造物をキーパターンとして選択して記憶部に登録する。このとき、チャックテーブルとカメラとの相対的な位置関係が取得され、キーパターンの被加工物における位置が特定され、キーパターンの位置が該記憶部に登録される。

次に、チャックテーブルを移動させてカメラの視野に被加工物のストリートを入れ、画像に写るストリートの中心線の位置を指定する。このとき、キーパターンとストリートとの位置関係が記憶部に登録される。

このキーパターンや該位置関係等の登録は、第１の方向と、該第１の方向に直交する第２の方向と、で個別に実施することが好ましい。すなわち、作業者は、チャックテーブルを９０度回転させ、カメラに写る被加工物の向きを調整し、被加工物を高倍率で観察して好適な構造物を第２のキーパターンとして選択して記憶部に登録するとともに、第２のキーパターンの位置を記憶部に登録する。次に、カメラの視野に第２の方向に沿ったストリートを入れ、撮像画像に写るストリートの中心線の位置を指定する。

特公平３－２７０４３号公報

これらの多数の過程を経て加工装置の記憶部に登録されるアライメント条件の一部に問題がある場合、被加工物を加工するための加工ユニットのアライメントが適切に実施されない。この場合、加工装置が停止することや、加工品質が低下することがある。そこで、アライメント条件を再び記憶部に登録しなおすこととなる。

しかしながら、従来、一部の条件に問題がある場合でも、アライメント条件のためのプログラムを再実行してすべての手順を実行する必要があった。そのため、問題のない項目を含めたすべての項目の登録を実施しなければならず、大変な手間と時間がかかっていた。さらに、問題のない項目についてアライメント条件を再登録した結果、むしろ当該項目として登録されるアライメント条件に問題が生じる可能性もあり、アライメント精度が低下する可能性があった。

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、アライメント条件の再登録を良好な作業性で実施できる加工装置及びアライメント条件の登録方法を提供することである。

本発明の一態様によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された該被加工物を該被加工物の表面に設定されたストリートに沿って加工する加工ユニットと、を有する加工装置であって、該チャックテーブルに保持された該被加工物を撮像するカメラと、該カメラで該被加工物の該ストリートを検出して該被加工物に対する該加工ユニットの位置を調整するためのアライメントが実施されるときに参照されるアライメント条件が登録されるアライメント条件登録部を備え、該チャックテーブルと該加工ユニットとを含む構成要素を制御する制御ユニットと、該アライメント条件の該アライメント条件登録部への入力に使用可能な入力インターフェースと、該カメラで撮像した画像を表示する表示ユニットと、をさらに備え、該アライメント条件登録部には、該アライメント条件として該被加工物の該表面を該カメラで撮像したときに検出可能なキーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、該キーパターン及び該ストリートの位置関係と、が登録され、該制御ユニットは、該チャックテーブルで保持された該被加工物の該表面を該カメラで撮像して得られた撮像画像から該アライメント条件登録部に登録された該キーパターンを検出し、該アライメント条件登録部に登録された該キーパターン及び該ストリートの該位置関係に基づいて該チャックテーブルで保持された該被加工物の該ストリートの位置を特定することで該アライメントを実施でき、該アライメント条件登録部に登録された該キーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、該キーパターン及び該ストリートの該位置関係と、はそれぞれ個別に該アライメント条件登録部に再登録できることを特徴とする加工装置が提供される。

好ましくは、該カメラは、第１倍率と、該第１倍率よりも高倍率である第２倍率と、で該被加工物を撮像可能であり、該アライメント条件登録部には、該第１倍率で該被加工物の該表面を該カメラで撮像したときに検出可能な低倍率観察用キーパターンと、該被加工物における該低倍率観察用キーパターンの位置と、がさらに登録されており、該制御ユニットは、該アライメントが実施されるとき、該チャックテーブルで保持された該被加工物の該表面を該カメラで該第１倍率で撮像して得られた低倍率撮像画像から該アライメント条件登録部に登録された該低倍率観察用キーパターンを検出し、該アライメント条件登録部に登録された該被加工物における該低倍率観察用キーパターンの位置と、該被加工物における該キーパターンの位置と、に基づいて撮像領域を決定して該カメラで該第２倍率で該被加工物の該撮像領域を撮像して該撮像画像を得ることができ、該アライメント条件登録部に登録された該低倍率観察用キーパターンと、該被加工物における該低倍率観察用キーパターンの位置と、はそれぞれ個別に該アライメント条件登録部に再登録できる。

より好ましくは、該アライメント条件登録部に登録された該キーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、のいずれかを修正するとき、該制御ユニットは、該アライメント条件登録部に登録された該被加工物における該キーパターンの位置で該被加工物の該表面を該カメラに撮像させ、得られた画像を該表示ユニットに表示させ、該アライメント条件登録部に登録された該キーパターン及び該ストリートの該位置関係を修正するとき、該制御ユニットは、該アライメント条件登録部に登録された該キーパターン及び該ストリートの該位置関係に基づいて特定される該ストリートの位置で該被加工物の該表面を該カメラに撮像させ、得られた画像を該表示ユニットに表示させる。

また、本発明の他の一態様によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された該被加工物を該被加工物の表面に設定されたストリートに沿って加工する加工ユニットと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を撮像するカメラと、アライメント条件登録部を備える制御ユニットと、を有し、該アライメント条件登録部には、該カメラで該被加工物の該ストリートを検出して該被加工物に対する該加工ユニットの位置を調整するためのアライメントが実施されるときに参照されるアライメント条件として該被加工物の該表面を該カメラで撮像したときに検出可能なキーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、該キーパターン及び該ストリートの位置関係と、が登録される加工装置に、該アライメント条件を登録するアライメント条件の登録方法であって、該アライメント条件登録部に登録された該キーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、該キーパターン及び該ストリートの該位置関係と、を含む選択肢から該アライメント条件の修正項目を選択する選択ステップと、該選択ステップで選択された該修正項目に係る該アライメント条件のみを該アライメント条件登録部に再登録して該修正項目を修正する修正ステップと、を含むことを特徴とするアライメント条件の登録方法が提供される。

好ましくは、該加工装置の該カメラは、第１倍率、該第１倍率よりも高倍率である第２倍率と、で該被加工物を撮像可能であり、該アライメント条件登録部には、該アライメント条件として該第１倍率で該被加工物の該表面を該カメラで撮像したときに検出可能な低倍率観察用キーパターンと、該被加工物における該低倍率観察用キーパターンの位置と、がさらに登録されており、該キーパターンは、該第２倍率で該被加工物の該表面を該カメラで撮像したときに検出可能であり、該選択肢には、該低倍率観察用キーパターンと、該被加工物における該低倍率観察用キーパターンの位置と、がさらに含まれる。

さらに好ましくは、該加工装置は、該カメラで撮像した画像を表示する表示ユニットをさらに備え、該選択ステップにおいて選択された該アライメント条件の該修正項目が該キーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、のいずれかである場合、該修正ステップでは、該制御ユニットにより該アライメント条件登録部に登録された該被加工物における該キーパターンの位置で該被加工物の該表面が該カメラで撮像され、得られた画像が該表示ユニットに表示され、該選択ステップにおいて選択された該アライメント条件の該修正項目が該キーパターン及び該ストリートの該位置関係である場合、該修正ステップでは、該制御ユニットにより該アライメント条件登録部に登録された該キーパターン及び該ストリートの該位置関係に基づいて特定される該ストリートの位置で該被加工物の該表面が該カメラで撮像され、得られた画像が該表示ユニットに表示される。

本発明の一態様に係る加工装置及びアライメント条件の登録方法では、制御ユニットのアライメント条件登録部に、キーパターンと、被加工物におけるキーパターンの位置と、キーパターン及びストリートの位置関係と、がアライメント条件として登録される。加工装置で被加工物を加工する過程においてこれらのアライメント条件のいずれかに問題があることが明らかとなったとき、アライメント条件の再登録が必要となる。

このとき、作業者は、アライメント条件の特定の項目を修正項目として選択し、選択された修正項目に係るアライメント条件のみをアライメント条件登録部に再登録して修正項目を修正する。そのため、アライメント条件を一からすべて再登録する必要がなく、問題のある項目のみを修正できるため、アライメント条件の再登録を迅速に実施できる。また、特に問題のない項目の登録内容は変更されないため、アライメント条件の再登録により問題が発生することはなく、アライメントの精度が悪くなることがない。

したがって、本発明の一態様により、アライメント条件の再登録を良好な作業性で実施できる加工装置及びアライメント条件の登録方法が提供される。

切削装置（加工装置）で加工される被加工物を模式的に示す斜視図である。 切削装置（加工装置）を模式的に示す斜視図である。 被加工物の表面を拡大して模式的に示す平面図である。 アライメント条件の修正画面を模式的に示す平面図である。 アライメント条件の登録方法の各ステップのフローを示すフローチャートである。

本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態に係る加工装置、及びアライメント条件の登録方法によると、制御ユニットのアライメント条件登録部にアライメント条件の特定の項目を登録できる。まず、該加工装置で加工される被加工物について説明する。図１は、被加工物１を模式的に示す斜視図である。

被加工物１は、例えば、Ｓｉ（シリコン）、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ＧａＮ（窒化ガリウム）、ＧａＡｓ（ヒ化ガリウム）、若しくは、その他の半導体等の材料からなる円板状のウェーハである。または、被加工物１は、サファイア、ガラス、石英等の材料から形成されている。該ガラスは、例えば、アルカリガラス、無アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス等である。

被加工物１の表面１ａは、互いに交差する複数のストリート（加工予定ライン）３で区画される。また、被加工物１の表面１ａのストリート３で区画された各領域には、ＩＣやＬＳＩ等のデバイス５が形成される。また、被加工物１の表面１ａには、デバイス５への電気信号の入出力に寄与する配線層、電極等（不図示）が形成されている。ただし、被加工物１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。また、デバイス５の種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。

複数のデバイス５が表面１ａに設けられた被加工物１をストリート３に沿って分割すると、それぞれデバイス５を備える複数のチップが得られる。被加工物１は、図１に示すフレームユニット１１の状態で加工装置に搬入され分割される。すなわち、加工され分割される被加工物１は、予め、ダイシングテープと呼ばれるテープ７と、環状のフレーム９と、と一体化されるとよく、フレームユニット１１が形成されるとよい。

フレーム９及びテープ７を介して被加工物１を扱うと、被加工物１の搬送に伴う衝撃等から被加工物１を保護できるため、被加工物１の取り扱いが容易となる。また、被加工物１が分割されて形成された個々のチップはテープ７に支持されるため、形成されるチップの取り扱いも容易となる。その後、テープ７をフレーム９の開口９ａの内部で径方向外側に拡張すると、各チップ間の間隔が広がりチップのピックアップが容易となる。

テープ７は、柔軟性を有するシート状の基材と、基材の上に設けられた粘着層と、を備える。基材には、例えば、ＰＯ（ポリオレフィン）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン等が用いられる。また、粘着層には、例えば、シリコーンゴム、アクリル系材料、エポキシ系材料等が用いられる。

環状のフレーム９は、金属等の材料で形成され、被加工物１の径よりも大きい径の開口９ａを備える。フレーム９の開口９ａの周辺部には、予め開口９ａを塞ぐようにテープ７が貼着されており、開口９ａにはテープ７の貼着面が露出している。そして、フレーム９に貼着されたテープ７の開口９ａ中に露出した貼着面に被加工物１の裏面１ｂを貼着すると、フレームユニット１１を形成できる。

被加工物１の分割には、例えば、円環状の切削ブレードが装着された切削ユニットを備える切削装置が使用される。または、ストリート３に沿って被加工物１にレーザビームを照射して被加工物１をレーザ加工できるレーザ加工装置が使用される。これらの加工装置では、カメラで被加工物１の表面１ａを撮像してストリート３を検出し、ストリート３に沿って被加工物１を加工できるように切削ユニットやレーザ加工ユニット等の加工ユニットの位置を調整するアライメントが予め実施される。

以下、本実施形態に係る加工装置が切削装置である場合を例に説明するが、加工装置は切削装置に限定されない。図２は、切削装置（加工装置）２を模式的に示す斜視図である。切削装置２の基台４の角部には、カセット１３が載置されるカセットテーブル６が設けられている。カセットテーブル６は、昇降機構（不図示）により上下方向（Ｚ軸方向）に昇降可能である。図２では、カセットテーブル６に載置されたカセット１３の輪郭を二点鎖線で示している。

基台４の上面のカセットテーブル６に隣接する位置には、Ｙ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）に平行な状態を維持しながら互いに接近、離隔される一対のガイドレール８を含む仮置きテーブル１０が設けられている。また、基台４の上面の仮置きテーブル１０に隣接する位置には、カセットテーブル６に載置されたカセット１３に収容されたフレームユニット１１をカセット１３から搬出する搬出ユニット１２が設けられている。搬出ユニット１２は、フレーム９を把持できる把持部を前面に有する。

カセット１３に収容されたフレームユニット１１を搬出する際には、搬出ユニット１２をカセット１３に向けて移動させ、該把持部でフレーム９を把持し、その後、搬出ユニット１２をカセット１３から離れる方向に移動させる。すると、カセット１３からフレームユニット１１が仮置きテーブル１０に引き出される。このとき、一対のガイドレール８をＸ軸方向に互い近接する方向に連動させて移動させ、該一対のガイドレール８でフレーム９を挟み込むと、フレームユニット１１を所定の位置に位置付けられる。

基台４の上面のカセットテーブル６に隣接する位置には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い開口４ａが形成されている。開口４ａ内には、図示しないボールねじ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）と、Ｘ軸移動機構の上部を覆う蛇腹状の防塵防滴カバー２６と、が配設されている。

Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸移動テーブル１６の下部に接続されており、このＸ軸移動テーブル１６をＸ軸方向に移動させる機能を有する。例えば、Ｘ軸移動テーブル１６は、カセットテーブル６に近接する搬出入領域と、後述の切削ユニット３２の下方の加工領域と、の間を移動する。

Ｘ軸移動テーブル１６上には、テーブルベース１８と、該テーブルベース１８に載るチャックテーブル２０と、が設けられている。チャックテーブル２０の上部には、ポーラス板（不図示）が設けられており、該ポーラス板には、チャックテーブル２０内に形成された吸引路（不図示）の一端が接続されている。吸引路の他端には、吸引源（不図示）が接続されている。吸引源を動作させると、ポーラス板の表面に負圧が生じる。これにより、ポーラス板の表面は、被加工物１を吸引して保持する保持面２２として機能する。

チャックテーブル２０の下方には、チャックテーブル２０を所定の回転軸の周りに回転させる回転駆動機構（不図示）が設けられている。また、チャックテーブル２０の径方向外側には、フレーム９を把持するクランプ２４が設けられている。チャックテーブル２０は、上述したＸ軸移動機構によってＸ軸方向に移動する。

仮置きテーブル１０からチャックテーブル２０へのフレームユニット１１の搬送は、基台４の上面の仮置きテーブル１０及び開口４ａに隣接する位置に設けられた第１の搬送ユニット１４により実施される。第１の搬送ユニット１４は、基台４の上面から上方に突き出た昇降可能であるとともに回転可能な軸部と、軸部の上端から水平方向に伸長した腕部と、腕部の先端下方に設けられた保持部と、を有する。

第１の搬送ユニット１４で仮置きテーブル１０からチャックテーブル２０へフレームユニット１１を搬送する際には、Ｘ軸移動テーブル１６を移動させてチャックテーブル２０を搬出入領域に位置付ける。そして、仮置きテーブル１０に仮置きされているフレームユニット１１のフレーム９を該保持部で保持し、フレームユニット１１を持ち上げて、該軸部を回転させてフレームユニット１１をチャックテーブル２０の上方に移動させる。

その後、フレームユニット１１を下降させてチャックテーブル２０の保持面２２に載せる。そして、クランプ２４でフレーム９を固定するとともに、チャックテーブル２０でフレームユニット１１のテープ７を介して被加工物１を吸引保持する。

切削装置２は、Ｘ軸移動テーブル１６の搬出入領域から加工領域への移動経路の上方に、開口４ａを横切るように配設された支持構造２８を備える。そして、支持構造２８には下方に向いたカメラ３０が設けられている。

カメラ３０は、例えば、可視光カメラまたは赤外線カメラであり、ＣＭＯＳセンサーまたはＣＣＤセンサー等の受光素子を備える。そして、後述の制御ユニット４４に接続されており、撮像画像を該制御ユニット４４に送信する。切削装置２は、チャックテーブル２０に吸引保持された被加工物１の表面１ａをカメラ３０で撮像することで、アライメントを実施する。アライメントの内容について、詳細は後述する。

被加工物１の切削が実施される加工領域には、チャックテーブル２０に保持されたフレームユニット１１の被加工物１を切削する切削ユニット（加工ユニット）３２が設けられている。切削ユニット３２は、円環状の切り刃を外周に備える切削ブレード３４と、先端部に切削ブレード３４が装着され該切削ブレード３４の回転軸となるＹ軸方向に沿ったスピンドル３６と、を備える。

スピンドル３６の基端側には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、スピンドル３６の一端部に装着された切削ブレード３４は、この回転駆動源が生じる力によって回転する。切削ブレード３４は、アルミニウム等で形成された環状の基台と、該基台の外周部に固定された環状の切り刃と、を備える。切り刃は、例えば、ダイヤモンド等の砥粒を樹脂や金属等の結合材で固定することによって形成される。

また、切削装置２は、加工送り方向（Ｘ軸方向）に直交する割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に沿って切削ユニット３２を移動させる割り出し送りユニット（不図示）を支持構造２８の内部に備える。加工送りユニットと、割り出し送りユニットと、を作動させると被加工物１を吸引保持するチャックテーブル２０と、切削ユニット３２と、を相対的に移動できる。

チャックテーブル２０で保持されたフレームユニット１１に含まれる被加工物１に回転する切削ブレード３４を切り込ませると、被加工物１が切削されて裏面１ｂに達する分割溝が形成される。すべてのストリート３に沿って被加工物１を切削すると、被加工物１が分割されて個々のデバイスチップが形成される。その後、チャックテーブル２０は、Ｘ軸移動機構により搬出入領域に移動される。

基台４の上面の仮置きテーブル１０及び開口４ａに隣接する位置には開口４ｂが形成されており、開口４ｂには加工後のフレームユニット１１を洗浄する洗浄ユニット３８が収容されている。洗浄ユニット３８は、フレームユニット１１を保持するスピンナテーブルを備えている。

切削装置２は、搬出入領域に位置付けられたチャックテーブル２０から洗浄ユニット３８にフレームユニット１１を搬送する第２の搬送ユニット４０を備える。第２の搬送ユニット４０は、Ｙ軸方向に沿って移動可能な腕部と、腕部の先端下方に設けられた保持部と、を有する。

第２の搬送ユニット４０でチャックテーブル２０から洗浄ユニット３８へフレームユニット１１を搬送する際には、まず、フレームユニット１１を該保持部で保持する。そして、腕部をＹ軸方向に沿って移動させ、フレームユニット１１を洗浄ユニット３８のスピンナテーブルの上に載せる。その後、スピンナテーブルでフレームユニット１１を保持して被加工物１を洗浄する。

洗浄ユニット３８で被加工物１を洗浄する際には、スピンナテーブルを回転させながら被加工物１の表面に向けて洗浄用の流体（代表的には、水とエアーとを混合した混合流体）を噴射する。そして、洗浄ユニット３８で洗浄されたフレームユニット１１は、カセットテーブル６に載るカセット１３に収容される。

カセット１３にフレームユニット１１を収容する際には、第１の搬送ユニット１４を使用して洗浄ユニット３８から仮置きテーブル１０にフレームユニット１１を搬送する。そして、搬出ユニット１２をカセット１３に向けて移動させてフレームユニット１１をカセット１３に押し入れる。

このように、切削装置２では、カセット１３からフレームユニット１１が搬出され、フレームユニット１１がチャックテーブル２０で吸引保持され、被加工物１が切削ユニット３２で切削される。その後、フレームユニット１１が洗浄ユニット３８で洗浄されてカセット１３に再び収容される。切削装置２では、カセット１３から次々にフレームユニット１１が搬出され、チャックテーブル２０上において切削ユニット３２で次々に被加工物１が切削される。

切削ブレード３４で被加工物１が切削される際には、まず、被加工物１を保持するチャックテーブル２０を保持面２２に垂直な軸のまわりに回転させ、切削装置２の加工送り方向（Ｘ軸方向）と、被加工物１のストリート３の向きと、を合わせる。

そして、切削ブレード３４を回転させながら切削ブレード３４の下端がテープ７に至るまで切削ユニット３２を下降させ、その後、チャックテーブル２０をＸ軸方向に沿って移動させる。すると、切削ブレード３４が被加工物１に切り込み、被加工物１に分割溝が形成される。その後、切削ユニット３２を上昇させ、同様に同じ方向に沿った複数のストリート３に沿って次々に切削ブレード３４で被加工物１を切削する。

そして、すべての互いに平行なストリート３に沿って被加工物１に分割溝を形成した後、チャックテーブル２０を回転させて、他の方向に沿ったストリート３の向きをＸ軸方向に合わせる。そして、同様にすべてのストリート３に沿って被加工物１を切削して分割溝を形成する。すると、被加工物１が個々のデバイスチップに分割される。

切削装置２は、該切削装置２の状態や加工の進行状況、加工条件等の各種の情報や画像を表示できる表示ユニット４２を備える。表示ユニット４２は、例えば、タッチパネル付きディスプレイであり、入力インターフェースとなるタッチパネルを備える液晶ディスプレイである。例えば、表示ユニット４２には各種の操作画像が表示され、作業者はタッチパネルを入力インターフェースとして使用して各種の指令を切削装置２に入力する。

切削装置２は、さらに、チャックテーブル２０、切削ユニット３２、カメラ３０、第１の搬送ユニット１４、搬出ユニット１２、第２の搬送ユニット４０、洗浄ユニット３８、表示ユニット４２等の各構成要素を制御する制御ユニット４４を備える。

制御ユニット４４は切削装置２の各構成要素に接続されており各構成要素を制御する機能を有する。制御ユニット４４は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御ユニット４４の機能が実現される。

制御ユニット４４には、加工対象の被加工物１を加工するための加工条件が予め入力され登録される。そして、制御ユニット４４は、該加工条件に従って各構成要素を制御する。また、制御ユニット４４は、切削ユニット（加工ユニット）３２のアライメントを実施する際に参照されるアライメント条件が登録されるアライメント条件登録部４６を備える。

次に、切削ユニット（加工ユニット）３２のアライメント手順と、アライメント条件登録部４６に登録されるアライメント条件の各項目と、について説明する。切削ユニット３２のアライメントには、カメラ３０が使用される。アライメントは、カメラ３０で被加工物１の表面１ａを撮像し、得られた画像を解析することで実施される。ただし、カメラ３０で得られた撮像画像から被加工物１の表面１ａのストリート３を直接的かつ精密に検出することは容易ではない。

そこで、被加工物１の表面１ａに形成された各種の構造物からカメラ３０で検出可能な特定の部分をキーパターンとして選択する。そして、キーパターンと、被加工物１における該キーパターンの位置と、キーパターン及びストリート３の位置関係と、をアライメント条件としてアライメント条件登録部４６に登録しておく。

この場合には、切削ユニット３２のアライメントが実施されるとき、制御ユニット４４は、チャックテーブル２０で保持された被加工物１の表面１ａをカメラ３０に撮像させる。そして、得られた撮像画像からアライメント条件登録部４６に登録されたキーパターンを検出し、アライメント条件登録部４６に登録されたキーパターン及びストリート３の位置関係に基づいて被加工物１のストリート３の位置を特定する。そして、被加工物１の切削が適切に実施されるように切削ユニット３２等の位置を調整する。

ここで、アライメントを高精度に実施するには、被加工物１のキーパターンの位置を精密に検出することが好ましい。そして、キーパターンの位置を精密に検出するためには、カメラ３０のズーム倍率を高めて被加工物１の表面１ａを撮像することが好ましい。しかしながら、カメラ３０のズーム倍率が高いとカメラ３０の撮像領域に収まる被加工物１の表面１ａの領域が狭くなる。そのため、キーパターンを探索するためにカメラ３０を長時間走査させる必要があり、アライメントの作業効率が低下してしまう。

そこで、アライメント条件登録部４６には、キーパターンの位置の特定時に参照できる低倍率観察用キーパターンと、被加工物１における該低倍率観察用キーパターンの位置と、がさらに登録されていることが好ましい。そして、キーパターンを検出する前にカメラ３０のズーム倍率を下げて被加工物１の表面１ａを撮像して低倍率観察用キーパターンを検出する。

その後、アライメント条件登録部４６に登録された低倍率観察用キーパターンの位置と、キーパターンの位置と、を参照し、キーパターンの存在することが想定される領域を特定する。そして、カメラ３０のズーム倍率を高めて被加工物１の表面１ａを撮像し、キーパターンを検出する。この場合、キーパターンを探索するためにカメラ３０で被加工物１の表面１ａを長時間走査することなくキーパターンを早期に検出できるため、アライメントの作業効率が高まる。

換言すると、カメラ３０は、第１倍率と、該第１倍率よりも高倍率である第２倍率と、で被加工物１を撮像可能である。そして、アライメント条件登録部４６には、第１倍率で被加工物１の表面１ａをカメラ３０で撮像したときに検出可能な低倍率観察用キーパターンと、被加工物１における該低倍率観察用キーパターンの位置と、が登録される。

アライメント実施時には、制御ユニット４４は、チャックテーブル２０で保持された被加工物１の表面１ａをカメラ３０により該第１倍率で撮像して得られた低倍率撮像画像からアライメント条件登録部４６に登録された該低倍率観察用キーパターンを検出する。

そして、アライメント条件登録部４６に登録された被加工物１における該低倍率観察用キーパターンの位置と、該キーパターンの位置と、に基づいて撮像領域を決定してカメラ３０により第２倍率で被加工物１の該撮像領域を撮像する。すると、キーパターンを容易かつ迅速に検出できる。

アライメント条件は、切削装置２の稼働を開始する際や、新しい種別の被加工物１の切削を開始する際に予め作業者等によりアライメント条件登録部４６に登録される。例えば、アライメント条件の登録のシーケンスは、制御ユニット４４の記憶部に格納された専用のプログラムに従って遂行される。次に、アライメント条件の登録手順について説明する。

アライメント条件を登録する際には、まず、被加工物１をチャックテーブル２０の保持面２２に載せ、チャックテーブル２０で被加工物１を吸引保持し、被加工物１をカメラ３０の下方に移動させる。そして、カメラ３０により被加工物１の表面１ａの撮像を開始する。カメラ３０により撮像された画像は、表示ユニット４２に随時表示されるとよい。アライメント条件の登録のシーケンスの間、表示ユニット４２には撮像画像が繰り返し表示され続ける。作業者は、表示ユニット４２の撮像画像を確認しながら作業を進める。

まず、カメラ３０でキーパターンを明瞭に検出するために光量調整が実施される。すなわち、カメラ３０が光源とともに使用される場合、光源の明るさが調整される。また、カメラ３０の受光素子の受光レベルが調整される。作業者は、表示ユニット４２に写る撮像画像を確認しながら光量調整を実施する。また、被加工物１の表面１ａに形成された構造物にカメラ３０の焦点が合うように、フォーカス調整を実施する。

次に、被加工物１のストリート３が加工送り方向（Ｘ軸方向）に合うように、チャックテーブル２０の方向を調整する。作業者は、ストリート３がカメラ３０の撮像領域に入るように被加工物１等の位置を調整し、チャックテーブル２０を加工送り方向に沿って大きく移動させる。このとき、撮像画像においてストリート３の位置が割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に移動して見える場合、ストリート３の向きと加工送り方向の向きが一致していないことが理解される。

この場合、作業者は、チャックテーブル２０を保持面２２に交差する軸の周りに僅かに回転させ、ストリート３の向きを調整する。そして、再びチャックテーブル２０を加工送り方向に沿って大きく移動させて、ストリート３が割り出し送り方向に移動するように見えるか否かを確認する。このとき、ストリート３の割り出し送り方向における位置が変化しない場合、ストリート３の向きと加工送り方向の向きが一致していることが理解される。こうしてチャックテーブル２０の方向が調整される。

次に、比較的低い倍率の第１倍率においてカメラ３０で被加工物１の表面１ａを撮像して、被加工物１の表面１ａが写る撮像画像から低倍率観察用キーパターンを選択してアライメント条件登録部４６に登録することが好ましい。このとき、制御ユニット４４は、チャックテーブル２０及びカメラ３０の相対位置から被加工物１における低倍率観察用キーパターンの位置を特定し、アライメント条件登録部４６に被加工物１における低倍率観察用キーパターンの位置を登録する。

そして、比較的高い倍率の第２倍率においてカメラ３０で被加工物１の表面１ａを撮像して、被加工物１の表面１ａが写る撮像画像からキーパターンを選択してアライメント条件登録部４６に登録する。そして、被加工物１の表面１ａが写る撮像画像からキーパターンを選択して登録する。このとき、制御ユニット４４は、チャックテーブル２０及びカメラ３０の相対位置から被加工物１におけるキーパターンの位置を特定し、アライメント条件登録部４６に被加工物１におけるキーパターンの位置を登録する。

図３は、被加工物１の表面１ａを拡大して模式的に示す平面図である。図３では、被加工物１に形成された複数のデバイス５と、互いに交差する複数のストリート３と、が模式的に示されている。デバイス５は、トランジスタ等の電気素子、回路、配線、電極等の各種の要素を含む。これらの要素は、導電層、絶縁層、半導体層等の機能層により構成される。デバイス５には、その用途や目的のために定められた形状で各種の構造物が設けられる。

図３には、デバイス５に設けられた一例に係る構造物１５，１７と、一例に係るキーパターン１９と、が模式的に示されている。アライメントに使用されるキーパターン１９として設定される構造物１５，１７に特に制限はないが、キーパターン１９の誤検出を防止するために、被加工物１の表面１ａの他の領域に類似した構造物が存在しないことが好ましい。

次に、キーパターン１９とストリート３の位置関係をアライメント条件登録部４６に登録する。より詳細には、キーパターン１９の最寄りのストリート３をカメラ３０で撮像できるようにカメラ３０の撮像領域を移動する。そして、撮像画像においてストリート３が写る領域を選択する。例えば、ストリート３の中心線２１を選択する。

このときのチャックテーブル２０等の移動量と、撮像画像におけるストリート３の位置と、アライメント条件登録部４６に登録されたキーパターンの位置と、に基づいてキーパターン１９とストリート３の位置関係を特定する。例えば、キーパターン１９と、ストリート３の中心線２１と、の距離２３を特定し、キーパターン１９とストリート３の位置関係として距離２３をアライメント条件登録部４６に登録する。

以上に説明したアライメント条件の登録手順で登録されるアライメント条件により、被加工物１に設定された互いに交差する複数のストリート３のうち、一つの方向に沿ったストリート３の検出が可能となる。そして、他の方向に沿ったストリート３の検出を可能とするためには、チャックテーブル２０を９０°程度回転させて、同様の手順に従って第２のキーパターンと、第２のキーパターンとストリート３の位置関係と、をアライメント条件登録部４６に登録する。

このように、切削装置２の制御ユニット４４のアライメント条件登録部４６にアライメント条件を登録する作業には多数のステップがあり、そのいずれか一つでも適切に実施されない場合、切削ユニット３２のアライメントを適切に実施できなくなる。そのため、被加工物１の切削を開始する際にアライメントが実行不能となり切削装置２が停止することや、被加工物１が不適切に切削され所望の加工結果が得られない場合がある。

この場合、適切なアライメント条件をアライメント条件登録部４６に再登録する必要がある。しかしながら、アライメント条件を登録するためのシーケンスを実行してすべてのステップを再度実施するのは大変な手間である。また、この場合、アライメント条件の特段問題のない項目についても再登録が実施され、再登録により不適切なアライメント条件がアライメント条件登録部４６に登録されるおそれがあり、アライメント精度が低下することも考えられる。

そこで、本実施形態に係る切削装置（加工装置）２及びアライメント条件の登録方法では、アライメント条件登録部４６に登録されたアライメント条件の一部の項目を修正項目として選択して、当該項目を個別に再登録可能とした。次に、アライメント条件の特定の項目を再登録するアライメント条件の登録方法を説明することにより、切削装置（加工装置）２の機能及び動作について説明する。図５は、当該アライメント条件の登録方法の各ステップの流れを説明するフローチャートである。

当該アライメント条件の登録方法では、まず、アライメント条件登録部４６に登録されたアライメント条件の修正項目を選択肢から選択する選択ステップＳ１０を実施する。修正項目の選択肢には、キーパターン１９と、被加工物１におけるキーパターン１９の位置と、キーパターン１９及びストリート３の位置関係と、が含まれる。

アライメント条件登録部４６に低倍率観察用キーパターンと、被加工物１における該低倍率観察用キーパターンの位置と、がさらに登録されている場合では、これらが修正項目として選択できるとよい。すなわち、該修正項目の選択肢には、該低倍率観察用キーパターンと、該被加工物における該低倍率観察用キーパターンの位置と、がさらに含まれるとよい。

図４は、アライメント条件の修正項目を選択するための選択画面４２ａを表示する表示ユニット４２を模式的に示す平面図である。選択画面４２ａには、該選択画面４２ａがアライメント条件の修正項目の選択画面であることを示す説明文４８と、カメラ３０による撮像画像５０と、撮像画像５０がカメラ３０の撮像画像であることを説明する説明文５２と、が表示される。

アライメント条件の修正の必要性は、例えば、被加工物１を切削ユニット３２で切削しようとする際にアライメントエラーが生じたときに作業者に認識される。このとき、チャックテーブル２０で被加工物１が吸引保持されているのであれば、チャックテーブル２０で吸引保持されている被加工物１でアライメント条件の修正作業をそのまま実施できる。そして、カメラ３０はチャックテーブル２０で保持された被加工物１の表面１ａを撮像し、表示ユニット４２には被加工物１の表面１ａが写る撮像画像５０が表示される。

選択画面４２ａを表示する表示ユニット４２には、さらに、撮像画像５０がカメラ３０の撮像画像であることを示す説明文５２が表示されるとともに撮像画像５０に写る領域の位置の表示として、Ｘ座標表示５４ａ及びＹ座標表示５４ｂが表示される。また、チャックテーブル２０等を移動させて撮像画像５０の表示領域を移動させる指令を入力するための移動ボタン６２が表示される。

さらに、選択画面４２ａには、アライメント条件の入力項目を選択するための各種のボタンが表示される。すなわち、選択画面４２ａには、カメラ３０のフォーカスを調整する指令を入力するためのボタン５８と、被加工物１（チャックテーブル２０）の向きを変更する指令を入力するためのボタン６０が表示される。さらに、キーパターン１９を変更する指令を入力するためのボタン６８と、キーパターン１９及びストリート３の位置関係を変更する指令を入力するためのボタン７０と、が表示される。

さらに、作業者の参考のために、選択画面４２ａには、アライメント条件登録部４６に登録されているキーパターン１９の画像６４と、キーパターン１９及びストリート３の位置関係の基礎となるストリート３を示す画像６６と、が含まれる。また、その他の特定の指令を入力するための各種のボタン７２も含まれる。

なお、画像６４は、アライメント条件登録部４６にキーパターン１９として登録された画像である。そして、画像６６は、キーパターン１９及びストリート３の位置関係の登録時にアライメント条件登録部４６に登録されていることが好ましい。

選択ステップＳ１０では、作業者は、表示ユニット４２に表示された選択画面４２ａを使用して、アライメント条件登録部４６に登録されたアライメント条件のうち修正項目（再登録する項目）を選択する。そして、次に、選択ステップＳ１０で選択された該修正項目に係るアライメント条件のみをアライメント条件登録部４６に再登録して該修正項目を修正する修正ステップＳ２０を実施する。

図４には、キーパターン１９を変更する指令を入力するためのボタン６８がタッチされた際の選択画面４２ａを表示する表示ユニット４２が模式的に示されている。アライメント条件の特定の項目が再登録される際には、制御ユニット４４は、その時点でアライメント条件登録部４６に登録されている当該項目の登録内容を参照して被加工物１の表面１ａの対応する領域をカメラ３０に撮像させるように各構成要素を制御する。

例えば、選択ステップＳ１０において選択されたアライメント条件の修正項目がキーパターン１９と、被加工物１におけるキーパターン１９の位置と、のいずれかである場合、修正ステップＳ２０では、キーパターン１９が写るように各構成要素が制御される。すなわち、制御ユニット４４によりアライメント条件登録部４６に登録された被加工物１におけるキーパターン１９の位置で被加工物１の表面１ａがカメラ３０で撮像され、得られた画像が表示ユニット４２に表示される。

より詳細には、キーパターン１９を変更する際には、キーパターン１９として設定された構造物１５がカメラ３０の撮像領域に含まれるようにチャックテーブル２０等が移動される。また、表示ユニット４２には、新しいキーパターン１９を選択するための指定枠５６が表示される。作業者は、新しくキーパターン１９として登録する領域を指定枠５６で囲むように指定枠５６の位置、形状、大きさ等を操作する。

また、選択ステップＳ１０において選択されたアライメント条件の修正項目がキーパターン１９及びストリート３の位置関係である場合、修正ステップＳ２０では、ストリート３が写るように各構成要素が制御される。すなわち、制御ユニット４４によりアライメント条件登録部４６に登録されたキーパターン１９及びストリート３の位置関係に基づいて特定されるストリート３の位置で被加工物１の表面１ａがカメラ３０で撮像され、得られた画像が表示ユニット４２に表示される。

より詳細には、キーパターン１９及びストリート３の位置関係を修正するために作業者が選択画面４２ａに含まれるボタン７０をタッチする。このとき、制御ユニット４４は、アライメント条件登録部４６に登録されたキーパターン１９の位置と、変更前のキーパターン１９及びストリート３の位置関係と、に基づいてカメラ３０がストリート３を捉えられるようにチャックテーブル２０等を制御する。

そして、表示ユニット４２には、ストリート３が写る撮像画像５０と、ストリート３の中心線を指定するための直線（不図示）と、が表示される。作業者は、ストリート３の中心線にこの直線を移動させることでストリート３の位置を指定することで、アライメント条件登録部４６にキーパターン１９及びストリート３の位置関係を登録する。例えば、キーパターン１９と、ストリート３の中心線と、の距離がアライメント条件登録部４６に登録される。

アライメント条件登録部４６に登録されたアライメント条件の他の項目を変更する際には、各項目の新しい条件を入力するのに適した領域でカメラ３０が被加工物１の表面１ａを撮像し、撮像画像が表示ユニット４２に表示されるとよい。そして、当該項目のアライメント条件の入力に適した各種のカーソル等が表示ユニット４２に表示されることが好ましい。そして、修正ステップＳ２０では、作業者は、表示ユニット４２を利用してアライメント条件の特定の項目について再登録して修正する。

例えば、切削装置２では、アライメント条件登録部４６に登録されたキーパターン１９と、被加工物１におけるキーパターン１９の位置と、キーパターン１９及びストリート３の位置関係と、はそれぞれ個別にアライメント条件登録部４６に再登録できる。また、アライメント条件登録部４６に低倍率観察用キーパターンと、被加工物１における該低倍率観察用キーパターンの位置と、が登録されている場合、これらをそれぞれ個別にアライメント条件登録部４６に再登録できる。

以上に説明する通り、本実施形態に係る切削装置（加工装置）２及びアライメント条件の登録方法によると、被加工物を加工する過程においてアライメント条件のいずれかの項目に問題があることが明らかとなったとき、当該項目の再登録が可能である。すなわち、作業者は、アライメント条件の特定の項目を選択し、選択された修正項目に係るアライメント条件のみをアライメント条件登録部４６に再登録して修正項目を修正する。

そのため、アライメント条件のすべての項目を一からすべて再登録する必要がなく、問題のある項目のみを修正できるため、アライメント条件の再登録を迅速に実施できる。また、特に問題のない項目の登録内容をそのまま活用できるため、アライメント条件の再登録により問題が発生することはなくアライメントの精度が悪くなることがない。したがって、上記実施形態により、アライメント条件の再登録を良好な作業性で実施できる切削装置（加工装置）２及びアライメント条件の登録方法が提供される。

なお、本発明は、上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。上記実施形態では、作業者は、アライメント条件登録部４６に登録されたアライメント条件のうち一つの修正項目を選択して当該項目のみを再登録する場合について説明した。しかしながら、本発明の一態様はこれに限定されない。

例えば、作業者は、アライメント条件登録部４６に登録されたアライメント条件のうち複数の修正項目を選択して複数の項目についてアライメント条件を再登録してもよい。この場合、制御ユニット４４は、修正項目として選択された複数の項目のうち、他の項目に与える影響の大きい項目から修正するように作業者に促す説明文を表示ユニット４２に表示させるとよい。

例えば、アライメント条件の修正項目としてキーパターン１９の位置と、キーパターン１９及びストリート３の位置関係と、の２つの項目が選択される場合、キーパターン１９の位置を先に修正するように、修正画面が表示ユニット４２に表示されるとよい。キーパターン１９及びストリート３の位置関係はキーパターン１９の位置が基礎となる。そのため、先にキーパターン１９及びストリート３の位置関係を修正した場合、キーパターン１９の位置を修正したときに、該位置関係を再度修正する必要が生じる場合がある。

そして、先にキーパターン１９の位置が修正される場合、次に修正される該位置関係の基礎となるキーパターン１９の位置が修正済みのものとなるため、該位置関係の再登録が一度で済む。そのため、アライメント条件の再登録をより迅速かつ高効率に実施できる。

さらに、本発明の一態様では、アライメント条件登録部４６に登録されたアライメント条件のうち一つの修正項目が作業者により選択され、当該項目が修正されたときに、制御ユニット４４により他の項目の修正が促されてもよい。

例えば、アライメント条件登録部４６に登録されたアライメント条件のうちキーパターン１９が修正項目として選択され、作業者がそれまでに登録されていたキーパターン１９とはまったく別の位置にある構造物をキーパターン１９として選択することも考えられる。この場合、それまで登録されていたキーパターン１９の位置と、キーパターン１９及びストリート３の位置関係と、に問題がなかった場合でも、キーパターン１９の再登録によりこれらが不適切なアライメント条件となることがある。

したがって、制御ユニット４４は、修正項目として選択された項目が修正された後、その内容を評価してもよい。そして、制御ユニット４４は、他の項目に与える影響が大きいと判定される場合、修正の必要が新たに生じた項目の修正を作業者に促す説明文を表示ユニット４２に表示させるとよい。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１ 被加工物
１ａ 表面
１ｂ 裏面
３ ストリート
５ デバイス
７ テープ
９ フレーム
９ａ 開口
１１ フレームユニット
１３ カセット
１５ 構造物
１７ 構造物
１９ キーパターン
２１ 中心線
２３ 距離
２ 切削装置
４ 基台
４ａ，４ｂ 開口
６ カセットテーブル
８ ガイドレール
１０ 仮置きテーブル
１２ 搬出ユニット
１４，４０ 搬送ユニット
１６ Ｘ軸移動テーブル
１８ テーブルベース
２０ チャックテーブル
２２ 保持面
２４ クランプ
２６ 防塵防滴カバー
２８ 支持構造
３０ カメラ
３２ 切削ユニット
３４ 切削ブレード
３６ スピンドル
３８ 洗浄ユニット
４２ 表示ユニット
４２ａ 選択画面
４４ 制御ユニット
４６ アライメント条件登録部
４８，５２ 説明文
５０ 撮像画像
５４ａ Ｘ座標表示
５４ｂ Ｙ座標表示
５６ 指定枠
５８，６０，６８，７０，７２ ボタン
６２ 移動ボタン
６４，６６ 画像

Claims (6)

1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された該被加工物を該被加工物の表面に設定されたストリートに沿って加工する加工ユニットと、を有する加工装置であって、
   該チャックテーブルに保持された該被加工物を撮像するカメラと、
   該カメラで該被加工物の該ストリートを検出して該被加工物に対する該加工ユニットの位置を調整するためのアライメントが実施されるときに参照されるアライメント条件が登録されるアライメント条件登録部を備え、該チャックテーブルと該加工ユニットとを含む構成要素を制御する制御ユニットと、
   該アライメント条件の該アライメント条件登録部への入力に使用可能な入力インターフェースと、
   該カメラで撮像した画像を表示する表示ユニットと、をさらに備え、
   該アライメント条件登録部には、該アライメント条件として該被加工物の該表面を該カメラで撮像したときに検出可能なキーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、該キーパターン及び該ストリートの位置関係と、が登録され、
   該制御ユニットは、該チャックテーブルで保持された該被加工物の該表面を該カメラで撮像して得られた撮像画像から該アライメント条件登録部に登録された該キーパターンを検出し、該アライメント条件登録部に登録された該キーパターン及び該ストリートの該位置関係に基づいて該チャックテーブルで保持された該被加工物の該ストリートの位置を特定することで該アライメントを実施でき、
   該アライメント条件登録部に登録された該キーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、該キーパターン及び該ストリートの該位置関係と、はそれぞれ個別に該アライメント条件登録部に再登録できることを特徴とする加工装置。
2. 該カメラは、第１倍率と、該第１倍率よりも高倍率である第２倍率と、で該被加工物を撮像可能であり、
   該アライメント条件登録部には、該第１倍率で該被加工物の該表面を該カメラで撮像したときに検出可能な低倍率観察用キーパターンと、該被加工物における該低倍率観察用キーパターンの位置と、がさらに登録されており、
   該制御ユニットは、該アライメントが実施されるとき、該チャックテーブルで保持された該被加工物の該表面を該カメラで該第１倍率で撮像して得られた低倍率撮像画像から該アライメント条件登録部に登録された該低倍率観察用キーパターンを検出し、該アライメント条件登録部に登録された該被加工物における該低倍率観察用キーパターンの位置と、該被加工物における該キーパターンの位置と、に基づいて撮像領域を決定して該カメラで該第２倍率で該被加工物の該撮像領域を撮像して該撮像画像を得ることができ、
   該アライメント条件登録部に登録された該低倍率観察用キーパターンと、該被加工物における該低倍率観察用キーパターンの位置と、はそれぞれ個別に該アライメント条件登録部に再登録できることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
3. 該アライメント条件登録部に登録された該キーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、のいずれかを修正するとき、該制御ユニットは、該アライメント条件登録部に登録された該被加工物における該キーパターンの位置で該被加工物の該表面を該カメラに撮像させ、得られた画像を該表示ユニットに表示させ、
   該アライメント条件登録部に登録された該キーパターン及び該ストリートの該位置関係を修正するとき、該制御ユニットは、該アライメント条件登録部に登録された該キーパターン及び該ストリートの該位置関係に基づいて特定される該ストリートの位置で該被加工物の該表面を該カメラに撮像させ、得られた画像を該表示ユニットに表示させる
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の加工装置。
4. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された該被加工物を該被加工物の表面に設定されたストリートに沿って加工する加工ユニットと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を撮像するカメラと、アライメント条件登録部を備える制御ユニットと、を有し、該アライメント条件登録部には、該カメラで該被加工物の該ストリートを検出して該被加工物に対する該加工ユニットの位置を調整するためのアライメントが実施されるときに参照されるアライメント条件として該被加工物の該表面を該カメラで撮像したときに検出可能なキーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、該キーパターン及び該ストリートの位置関係と、が登録される加工装置に、該アライメント条件を登録するアライメント条件の登録方法であって、
   該アライメント条件登録部に登録された該キーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、該キーパターン及び該ストリートの該位置関係と、を含む選択肢から該アライメント条件の修正項目を選択する選択ステップと、
   該選択ステップで選択された該修正項目に係る該アライメント条件のみを該アライメント条件登録部に再登録して該修正項目を修正する修正ステップと、を含むことを特徴とするアライメント条件の登録方法。
5. 該加工装置の該カメラは、第１倍率、該第１倍率よりも高倍率である第２倍率と、で該被加工物を撮像可能であり、
   該アライメント条件登録部には、該アライメント条件として該第１倍率で該被加工物の該表面を該カメラで撮像したときに検出可能な低倍率観察用キーパターンと、該被加工物における該低倍率観察用キーパターンの位置と、がさらに登録されており、
   該キーパターンは、該第２倍率で該被加工物の該表面を該カメラで撮像したときに検出可能であり、
   該選択肢には、該低倍率観察用キーパターンと、該被加工物における該低倍率観察用キーパターンの位置と、がさらに含まれることを特徴とする請求項４に記載のアライメント条件の登録方法。
6. 該加工装置は、該カメラで撮像した画像を表示する表示ユニットをさらに備え、
   該選択ステップにおいて選択された該アライメント条件の該修正項目が該キーパターンと、該被加工物における該キーパターンの位置と、のいずれかである場合、該修正ステップでは、該制御ユニットにより該アライメント条件登録部に登録された該被加工物における該キーパターンの位置で該被加工物の該表面が該カメラで撮像され、得られた画像が該表示ユニットに表示され、
   該選択ステップにおいて選択された該アライメント条件の該修正項目が該キーパターン及び該ストリートの該位置関係である場合、該修正ステップでは、該制御ユニットにより該アライメント条件登録部に登録された該キーパターン及び該ストリートの該位置関係に基づいて特定される該ストリートの位置で該被加工物の該表面が該カメラで撮像され、得られた画像が該表示ユニットに表示されることを特徴とする請求項４または請求項５に記載のアライメント条件の登録方法。

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