JP7229337B2 - 感光性樹脂組成物、硬化膜、インダクタ、アンテナ - Google Patents

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、硬化膜、インダクタ、及びアンテナに関する。

近年、電子通信機器等においては使用周波数の高周波化が急速に進んでいる。例えば、携帯電話等の通信機器においては１ＧＨｚ以上の高周波帯域が使用され、かつ複数の通信方式に対応できるマルチバンド化の需要が増大している。これに伴い、これらの機器に装備される電子部品（例えば、インダクタ及びアンテナ等）においても高周波化及び広帯域化が希求されている。高周波電子部品には、一般的に、磁性粒子を樹脂等の誘電体材料に分散させてなる磁性体複合材料が使用されている。

磁性体複合材料を形成可能な組成物として、例えば、特許文献１では、磁性粒子と感光性有機成分と含む感光性ペーストを開示している。

特許第４７６０７０９号公報

本発明者らは、特許文献１を参照して磁性粒子と感光性有機成分とを含む感光性組成物を調製し、上記感光性組成物を露光することで得られる硬化膜について検討したところ、特に高周波領域（例えば、５ＧＨｚ）における透磁率実部μ’及び磁気損失ｔａｎδをより一層改善する余地がある（言い換えると、特に高周波領域において、透磁率実部μ’を更に高め、且つ、磁気損失ｔａｎδを更に低減する余地がある）ことを知見した。

そこで、本発明は、高周波領域において高い透磁率実部μ’と低い磁気損失ｔａｎδを示す硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物を提供することを課題とする。
また、本発明は、上記感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜、並びに、上記硬化膜を含むインダクタ及びアンテナを提供することも課題とする。

本発明者は、上記課題について鋭意検討した結果、下記構成により上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。

〔１〕 エチレン性不飽和基及びグラフト鎖を有する樹脂、又は、エチレン性不飽和基を有する化合物及びグラフト鎖を有する樹脂と、
鉄原子の含有量が１０質量％以上である鉄含有粒子と、
重合開始剤と、を含む、感光性樹脂組成物。
〔２〕 上記感光性樹脂組成物を硬化して硬化膜を形成したとき、上記硬化膜は、５ＧＨｚの周波数における透磁率実部μ’が１．５以上であり、５ＧＨｚの周波数における磁気損失ｔａｎδが０．０５以下である、〔１〕に記載の感光性樹脂組成物。
〔３〕 上記感光性樹脂組成物を硬化して硬化膜を形成したとき、上記硬化膜は、１００ＭＨｚの周波数における透磁率実部μ’が１．５以上であり、１００ＭＨｚの周波数における磁気損失ｔａｎδが０．０５以下である、〔１〕又は〔２〕に記載の感光性樹脂組成物。
〔４〕 上記鉄含有粒子が、鉄－コバルト合金粒子である、〔１〕～〔３〕のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
〔５〕 上記鉄含有粒子が、アモルファス粒子である、〔１〕～〔４〕のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
〔６〕 上記鉄含有粒子の含有量に対する上記樹脂の含有量の質量比が、０．１０～０．３５である、〔１〕～〔５〕のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
〔７〕 下記式（Ａ）で表される粒子径比Ｔが、１～３である、〔１〕～〔６〕のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
式（Ａ）：粒子径比Ｔ＝感光性樹脂組成物中における上記鉄含有粒子の平均粒子径（μｍ）／上記鉄含有粒子の平均一次粒子径（μｍ）
〔８〕 上記鉄含有粒子の平均一次粒子径が、０．０１～０．２０μｍである、〔４〕に記載の感光性樹脂組成物。
〔９〕 〔１〕～〔８〕のいずれかに記載の上記感光性樹脂組成物を硬化して形成される、硬化膜。
〔１０〕 ５ＧＨｚの周波数における透磁率実部μ’が１．５以上であり、５ＧＨｚの周波数における磁気損失ｔａｎδが０．０５以下である、〔９〕に記載の硬化膜。
〔１１〕 １００ＭＨｚの周波数における透磁率実部μ’が１．５以上であり、１００ＭＨｚの周波数における磁気損失ｔａｎδが０．０５以下である、〔９〕又は〔１０〕に記載の硬化膜。
〔１２〕 〔９〕～〔１１〕のいずれかに記載の硬化膜を含むインダクタ。
〔１３〕 〔９〕～〔１１〕のいずれかに記載の硬化膜を含むアンテナ。

本発明によれば、高周波領域において高い透磁率実部μ’と低い磁気損失ｔａｎδを示す硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、上記感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜、並びに、上記硬化膜を含むインダクタ及びアンテナも提供できる。

以下、本発明について詳細に説明する。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされる場合があるが、本発明はそのような実施態様に限定されない。
本明細書中における基（原子団）の表記について、本発明の趣旨に反しない限り、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さない基と共に置換基を有する基をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。また、本明細書中における「有機基」とは、少なくとも１個の炭素原子を含む基をいう。

本明細書中における「活性光線」又は「放射線」とは、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光： Ｅｘｔｒｅｍｅ Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）、Ｘ線、及び電子線（ＥＢ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｂｅａｍ）等を意味する。本明細書中における「光」とは、活性光線又は放射線を意味する。
本明細書中における「露光」とは、特に断らない限り、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線、Ｘ線、及びＥＵＶ光等による露光のみならず、電子線、及びイオンビーム等の粒子線による描画も含む。

本明細書において、「～」とはその前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。

本明細書において、（メタ）アクリレートはアクリレート及びメタクリレートを表し、（メタ）アクリルはアクリル及びメタクリルを表し、（メタ）アクリロイルはアクリロイル及びメタクリロイルを表す。

また、本明細書において重量平均分子量（Ｍｗ）は、ＧＰＣ（Gel Permeation Chromatography：ゲル浸透クロマトグラフィー）法によるポリスチレン換算値である。

［感光性樹脂組成物］
本発明の感光性樹脂組成物（以下「組成物」ともいう。）は、
エチレン性不飽和基及びグラフト鎖を有する樹脂（以下「樹脂ＢＸ」ともいう。）、又は、エチレン性不飽和基を有する化合物及びグラフト鎖を有する樹脂（以下「樹脂ＢＹ」ともいう。）と、
鉄原子の含有量が１０質量％以上である鉄含有粒子（以下「特定鉄含有粒子」ともいう。）と、
重合開始剤と、を含む。

つまり、本発明の組成物は、樹脂ＢＸ、特定鉄含有粒子、及び重合開始剤を含む組成物（以下「組成物Ｘ」ともいう。）であるか、エチレン性不飽和基を有する化合物、樹脂ＢＹ、特定鉄含有粒子、及び重合開始剤を含む組成物（以下「組成物Ｙ」ともいう。）である。

本発明の組成物は、上記構成により、高周波領域において高い透磁率実部μ’と低い磁気損失ｔａｎδを示す硬化膜を形成できる。

上記構成と効果との作用機序は必ずしも定かではないが、以下のように推測される。
上記組成物中、樹脂ＢＸ及び樹脂ＢＹは、分子中に含まれるグラフト鎖に起因して、特定鉄含有粒子の良好な分散剤として機能すると考えられる。このため、上記組成物では、特定鉄含有粒子同士の凝集及び／又は特定鉄含有粒子と他の成分との凝集が生じにくく、特定鉄含有粒子がその平均一次粒子径の値に近い平均粒子径で存在すると推測される。結果として、上記組成物により形成される硬化膜は、高周波領域において高い透磁率実部μ’と低い磁気損失ｔａｎδを示すと考えられる。
以下において、まず、本発明の組成物Ｘについて説明する。

〔組成物Ｘ〕
組成物Ｘは、樹脂ＢＸ、特定鉄含有粒子、及び重合開始剤を含む。
以下、組成物Ｘ中に必須及び任意で含まれる成分について説明する。

＜エチレン性不飽和基及びグラフト鎖を有する樹脂（樹脂ＢＸ）＞
組成物Ｘは、エチレン性不飽和基及びグラフト鎖を有する樹脂（樹脂ＢＸ）を含む。
組成物Ｘ中における樹脂ＢＸの含有量としては特に制限されないが、組成物Ｘの全固形分に対して、２～４０質量％が好ましく、５～３０質量％がより好ましく、１０～２０質量％が更に好ましい。
樹脂ＢＸは、１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。２種以上の樹脂ＢＸを併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。
また、組成物Ｘにおける、特定鉄含有粒子の含有量に対する、樹脂ＢＸの含有量の質量比（樹脂ＢＸの含有量／特定鉄含有粒子の含有量）は、０．０５～１．００が好ましく、０．１０～０．３５がより好ましく、０．１２～０．３５が更に好ましい。

（エチレン性不飽和基）
樹脂ＢＸは、エチレン性不飽和基を含む。樹脂ＢＸがエチレン性不飽和基を含むことで、樹脂ＢＸを含む組成物Ｘは、より優れたパターン形成性を示す。
上記エチレン性不飽和基としては特に制限されないが、例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、及びスチリル基等が挙げられ、（メタ）アクリロイル基が好ましい。
樹脂ＢＸとしては、なかでも、側鎖にエチレン性不飽和基を含む繰り返し単位を含むことが好ましく、側鎖にエチレン性不飽和基を含み、且つ（メタ）アクリレートに由来する繰り返し単位（以下、「側鎖にエチレン性不飽和基を含む（メタ）アクリレート系繰り返し単位」ともいう。）を含むことがより好ましい。側鎖にエチレン性不飽和基を含む（メタ）アクリレート系繰り返し単位を含む樹脂ＢＸとしては、例えば、（メタ）アクリル酸由来の繰り返し単位等のカルボン酸基を含む樹脂中の上記カルボン酸基に、グリシジル基又は脂環式エポキシ基を含むエチレン性不飽和化合物を付加反応させて得られる。

樹脂ＢＸがエチレン性不飽和基を含む繰り返し単位を含む場合、その含有量は、質量換算で、樹脂ＢＸの総質量に対して、３０～７０質量％が好ましく、４０～６０質量％がより好ましい。エチレン性不飽和基を含む繰り返し単位の含有量が上記範囲である場合、より優れたパターン形成性を示す。

（グラフト鎖を含む繰り返し単位）
樹脂ＢＸは、グラフト鎖を含む繰り返し単位を含むことが好ましい。
グラフト鎖が長くなると立体反発効果が高くなり特定鉄含有粒子の分散性は向上する。一方、グラフト鎖が長すぎると特定鉄含有粒子への吸着力が低下して、特定鉄含有粒子の分散性は低下する傾向となる。このため、グラフト鎖は、水素原子を除いた原子数が４０～１００００であることが好ましく、水素原子を除いた原子数が５０～２０００であることがより好ましく、水素原子を除いた原子数が６０～５００であることが更に好ましい。
ここで、グラフト鎖とは、主鎖の根元（主鎖から枝分かれしている基において主鎖に結合する原子）から、主鎖から枝分かれしている基の末端までを示す。

また、グラフト鎖は、ポリマー構造を含んでいることが好ましく、このようなポリマー構造としては、例えば、ポリ（メタ）アクリレート構造（例えば、ポリ（メタ）アクリル構造）、ポリエステル構造、ポリウレタン構造、ポリウレア構造、ポリアミド構造、及びポリエーテル構造等が挙げられる。
グラフト鎖と溶剤との相互作用性を向上させ、それにより特定鉄含有粒子の分散性を高めるために、グラフト鎖は、ポリエステル構造、ポリエーテル構造、及びポリ（メタ）アクリレート構造からなる群から選ばれる少なくとも１種を含むグラフト鎖であることが好ましく、ポリエステル構造及びポリエーテル構造の少なくともいずれかを含むグラフト鎖であることがより好ましい。

このようなグラフト鎖を含むマクロモノマー（ポリマー構造を有し、主鎖に結合してグラフト鎖を構成するモノマー）としては、特に制限されないが、反応性二重結合性基を含むマクロモノマーを好適に使用できる。

上記グラフト鎖を含む繰り返し単位に対応し、樹脂ＢＸの合成に好適に用いられる市販のマクロモノマーとしては、ＡＡ－６、ＡＡ－１０、ＡＢ－６、ＡＳ－６、ＡＮ－６、ＡＷ－６、ＡＡ－７１４、ＡＹ－７０７、ＡＹ－７１４、ＡＫ－５、ＡＫ－３０、及びＡＫ－３２（いずれも商品名、東亞合成社製）、並びにブレンマーＰＰ－１００、ブレンマーＰＰ－５００、ブレンマーＰＰ－８００、ブレンマーＰＰ－１０００、ブレンマー５５－ＰＥＴ－８００、ブレンマーＰＭＥ－４０００、ブレンマーＰＳＥ－４００、ブレンマーＰＳＥ－１３００、及びブレンマー４３ＰＡＰＥ－６００Ｂ（いずれも商品名、日油社製）が用いられる。この中でも、ＡＡ－６、ＡＡ－１０、ＡＢ－６、ＡＳ－６、ＡＮ－６、又はブレンマーＰＭＥ－４０００が好ましい。

樹脂ＢＸは、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル、及び、環状又は鎖状のポリエステルからなる群より選択される少なくとも１種の構造を含むことが好ましく、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル、及び鎖状のポリエステルからなる群より選択される少なくとも１種の構造を含むことがより好ましく、ポリアクリル酸メチル構造、ポリメタクリル酸メチル構造、ポリカプロラクトン構造、及びポリバレロラクトン構造からなる群より選択される少なくとも１種の構造を含むことが更に好ましい。樹脂ＢＸは、上記構造を１種単独で含んでいてもよいし、これらの構造を複数含んでいてもよい。
ここで、ポリカプロラクトン構造とは、ε－カプロラクトンを開環した構造を繰り返し単位として含む構造をいう。ポリバレロラクトン構造とは、δ－バレロラクトンを開環した構造を繰り返し単位として含む構造をいう。

なお、樹脂ＢＸが後述する式（１）及び後述する式（２）におけるｊ及びｋが５である繰り返し単位を含む場合、樹脂ＢＸ中に、上述したポリカプロラクトン構造を導入できる。
また、樹脂ＢＸが後述する式（１）及び後述する式（２）におけるｊ及びｋが４である繰り返し単位を含む場合、樹脂ＢＸ中に、上述したポリバレロラクトン構造を導入できる。
また、樹脂ＢＸが後述する式（４）におけるＸ^５が水素原子であり、Ｒ^４がメチル基である繰り返し単位を含む場合、樹脂ＢＸ中に、上述したポリアクリル酸メチル構造を導入できる。
また、樹脂ＢＸが後述する式（４）におけるＸ^５がメチル基であり、Ｒ^４がメチル基である繰り返し単位を含む場合、樹脂ＢＸ中に、上述したポリメタクリル酸メチル構造を導入できる。

樹脂ＢＸは、グラフト鎖を含む繰り返し単位として、下記式（１）～式（４）のいずれかで表される繰り返し単位を含むことが好ましく、下記式（１Ａ）、下記式（２Ａ）、下記式（３Ａ）、下記式（３Ｂ）、及び下記（４）のいずれかで表される繰り返し単位を含むことがより好ましい。

式（１）～（４）において、Ｗ^１、Ｗ^２、Ｗ^３、及びＷ^４は、それぞれ独立に、酸素原子又はＮＨを表す。Ｗ^１、Ｗ^２、Ｗ^３、及びＷ^４は、酸素原子であることが好ましい。
式（１）～（４）において、Ｘ^１、Ｘ^２、Ｘ^３、Ｘ^４、及びＸ^５は、それぞれ独立に、水素原子又は１価の有機基を表す。Ｘ^１、Ｘ^２、Ｘ^３、Ｘ^４、及びＸ^５は、合成上の制約の点からは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数（炭素原子数）１～１２のアルキル基が好ましく、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基がより好ましく、メチル基が更に好ましい。

式（１）～（４）において、Ｙ^１、Ｙ^２、Ｙ^３、及びＹ^４は、それぞれ独立に、２価の連結基を表し、連結基は特に構造上制約されない。Ｙ^１、Ｙ^２、Ｙ^３、及びＹ^４で表される２価の連結基として、具体的には、下記の（Ｙ－１）～（Ｙ－２１）の連結基等が挙げられる。下記に示した構造において、Ａ及びＢはそれぞれ、式（１）～（４）における左末端基、右末端基との結合部位を意味する。下記に示した構造のうち、合成の簡便性から、（Ｙ－２）又は（Ｙ－１３）がより好ましい。

式（１）～（４）において、Ｚ^１、Ｚ^２、Ｚ^３、及びＺ^４は、それぞれ独立に１価の有機基を表す。有機基の構造は、特に制限されないが、具体的には、アルキル基、水酸基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基、及びアミノ基等が挙げられる。これらの中でも、Ｚ^１、Ｚ^２、Ｚ^３、及びＺ^４で表される有機基としては、特に分散性向上の点から、立体反発効果を含む基が好ましく、それぞれ独立に炭素数５～２４のアルキル基又はアルコキシ基がより好ましく、その中でも、特にそれぞれ独立に炭素数５～２４の分岐アルキル基、炭素数５～２４の環状アルキル基、又は炭素数５～２４のアルコキシ基が更に好ましい。なお、アルコキシ基中に含まれるアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。

式（１）～（４）において、ｎ、ｍ、ｐ、及びｑは、それぞれ独立に、１～５００の整数である。
また、式（１）及び（２）において、ｊ及びｋは、それぞれ独立に、２～８の整数を表す。式（１）及び（２）におけるｊ及びｋは、組成物の経時安定性及び現像性の点から、４～６の整数が好ましく、５がより好ましい。
また、式（１）及び（２）において、ｎ及びｍは、１０以上の整数が好ましく、２０以上の整数がより好ましい。また、樹脂ＢＸが、ポリカプロラクトン構造、及びポリバレロラクトン構造を含む場合、ポリカプロラクトン構造の繰り返し数と、ポリバレロラクトンの繰返し数の和としては、１０以上の整数が好ましく、２０以上の整数がより好ましい。

式（３）中、Ｒ^３は分岐鎖状又は直鎖状のアルキレン基を表し、炭素数１～１０のアルキレン基が好ましく、炭素数２又は３のアルキレン基がより好ましい。ｐが２～５００のとき、複数存在するＲ^３は互いに同じであっても異なっていてもよい。
式（４）中、Ｒ^４は水素原子又は１価の有機基を表し、この１価の有機基の構造は特に制限されない。Ｒ^４としては、水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロアリール基が好ましく、水素原子又はアルキル基がより好ましい。Ｒ^４がアルキル基である場合、アルキル基としては、炭素数１～２０の直鎖状アルキル基、炭素数３～２０の分岐鎖状アルキル基、又は炭素数５～２０の環状アルキル基が好ましく、炭素数１～２０の直鎖状アルキル基がより好ましく、炭素数１～６の直鎖状アルキル基が更に好ましい。式（４）において、ｑが２～５００のとき、グラフト鎖中に複数存在するＸ^５及びＲ^４は互いに同じであっても異なっていてもよい。

また、樹脂ＢＸは、２種以上の構造が異なる、グラフト鎖を含む繰り返し単位を含んでいてもよい。すなわち、樹脂ＢＸの分子中に、互いに構造の異なる式（１）～（４）で示される繰り返し単位を含んでいてもよく、また、式（１）～（４）においてｎ、ｍ、ｐ、及びｑがそれぞれ２以上の整数を表す場合、式（１）及び（２）においては、側鎖中にｊ及びｋが互いに異なる構造を含んでいてもよく、式（３）及び（４）においては、分子内に複数存在するＲ^３、Ｒ^４、及びＸ^５は互いに同じであっても異なっていてもよい。

式（１）で表される繰り返し単位としては、組成物の経時安定性及び現像性の点から、下記式（１Ａ）で表される繰り返し単位であることがより好ましい。
また、式（２）で表される繰り返し単位としては、組成物の経時安定性及び現像性の点から、下記式（２Ａ）で表される繰り返し単位であることがより好ましい。

式（１Ａ）中、Ｘ^１、Ｙ^１、Ｚ^１、及びｎは、式（１）におけるＸ^１、Ｙ^１、Ｚ^１、及びｎと同義であり、好ましい範囲も同様である。式（２Ａ）中、Ｘ^２、Ｙ^２、Ｚ^２、及びｍは、式（２）におけるＸ^２、Ｙ^２、Ｚ^２、及びｍと同義であり、好ましい範囲も同様である。

また、式（３）で表される繰り返し単位としては、組成物の経時安定性及び現像性の点から、下記式（３Ａ）又は式（３Ｂ）で表される繰り返し単位であることがより好ましい。

式（３Ａ）又は（３Ｂ）中、Ｘ^３、Ｙ^３、Ｚ^３、及びｐは、式（３）におけるＸ^３、Ｙ^３、Ｚ^３、及びｐと同義であり、好ましい範囲も同様である。

樹脂ＢＸは、グラフト鎖を含む繰り返し単位として、式（１Ａ）で表される繰り返し単位を含むことがより好ましい。

また、樹脂ＢＸとしては、ポリアルキレンイミン構造とポリエステル構造を含む繰り返し単位を含むことも好ましい。ポリアルキレンイミン構造とポリエステル構造を含む繰り返し単位は、主鎖にポリアルキレンイミン構造を含み、グラフト鎖としてポリエステル構造を含むことが好ましい。

上記ポリアルキレンイミン構造とは、同一又は異なるアルキレンイミン鎖を２つ以上含む重合構造である。アルキレンイミン鎖としては、具体的には下記式（４Ａ）及び下記式（４Ｂ）で表されるアルキレンイミン鎖が挙げられる。

式（４Ａ）中、Ｒ^Ｘ１及びＲ^Ｘ２は、それぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表す。ａ^１は、２以上の整数を表す。＊^１はポリエステル鎖、隣接するアルキレンイミン鎖、又は、水素原子若しくは置換基との結合位置を表す。

式（４Ｂ）中、Ｒ^Ｘ３及びＲ^Ｘ４は、それぞれ独立に水素原子又はアルキル基を表す。ａ^２は、２以上の整数を表す。式（４Ｂ）で表されるアルキレンイミン鎖は、アニオン性基を有するポリエステル鎖と、式（４Ｂ）中に明示されるＮ^＋とポリエステル鎖に含まれるアニオン性基が塩架橋基を形成することにより、結合する。

式（４Ａ）及び式（４Ｂ）中の＊、及び、式（４Ｂ）中の＊^２は、それぞれ独立に、隣接するアルキレンイミン鎖、又は、水素原子若しくは置換基と結合する位置を表す。
式（４Ａ）及び式（４Ｂ）中の＊としては、なかでも、隣接するアルキレンイミン鎖と結合する位置を表すことが好ましい。

式（４Ａ）中のＲ^Ｘ１及びＲ^Ｘ２、並びに式（４Ｂ）中のＲ^Ｘ３及びＲ^Ｘ４は、それぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表す。
アルキル基の炭素数としては、炭素数１～６が好ましく、炭素数１～３が好ましい。
式（４Ａ）中、Ｒ^Ｘ１及びＲ^Ｘ２としては、いずれも水素原子であることが好ましい。
式（４Ｂ）中、Ｒ^Ｘ３及びＲ^Ｘ４としては、いずれも水素原子であることが好ましい。

式（４Ａ）中のａ^１及び式（４Ｂ）中のａ^２としては、２以上の整数であれば特に制限されない。その上限値としては１０以下が好ましく、６以下がより好ましく、４以下が更に好ましく、２又は３が更に好ましく、２が特に好ましい。

式（４Ａ）及び式（４Ｂ）中、＊は、隣接するアルキレンイミン鎖、又は、水素原子若しくは置換基との結合位置を表す。
上記置換基としては、例えばアルキル基（例えば炭素数１～６のアルキル基）等の置換基が挙げられる。また、置換基として、ポリエステル鎖が結合してもよい。

式（４Ａ）で表されるアルキレンイミン鎖は、上述した＊¹の位置で、ポリエステル鎖と連結していることが好ましい。具体的には、ポリエステル鎖中のカルボニル炭素が、上述した＊¹の位置で結合することが好ましい。
上記ポリエステル鎖としては、下記式（５Ａ）で表されるポリエステル鎖が挙げられる。

アルキレンイミン鎖が式（４Ｂ）で表されるアルキレンイミン鎖である場合、ポリエステル鎖はアニオン性（好ましくは酸素アニオンＯ^－）を含み、このアニオン性と式（４Ｂ）中のＮ^＋とが塩架橋基を形成することが好ましい。
このようなポリエステル鎖としては、下記式（５Ｂ）で表されるポリエステル鎖が挙げられる。

式（５Ａ）中のＬ^Ｘ１、及び式（５Ｂ）中のＬ^Ｘ２は、それぞれ独立に、２価の連結基を表す。２価の連結基としては、好ましくは炭素数３～３０のアルキレン基が挙げられる。

式（５Ａ）中のｂ^１１、及び式（５Ｂ）中のｂ^２１は、それぞれ独立に２以上の整数を表し、その上限は、例えば、２００以下である。

式（５Ａ）中のｂ^１２、及び式（５Ｂ）中のｂ^２２は、それぞれ独立に０又は１を表す。

式（５Ａ）中のＸ^Ａ、及び式（５Ｂ）中のＸ^Ｂは、それぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。置換基としては、アルキル基、アルコキシ基、ポリアルキレンオキシアルキル基、及びアリール基等が挙げられる。

上記アルキル基（直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。）、及び、上記アルコキシ基中に含まれるアルキル基（直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。）の炭素数としては、１～３０が挙げられ、１～１０が好ましい。また、上記アルキル基は更に置換基を有していてもよく、置換基としては、水酸基及びハロゲン原子（ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及びヨウ素原子等）が挙げられる。

ポリアルキレンオキシアルキル基とは、Ｒ^Ｘ６（ＯＲ^Ｘ７）_ｐ（Ｏ）_ｑ－で表される置換基である。Ｒ^Ｘ６はアルキル基を表し、Ｒ^Ｘ７はアルキレン基を表し、ｐは２以上の整数を表し、ｑは、０又は１を表す。
Ｒ^Ｘ６で表されるアルキル基は、Ｘ^Ａで表されるアルキル基と同義である。また、Ｒ^Ｘ７で表されるアルキレン基としては、Ｘ^Ａで表されるアルキル基から水素原子を１つ除いた基が挙げられる。
ｐは、２以上の整数であり、その上限値としては、例えば１０以下であり、５以下が好ましい。

アリール基としては、例えば、炭素数６～２４のアリール基（単環及び多環のいずれであってもよい。）が挙げられる。
上記アリール基は更に置換基を有していてもよく、置換基としては、アルキル基、ハロゲン原子、及びシアノ基等が挙げられる。

上記ポリエステル鎖としては、ε－カプロラクトン、δ－カプロラクトン、β－プロピオラクトン、γ－ブチロラクトン、δ－バレロラクトン、γ－バレロラクトン、エナントラクトン、β－ブチロラクトン、γ－ヘキサノラクトン、γ－オクタノラクトン、δ－ヘキサラノラクトン、δ－オクタノラクトン、δ－ドデカノラクトン、α－メチル－γ－ブチロラクトン、及びラクチド（Ｌ体であってもＤ体であってもよい。）等のラクトンを開環した構造が好ましく、ε－カプロラクトン又はδ－バレロラクトンを開環した構造がより好ましい。

上記ポリアルキレンイミン構造とポリエステル構造を含む繰り返し単位としては、特許第５９２３５５７号に記載の合成方法に準じて合成できる。

樹脂ＢＸにおいて、グラフト鎖を含む繰り返し単位の含有量は、質量換算で、樹脂ＢＸの総質量に対して、２～９５質量％が好ましく、２～９０質量％がより好ましく、５～３０質量％が特に好ましい。グラフト鎖を含む繰り返し単位がこの範囲内で含まれると、特定鉄含有粒子の分散性が高く、更に、硬化膜を形成する際の現像性が良好である。

（疎水性繰り返し単位）
また、樹脂ＢＸは、グラフト鎖を含む繰り返し単位とは異なる（すなわち、グラフト鎖を含む繰り返し単位には相当しない）疎水性繰り返し単位を含むことが好ましい。ただし、本明細書において、疎水性繰り返し単位は、酸基（例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、フェノール性水酸基等）を有さない繰り返し単位である。

疎水性繰り返し単位は、ＣｌｏｇＰ値が１．２以上の化合物（モノマー）に由来する（対応する）繰り返し単位であることが好ましく、ＣｌｏｇＰ値が１．２～８の化合物に由来する繰り返し単位であることがより好ましい。これにより、本発明の効果をより確実に発現できる。

ＣｌｏｇＰ値は、Ｄａｙｌｉｇｈｔ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ， Ｉｎｃ．から入手できるプログラム「ＣＬＯＧＰ」で計算された値である。このプログラムは、Ｈａｎｓｃｈ， Ｌｅｏのフラグメントアプローチ（下記文献参照）により算出される「計算ｌｏｇＰ」の値を提供する。フラグメントアプローチは化合物の化学構造に基づいており、化学構造を部分構造（フラグメント）に分割し、そのフラグメントに対して割り当てられたｌｏｇＰ寄与分を合計して化合物のｌｏｇＰ値を推算している。その詳細は以下の文献に記載されている。本明細書では、プログラムＣＬＯＧＰ ｖ４．８２により計算したＣｌｏｇＰ値を用いる。
Ａ． Ｊ． Ｌｅｏ， Ｃｏｍｐｒｅｈｅｎｓｉｖｅ Ｍｅｄｉｃｉｎａｌ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ， Ｖｏｌ．４， Ｃ． Ｈａｎｓｃｈ， Ｐ． Ｇ． Ｓａｍｍｎｅｎｓ， Ｊ． Ｂ． Ｔａｙｌｏｒ ａｎｄ Ｃ． Ａ． Ｒａｍｓｄｅｎ， Ｅｄｓ．， ｐ．２９５， Ｐｅｒｇａｍｏｎ Ｐｒｅｓｓ， １９９０ Ｃ． Ｈａｎｓｃｈ ＆ Ａ． Ｊ． Ｌｅｏ． ＳＵｂｓｔｉｔｕｅｎｔ Ｃｏｎｓｔａｎｔｓ Ｆｏｒ Ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ Ａｎａｌｙｓｉｓ ｉｎ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ ａｎｄ Ｂｉｏｌｏｇｙ． Ｊｏｈｎ Ｗｉｌｅｙ ＆ Ｓｏｎｓ． Ａ．Ｊ． Ｌｅｏ． Ｃａｌｃｕｌａｔｉｎｇ ｌｏｇＰｏｃｔ ｆｒｏｍ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ． Ｃｈｅｍ． Ｒｅｖ．， ９３， １２８１－１３０６， １９９３．

ｌｏｇＰは、分配係数Ｐ（Ｐａｒｔｉｔｉｏｎ Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ）の常用対数を意味し、ある有機化合物が油（一般的には１－オクタノール）と水の２相系の平衡でどのように分配されるかを定量的な数値として表す物性値であり、以下の式で示される。
ｌｏｇＰ＝ｌｏｇ（Ｃｏｉｌ／Ｃｗａｔｅｒ）
式中、Ｃｏｉｌは油相中の化合物のモル濃度を、Ｃｗａｔｅｒは水相中の化合物のモル濃度を表す。
ｌｏｇＰの値が０をはさんでプラスに大きくなると油溶性が増し、マイナスで絶対値が大きくなると水溶性が増し、有機化合物の水溶性と負の相関があり、有機化合物の親疎水性を見積るパラメータとして広く利用されている。

樹脂ＢＸは、疎水性繰り返し単位として、下記式（ｉ）～（ｉｉｉ）で表される単量体に由来の繰り返し単位から選択された１種以上の繰り返し単位を含むことが好ましい。

上記式（ｉ）～（ｉｉｉ）中、Ｒ^１、Ｒ^２、及びＲ^３は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子等）、又は炭素数が１～６のアルキル基（例えば、メチル基、エチル基、及びプロピル基等）を表す。
Ｒ^１、Ｒ^２、及びＲ^３は、水素原子又は炭素数が１～３のアルキル基であることが好ましく、水素原子又はメチル基であることがより好ましい。Ｒ^２及びＲ^３は、水素原子であることが更に好ましい。
Ｘは、酸素原子（－Ｏ－）又はイミノ基（－ＮＨ－）を表し、酸素原子が好ましい。

Ｌは、単結合又は２価の連結基である。２価の連結基としては、２価の脂肪族基（例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基）、２価の芳香族基（例えば、アリーレン基、置換アリーレン基）、２価の複素環基、酸素原子（－Ｏ－）、硫黄原子（－Ｓ－）、イミノ基（－ＮＨ－）、置換イミノ基（－ＮＲ^３１－、ここでＲ^３１は脂肪族基、芳香族基又は複素環基）、カルボニル基（－ＣＯ－）、及びこれらの組合せ等が挙げられる。

２価の脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、１～２０が好ましく、１～１５がより好ましく、１～１０が更に好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基であっても飽和脂肪族基であってもよいが、飽和脂肪族基が好ましい。また、脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基、及び複素環基等が挙げられる。

２価の芳香族基の炭素数は、６～２０が好ましく、６～１５がより好ましく、６～１０が更に好ましい。また、芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基、及び複素環基等が挙げられる。

２価の複素環基は、複素環として５員環又は６員環を含むことが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環、又は芳香族環が縮合していてもよい。また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、水酸基、オキソ基（＝Ｏ）、チオキソ基（＝Ｓ）、イミノ基（＝ＮＨ）、置換イミノ基（＝Ｎ－Ｒ^３２、ここでＲ^３２は脂肪族基、芳香族基、又は複素環基）、脂肪族基、芳香族基、及び複素環基が挙げられる。

Ｌは、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含む２価の連結基が好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造がより好ましい。また、Ｌは、オキシアルキレン構造を２以上繰り返して含むポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、－（ＯＣＨ_２ＣＨ_２）ｎ－で表され、ｎは、２以上の整数が好ましく、２～１０の整数がより好ましい。

Ｚとしては、脂肪族基（例えば、アルキル基、置換アルキル基、不飽和アルキル基、置換不飽和アルキル基、）、芳香族基（例えば、アリール基、置換アリール基、アリーレン基、置換アリーレン基）、複素環基、及びこれらの組み合わせが挙げられる。これらの基には、酸素原子（－Ｏ－）、硫黄原子（－Ｓ－）、イミノ基（－ＮＨ－）、置換イミノ基（－ＮＲ^３１－、ここでＲ^３１は脂肪族基、芳香族基又は複素環基）、又はカルボニル基（－ＣＯ－）が含まれていてもよい。

脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、１～２０が好ましく、１～１５がより好ましく、１～１０が更に好ましい。脂肪族基には、更に環集合炭化水素基、架橋環式炭化水素基が含まれ、環集合炭化水素基の例としては、ビシクロヘキシル基、パーヒドロナフタレニル基、ビフェニル基、及び４－シクロヘキシルフェニル基等が含まれる。架橋環式炭化水素環として、例えば、ピナン、ボルナン、ノルピナン、ノルボルナン、ビシクロオクタン環（ビシクロ［２．２．２］オクタン環、及びビシクロ［３．２．１］オクタン環等）等の２環式炭化水素環、ホモブレダン、アダマンタン、トリシクロ［５．２．１．０^２，６］デカン、及びトリシクロ［４．３．１．１^２，５］ウンデカン環等の３環式炭化水素環、並びに、テトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］ドデカン、及びパーヒドロ－１，４－メタノ－５，８－メタノナフタレン環等の４環式炭化水素環等が挙げられる。また、架橋環式炭化水素環には、縮合環式炭化水素環、例えば、パーヒドロナフタレン（デカリン）、パーヒドロアントラセン、パーヒドロフェナントレン、パーヒドロアセナフテン、パーヒドロフルオレン、パーヒドロインデン、及びパーヒドロフェナレン環等の５～８員シクロアルカン環が複数個縮合した縮合環も含まれる。
脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。また、脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、脂肪族基は、置換基として酸基を有さない。

芳香族基の炭素数は、６～２０が好ましく、６～１５がより好ましく、６～１０が更に好ましい。また、芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、芳香族基は、置換基として酸基を有さない。

複素環基は、複素環として５員環又は６員環を含むことが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環が縮合していてもよい。また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、水酸基、オキソ基（＝Ｏ）、チオキソ基（＝Ｓ）、イミノ基（＝ＮＨ）、置換イミノ基（＝Ｎ－Ｒ^３２、ここでＲ^３２は脂肪族基、芳香族基又は複素環基）、脂肪族基、芳香族基、及び複素環基が挙げられる。ただし、複素環基は、置換基として酸基を有さない。

上記式（ｉｉｉ）中、Ｒ^４、Ｒ^５、及びＲ^６は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子等）、炭素数が１～６のアルキル基（例えば、メチル基、エチル基、及びプロピル基等）、Ｚ、又はＬ－Ｚを表す。ここでＬ及びＺは、上記における基と同義である。Ｒ^４、Ｒ^５、及びＲ^６としては、水素原子、又は炭素数が１～３のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。

上記式（ｉ）で表される単量体として、Ｒ^１、Ｒ^２、及びＲ^３が水素原子、又はメチル基であって、Ｌが単結合又はアルキレン基もしくはオキシアルキレン構造を含む２価の連結基であって、Ｘが酸素原子又はイミノ基であって、Ｚが脂肪族基、複素環基、又は芳香族基である化合物が好ましい。
また、上記式（ｉｉ）で表される単量体として、Ｒ^１が水素原子又はメチル基であって、Ｌがアルキレン基であって、Ｚが脂肪族基、複素環基、又は芳香族基である化合物が好ましい。また、上記式（ｉｉｉ）で表される単量体として、Ｒ^４、Ｒ^５、及びＲ^６が水素原子又はメチル基であって、Ｚが脂肪族基、複素環基、又は芳香族基である化合物が好ましい。

式（ｉ）～（ｉｉｉ）で表される代表的な化合物の例としては、アクリル酸エステル類、メタクリル酸エステル類、及びスチレン類等から選ばれるラジカル重合性化合物が挙げられる。
なお、式（ｉ）～（ｉｉｉ）で表される代表的な化合物の例としては、特開２０１３－２４９４１７号公報の段落００８９～００９３に記載の化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

樹脂ＢＸにおいて、疎水性繰り返し単位の含有量は、質量換算で、樹脂ＢＸの総質量に対して、１０～９０質量％が好ましく、２０～８０質量％がより好ましい。含有量が上記範囲において十分なパターン形成が得られる。

（特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基）
樹脂ＢＸは、特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基を導入できる。ここで、樹脂ＢＸは、特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基を含む繰り返し単位を更に含むことが好ましい。
この特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基としては、例えば、酸基、塩基性基、配位性基、及び反応性を有する官能基等が挙げられる。
樹脂ＢＸが、酸基、塩基性基、配位性基、又は反応性を有する官能基を含む場合、それぞれ、酸基を含む繰り返し単位、塩基性基を含む繰り返し単位、配位性基を含む繰り返し単位、又は反応性を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。
特に、樹脂ＢＸが、更に、酸基として、カルボン酸基等のアルカリ可溶性基を含む場合、樹脂ＢＸに、アルカリ現像によるパターン形成のための現像性を付与できる。
すなわち、樹脂ＢＸにアルカリ可溶性基を導入すれば、上記組成物は、特定鉄含有粒子の分散に寄与する分散剤としての樹脂ＢＸがアルカリ可溶性を含むことになる。このような樹脂ＢＸを含む組成物は、未露光部のアルカリ現像性が向上される。
また、樹脂ＢＸが酸基を含む繰り返し単位を含む場合、樹脂ＢＸが溶剤となじみやすくなり、塗布性も向上する傾向となる。
これは、酸基を含む繰り返し単位における酸基が特定鉄含有粒子と相互作用しやすく、樹脂ＢＸが特定鉄含有粒子を安定的に分散すると共に、特定鉄含有粒子を分散する樹脂ＢＸの粘度が低くなっており、樹脂ＢＸ自体も安定的に分散されやすいためであると推測される。

ただし、酸基としてのアルカリ可溶性基を含む繰り返し単位は、上記のグラフト鎖を含む繰り返し単位と同一の繰り返し単位であっても、異なる繰り返し単位であってもよいが、酸基としてのアルカリ可溶性基を含む繰り返し単位は、上記の疎水性繰り返し単位とは異なる繰り返し単位である（すなわち、上記の疎水性繰り返し単位には相当しない）。

特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基である酸基としては、例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、及びフェノール性水酸基等があり、カルボン酸基、スルホン酸基、及びリン酸基のうち少なくとも１種が好ましく、カルボン酸基がより好ましい。カルボン酸基は、特定鉄含有粒子への吸着力が良好で、かつ、分散性が高い。
すなわち、樹脂ＢＸは、カルボン酸基、スルホン酸基、及びリン酸基のうち少なくとも１種を含む繰り返し単位を更に含むことが好ましい。

樹脂ＢＸは、酸基を含む繰り返し単位を１種又は２種以上有してもよい。
樹脂ＢＸが酸基を含む繰り返し単位を含む場合、その含有量は、質量換算で、樹脂ＢＸの総質量に対して、５～８０質量％が好ましく、１０～６０質量％がより好ましい。

特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基である塩基性基としては、例えば、第１級アミノ基、第２級アミノ基、第３級アミノ基、Ｎ原子を含むヘテロ環、及びアミド基等があり、好ましい塩基性基は、特定鉄含有粒子への吸着力が良好で、かつ、分散性が高い点で、第３級アミノ基である。樹脂ＢＸは、これらの塩基性基を１種又は２種以上含んでいてもよい。
樹脂ＢＸが塩基性基を含む繰り返し単位を含む場合、その含有量は、質量換算で、樹脂ＢＸの総質量に対して、０．０１～５０質量％が好ましく、０．０１～３０質量％がより好ましい。

特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基である配位性基、及び反応性を有する官能基としては、例えば、アセチルアセトキシ基、トリアルコキシシリル基、イソシアネート基、酸無水物、及び酸塩化物等が挙げられる。好ましい官能基は、特定鉄含有粒子への吸着力が良好で、特定鉄含有粒子の分散性が高い点で、アセチルアセトキシ基である。樹脂ＢＸは、これらの基を１種又は２種以上有してもよい。
樹脂ＢＸが、配位性基を含む繰り返し単位、又は反応性を有する官能基を含む繰り返し単位を含む場合、これらの含有量は、質量換算で、樹脂ＢＸの総質量に対して、１０～８０質量％が好ましく、２０～６０質量％がより好ましい。

上記樹脂ＢＸが、グラフト鎖以外に、特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基を含む場合、上記の各種の特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基を含んでいればよく、これらの官能基がどのように導入されているかは特に制限されないが、樹脂ＢＸは、下記式（ｉｖ）～（ｖｉ）で表される単量体に由来の繰り返し単位から選択された１種以上の繰り返し単位を含むことが好ましい。

式（ｉｖ）～（ｖｉ）中、Ｒ^１１、Ｒ^１２、及びＲ^１３は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子等）、又は炭素数が１～６のアルキル基（例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等）を表す。
式（ｉｖ）～（ｖｉ）中、Ｒ^１１、Ｒ^１２、及びＲ^１３としては、水素原子、又は炭素数が１～３のアルキル基が好ましく、水素原子又はメチル基がより好ましい。一般式（ｉｖ）中、Ｒ^１２及びＲ^１３としては、水素原子が更に好ましい。

式（ｉｖ）中のＸ_１は、酸素原子（－Ｏ－）又はイミノ基（－ＮＨ－）を表し、酸素原子が好ましい。
また、式（ｖ）中のＹは、メチン基又は窒素原子を表す。

また、式（ｉｖ）～（ｖ）中のＬ_１は、単結合又は２価の連結基を表す。２価の連結基の定義は、上述した式（ｉ）中のＬで表される２価の連結基の定義と同じである。

Ｌ_１は、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含む２価の連結基が好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造がより好ましい。また、Ｌ_１は、オキシアルキレン構造を２以上繰り返して含むポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、－（ＯＣＨ_２ＣＨ_２）ｎ－で表され、ｎは、２以上の整数が好ましく、２～１０の整数がより好ましい。

式（ｉｖ）～（ｖｉ）中、Ｚ_１は、グラフト鎖以外に特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基を表し、カルボン酸基、又は第３級アミノ基が好ましく、カルボン酸基がより好ましい。

式（ｖｉ）中、Ｒ^１４、Ｒ^１５、及びＲ^１６は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、及び臭素原子等）、炭素数が１～６のアルキル基（例えば、メチル基、エチル基、及びプロピル基等）、－Ｚ_１、又はＬ_１－Ｚ_１を表す。ここでＬ_１及びＺ_１は、上記におけるＬ_１及びＺ_１と同義であり、好ましい例も同様である。Ｒ^１４、Ｒ^１５、及びＲ^１６としては、水素原子、又は炭素数が１～３のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。

式（ｉｖ）で表される単量体として、Ｒ^１１、Ｒ^１２、及びＲ^１３がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Ｌ_１がアルキレン基又はオキシアルキレン構造を含む２価の連結基であって、Ｘ_１が酸素原子又はイミノ基であって、Ｚ_１がカルボン酸基である化合物が好ましい。
また、式（ｖ）で表される単量体として、Ｒ^１１が水素原子又はメチル基であって、Ｌ_１がアルキレン基であって、Ｚ_１がカルボン酸基であって、Ｙがメチン基である化合物が好ましい。
更に、式（ｖｉ）で表される単量体として、Ｒ^１４、Ｒ^１５、及びＲ^１６がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Ｚ_１がカルボン酸基である化合物が好ましい。

以下に、式（ｉｖ）～（ｖｉ）で表される単量体（化合物）の代表的な例を示す。
単量体の例としては、メタクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含む化合物（例えば、メタクリル酸２－ヒドロキシエチル）とコハク酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含む化合物とフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含む化合物とテトラヒドロキシフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含む化合物と無水トリメリット酸との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含む化合物とピロメリット酸無水物との反応物、アクリル酸、アクリル酸ダイマー、アクリル酸オリゴマー、マレイン酸、イタコン酸、フマル酸、４－ビニル安息香酸、ビニルフェノール、及び４－ヒドロキシフェニルメタクリルアミド等が挙げられる。

特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基を含む繰り返し単位の含有量は、特定鉄含有粒子との相互作用、経時安定性、及び現像液への浸透性の点から、質量換算で、樹脂ＢＸの総質量に対して、０．０５～９０質量％が好ましく、１．０～８０質量％がより好ましく、１０～７０質量％が更に好ましい。

（その他の繰り返し単位）
更に、樹脂ＢＸは、膜形成能等の諸性能を向上する目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、グラフト鎖を含む繰り返し単位、疎水性繰り返し単位、及び特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基を含む繰り返し単位とは異なる、種々の機能を有する他の繰り返し単位（例えば、後述する溶剤との親和性を有する官能基等を含む繰り返し単位）を更に有していてもよい。
このような、他の繰り返し単位としては、例えば、アクリロニトリル類、及びメタクリロニトリル類等から選ばれるラジカル重合性化合物に由来の繰り返し単位が挙げられる。
樹脂ＢＸは、これらの他の繰り返し単位を１種又は２種以上使用でき、その含有量は、質量換算で、樹脂ＢＸの総質量に対して、０～８０質量％が好ましく、１０～６０質量％がより好ましい。

（樹脂ＢＸの物性）
樹脂ＢＸの酸価は、０～２５０ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、１０～２００ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、３０～１８０ｍｇＫＯＨ／ｇが更に好ましく、５０～１２０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲が特に好ましい。
樹脂ＢＸの酸価が１６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、硬化膜を形成する際の現像時におけるパターン剥離がより効果的に抑えられる。また、樹脂ＢＸの酸価が１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であればアルカリ現像性がより良好となる。また、樹脂ＢＸの酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であれば、特定鉄含有粒子の沈降をより抑制でき、粗大粒子数をより少なくでき、組成物の経時安定性をより向上できる。

本明細書において酸価は、例えば、化合物中における酸基の平均含有量から算出できる。また、樹脂中における酸基を含む繰り返し単位の含有量を変えることで、所望の酸価を有する樹脂を得られる。

樹脂ＢＸの重量平均分子量は、４，０００～３００，０００が好ましく、５，０００～２００，０００がより好ましく、６，０００～１００，０００が更に好ましく、１０，０００～５０，０００が特に好ましい。
樹脂ＢＸは、公知の方法に基づいて合成できる。

なお、樹脂ＢＸの具体例の例としては、特開２０１３－２４９４１７号公報の段落０１２７～０１２９に記載の高分子化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

また、樹脂ＢＸとしては、特開２０１０－１０６２６８号公報の段落００３７～０１１５（対応するＵＳ２０１１／０１２４８２４の段落００７５～０１３３欄）のグラフト共重合体も使用でき、これらの内容は援用でき、本明細書に組み込まれる。

＜特定鉄含有粒子＞
組成物Ｘは、鉄原子の含有量が１０質量％以上である鉄含有粒子（特定鉄含有粒子）を含む。
特定鉄含有粒子中の鉄原子の含有量は、特定鉄含有粒子の全質量に対して１０質量％以上であり、３０質量％以上が好ましく、５０質量％以上がより好ましい。特定鉄含有粒子中の鉄原子の含有量の上限値としては特に制限されないが、例えば、特定鉄含有粒子の全質量に対して９０質量％以下である。特定鉄含有粒子中の鉄原子の含有量は、誘導結合プラズマ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ；ＩＣＰ）分析によって求められる。

特定鉄含有粒子としては磁性粒子であれば特に制限されず、例えば、鉄粒子及び鉄合金粒子が挙げられる。特定鉄含有粒子としては、具体的には、鉄－コバルト合金、鉄－ニッケル合金、鉄－ジルコニウム合金、鉄－マンガン合金、鉄－ケイ素合金、及び鉄－アルミニウム合金等の各種合金粒子（なお、ここでいう「合金粒子」は、原子が周期的には配列した結晶構造を有する合金粒子を意図し、後述するアモルファス粒子を含まない。）；Ｆｅ－Ｓｉ－Ｂ系、Ｆｅ－Ｓｉ－Ｂ－Ｃ系、Ｆｅ－Ｓｉ－Ｂ－Ｃｒ系、Ｆｅ－Ｓｉ－Ｂ－Ｃｒ－Ｃ系、Ｆｅ－Ｃｏ－Ｓｉ－Ｂ系、及びＦｅ－Ｓｉ－Ｂ－Ｎｂ系等のアモルファス粒子；パーマロイ粒子；スーパーマロイ粒子；パーメンジュール粒子；センダスト粒子等を使用できる。
特定鉄含有粒子としては、なかでも、鉄－コバルト合金粒子、又はアモルファス粒子が好ましい。

特定鉄含有粒子の平均一次粒子径としては、０．０１μｍ以上が好ましく、０．０３μｍ以上がより好ましい。特定鉄含有粒子の平均一次粒子径としては、例えば、５．０μｍ以下であり、４．０μｍ以下が好ましく、０．４０μｍ以下がより好ましく、０．２０μｍ以下が更に好ましく、０．１５μｍ以下が特に好ましい。なお、特定鉄含有粒子が鉄－コバルト合金粒子である場合、特定鉄含有粒子の平均一次粒径としては０．０１～０．２０μｍが好ましい。また、特定鉄含有粒子がアモルファス粒子である場合、特定鉄含有粒子の平均一次粒径としては０．１０～５．０μｍが好ましく、０．５０～４．０μｍが好ましい。

特定鉄含有粒子の一次粒子の粒子径は、特定鉄含有粒子を透過型電子顕微鏡を用いて撮影倍率１０００００倍で撮影し、総倍率５０００００倍になるように印画紙にプリントして得た粒子写真において、デジタイザーで粒子（一次粒子）の輪郭をトレースし、トレースした領域と同じ面積の円の直径（円面積相径）を算出することで測定する。ここで、一次粒子とは、凝集のない独立した粒子をいう。透過型電子顕微鏡を用いる撮影は、加速電圧３００ｋＶで透過型電子顕微鏡を用いて直接法により行うものとする。透過型電子顕微鏡観察及び測定は、例えば日立製透過型電子顕微鏡Ｈ－９０００型及びカールツァイス製画像解析ソフトＫＳ－４００を用いて行うことができる。
特定鉄含有粒子の粒子の形状に関して、「板状」とは、対向する２つの板面を有する形状をいう。一方、そのような板面を持たない粒子形状の中で、長軸と短軸の区別のある形状が「楕円状」である。長軸とは、粒子の長さを最も長く取ることができる軸（直線）として決定する。一方、短軸とは、長軸と直交する直線で粒子長さを取ったときに長さが最も長くなる軸として決定する。長軸と短軸の区別がない形状、即ち長軸長＝短軸長となる形状が「球状」である。形状から長軸及び短軸が特定できない形状を不定形と呼ぶ。上記の粒子形状特定のための透過型電子顕微鏡を用いる撮影は、撮影対象粒子に配向処理を施さずに行う。特定鉄含有粒子の形状は、板状、楕円状、球状、及び不定形のいずれでもよい。

ここで、本明細書に記載の各種粒子に関する平均一次粒子径は、市販品を用いる場合、カタログ値を採用する。
カタログ値が無い場合、上記のように撮影された粒子写真を用いて、無作為に抽出した５００個の粒子について求められた値の算術平均とする。

組成物Ｘにおける、特定鉄含有粒子の含有量としては特に制限されないが、組成物Ｘの全固形分に対して，５０質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましく、９５質量％以下が好ましく、９０質量％以下がより好ましい。

＜重合開始剤＞
組成物Ｘは、重合開始剤を含む。
重合開始剤としては特に制限されず、公知の重合開始剤を使用できる。重合開始剤としては、例えば、光重合開始剤、及び熱重合開始剤等が挙げられ、光重合開始剤が好ましい。なお、重合開始剤としては、いわゆるラジカル重合開始剤が好ましい。
組成物Ｘ中における重合開始剤の含有量としては特に制限されないが、組成物Ｘの全固形分に対して、０．５～１５質量％が好ましく、１．０～１０質量％がより好ましく、１．５～８．０質量％が更に好ましい。重合開始剤は、１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。２種以上の重合開始剤を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。

（熱重合開始剤）
熱重合開始剤としては、例えば、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）、３－カルボキシプロピオニトリル、アゾビスマレノニトリル、及びジメチル－（２，２’）－アゾビス（２－メチルプロピオネート）［Ｖ－６０１］等のアゾ化合物、並びに、過酸化ベンゾイル、過酸化ラウロイル、及び過硫酸カリウム等の有機過酸化物が挙げられる。
重合開始剤の具体例としては、例えば、加藤清視著「紫外線硬化システム」（株式会社総合技術センター発行：平成元年）の第６５～１４８頁に記載されている重合開始剤等が挙げられる。

（光重合開始剤）
上記組成物Ｘは光重合開始剤を含むことが好ましい。
光重合開始剤としては、重合性化合物の重合を開始できれば特に制限されず、公知の光重合開始剤を使用できる。光重合開始剤としては、例えば、紫外線領域から可視光領域に対して感光性を有する光重合開始剤が好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、重合性化合物の種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。
また、光重合開始剤は、３００～８００ｎｍ（３３０～５００ｎｍがより好ましい。）の範囲内に少なくとも５０のモル吸光係数を有する化合物を、少なくとも１種含んでいることが好ましい。

組成物Ｘ中における光重合開始剤の含有量としては特に制限されないが、組成物Ｘの全固形分に対して、０．５～１５質量％が好ましく、１．０～１０質量％がより好ましく、１．５～８．０質量％が更に好ましい。光重合開始剤は、１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。２種以上の光重合開始剤を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。

光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を含む化合物、オキサジアゾール骨格を含む化合物、等）、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、アミノアセトフェノン化合物、及びヒドロキシアセトフェノン等が挙げられる。
光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開２０１３－２９７６０号公報の段落０２６５～０２６８を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

光重合開始剤としては、より具体的には、例えば、特開平１０－２９１９６９号公報に記載のアミノアセトフェノン系開始剤、及び特許第４２２５８９８号公報に記載のアシルホスフィン系開始剤も使用できる。
ヒドロキシアセトフェノン化合物としては、例えば、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ－１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－２９５９、及びＩＲＧＡＣＵＲＥ－１２７（商品名、いずれもＢＡＳＦ社製）を使用できる。
アミノアセトフェノン化合物としては、例えば、市販品であるＩＲＧＡＣＵＲＥ－９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－３６９、及びＩＲＧＡＣＵＲＥ－３７９ＥＧ（商品名、いずれもＢＡＳＦ社製）を使用できる。アミノアセトフェノン化合物としては、波長３６５ｎｍ又は波長４０５ｎｍ等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開２００９－１９１１７９公報に記載の化合物も使用できる。
アシルホスフィン化合物としては、市販品であるＩＲＧＡＣＵＲＥ－８１９、及びＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＴＰＯ（商品名、いずれもＢＡＳＦ社製）を使用できる。

・オキシム化合物
光重合開始剤として、オキシムエステル系重合開始剤（オキシム化合物）がより好ましい。特にオキシム化合物は高感度で重合効率が高く、組成物Ｘ中における色材の含有量を高く設計しやすいため好ましい。
オキシム化合物の具体例としては、特開２００１－２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００－８００６８号公報に記載の化合物、又は特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物を使用できる。
オキシム化合物としては、例えば、３－ベンゾイロキシイミノブタン－２－オン、３－アセトキシイミノブタン－２－オン、３－プロピオニルオキシイミノブタン－２－オン、２－アセトキシイミノペンタン－３－オン、２－アセトキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、２－ベンゾイロキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、３－（４－トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン－２－オン、及び２－エトキシカルボニルオキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン等が挙げられる。
また、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ ＩＩ（１９７９年）ｐｐ．１６５３－１６６０、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ ＩＩ（１９７９年）ｐｐ．１５６－１６２、Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年）ｐｐ．２０２－２３２、特開２０００－６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００－８００６８号公報、特表２００４－５３４７９７号公報、及び特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物等も挙げられる。
市販品ではＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０１（ＢＡＳＦ社製）、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０２（ＢＡＳＦ社製）、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０３（ＢＡＳＦ社製）、又はＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０４（ＢＡＳＦ社製）も好ましい。また、ＴＲ－ＰＢＧ－３０４（常州強力電子新材料有限公司製）、アデカアークルズＮＣＩ－８３１、アデカアークルズＮＣＩ－９３０（ＡＤＥＫＡ社製）、又はＮ－１９１９（カルバゾール・オキシムエステル骨格含有光開始剤（ＡＤＥＫＡ社製））も使用できる。

また上記記載以外のオキシム化合物として、カルバゾールＮ位にオキシムが連結した特表２００９－５１９９０４号公報に記載の化合物；ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許第７６２６９５７号公報に記載の化合物；色素部位にニトロ基が導入された特開２０１０－１５０２５号公報及び米国特許公開２００９－２９２０３９号明細書に記載の化合物；国際公開第２００９－１３１１８９号パンフレットに記載のケトオキシム化合物；及びトリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含む米国特許７５５６９１０号明細書に記載の化合物；４０５ｎｍに吸収極大を有しｇ線光源に対して良好な感度を有する特開２００９－２２１１１４号公報に記載の化合物；等を用いてもよい。
例えば、特開２０１３－２９７６０号公報の段落０２７４～０２７５を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
具体的には、オキシム化合物としては、下記式（ＯＸ－１）で表される化合物が好ましい。なお、オキシム化合物のＮ－Ｏ結合が（Ｅ）体のオキシム化合物であっても、（Ｚ）体のオキシム化合物であっても、（Ｅ）体と（Ｚ）体との混合物であってもよい。

式（ＯＸ－１）中、Ｒ及びＢはそれぞれ独立に１価の置換基を表し、Ａは２価の有機基を表し、Ａｒはアリール基を表す。
式（ＯＸ－１）中、Ｒで表される１価の置換基としては、１価の非金属原子団が好ましい。
１価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、及びアリールチオカルボニル基等が挙げられる。また、これらの基は、１以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、更に他の置換基で置換されていてもよい。
置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、及びアリール基等が挙げられる。
式（ＯＸ－１）中、Ｂで表される１価の置換基としては、アリール基、複素環基、アリールカルボニル基、又は複素環カルボニル基が好ましく、アリール基、又は複素環基が好ましい。これらの基は１以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。
式（ＯＸ－１）中、Ａで表される２価の有機基としては、炭素数１～１２のアルキレン基、シクロアルキレン基、又はアルキニレン基が好ましい。これらの基は１以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。

光重合開始剤として、フッ素原子を含むオキシム化合物も使用できる。フッ素原子を含むオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０－２６２０２８号公報に記載の化合物；特表２０１４－５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６～４０；及び特開２０１３－１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ－３）；等が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。

光重合開始剤として、下記一般式（１）～（４）で表される化合物も使用できる。

式（１）において、Ｒ^１及びＲ^２は、それぞれ独立に、炭素数１～２０のアルキル基、炭素数４～２０の脂環式炭化水素基、炭素数６～３０のアリール基、又は炭素数７～３０のアリールアルキル基を表し、Ｒ^１及びＲ^２がフェニル基の場合、フェニル基同士が結合してフルオレン基を形成してもよく、Ｒ^３及びＲ^４は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１～２０のアルキル基、炭素数６～３０のアリール基、炭素数７～３０のアリールアルキル基又は炭素数４～２０の複素環基を表し、Ｘは、直接結合又はカルボニル基を示す。

式（２）において、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、及びＲ^４は、式（１）におけるＲ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、及びＲ^４と同義であり、Ｒ^５は、－Ｒ^６、－ＯＲ^６、－ＳＲ^６、－ＣＯＲ^６、－ＣＯＮＲ^６Ｒ^６、－ＮＲ^６ＣＯＲ^６、－ＯＣＯＲ^６、－ＣＯＯＲ^６、－ＳＣＯＲ^６、－ＯＣＳＲ^６、－ＣＯＳＲ^６、－ＣＳＯＲ^６、－ＣＮ、ハロゲン原子、又は水酸基を表し、Ｒ^６は、炭素数１～２０のアルキル基、炭素数６～３０のアリール基、炭素数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素数４～２０の複素環基を表し、Ｘは、直接結合又はカルボニル基を表し、ａは０～４の整数を表す。

式（３）において、Ｒ^１は、炭素数１～２０のアルキル基、炭素数４～２０の脂環式炭化水素基、炭素数６～３０のアリール基、又は炭素数７～３０のアリールアルキル基を表し、Ｒ^３及びＲ^４は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１～２０のアルキル基、炭素数６～３０のアリール基、炭素数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素数４～２０の複素環基を表し、Ｘは、直接結合又はカルボニル基を示す。

式（４）において、Ｒ^１、Ｒ^３、及びＲ^４は、式（３）におけるＲ^１、Ｒ^３、及びＲ^４と同義であり、Ｒ^５は、－Ｒ^６、－ＯＲ^６、－ＳＲ^６、－ＣＯＲ^６、－ＣＯＮＲ^６Ｒ^６、－ＮＲ^６ＣＯＲ^６、－ＯＣＯＲ^６、－ＣＯＯＲ^６、－ＳＣＯＲ^６、－ＯＣＳＲ^６、－ＣＯＳＲ^６、－ＣＳＯＲ^６、－ＣＮ、ハロゲン原子、又は水酸基を表し、Ｒ^６は、炭素数１～２０のアルキル基、炭素数６～３０のアリール基、炭素数７～３０のアリールアルキル基、又は炭素数４～２０の複素環基を表し、Ｘは、直接結合又はカルボニル基を表し、ａは０～４の整数を表す。

上記式（１）及び（２）において、Ｒ^１及びＲ^２は、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、ｉ－プロピル基、シクロヘキシル基、又はフェニル基が好ましい。Ｒ^３はメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基、又はキシリル基が好ましい。Ｒ^４は炭素数１～６のアルキル基又はフェニル基が好ましい。Ｒ^５はメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基、又はナフチル基が好ましい。Ｘは直接結合が好ましい。
また、上記式（３）及び（４）において、Ｒ^１は、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、ｉ－プロピル基、シクロヘキシル基、又はフェニル基が好ましい。Ｒ^３はメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基、又はキシリル基が好ましい。Ｒ^４は炭素数１～６のアルキル基、又はフェニル基が好ましい。Ｒ^５はメチル基、エチル基、フェニル基、トリル基、又はナフチル基が好ましい。Ｘは直接結合が好ましい。
式（１）及び式（２）で表される化合物の具体例としては、例えば、特開２０１４－１３７４６６号公報の段落００７６～００７９に記載された化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。

上記組成物Ｘに好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示す。以下に示すオキシム化合物の中でも、一般式（Ｃ－１３）で表されるオキシム化合物がより好ましい。
また、オキシム化合物としては、国際公開第２０１５－０３６９１０号パンフレットのＴａｂｌｅ１に記載の化合物も使用でき、上記の内容は本明細書に組み込まれる。

オキシム化合物は、３５０～５００ｎｍの波長領域に極大吸収波長を有することが好ましく、３６０～４８０ｎｍの波長領域に極大吸収波長を有することがより好ましく、３６５ｎｍ及び４０５ｎｍの波長の吸光度が高いことが更に好ましい。
オキシム化合物の３６５ｎｍ又は４０５ｎｍにおけるモル吸光係数は、感度の点から、１，０００～３００，０００が好ましく、２，０００～３００，０００がより好ましく、５，０００～２００，０００が更に好ましい。
化合物のモル吸光係数は、公知の方法を使用できるが、例えば、紫外可視分光光度計（Ｖａｒｉａｎ社製Ｃａｒｙ－５ ｓｐｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）にて、酢酸エチルを用い、０．０１ｇ／Ｌの濃度で測定することが好ましい。
光重合開始剤は、必要に応じて２種以上を組み合わせて使用してもよい。

また、光重合開始剤としては、特開第２００８－２６０９２７号公報の段落００５２、特開第２０１０－９７２１０号公報の段落００３３～００３７、及び特開第２０１５－６８８９３号公報の段落００４４に記載の化合物も使用でき、上記の内容は本明細書に組み込まれる。

＜アルカリ可溶性樹脂＞
組成物Ｘは、アルカリ可溶性樹脂を含むことが好ましい。本明細書において、アルカリ可溶性樹脂とは、アルカリ可溶性を促進する基（アルカリ可溶性基、例えばカルボン酸基等の酸基）を含む樹脂を意味し、既に説明した樹脂ＢＸ（及び後述する樹脂ＢＹ）とは異なる樹脂を意味する。
なお、ここでいう樹脂とは、組成物Ｘ中に溶解している成分であって、重量平均分子量が２０００超である成分を意味する。
組成物Ｘ中におけるアルカリ可溶性樹脂の含有量としては特に制限されないが、組成物Ｘの全固形分に対して、０．１～４０質量％が好ましく、０．５～３０質量％がより好ましく、１．０～２５質量％が更に好ましい。
アルカリ可溶性樹脂は１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。２種以上のアルカリ可溶性樹脂を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。

アルカリ可溶性樹脂としては、分子中に少なくとも１個のアルカリ可溶性基を含む樹脂が挙げられ、例えば、ポリヒドロキシスチレン樹脂、ポリシロキサン樹脂、（メタ）アクリル樹脂、（メタ）アクリルアミド樹脂、（メタ）アクリル／（メタ）アクリルアミド共重合体樹脂、エポキシ系樹脂、及びポリイミド樹脂等が挙げられる。

アルカリ可溶性樹脂の具体例としては、不飽和カルボン酸とエチレン性不飽和化合物の共重合体が挙げられる。
不飽和カルボン酸としては特に制限されないが、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、及びビニル酢酸等のモノカルボン酸類；イタコン酸、マレイン酸、及びフマル酸等のジカルボン酸、又はその酸無水物；並びに、フタル酸モノ（２－（メタ）アクリロイルオキシエチル）等の多価カルボン酸モノエステル類；等が挙げられる。

共重合可能なエチレン性不飽和化合物としては、（メタ）アクリル酸メチル等が挙げられる。また、特開２０１０－９７２１０号公報の段落００２７、及び特開２０１５－６８８９３号公報の段落００３６～００３７に記載の化合物も使用でき、上記の内容は本明細書に組み込まれる。

アルカリ可溶性樹脂としては、硬化性基を含むアルカリ可溶性樹脂も好ましい。
上記硬化性基としては、例えば、エチレン性不飽和基（例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、及び、スチリル基等）、及び、環状エーテル基（例えば、エポキシ基、オキセタニル基等）等が挙げられるが、これらに制限されない。
中でも、ラジカル反応で重合制御が可能な点で、硬化性基としては、エチレン性不飽和基が好ましく、（メタ）アクリロイル基がより好ましい。

硬化性基を含むアルカリ可溶性樹脂としては、硬化性基を側鎖に有するアルカリ可溶性樹脂等が好ましい。硬化性基を含むアルカリ可溶性樹脂としては、ダイヤナールＮＲシリーズ（三菱レイヨン社製）、Ｐｈｏｔｏｍｅｒ６１７３（ＣＯＯＨ含有 ｐｏｌｙｕｒｅｔｈａｎｅ ａｃｒｙｌｉｃ ｏｌｉｇｏｍｅｒ．Ｄｉａｍｏｎｄ Ｓｈａｍｒｏｃｋ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．製）、ビスコートＲ－２６４、ＫＳレジスト１０６（いずれも大阪有機化学工業社製）、サイクロマーＰシリーズ（例えば、ＡＣＡ２３０ＡＡ）、プラクセル ＣＦ２００シリーズ（いずれもダイセル社製）、Ｅｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセル・オルネクス社製）、及びアクリキュアＲＤ－Ｆ８（日本触媒社製）等が挙げられる。

また、側鎖にエチレン性不飽和基を含む繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂としては、例えば、（メタ）アクリル酸由来の繰り返し単位を含む樹脂等のカルボン酸基を含む樹脂中の上記カルボン酸基に、グリシジル基又は脂環式エポキシ基を含むエチレン性不飽和化合物を付加反応させることでも得られる。

アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、特開昭５９－４４６１５号公報、特公昭５４－３４３２７号公報、特公昭５８－１２５７７号公報、特公昭５４－２５９５７号公報、特開昭５４－９２７２３号公報、特開昭５９－５３８３６号公報、及び特開昭５９－７１０４８号公報に記載されている側鎖にカルボン酸基を含むラジカル重合体；欧州特許第９９３９６６号公報、欧州特許第１２０４０００号明細書、及び特開２００１－３１８４６３号公報に記載されているアルカリ可溶性基を含むアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダー樹脂；ポリビニルピロリドン；ポリエチレンオキサイド；アルコール可溶性ナイロン、及び２，２－ビス－（４－ヒドロキシフェニル）－プロパンとエピクロロヒドリンとの反応物であるポリエーテル等；並びに、国際公開第２００８／１２３０９７号パンフレットに記載のポリイミド樹脂；等を使用できる。

アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、特開２０１６－７５８４５号公報の段落０２２５～０２４５に記載の化合物も使用でき、上記内容は本明細書に組み込まれる。

アルカリ可溶性樹脂としては、ポリイミド前駆体も使用できる。ポリイミド前駆体は、酸無水物基を含む化合物とジアミン化合物とを４０～１００℃下において付加重合反応して得られる樹脂を意味する。
上記ポリイミド前駆体の具体例としては、例えば、特開２００８－１０６２５０号公報の段落００１１～００３１に記載の化合物、特開２０１６－１２２１０１号公報の段落００２２～００３９に記載の化合物、特開２０１６－６８４０１号公報の段落００６１～００９２に記載の化合物、特開２０１４－１３７５２３号公報の段落００５０に記載された樹脂、特開２０１５－１８７６７６号公報の段落００５８に記載された樹脂、及び特開２０１４－１０６３２６号公報の段落００１２～００１３に記載された樹脂等が挙げられ、上記の内容は本明細書に組み込まれる。

アルカリ可溶性樹脂としては、〔ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／必要に応じてその他の付加重合性ビニルモノマー〕共重合体、及び〔アリル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／必要に応じてその他の付加重合性ビニルモノマー〕共重合体が、膜強度、感度、及び現像性のバランスに優れており、好適である。
上記その他の付加重合性ビニルモノマーには、１種単独でも２種以上でもよい。
上記共重合体は、硬化膜の耐湿性がより優れる点から、硬化性基を有することが好ましく、（メタ）アクリロイル基等のエチレン性不飽和基を含むことがより好ましい。
例えば、上記その他の付加重合性ビニルモノマーとして硬化性基を有するモノマーを使用して共重合体に硬化性基が導入されていてもよい。また、共重合体中の（メタ）アクリル酸に由来する単位及び／又は上記その他の付加重合性ビニルモノマーに由来する単位の１種以上の、一部又は全部に、硬化性基（好ましくは（メタ）アクリロイル基等のエチレン性不飽和基）が導入されていてもよい。
上記その他の付加重合性ビニルモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、スチレン系単量体（ヒドロキシスチレン等）、及びエーテルダイマーが挙げられる。
上記エーテルダイマーは、例えば、下記一般式（ＥＤ１）で表される化合物、及び下記一般式（ＥＤ２）で表される化合物が挙げられる。

一般式（ＥＤ１）中、Ｒ^１及びＲ^２は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～２５の炭化水素基を表す。

一般式（ＥＤ２）中、Ｒは、水素原子又は炭素数１～３０の有機基を表す。一般式（ＥＤ２）の具体例としては、特開２０１０－１６８５３９号公報の記載を参酌できる。

エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開２０１３－２９７６０号公報の段落０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

アルカリ可溶性樹脂の酸価としては、特に制限されないが、一般に、３０～５００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５０～２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましい。

＜重合性化合物＞
本発明の組成物Ｘは、重合性化合物を含むことが好ましい。
本明細書において重合性化合物とは、上述した重合開始剤の作用を受けて重合する化合物を意味し、上述した樹脂ＢＸ及びアルカリ可溶性樹脂とは異なる成分を意味する。つまり、重合性化合物は、グラフト鎖は有さない。

組成物Ｘ中における重合性化合物の含有量としては特に制限されないが、組成物Ｘの全固形分に対して、１～２５質量％が好ましく、１～２０質量％がより好ましく、３～１５質量％が更に好ましい。重合性化合物は、１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。２種以上の重合性化合物を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。
重合性化合物の分子量（又は重量平均分子量）は、特に制限されないが、２０００以下が好ましい。

重合性化合物は、エチレン性不飽和結合を含む基（以下単に「エチレン性不飽和基」ともいう）を含む化合物が好ましい。
つまり本発明の組成物Ｘは、エチレン性不飽和基を含む低分子化合物を、重合性化合物として含むことが好ましい。
重合性化合物は、エチレン性不飽和結合を１個以上含む化合物が好ましく、２個以上含む化合物がより好ましく、３個以上含む化合物が更に好ましく、５個以上含む化合物が特に好ましい。上限は、例えば、１５個以下である。エチレン性不飽和基としては、例えば、ビニル基、（メタ）アリル基、及び（メタ）アクリロイル基等が挙げられる。

重合性化合物としては、例えば、特開２００８－２６０９２７号公報の段落００５０、及び特開２０１５－６８８９３号公報の段落００４０に記載されている化合物を使用でき、上記の内容は本明細書に組み込まれる。

重合性化合物は、例えば、モノマー、プレポリマー、オリゴマー、及びこれらの混合物、並びに、これらの多量体等の化学的形態のいずれであってもよい。
重合性化合物は、３～１５官能の（メタ）アクリレート化合物が好ましく、３～６官能の（メタ）アクリレート化合物がより好ましい。

重合性化合物は、エチレン性不飽和基を１個以上含む、常圧下で１００℃以上の沸点を持つ化合物も好ましい。例えば、特開２０１３－２９７６０号公報の段落０２２７、特開２００８－２９２９７０号公報の段落０２５４～０２５７に記載の化合物を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

重合性化合物は、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ－３３０；日本化薬株式会社製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ－３２０；日本化薬株式会社製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ－３１０；日本化薬株式会社製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ；日本化薬株式会社製、Ａ－ＤＰＨ－１２Ｅ；新中村化学株式会社製）、及びこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコール残基又はプロピレングリコール残基を介している構造（例えば、サートマー社から市販されている、ＳＲ４５４、ＳＲ４９９）が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、ＮＫエステルＡ－ＴＭＭＴ（ペンタエリスリトールテトラアクリレート、新中村化学株式会社製）、ＫＡＹＡＲＡＤ ＲＰ－１０４０、ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＥＡ－１２ＬＴ、ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ ＬＴ、ＫＡＹＡＲＡＤ ＲＰ－３０６０、及びＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＥＡ－１２（いずれも商品名、日本化薬株式会社製）等を使用してもよい。
以下に好ましい重合性化合物の態様を示す。

重合性化合物は、カルボン酸基、スルホン酸基、及びリン酸基等の酸基を有していてもよい。酸基を含む重合性化合物としては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルが好ましく、脂肪族ポリヒドロキシ化合物の未反応の水酸基に非芳香族カルボン酸無水物を反応させて酸基を持たせた重合性化合物がより好ましく、このエステルにおいて、脂肪族ポリヒドロキシ化合物がペンタエリスリトール及び／又はジペンタエリスリトールである化合物が更に好ましい。市販品としては、例えば、東亞合成社製の、アロニックスＴＯ－２３４９、Ｍ－３０５、Ｍ－５１０、及びＭ－５２０等が挙げられる。

酸基を含む重合性化合物の酸価としては、０．１～４０ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５～３０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましい。重合性化合物の酸価が０．１ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であれば、現像溶解特性が良好であり、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、製造及び／又は取扱い上、有利である。更には、光重合性能が良好で、硬化性に優れる。

重合性化合物は、カプロラクトン構造を含む化合物も好ましい態様である。
カプロラクトン構造を含む化合物としては、分子内にカプロラクトン構造を含む限り特に制限されないが、例えば、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロール、又はトリメチロールメラミン等の多価アルコールと、（メタ）アクリル酸及びε－カプロラクトンとをエステル化して得られる、ε－カプロラクトン変性多官能（メタ）アクリレートが挙げられる。中でも下記式（Ｚ－１）で表されるカプロラクトン構造を含む化合物が好ましい。

式（Ｚ－１）中、６個のＲは全てが下記式（Ｚ－２）で表される基であるか、又は６個のＲのうち１～５個が下記式（Ｚ－２）で表される基であり、残余が下記式（Ｚ－３）で表される基である。

式（Ｚ－２）中、Ｒ^１は水素原子又はメチル基を示し、ｍは１又は２の数を示し、「＊」は結合手を示す。

式（Ｚ－３）中、Ｒ^１は水素原子又はメチル基を示し、「＊」は結合手を示す。

カプロラクトン構造を含む重合性化合物は、例えば、日本化薬からＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＣＡシリーズとして市販されており、ＤＰＣＡ－２０（上記式（Ｚ－１）～（Ｚ－３）においてｍ＝１、式（Ｚ－２）で表される基の数＝２、Ｒ^１が全て水素原子である化合物）、ＤＰＣＡ－３０（同式、ｍ＝１、式（Ｚ－２）で表される基の数＝３、Ｒ^１が全て水素原子である化合物）、ＤＰＣＡ－６０（同式、ｍ＝１、式（Ｚ－２）で表される基の数＝６、Ｒ^１が全て水素原子である化合物）、及びＤＰＣＡ－１２０（同式においてｍ＝２、式（Ｚ－２）で表される基の数＝６、Ｒ^１が全て水素原子である化合物）等が挙げられる。また、カプロラクトン構造を含む重合性化合物の市販品としては、東亞合成株式会社製Ｍ－３５０（商品名）（トリメチロールプロパントリアクリレート）も挙げられる。

重合性化合物は、下記式（Ｚ－４）又は（Ｚ－５）で表される化合物も使用できる。

式（Ｚ－４）及び（Ｚ－５）中、Ｅは、－（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ_２Ｏ）－、又は（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ（ＣＨ_３）Ｏ）－を表し、ｙは、０～１０の整数を表し、Ｘは、（メタ）アクリロイル基、水素原子、又はカルボン酸基を表す。
式（Ｚ－４）中、（メタ）アクリロイル基の合計は３個又は４個であり、ｍは０～１０の整数を表し、各ｍの合計は０～４０の整数である。
式（Ｚ－５）中、（メタ）アクリロイル基の合計は５個又は６個であり、ｎは０～１０の整数を表し、各ｎの合計は０～６０の整数である。

式（Ｚ－４）中、ｍは、０～６の整数が好ましく、０～４の整数がより好ましい。
また、各ｍの合計は、２～４０の整数が好ましく、２～１６の整数がより好ましく、４～８の整数が更に好ましい。
式（Ｚ－５）中、ｎは、０～６の整数が好ましく、０～４の整数がより好ましい。
また、各ｎの合計は、３～６０の整数が好ましく、３～２４の整数がより好ましく、６～１２の整数が更に好ましい。
また、式（Ｚ－４）又は式（Ｚ－５）中の－（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ_２Ｏ）－又は（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ（ＣＨ_３）Ｏ）－は、酸素原子側の末端がＸに結合する形態が好ましい。

式（Ｚ－４）又は式（Ｚ－５）で表される化合物は１種単独で用いてもよいし、２種以上併用してもよい。特に、式（Ｚ－５）において、６個のＸ全てがアクリロイル基である形態、式（Ｚ－５）において、６個のＸ全てがアクリロイル基である化合物と、６個のＸのうち、少なくとも１個が水素原子ある化合物との混合物である態様が好ましい。このような構成として、現像性をより向上できる。

また、式（Ｚ－４）又は式（Ｚ－５）で表される化合物の重合性化合物中における全含有量としては、２０質量％以上が好ましく、５０質量％以上がより好ましい。
式（Ｚ－４）又は式（Ｚ－５）で表される化合物の中でも、ペンタエリスリトール誘導体及び／又はジペンタエリスリトール誘導体がより好ましい。

また、重合性化合物は、カルド骨格を含んでいてもよい。
カルド骨格を含む重合性化合物としては、９，９－ビスアリールフルオレン骨格を含む重合性化合物が好ましい。
カルド骨格を含む重合性化合物としては、制限されないが、例えば、オンコートＥＸシリーズ（長瀬産業社製）及びオグソール（大阪ガスケミカル社製）等が挙げられる。
重合性化合物は、イソシアヌル酸骨格を中心核として含む化合物も好ましい。このような重合性化合物の例としては、例えば、ＮＫエステルＡ－９３００（新中村化学株式会社製）が挙げられる。
重合性化合物のエチレン性不飽和基の含有量（重合性化合物中のエチレン性不飽和基の数を、重合性化合物の分子量（ｇ／ｍｏｌ）で除した値を意味する）は５．０ｍｍｏｌ／ｇ以上が好ましい。上限は特に制限されないが、一般に、２０．０ｍｍｏｌ／ｇ以下である。

＜重合禁止剤＞
組成物Ｘは、重合禁止剤を含んでいてもよい。
重合禁止剤としては特に制限されず、公知の重合禁止剤を使用できる。重合禁止剤としては、例えば、フェノール系重合禁止剤（例えば、ｐ－メトキシフェノール、２，５－ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－４－メチルフェノール、２，６－ジｔｅｒｔ－ブチル－４－メチルフェノール、４，４’－チオビス（３－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）、２，２’－メチレンビス（４－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）、４－メトキシナフトール等）；ハイドロキノン系重合禁止剤（例えば、ハイドロキノン、２，６－ジ－ｔｅｒｔ－ブチルハイロドロキノン等）；キノン系重合禁止剤（例えば、ベンゾキノン等）；フリーラジカル系重合禁止剤（例えば、２，２，６，６－テトラメチルピペリジン１－オキシルフリーラジカル、４－ヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン１－オキシルフリーラジカル等）；ニトロベンゼン系重合禁止剤（例えば、ニトロベンゼン、４－ニトロトルエン等）；及びフェノチアジン系重合禁止剤（例えば、フェノチアジン、２－メトキシフェノチアジン等）；等が挙げられる。
中でも、組成物Ｘがより優れた効果を有する点で、フェノール系重合禁止剤、又はフリーラジカル系重合禁止剤が好ましい。

重合禁止剤は、硬化性基を含む樹脂と共に用いる場合にその効果が顕著である。
組成物Ｘ中における重合禁止剤の含有量としては特に制限されないが、組成物Ｘの全固形分に対して、０．０００１～０．５質量％が好ましく、０．０００１～０．２質量％がより好ましく、０．０００１～０．０５質量％が更に好ましい。重合禁止剤は、１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。２種以上の重合禁止剤を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。
また、組成物Ｘ中の重合性化合物の含有量に対する、重合禁止剤の含有量の比（重合禁止剤の含有量／重合性化合物の含有量（質量比））は、０．０００５超が好ましく、０．０００６～０．０２がより好ましく、０．０００６～０．００５が更に好ましい。

＜界面活性剤＞
組成物Ｘは、界面活性剤を含んでいてもよい。界面活性剤は、組成物Ｘの塗布性向上に寄与する。
上記組成物Ｘが、界面活性剤を含む場合、界面活性剤の含有量としては、組成物Ｘの全固形分に対して、０．００１～２．０質量％が好ましく、０．００５～０．５質量％がより好ましく、０．０１～０．１質量％が更に好ましい。
界面活性剤は、１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。界面活性剤を２種以上併用する場合は、合計量が上記範囲内であることが好ましい。

界面活性剤としては、例えば、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、及びシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。

例えば、組成物Ｘがフッ素系界面活性剤を含めば、組成物Ｘの液特性（特に、流動性）がより向上する。即ち、フッ素系界面活性剤を含む組成物Ｘを用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させて、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μｍ程度の薄膜を形成した場合であっても、厚さムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。

フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３～４０質量％が好ましく、５～３０質量％がより好ましく、７～２５質量％が更に好ましい。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性及び／又は省液性の点で効果的であり、組成物Ｘ中における溶解性も良好である。

フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックＦ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７６、同Ｆ１７７、同Ｆ１４１、同Ｆ１４２、同Ｆ１４３、同Ｆ１４４、同Ｒ３０、同Ｆ４３７、同Ｆ４７５、同Ｆ４７９、同Ｆ４８２、同Ｆ５５４、及び同Ｆ７８０（以上、ＤＩＣ株式会社製）；フロラードＦＣ４３０、同ＦＣ４３１、及び同ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム株式会社製）；サーフロンＳ－３８２、同ＳＣ－１０１、同ＳＣ－１０３、同ＳＣ－１０４、同ＳＣ－１０５、同ＳＣ１０６８、同ＳＣ－３８１、同ＳＣ－３８３、同Ｓ３９３、及び同ＫＨ－４０（以上、旭硝子株式会社製）；並びに、ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、及びＰＦ７００２（ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。
フッ素系界面活性剤としてブロックポリマーも使用でき、具体例としては、例えば特開第２０１１－８９０９０号公報に記載されたが化合物が挙げられる。

＜溶剤＞
組成物Ｘは、溶剤を含むことが好ましい。
溶剤としては特に制限されず公知の溶剤を使用できる。
組成物Ｘ中における溶剤の含有量としては特に制限されないが、組成物Ｘの固形分が１０～９０質量％となる量が好ましく、１０～８０質量％となる量がより好ましく、１５～７５質量％となる量が更に好ましい。
溶剤は１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。２種以上の溶剤を併用する場合には、組成物Ｘの全固形分が上記範囲内となるように調整されることが好ましい。

溶剤としては、例えば、有機溶剤が挙げられる。

（有機溶剤）
有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサン、酢酸エチル、エチレンジクロライド、テトラヒドロフラン、トルエン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、アセチルアセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、３－メトキシプロパノール、メトキシメトキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３－メトキシプロピルアセテート、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ－ブチロラクトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、及び乳酸エチル等が挙げられるが、これらに制限されない。

＜その他の任意成分＞
組成物Ｘは、上述した成分以外のその他の任意成分を更に含んでいてもよい。例えば、増感剤、共増感剤、架橋剤、硬化促進剤、熱硬化促進剤、可塑剤、希釈剤、及び感脂化剤等が挙げられ、更に、基板表面への密着促進剤及びその他の助剤類（例えば、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、表面張力調整剤、及び連鎖移動剤等）等の公知の添加剤を必要に応じて加えてもよい。

次に、本発明の組成物Ｙが必須及び任意で含む各種成分について説明する。

〔組成物Ｙ〕
組成物Ｙは、エチレン性不飽和基を有する化合物、樹脂ＢＹ、特定鉄含有粒子、及び重合開始剤を含む。
組成物Ｙは、上述した樹脂ＢＸの代わりに樹脂ＢＹを含み、且つエチレン性不飽和基を有する化合物を含む点以外においては、上述した組成物Ｘと同様の態様（成分及び配合）であり、好適態様も同じである。
以下、組成物Ｙ中に必須で含まれる、エチレン性不飽和基を有する化合物及び樹脂ＢＹについて説明する。

＜エチレン性不飽和基を有する化合物＞
組成物Ｙは、エチレン性不飽和基を有する化合物を含む。組成物Ｙがエチレン性不飽和基を有する化合物を含むことで、組成物Ｙは、より優れたパターン形成性を示す。
上記エチレン性不飽和基としては特に制限されないが、例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、及びスチリル基等が挙げられ、（メタ）アクリロイル基が好ましい。
エチレン性不飽和基を有する化合物としては、モノマー、オリゴマー、及びポリマーのいずれの態様であってもよい。

組成物Ｙ中におけるエチレン性不飽和基を有する化合物の含有量は特に制限されないが、例えば、組成物Ｙの全固形分に対して、０．１～３０質量％が好ましい。
エチレン性不飽和基を有する化合物は１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。２種以上のエチレン性不飽和基を有する化合物を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。

エチレン性不飽和基を有する化合物の具体例としては、組成物Ｘが含み得る成分として上述した＜アルカリ可溶性樹脂＞において例示した側鎖にエチレン性不飽和基を含むアルカリ可溶性樹脂、及び、組成物Ｘが含み得る成分として上述した＜重合性化合物＞のうちのエチレン性不飽和基を含む低分子化合物等が挙げられる。

組成物Ｙが、側鎖にエチレン性不飽和基を含むアルカリ可溶性樹脂を含む場合、その含有量としては特に制限されないが、組成物Ｙの全固形分に対して、０．１～２０質量％が好ましく、０．５～１５質量％がより好ましく、１．０～１０質量％が更に好ましい。
アルカリ可溶性樹脂は１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。２種以上のアルカリ可溶性樹脂を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。

組成物Ｙが、エチレン性不飽和基を含む低分子化合物を含む場合、その含有量としては特に制限されないが、組成物Ｙの全固形分に対して、１～２５質量％が好ましく、１～２０質量％がより好ましく、３～１５質量％が更に好ましい。エチレン性不飽和基を含む低分子化合物は、１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。２種以上のエチレン性不飽和基を含む低分子化合物を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。

＜グラフト鎖を有する樹脂（樹脂ＢＹ）＞
組成物Ｙは、グラフト鎖を有する樹脂（樹脂ＢＹ）を含む。樹脂ＢＹは、エチレン性不飽和基を含まないことが好ましい。
組成物Ｙ中における樹脂ＢＹの含有量としては特に制限されないが、組成物Ｙの全固形分に対して２～４０質量％が好ましく、５～３０質量％がより好ましく、１０～２０質量％が更に好ましい。
樹脂ＢＹは、１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。２種以上の樹脂ＢＹを併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。
また、組成物Ｙにおける、特定鉄含有粒子の含有量に対する、樹脂ＢＹの含有量の質量比（樹脂ＢＹの含有量／特定鉄含有粒子の含有量）は、０．０５～１．００が好ましく、０．１０～０．３５がより好ましく、０．１２～０．３５が更に好ましい。

樹脂ＢＹは、グラフト鎖を含む繰り返し単位を含むことが好ましい。樹脂ＢＹが含むグラフト鎖を含む繰り返し単位としては、樹脂ＢＸが含むグラフト鎖を含む繰り返し単位と同様の態様のものが挙げられ、好適態様も同じである。
樹脂ＢＹにおいて、グラフト鎖を含む繰り返し単位の含有量は、質量換算で、樹脂ＢＹの総質量に対して、２～１００質量％が好ましく、２～９０質量％がより好ましく、５～３０質量％が特に好ましい。グラフト鎖を含む繰り返し単位がこの範囲内で含まれると、特定鉄含有粒子の分散性が高く、硬化膜を形成する際の現像性が良好である。

また、樹脂ＢＹは、グラフト鎖を含む繰り返し単位とは異なる（すなわち、グラフト鎖を含む繰り返し単位には相当しない）疎水性繰り返し単位を含むことが好ましい。樹脂ＢＹが含み得る疎水性繰り返し単位としては、樹脂ＢＸが含み得る疎水性繰り返し単位と同様の態様のものが挙げられ、好適態様も同じである。
樹脂ＢＹにおいて、疎水性繰り返し単位の含有量は、質量換算で、樹脂ＢＹの総質量に対して、１０～９０質量％が好ましく、２０～８０質量％がより好ましい。含有量が上記範囲において十分なパターン形成が得られる。

樹脂ＢＹは、特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基を導入できる。樹脂ＢＹが含み得る特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基としては、樹脂ＢＸが含み得る特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基と同様の態様のものが挙げられ、好適態様も同じである。
樹脂ＢＸが特定鉄含有粒子と相互作用を形成し得る官能基を含む繰り返し単位（例えば、酸基を含む繰り返し単位）を含む場合、その含有量は、質量換算で、樹脂ＢＹの総質量に対して、５～８０質量％が好ましく、１０～６０質量％がより好ましい。

［組成物の製造方法］
本発明の組成物は、まず、特定鉄含有粒子を含む分散組成物を製造し、得られた分散組成物を更にその他の成分と混合して組成物とすることが好ましい。
分散組成物は、特定鉄含有粒子、樹脂ＢＸ又は樹脂ＢＹ、及び溶剤を混合して調製することが好ましい。また、分散組成物は、重合禁止剤を含んでいてもよい。

上記特定鉄含有粒子は、上記の各成分を公知の混合方法（例えば、撹拌機、ホモジナイザー、高圧乳化装置、湿式粉砕機、又は湿式分散機等を用いた混合方法）により混合して調製できる。

本発明の組成物の調製に際しては、各成分を一括配合してもよいし、各成分をそれぞれ、溶剤に溶解又は分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序及び作業条件は特に制限されない。

本発明の組成物の調製に際しては、下記式（Ａ）で表される粒子径比Ｔが１～３の範囲を満たすことが好ましい。
式（Ａ）：粒子径比Ｔ＝組成物中における特定鉄含有粒子の平均粒子径（μｍ）／特定鉄含有粒子の平均一次粒子径（μｍ）
なお、組成物中における特定鉄含有粒子の平均粒子径は、動的光散乱式粒度分布計（例えば、「Ｎａｎｏｔｒａｃ ＵＰＡ ＥＸ１５０」（マイクロトラック・ベル社製））等を用いて測定できる。

［硬化膜の製造］
本発明の組成物を用いて形成された組成物層を硬化して、硬化膜（パターン状の硬化膜を含む）を得られる。
硬化膜の製造方法としては特に制限されないが、以下の工程を含むことが好ましい。
・組成物層形成工程
・露光工程
・現像工程
以下、各工程について説明する。

〔組成物層形成工程〕
組成物層形成工程においては、露光に先立ち、支持体等の上に、組成物を付与して組成物の層（組成物層）を形成する。支持体としては、例えば、アンテナ部又はインダクタ部を有する配線基板等を使用できる。

支持体上への組成物の適用方法としては、スリット塗布法、インクジェット法、回転塗布法、流延塗布法、ロール塗布法、及び、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用できる。組成物層の膜厚としては、５～５０μｍが好ましく、５～４０μｍがより好ましく、１０～３０μｍが更に好ましい。支持体上に塗布された組成物層の乾燥（プリベーク）は、例えば、ホットプレート、オーブン等で５０～１４０℃の温度で１０～３００秒間で行える。

〔露光工程〕
露光工程では、組成物層形成工程において形成された組成物層に活性光線又は放射線を照射して露光し、光照射された組成物層を硬化させる。
光照射の方法としては特に制限されないが、パターン状の開口部を有するフォトマスクを介して光照射することが好ましい。
露光は放射線の照射により行うことが好ましい。露光に際して使用できる放射線としては、特に、ｇ線、ｈ線、及び、ｉ線等の紫外線が好ましく、光源としては高圧水銀灯が好まれる。照射強度は５～１５００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましく、１０～１０００ｍＪ／ｃｍ^２がより好ましい。
なお、組成物が熱重合開始剤を含む場合、上記露光工程において、組成物層を加熱してもよい。加熱の温度として特に制限されないが、８０～２５０℃が好ましい。また、加熱の時間としては特に制限されないが、３０～３００秒間が好ましい。
なお、露光工程において、組成物層を加熱する場合、後述する後加熱工程を兼ねてもよい。言い換えれば、露光工程において、組成物層を加熱する場合、硬化膜の製造方法は後加熱工程を含有しなくてもよい。

〔現像工程〕
現像工程は、露光後の上記組成物層を現像して硬化膜を形成する工程である。本工程により、露光工程における光未照射部分の組成物層が溶出し、光硬化した部分だけが残り、パターン状の硬化膜が得られる。
現像工程で使用される現像液の種類は特に制限されないが、回路等にダメージを起こさないアルカリ現像液が望ましい。
現像温度としては、例えば、２０～３０℃である。
現像時間は、例えば、２０～９０秒間である。残渣をよりよく除去するため、近年では１２０～１８０秒間実施する場合もある。更には、残渣除去性をより向上するため、現像液を６０秒ごとに振り切り、更に新たに現像液を供給する工程を数回繰り返す場合もある。

アルカリ現像液としては、アルカリ性化合物を濃度が０．００１～１０質量％（好ましくは０．０１～５質量％）となるように水に溶解して調製されたアルカリ性水溶液が好ましい。
アルカリ性化合物は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシ、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、及び、１，８－ジアザビシクロ［５．４．０］－７－ウンデセン等が挙げられる（このうち、有機アルカリが好ましい。）。
なお、アルカリ現像液として用いた場合は、一般に現像後に水で洗浄処理が施される。

〔ポストベーク〕
露光工程の後、加熱処理（ポストベーク）を行うことが好ましい。ポストベークは、硬化を完全にするための現像後の加熱処理である。その加熱温度は、２４０℃以下が好ましく、２２０℃以下がより好ましい。下限は特にないが、効率的かつ効果的な処理を考慮すると、５０℃以上が好ましく、１００℃以上がより好ましい。
ポストベークは、ホットプレート、コンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、又は、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式又はバッチ式で行える。

上記のポストベークは、低酸素濃度の雰囲気下で行うことが好ましい。その酸素濃度は、１９体積％以下が好ましく、１５体積％以下がより好ましく、１０体積％以下が更に好ましく、７体積％以下が特に好ましく、３体積％以下が最も好ましい。下限は特にないが、１０体積ｐｐｍ以上が実際的である。

また、上記の加熱によるポストベークに変え、ＵＶ（紫外線）照射によって硬化を完遂させてもよい。
この場合、上述した組成物は、更にＵＶ硬化剤を含むことが好ましい。ＵＶ硬化剤は、通常のｉ線露光によるリソグラフィー工程のために添加する重合開始剤の露光波長である３６５ｎｍより短波の波長で硬化できるＵＶ硬化剤が好ましい。ＵＶ硬化剤としては、例えば、チバ イルガキュア ２９５９（商品名）が挙げられる。ＵＶ照射を行う場合においては、組成物層が波長３４０ｎｍ以下で硬化する材料であることが好ましい。波長の下限値は特にないが、２２０ｎｍ以上が一般的である。またＵＶ照射の露光量は１００～５０００ｍＪが好ましく、３００～４０００ｍＪがより好ましく、８００～３５００ｍＪが更に好ましい。このＵＶ硬化工程は、露光工程の後に行うことが、低温硬化をより効果的に行うために、好ましい。露光光源はオゾンレス水銀ランプを使用することが好ましい。

［硬化膜の物性、及び硬化膜の用途］
硬化膜の膜厚は、例えば、５～４０μｍが好ましく、１０～３０μｍがより好ましい。
硬化膜は、５ＧＨｚの周波数における透磁率実部μ’が１．５以上であり、５ＧＨｚの周波数における磁気損失ｔａｎδが０．０５以下であることが好ましい。また、１００ＭＨｚの周波数における透磁率実部μ’が１．５以上であり、１００ＭＨｚの周波数における磁気損失ｔａｎδが０．０５以下であることが好ましい。
硬化膜は、高周波領域において高い透磁率実部μ’と低い磁気損失ｔａｎδを示すことから、電子通信機器等に装備されるアンテナ及びインダクタ等の電子部品として好適に用いられる。

以下に実施例に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す実施例により限定的に解釈されるべきものではない。

［表１に示す各種成分］
以下において、まず、表１に示される各種成分について説明する。
〔磁性粒子〕
表１の「磁性粒子」欄に示される磁性粒子Ｐ１～Ｐ５を以下に示す。
Ｐ１ ：鉄－コバルト合金粒子（表中においては、「Ｆｅ－Ｃｏ」と略記する。ＤＯＷＡエレクトロニクス社製、平均一次粒子径；０．１μｍ）
Ｐ２ ：鉄－コバルト合金粒子（ＤＯＷＡエレクトロニクス社製、平均一次粒子径；０．０４５μｍ）
Ｐ３ ：鉄－コバルト合金粒子（ＤＯＷＡエレクトロニクス社製、平均一次粒子径；０．２５μｍ）
Ｐ４ ：Ｆｅ基アモルファス粒子（ＤＯＷＡエレクトロニクス社製、平均一次粒子径；３μｍ（鉄含有粒子であり、アモルファス粒子に該当する。））
Ｐ５ ：Ｃｏ基アモルファス粒子（平均一次粒子径；３μｍ）

〔樹脂（分散剤）〕
表１の「樹脂（分散剤）」欄に示される樹脂Ｂ１～Ｂ４を以下に示す。

＜樹脂Ｂ１＞
樹脂Ｂ１は、以下に示す方法で合成したものを使用した。
（樹脂Ｂ１の合成）
≪マクロモノマーＢ１の合成≫
容量３０００ｍＬの三口フラスコに、ε－カプロラクトン（１０４４．２ｇ）、δ－バレロラクトン（１８４．３ｇ）、及び２－エチル－１－ヘキサノール（７１．６ｇ）を導入し、混合物を得た。次に、窒素を吹き込みながら、上記混合物を撹拌した。次に、混合物にＤｉｓｐｅｒｂｙｋ１１１（１２．５ｇ、ビックケミー社製、リン酸樹脂）を加え、得られた混合物を９０℃に加熱した。６時間後、^１Ｈ－ＮＭＲ（nuclear magnetic resonance）を用いて、混合物中における２－エチル－１－ヘキサノールに由来するシグナルが消失したのを確認後、混合物を１１０℃に加熱した。窒素下にて１１０℃で１２時間重合反応を続けた後、^１Ｈ－ＮＭＲでε－カプロラクトン及びδ－バレロラクトンに由来するシグナルの消失を確認し、得られた化合物について、ＧＰＣ（Gel Permeation Chromatography）法により分子量測定を行った。化合物の分子量が所望の値に到達したことを確認した後、上記化合物を含む混合物に２，６－ジｔ－ブチル－４－メチルフェノール（０．３５ｇ）を添加した後、更に、得られた混合物に対して、２－メタクリロイロキシエチルイソシアネート（８７．０ｇ）を３０分かけて滴下した。滴下終了から６時間後、^１Ｈ－ＮＭＲにて２－メタクリロイロキシエチルイソシアネート（ＭＯＩ）に由来するシグナルが消失したのを確認後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）（１３８７．０ｇ）を混合物に添加し、濃度が５０質量％のマクロモノマーＢ１溶液（２７７０ｇ）を得た。得られたマクロモノマーＢ１の重量平均分子量は６，０００であった。

≪樹脂Ｂ１の合成≫
容量１０００ｍＬの三口フラスコに、上記マクロモノマーＢ１溶液（２００．０ｇ）、ＭＡＡ（メタクリル酸、６０．０ｇ）、ＢｚＭＡ（ベンジルメタクリレート、４０．０ｇ）、及びＰＧＭＥＡ（３６６．７ｇ）を導入し、混合物を得た。窒素を吹き込みながら、上記混合物を撹拌した。次に、窒素をフラスコ内に流しながら、混合物を７５℃まで昇温した。次に、混合物に、ドデシルメルカプタン（５．８５ｇ）、次いで、Ｖ－６０１（富士フイルム和光純薬株式会社製、重合開始剤、１．４８ｇ）を添加し、重合反応を開始した。混合物を７５℃で２時間加熱した後、更にＶ－６０１（１．４８ｇ）を混合物に追加した。２時間後、更にＶ－６０１（１．４８ｇ）を混合物に追加した。更に２時間反応後、混合物を９０℃に昇温し、３時間撹拌した。上記操作により、重合反応は終了した。
反応終了後、空気下でＴＢＡＢ（テトラブチルアンモニウムブロミド、７．５ｇ）とＭＥＨＱ（ｐ－メトキシフェノール，０．１３ｇ）を加えた後、ＧＭＡ（メタクリル酸グリシジル、６６．１ｇ）を滴下した。滴下終了後、空気下で、７時間反応を続けた後、酸価測定により反応終了を確認した。得られた混合物にＰＧＭＥＡ（６４３．６ｇ）を追加することで樹脂Ｂ１の２０質量％溶液（以下において「樹脂Ｂ１のＰＧＭＥＡ２０質量％溶液」ともいう。）を得た。得られた樹脂Ｂ１の重量平均分子量は３５０００、酸価は５０ｍｇＫＯＨ／ｍｇであった。なお、樹脂Ｂ１は、エチレン性不飽和基及びグラフト鎖を有する樹脂（樹脂ＢＸ）に該当する。

＜樹脂Ｂ２＞
樹脂Ｂ２は、以下に示す方法で合成したものを使用した。
（樹脂Ｂ２の合成）
容量１０００ｍＬの三口フラスコに、樹脂Ｂ１合成時に使用したマクロモノマーＢ１溶液（２００．０ｇ）、ＭＡＡ（６０．０ｇ）、ＢｚＭＡ（４０．０ｇ）、及びＰＧＭＥＡ（３６６．７ｇ）を導入し、混合物を得た。窒素を吹き込みながら、上記混合物を撹拌した。次に、窒素をフラスコ内に流しながら、混合物を７５℃まで昇温した。次に、混合物に、ドデシルメルカプタン（５．８５ｇ）、次いで、Ｖ－６０１（１．４８ｇ）を添加し、重合反応を開始した。混合物を７５℃で２時間加熱した後、更にＶ－６０１（１．４８ｇ）を混合物に追加した。２時間後、更にＶ－６０１（１．４８ｇ）を混合物に追加した。更に２時間反応後、混合物を９０℃に昇温し、３時間撹拌した。上記操作により、重合反応は終了し、その後、固形分を精製して樹脂Ｂ２を得た。その後、樹脂Ｂ２とＰＧＭＥＡとを混合し、樹脂Ｂ２の２０質量％溶液（以下において「樹脂Ｂ２のＰＧＭＥＡ２０質量％溶液」ともいう。）を調製した。得られた樹脂Ｂ２の重量平均分子量は２００００、酸価は７０ｍｇＫＯＨ／ｍｇであった。なお、樹脂Ｂ２は、エチレン不飽和基を有さず、グラフト鎖を有する樹脂（樹脂ＢＹ）である。

＜樹脂Ｂ３＞
樹脂Ｂ３としては、特許第５９２３５５７号の実施例１－２に記載された添加剤Ｊ－２（ポリアルキレンイミン鎖誘導体）を使用した。なお、樹脂Ｂ３は、エチレン不飽和基を有さず、グラフト鎖を有する樹脂（樹脂ＢＹ）である。

＜樹脂Ｂ４＞
樹脂Ｂ４としては、樹脂Ｂ４を含む樹脂溶液（アクリベースＦＦ－１８７、固形分４０質量％、藤倉化成社製）の形態で使用した。なお、樹脂Ｂ４は、エチレン不飽和基及びグラフト鎖をいずれも有さない構造である。

〔エチレン性不飽和基を有する化合物〕
＜樹脂（後添加）＞
表１の「樹脂（後添加）」欄に示される樹脂Ｂ５を以下に示す。
＜樹脂Ｂ５＞
樹脂Ｂ５としては、樹脂Ｂ５（アルカリ可溶性樹脂）を含む樹脂溶液（「ＲＤ－Ｆ８」、日本触媒社製、固形分４０質量％、溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテル）の形態で使用した。なお、樹脂Ｂ５は、エチレン性不飽和基を有する化合物に該当する。

＜重合性化合物（低分子）＞
表１の「重合性化合物（低分子）」欄に示されるＤＰＨＡを以下に示す。なお、ＤＰＨＡは、エチレン性不飽和基を有する化合物に該当する。
ＤＰＨＡ：「ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ」日本化薬社製

〔重合開始剤〕
表１の「重合開始剤」欄に示される重合開始剤Ｉ－１を以下に示す。
重合開始剤Ｉ－１：下記構造のオキシム化合物

［（実施例１）感光性樹脂組成物Ａ１の調整］
〔分散組成物の調製〕
以下に示す組成比（質量部比）になるように各成分を調合し、撹拌機にて混合及び撹拌して、得られた混合物を（株）シンマルエンタープライゼス製のＮＰＭ－Ｐｉｌｏｔを使用して下記分散条件にて分散させ、分散組成物を得た。
・磁性粒子 Ｐ１：４６質量部
・樹脂Ｂ１のＰＧＭＥＡ２０質量％溶液：４０質量部
・ＰＧＭＥＡ：１４質量部

また、分散条件は以下の通りである。
・ビーズ径：φ０．０５ｍｍ、（ニッカトー製ジルコニアビーズ、ＹＴＺ）
・ビーズ充填率：６５体積％
・ミル周速：１０ｍ／ｓｅｃ
・処理液温度：１９～２１℃

〔感光性樹脂組成物Ａ１の調整〕
上述した分散組成物と以下に示すその他の成分とを混合して、感光性樹脂組成物Ａ１を得た。
・上述した分散組成物：８３質量部
・樹脂Ｂ５を含む樹脂溶液（「ＲＤ－Ｆ８」、日本触媒社製、固形分４０質量％、溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテル）：６．３質量部
・ＰＧＭＥＡ（溶剤）：５．６質量部
・重合性化合物（ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ、日本化薬社製）：３．１質量部
・上述した重合開始剤Ｉ－１：２．０質量部
・ｐ－メトキシフェノール（重合禁止剤）：０．０００３質量部
・下記式により表される界面活性剤（重量平均分子量（Ｍｗ）＝１５３１１）：０．０２質量部

（ただし、上記式において、式中（Ａ）及び（Ｂ）で表される繰り返し単位はそれぞれ６２モル％、３８モル％である。式（Ｂ）で表される繰り返し単位中、ａは、ｂ、ｃは、それぞれ、ａ＋ｃ＝１４、ｂ＝１７の関係を満たす）

［（実施例２）感光性樹脂組成物Ａ２の調製］
感光性樹脂組成物Ａ１の調製において、磁性粒子Ｐ１の代わりに磁性粒子Ｐ２を用いた点以外は、感光性樹脂組成物Ａ１と同様の調製方法により、感光性樹脂組成物Ａ２を調製した。

［（実施例３）感光性樹脂組成物Ａ３の調製］
感光性樹脂組成物Ａ１の調製において、分散組成物の調製の際に、樹脂Ｂ１のＰＧＭＥＡ２０質量％溶液の添加量を２０質量部、ＰＧＭＥＡの添加量を３４質量部に変更した点以外は、感光性樹脂組成物Ａ１と同様の調製方法により、感光性樹脂組成物Ａ３を調製した。

［（実施例４）感光性樹脂組成物Ａ４の調製］
感光性樹脂組成物Ａ１の調製において、磁性粒子Ｐ１の代わりに磁性粒子Ｐ３を用いた点以外は、感光性樹脂組成物Ａ１と同様の調製方法により、感光性樹脂組成物Ａ４を調製した。

［（実施例５）感光性樹脂組成物Ａ５の調製］
感光性樹脂組成物Ａ１の調製において、樹脂Ｂ１のＰＧＭＥＡ２０質量％溶液の代わりに樹脂Ｂ２のＰＧＭＥＡ２０質量％溶液を用いた点以外は、感光性樹脂組成物Ａ１と同様の調製方法により、感光性樹脂組成物Ａ５を調製した。

［（実施例６）感光性樹脂組成物Ａ６の調製］
感光性樹脂組成物Ａ１の調製において、樹脂Ｂ１の代わりに樹脂Ｂ３を用いた点以外は、感光性樹脂組成物Ａ１と同様の調製方法により、感光性樹脂組成物Ａ６を調製した。
なお、感光性樹脂組成物Ａ６中における樹脂Ｂ３（固形分）の含有量は、感光性樹脂組成物Ａ１における樹脂Ｂ１の含有量（固形分）と一致するように調整した。更に、溶剤（ＰＧＭＥＡ）の添加量を調整して、感光性樹脂組成物Ａ６全体の固形分濃度と感光性樹脂組成物Ａ１全体の固形分濃度とが一致するように調整した。

［（実施例７）感光性樹脂組成物Ａ７の調製］
感光性樹脂組成物Ａ１の調製において、磁性粒子Ｐ１の代わりに磁性粒子Ｐ４を用いた点以外は、感光性樹脂組成物Ａ１と同様の調製方法により、感光性樹脂組成物Ａ７を調製した。

［（実施例８）感光性樹脂組成物Ａ８の調製］
感光性樹脂組成物Ａ５の調製において、磁性粒子Ｐ１の代わりに磁性粒子Ｐ４を用いた点以外は、感光性樹脂組成物Ａ５と同様の調製方法により、感光性樹脂組成物Ａ８を調製した。

［（実施例９）感光性樹脂組成物Ａ９の調製］
感光性樹脂組成物Ａ６の調製において、磁性粒子Ｐ１の代わりに磁性粒子Ｐ４を用いた点以外は、感光性樹脂組成物Ａ６と同様の調製方法により、感光性樹脂組成物Ａ９を調製した。

［（比較例１）感光性樹脂組成物Ｃ１の調製］
感光性樹脂組成物Ａ１の調製において、磁性粒子Ｐ１の代わりに磁性粒子Ｐ５を用いた点以外は、感光性樹脂組成物Ａ１と同様の調製方法により、感光性樹脂組成物Ｃ１を調製した。

［（比較例２）感光性樹脂組成物Ｃ２の調製］
感光性樹脂組成物Ａ１の調製において、樹脂Ｂ１の代わりに樹脂Ｂ４を用いた点以外は、感光性樹脂組成物Ａ１と同様の調製方法により、感光性樹脂組成物Ｃ２を調製した。
なお、感光性樹脂組成物Ｃ２中における樹脂Ｂ４（固形分）の含有量は、感光性樹脂組成物Ａ１における樹脂Ｂ１の含有量（固形分）と一致するように調整した。更に、溶剤（ＰＧＭＥＡ）の添加量を調整して、感光性樹脂組成物Ｃ２全体の固形分濃度と感光性樹脂組成物Ａ１全体の固形分濃度とが一致するように調整した。

［（比較例３）感光性樹脂組成物Ｃ３の調製］
感光性樹脂組成物Ｃ２の調製において、磁性粒子Ｐ１の代わりに磁性粒子Ｐ４を用いた点以外は、感光性樹脂組成物Ｃ２と同様の調製方法により、感光性樹脂組成物Ｃ３を調製した。

［評価］
〔磁性性能〕
実施例及び比較例にて得られた感光性樹脂組成物をそれぞれガラス基板（７５ｍｍ×７５ｍｍ正方、厚さ１．１ｍｍ）上に貼り付けた５０μｍ厚みのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）フィルム上に、スピンコーター（Ｈ－３６０Ｓ（商品名）、ミカサ（株）製）で所定の回転数で塗布した後、ホットプレ－トを用いて１００℃で１２０秒間プリベークして組成物層を得た。得られた組成物層を、ウシオ電機（株）製の超高圧水銀ランプ（「ＵＳＨ－５００ＢＹ」（商品名））を用いて１０００ｍＪ／ｃｍ^２で露光した後、空気雰囲気下にて、ホットプレートを用いて１００℃で６００秒間加熱して、膜厚１０μｍの硬化膜を得た。次いで、得られた硬化膜フィルムを透磁率測定用サンプルとして所定の大きさに切り出した。

次いで、得られた透磁率測定用サンプルに対して、高周波透磁率測定装置（キーコム（株）製、Ｍｏｄｅｌ Ｎｏ．ＰＥＲ０１）を用いて、０．１～２０ＧＨｚの範囲で透磁率の測定を行った。透磁率は、１００ＭＨｚ及び５ＧＨｚでの「μ’（実部）」及び「μ”（虚部）」の値を抽出した。また、得られた値から、磁気損失（ｔａｎδ）の値を求めた。なお、磁気損失（ｔａｎδ）の値は、μ”／μ’として求められる。
上述の方法により求めた１００ＭＨｚ及び５ＧＨｚでの「透磁率実部（μ’）」及び「磁気損失（ｔａｎδ）」の値を、以下の評価基準に基づいて評価した。結果を表１に示す。

＜透磁率実部（μ’）＞
「Ａ」： １．５より大きい
「Ｂ」： １．１より大きく、１．５以下
「Ｃ」： １．１より小さい

＜磁気損失：ｔａｎδ＞
「Ａ」：０．０５以下
「Ｂ」：０．０５より大きく、０．３以下
「Ｃ」：０．３より大きい

〔粒子径比Ｔ〕
動的光散乱式粒度分布計「Ｎａｎｏｔｒａｃ ＵＰＡ ＥＸ１５０」（マイクロトラック・ベル社製）を用いて、感光性樹脂組成物中における磁性粒子の平均粒子径（Ｄ５０）を測定した。次いで、下記式（Ａ）で表される粒子径比Ｔを算出し、得られた値を以下の評価基準に基づいて評価した。結果を表１に示す。
なお、実施例及び比較例で使用した磁性粒子Ｐ１～Ｐ５の平均一次粒子径は、上述したとおりである。平均一次粒子径の求め方については、既述のとおりである。

式（Ａ）：粒子径比Ｔ＝感光性樹脂組成物中における磁性粒子の平均粒子径／磁性粒子の平均一次粒子径
「Ａ」：式（Ａ）で求められる粒子径比Ｔが１～３である。
「Ｂ」：式（Ａ）で求められる粒子径比Ｔが３より大きく７以下である。
「Ｃ」：式（Ａ）で求められる粒子径比Ｔが７超である。

以下に表１を示す。
表１中、「鉄原子の含有量（質量％）」とは、磁性粒子中における、磁性粒子の全質量に対する鉄原子の含有量（質量％）を表す。なお、鉄原子の含有量（質量％）は、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）発光分光分析装置により測定した。
表１中、樹脂（分散剤）欄の樹脂Ｂ１は、エチレン性不飽和基及びグラフト鎖を有する樹脂（樹脂ＢＸ）に該当する。また樹脂Ｂ２及び樹脂Ｂ３は、エチレン不飽和基を有さず、グラフト鎖を有する樹脂（樹脂ＢＹ）に該当する。

表１の結果から、実施例の感光性樹脂組成物は、分散性に優れており、結果として上記組成物から形成される硬化膜は、高周波領域（例えば、５ＧＨｚ）において高い透磁率実部μ’と低い磁気損失ｔａｎδを示すことが明らかである。

実施例１と実施例２の感光性樹脂組成物は、粒子径比Ｔが１～３の範囲である（評価「Ａ」に該当する）ことから、１００ＭＨｚ及び５ＧＨｚのいずれにおいても、透磁率実部（μ’）が高く、また、磁気損失（ｔａｎδ）が低い。
実施例３の感光性樹脂組成物は、実施例１の感光性樹脂組成物と比べて、樹脂Ｂ１（樹脂（分散剤））の添加量が少ないため磁性粒子の分散性が劣り、粒子径比Ｔがやや大きくなる。この結果として、１００ＭＨｚでの透磁率実部（μ’）、５ＧＨｚでの透磁率実部（μ’）、及び磁気損失（ｔａｎδ）が実施例１よりやや劣る。上記比較結果から、樹脂（分散剤）／磁気粒子が０．１０～０．３５である場合（実施例１に該当）、粒子径比Ｔが１～３の範囲となり、透磁率実部（μ’）がより高く、また、磁気損失（ｔａｎδ）がより低くなることが分かる。
実施例４の感光性樹脂組成物は、実施例１の感光性樹脂組成物と比べて、磁性粒子の平均一次粒子径がやや大きく分散性が劣り、粒子径比Ｔがやや大きくなる。この結果として、１００ＭＨｚでの透磁率実部（μ’）、５ＧＨｚでの透磁率実部（μ’）、及び磁気損失（ｔａｎδ）が実施例１よりやや劣る。上記比較結果から、磁性粒子として鉄－コバルト合金粒子を用いたとき、磁性粒子の平均一次粒子径が０．０１～０．２０μｍである場合（実施例１に該当）には、粒子径比Ｔが１～３の範囲となり、透磁率実部（μ’）がより高く、また、磁気損失（ｔａｎδ）がより低くなることが分かる。

実施例５及実施例６の感光性樹脂組成物に示すように、樹脂（分散剤）として、エチレン不飽和基を有さないもののグラフト鎖を有する樹脂Ｂ２又は樹脂Ｂ３を使用した場合においても、樹脂（分散剤）としてエチレン不飽和基及びグラフト鎖を有する樹脂Ｂ１を使用した実施例１の感光性樹脂組成物と同等の性能が得られる。

実施例７、実施例８、及び実施例９の感光性樹脂組成物に示すように、磁性粒子としてＦｅ基アモルファス粒子を使用した場合においても、１００ＭＨｚでの透磁率実部（μ’）及び磁気損失（ｔａｎδ）においては、磁性粒子として鉄－コバルト合金を使用した実施例１、実施例５、及び実施例６の感光性樹脂組成物と各々同等の性能が得られる。すなわち、磁性粒子としてＦｅ基アモルファス粒子を使用した場合、数百ＭＨｚでの用途として有効である。

一方、比較例１の感光性樹脂組成物は、磁性粒子として、鉄原子を実質的に含まないＣｏ基アモルファス粒子を使用しているため、１００ＭＨｚでの磁気損失（ｔａｎδ）、並びに５ＧＨzでの透磁率実部（μ’）及び磁気損失（ｔａｎδ）が所望の要求を満たさない。

また、比較例２及び比較例３の感光性樹脂組成物は、樹脂（分散剤）として、エチレン性不飽和基及びグラフト鎖をいずれも含まない樹脂Ｂ４を使用しているため磁性粒子の分散性が大きく劣り、粒子径比Ｔが大きくなる。この結果として、１００ＭＨｚでの磁気損失（ｔａｎδ）、並びに５ＧＨzでの透磁率実部（μ’）及び磁気損失（ｔａｎδ）が所望の要求を満たさない。

［（実施例１０）パターン形成性］
実施例１～９にて得られた感光性樹脂組成物をそれぞれ８インチのシリコンウェハ（基板）上にスピンコート法で塗布し、塗布膜を形成した。このとき、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行って、乾燥させた後の樹脂組成物層の膜厚が１０μｍとなるようにスピンコーターの回転数を調整した。乾燥させた膜厚１０μｍの感光性樹脂組成物層に対して、ｉ線ステッパーを使用して、パターンが１００μｍ幅のラインアンドスペースのパターンマスクを通して露光した。露光後の硬化膜に対し、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド０．３質量％水溶液を用い、２３℃６０秒間のパドル現像を行った後、スピンシャワーにてリンスを行い更に純水にて水洗し、パターンを有する硬化膜を得た。
実施例１～９にて得られた感光性樹脂組成物は、優れたパターン形成性を有していることが確認された。

Claims (10)

1. インダクタ又はアンテナ形成用の感光性樹脂組成物であって、
   エチレン性不飽和基及びグラフト鎖を有する樹脂ＢＸ、又は、エチレン性不飽和基を有する化合物及びグラフト鎖を有する樹脂ＢＹと、
   鉄原子の含有量が１０質量％以上である鉄含有粒子と、
   重合開始剤と、を含み、
   前記樹脂ＢＸは、側鎖にエチレン性不飽和基を含む繰り返し単位と下記式（１）及び式（２）のいずれかで表される繰り返し単位の少なくとも１種とを含み、
   前記樹脂ＢＹは、下記式（１）及び式（２）のいずれかで表される繰り返し単位の少なくとも１種を含む樹脂、及び、主鎖にポリアルキレンイミン構造を含み、グラフト鎖としてポリエステル構造を含む樹脂からなる群から選ばれる１種以上を含む、感光性樹脂組成物。
   

   

   式（１）及び式（２）において、Ｗ ^１ 及びＷ ^２ は、それぞれ独立に、酸素原子又はＮＨを表す。Ｘ ^１ 及びＸ ^２ は、それぞれ独立に、水素原子又は１価の有機基を表す。Ｙ ^１ 及びＹ ^２ は、それぞれ独立に、２価の連結基を表す。Ｚ ^１ 及びＺ ^２ は、それぞれ独立に１価の有機基を表す。ｎ及びｍは、それぞれ独立に、１～５００の整数を表す。ｊ及びｋは、それぞれ独立に、２～８の整数を表す。
2. 前記鉄含有粒子が、鉄－コバルト合金粒子である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
3. 前記鉄含有粒子が、アモルファス粒子である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
4. 前記鉄含有粒子の含有量に対する前記樹脂の含有量の質量比が、０．１０～０．３５である、請求項１～３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
5. 前記鉄含有粒子の平均一次粒子径が、０．０１～０．２０μｍである、請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
6. 無機粒子として前記鉄含有粒子のみを含む、請求項１～５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
7. 下記式（Ａ）で表される粒子径比Ｔが、１～３である、請求項１～６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
   式（Ａ）：粒子径比Ｔ＝感光性樹脂組成物中における前記鉄含有粒子の平均粒子径（μｍ）／前記鉄含有粒子の平均一次粒子径（μｍ）
8. 請求項１～６のいずれか１項に記載の前記感光性樹脂組成物を硬化して形成される、硬化膜。
9. 請求項８に記載の硬化膜を含むインダクタ。
10. 請求項８に記載の硬化膜を含むアンテナ。