JP7221048B2 - 基板処理装置および基板搬送方法 - Google Patents
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Description
また、例えば、第1キャリア載置台に載置されたキャリアから全ての基板が取り出された場合、キャリア搬送機構は、そのキャリアに基板を戻すため、第1キャリア載置台に載置されたキャリアを第2キャリア載置台に搬送することができる。
図1または図2を参照する。基板処理装置1は、インデクサブロック(IDブロック)2、塗布ブロック3、現像ブロック4、インターフェースブロック(IFブロック)6、およびキャリアバッファ装置8を備えている。IDブロック2、塗布ブロック3、現像ブロック4、IFブロック6および露光装置EXPは、直線状に水平方向(X方向)に配置されている。
IDブロック2は、2つのオープナ9,10(図2、図6参照)、および2つの基板搬送機構TM1,TM2を備えている。IDブロック2に設けられた2つのオープナ9,10(キャリア載置部)は各々、複数の基板Wを収納することが可能なキャリアCを載置する。
塗布ブロック3は、IDブロック2に連結する。塗布ブロック3は、第1処理である塗布処理を行う。また、現像ブロック4は、塗布ブロック3に連結する。現像ブロック4は、第2処理である現像処理を行う。
IFブロック6は、現像ブロック4に連結する。IFブロック6は、第3処理である露光処理を行う露光装置EXPに対して基板Wの搬入および搬出を行う。IFブロック6は、3つの基板搬送機構TM4~TM6、複数の露光前洗浄ユニット161、複数の露光後洗浄ユニット162、3つの載置兼冷却部P-CP、および基板載置部PS9を備えている。また、IFブロック6には、2つのオープナ45,46が設けられている(図2、図6参照)。
基板処理装置1は、塗布ブロック3および現像ブロック4上、またはそれらの上方にキャリアバッファ装置8を備えている。キャリアバッファ装置8は、キャリア搬送機構51とキャリア保管棚53(図6参照)を備えている。
次に、基板処理装置1の動作を説明する。なお、基板処理装置1において行われる複数の処理工程は一例であり、操作者によって必要な工程が選択される。図1を参照する。外部搬送機構OHTは、IDブロック2上に設けられた入力ポート71にキャリアCを搬送する。キャリア搬送機構51は、入力ポート71から例えばオープナ9の載置台13にキャリアCを搬送する。オープナ9のシャッタ部は、キャリアCの蓋部を外して蓋部を保持しつつ、開口部14を開放する。
次に、本実施例の基板処理装置1の動作を説明する。この説明では、実施例1と異なる部分について説明する。図13は、実施例2に係る基板処理装置1の動作を説明するためのフローチャートである。
次に、本実施例の基板処理装置1の動作を説明する。図17は、実施例3に係る基板処理装置1の動作を説明するためのフローチャートである。この説明では、実施例1の図7に示す動作と異なる部分について説明する。
次に、本実施例の基板処理装置1の動作を説明する。図21は、実施例4に係る基板処理装置1の動作を説明するためのフローチャートである。この説明では、実施例1の図13に示す動作と異なる部分について説明する。
次に、本実施例の基板処理装置1の動作を説明する。図22を参照する。IFブロック6は、2つのオープナ45,46のいずれかの載置台47に載置されたキャリアCから基板Wを取り出して、取り出した基板Wをと塗布ブロック3に搬送する。
2 … インデクサブロック(IDブロック)
3 … 塗布ブロック
4 … 現像ブロック
6,81 … インターフェースブロック(IFブロック)
8 … キャリア搬送機構
13,47 … 載置台
51 … キャリア搬送機構
53 … キャリア保管棚
83 … 第2のインデクサブロック(IDブロック)
84 … IF本体ブロック
C … キャリア
TM1~TM8 … 基板搬送機構
EXP … 露光装置
W … 基板
Claims (11)
- 一列に配置された複数の処理ブロックであって、少なくとも1つの一端側の処理ブロックおよび、少なくとも1つの他端側の処理ブロックを有する前記複数の処理ブロックと、
前記複数の処理ブロックのうちの一端の処理ブロックに連結し、複数の基板を収納することが可能なキャリアを載置するための第1キャリア載置台が設けられたインデクサブロックと、
前記複数の処理ブロックのうちの他端の処理ブロックに連結し、外部装置に対して基板の搬入および搬出を行うインターフェースブロックであって、前記キャリアを載置するための第2キャリア載置台が設けられた前記インターフェースブロックと、を備え、
前記インデクサブロックは、前記第1キャリア載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を前記一端側の処理ブロックに送り、
前記一端側の処理ブロックは、送られた基板に対して予め設定された処理を行い、
前記他端側の処理ブロックは、前記一端側の処理ブロックで処理された基板を前記インターフェースブロックに送り、
前記インターフェースブロックは、前記一端側の処理ブロックで処理された基板を前記外部装置に搬出し、
前記インターフェースブロックは、前記外部装置から基板を搬入し、前記外部装置で処理された基板を前記他端側の処理ブロックに送り、
前記他端側の処理ブロックは、前記インターフェースブロックから送られた基板に対して予め設定された処理を行い、
前記インターフェースブロックは、前記他端側の処理ブロックで処理された基板を前記第2キャリア載置台に載置された前記キャリアに戻すことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記複数の処理ブロックは、第1処理を行う第1処理ブロックと、第2処理を行う第2処理ブロックとを備え、
前記インデクサブロックは、前記第1処理ブロックに連結し、
前記インターフェースブロックは、前記第2処理ブロックに連結し、
前記第2処理ブロックは、前記第1処理ブロックに連結し、
前記インデクサブロックは、前記第1キャリア載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を前記第1処理ブロックに送り、
前記第1処理ブロックは、送られた基板に対して前記第1処理を行い、前記第1処理が行われた基板を前記第2処理ブロックに送り、
前記第2処理ブロックは、前記第1処理が行われた基板を前記インターフェースブロックに送り、
前記インターフェースブロックは、前記第1処理が行われた基板を前記外部装置に搬出し、
前記インターフェースブロックは、前記外部装置から基板を搬入し、前記外部装置で第3処理が行われた基板を前記第2処理ブロックに送り、
前記第2処理ブロックは、前記インターフェースブロックから送られた基板に対して前記第2処理を行い、前記第2処理が行われた基板を前記インターフェースブロックに送り、
前記インターフェースブロックは、前記第2処理ブロックで処理された基板を前記第2キャリア載置台に載置された前記キャリアに戻すことを特徴とする基板処理装置。 - 一列に配置された複数の処理ブロックであって、少なくとも1つの一端側の処理ブロックおよび、少なくとも1つの他端側の処理ブロックを有する前記複数の処理ブロックと、
前記複数の処理ブロックのうちの一端の処理ブロックに連結し、複数の基板を収納することが可能なキャリアを載置するための第1キャリア載置台が設けられたインデクサブロックと、
前記複数の処理ブロックのうちの他端の処理ブロックに連結し、外部装置に対して基板の搬入および搬出を行うインターフェースブロックであって、前記キャリアを載置するための第2キャリア載置台が設けられた前記インターフェースブロックと、を備え、
前記インターフェースブロックは、前記第2キャリア載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を前記他端側の処理ブロックに送り、
前記他端側の処理ブロックは、前記インターフェースブロックから送られた基板に対して予め設定された処理を行い、
前記インターフェースブロックは、前記他端側の処理ブロックで処理された基板を前記外部装置に搬出し、
前記インターフェースブロックは、前記外部装置から基板を搬入し、前記外部装置で処理された基板を前記他端側の処理ブロックに送り、
前記他端側の処理ブロックは、前記外部装置で処理された基板を前記一端側の処理ブロックに送り、
前記一端側の処理ブロックは、前記他端側の処理ブロックから送られた基板に対して予め設定された処理を行い、
前記インデクサブロックは、前記一端側の処理ブロックで処理された基板を前記第1キャリア載置台に載置された前記キャリアに戻すことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置において、
前記複数の処理ブロックは、第1処理を行う第1処理ブロックと、第2処理を行う第2処理ブロックとを備え、
前記インデクサブロックは、前記第1処理ブロックに連結し、
前記インターフェースブロックは、前記第2処理ブロックに連結し、
前記第2処理ブロックは、前記第1処理ブロックに連結し、
前記インターフェースブロックは、前記第2キャリア載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を前記第2処理ブロックに送り、
前記第2処理ブロックは、前記インターフェースブロックから送られた基板に対して前記第2処理を行い、
前記インターフェースブロックは、前記第2処理が行われた基板を前記外部装置に搬出し、
前記インターフェースブロックは、前記外部装置から基板を搬入し、前記外部装置で第3処理が行われた基板を前記第2処理ブロックに送り、
前記第2処理ブロックは、前記第3処理が行われた基板を前記第1処理ブロックに送り、
前記第1処理ブロックは、前記第2処理ブロックから送られた基板に対して前記第1処理を行い、
前記インデクサブロックは、前記第1処理が行われた基板を前記第1キャリア載置台に載置された前記キャリアに戻すことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2または4に記載の基板処理装置において、
前記インターフェースブロックは、第4処理を行う処理ユニットと、基板搬送機構とを備え、
前記基板搬送機構は、少なくとも前記第2処理ブロック、前記第2キャリア載置台に載置された前記キャリア、および前記処理ユニットの間で基板を送ることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2または4に記載の基板処理装置において、
前記インターフェースブロックは、前記第2処理ブロックに連結し、前記第2キャリア載置台が設けられた第2インデクサブロックと、前記第2インデクサブロックに連結し、前記外部装置に対して基板の搬入および搬出を行うIF本体ブロックとを備え、
前記第2インデクサブロックは、前記第2処理ブロック、前記第2キャリア載置台に載置された前記キャリア、および前記IF本体ブロックの間で基板を送る第1基板搬送機構を備え、
前記IF本体ブロックは、第4処理を行う処理ユニットと、第2基板搬送機構とを備え、前記第2基板搬送機構は、少なくとも前記第2インデクサブロックおよび前記処理ユニットの間で基板を送ることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から6のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第1キャリア載置台と前記第2キャリア載置台との間で前記キャリアを搬送するキャリア搬送機構を更に備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2または4に記載の基板処理装置において、
前記第1キャリア載置台と前記第2キャリア載置台との間で前記キャリアを搬送するキャリア搬送機構を更に備え、
前記キャリア搬送機構は、前記第1処理ブロックおよび前記第2処理ブロックの上に搭載されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項8に記載の基板処理装置において、
前記第1処理ブロックおよび前記第2処理ブロックの少なくとも一方の上に搭載されたキャリア保管棚を更に備え、
前記キャリア搬送機構は、前記第1キャリア載置台、前記第2キャリア載置台および前記キャリア保管棚の間で前記キャリアを搬送することを特徴とする基板処理装置。 - 一列に配置された複数の処理ブロックであって、少なくとも1つの一端側の処理ブロックおよび、少なくとも1つの他端側の処理ブロックを有する前記複数の処理ブロックと、
前記複数の処理ブロックのうちの一端の処理ブロックに連結し、複数の基板を収納することが可能なキャリアを載置するための第1キャリア載置台が設けられたインデクサブロックと、
前記複数の処理ブロックのうちの他端の処理ブロックに連結し、外部装置に対して基板の搬入および搬出を行うインターフェースブロックであって、前記キャリアを載置するための第2キャリア載置台が設けられた前記インターフェースブロックと、
を備えた基板処理装置の基板搬送方法であって、
前記インデクサブロックにより、前記第1キャリア載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を前記一端の処理ブロックに送る工程と、
前記一端側の処理ブロックにより、送られた基板に対して予め設定された処理を行う工程と、
前記他端側の処理ブロックにより、前記一端側の処理ブロックで処理された基板を前記インターフェースブロックに送る工程と、
前記インターフェースブロックにより、前記一端側の処理ブロックで処理された基板を前記外部装置に搬出する工程と、
前記インターフェースブロックにより、前記外部装置から基板を搬入し、前記外部装置で処理された基板を前記他端側の処理ブロックに送る工程と、
前記他端側の処理ブロックにより、前記インターフェースブロックから送られた基板に対して予め設定された処理を行う工程と、
前記インターフェースブロックにより、前記他端側の処理ブロックで処理された基板を前記第2キャリア載置台に載置された前記キャリアに戻す工程と、
を備えることを特徴とする基板搬送方法。 - 一列に配置された複数の処理ブロックであって、少なくとも1つの一端側の処理ブロックおよび、少なくとも1つの他端側の処理ブロックを有する前記複数の処理ブロックと、
前記複数の処理ブロックのうちの一端の処理ブロックに連結し、複数の基板を収納することが可能なキャリアを載置するための第1キャリア載置台が設けられたインデクサブロックと、
前記複数の処理ブロックのうちの他端の処理ブロックに連結し、外部装置に対して基板の搬入および搬出を行うインターフェースブロックであって、前記キャリアを載置するための第2キャリア載置台が設けられた前記インターフェースブロックと、
を備えた基板処理装置の基板搬送方法であって、
前記インターフェースブロックにより、前記第2キャリア載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を前記他端側の処理ブロックに送る工程と、
前記他端側の処理ブロックにより、前記インターフェースブロックから送られた基板に対して予め設定された処理を行う工程と、
前記インターフェースブロックにより、前記他端側の処理ブロックで処理された基板を前記外部装置に搬出する工程と、
前記インターフェースブロックにより、前記外部装置から基板を搬入し、前記外部装置で処理された基板を前記他端側の処理ブロックに送る工程と、
前記他端側の処理ブロックにより、前記外部装置で処理された基板を前記一端側の処理ブロックに送る工程と、
前記一端側の処理ブロックにより、前記他端側の処理ブロックから送られた基板に対して予め設定された処理を行う工程と、
前記インデクサブロックにより、前記一端側の処理ブロックで処理された基板を前記第1キャリア載置台に載置された前記キャリアに戻す工程と、
を備えていることを特徴とする基板搬送方法。
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