JP7300817B2 - 基板処理装置および基板処理装置の制御方法 - Google Patents
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Description
すなわち、本発明の基板処理装置は、複数の基板を収納することが可能なキャリアに基板を受け渡し搬送するインデクサブロックと、基板に所定の処理を行う処理ブロックと、前記キャリアを搬送するキャリア搬送機構と、基板が収納されていないキャリアを載置することが可能な空キャリア棚と、を備え、前記インデクサブロックは、上下方向に配置された2以上のキャリア載置部を有する第1キャリア載置部列と、上下方向に配置された2以上のキャリア載置部を有し、前記第1キャリア載置部列に水平方向に並んで配置される第2キャリア載置部列と、前記インデクサブロックと前記処理ブロックとの間で、複数の基板を載置する基板バッファ部と、前記第1キャリア載置部列の前記2以上のキャリア載置部の各々に載置された前記キャリアと前記基板バッファ部との間で基板を搬送する第1基板搬送機構と、前記第2キャリア載置部列の前記2以上のキャリア載置部の各々に載置された前記キャリアと前記基板バッファ部との間で基板を搬送する第2基板搬送機構と、を備え、前記第1基板搬送機構および前記第2基板搬送機構は各々、水平方向に進退可能であり基板を保持するハンドと、上下方向に延びる支柱部に沿って前記ハンドを昇降させると共に前記支柱部に沿った軸周りに前記ハンドを回転させる昇降回転駆動部とを備え、前記昇降回転駆動部の水平方向の位置は、固定されており、前記キャリア搬送機構は、前記第1キャリア載置部列および前記第2キャリア載置部列を挟んで前記第1基板搬送機構および前記第2基板搬送機構の反対側に設けられ、前記第1基板搬送機構は、前記第1キャリア載置部列の所定のキャリア載置部に載置された前記キャリアから全ての基板を取り出した後、前記第1キャリア載置部列の他のキャリアから基板を取り出し、前記第2基板搬送機構は、前記第2キャリア載置部列の所定のキャリア載置部に載置された前記キャリアに全ての基板を収納した後、前記第2キャリア載置部列の他のキャリアに基板を収納し、前記キャリア搬送機構は、前記第1基板搬送機構によって前記キャリアから全ての基板を取り出した後のキャリアを、基板が収納された他のキャリアに置き換え、また、前記第2基板搬送機構によって前記キャリアに全ての基板を収納した後のキャリアを、基板が収納されていない他のキャリアに置き換え、前記第1キャリア載置部列の前記2以上のキャリア載置部の全てに前記キャリアが載置されていない場合、前記第2キャリア載置部列の前記2以上のキャリア載置部の中の少なくともいずれかのキャリア載置部に前記キャリアが載置されていない場合、および前記空キャリア棚に前記キャリアが載置されていない場合に、前記キャリア搬送機構は、前記第2キャリア載置部列における前記キャリアが載置されていない前記キャリア載置部のいずれかに特定キャリアを搬送し、前記第2基板搬送機構は、前記特定キャリアから基板を取り出し、その後、前記処理ブロックで処理された処理済の基板を前記特定キャリアに収納し、前記キャリア搬送機構は、前記第2基板搬送機構により前記特定キャリアから基板を全て取り出してから前記特定キャリアに処理済の全ての基板を収納するまでの間、前記特定キャリアの載置位置に前記特定キャリアを留めさせることを特徴とするものである。
また、第1基板搬送機構は、キャリアから全ての基板を取り出した後、他のキャリアから基板を取り出すことができる。また、第2基板搬送機構は、キャリアに全ての基板を収納した後、他のキャリアに基板を収納することができる。
また、複数のキャリア載置部が上下方向に配置されていると、例えば上側のキャリア載置部に操作者の手が届かないために、上側のキャリア載置部に対してキャリアの置き換えをすることが操作者にとって難しい場合がある。しかしながら、キャリア搬送機構がキャリアの搬送を行うので、キャリアの搬送が容易になる。また、キャリアから全ての基板を取り出した後のキャリアを基板が収納された他のキャリアに置き換えるので、基板処理装置内により多くの未処理の基板を供給することができる。更に、キャリアに全ての基板を収納した後のキャリアを、基板が収納されていない他のキャリアに置き換えるので、処理ブロックによる処理が終わった、多くの処理済の基板をキャリアに戻すことができる。
また、通常、第2基板搬送機構は、第2キャリア載置部列のキャリアに基板を収納する(戻す)ように設定されている。しかしながら、所定の条件を満たす場合に、第2基板搬送機構は、特定キャリアから基板を取り出し、その後、処理済の基板を前記特定キャリアに収納する。すなわち、第2基板搬送機構は、通常の基板搬送動作と異なる動作を行う。これにより、特定キャリアから基板を全て取り出してから全ての基板を収納するまで、特定キャリアを載置位置に留めさせることができる。そのため、キャリア搬送機構は、特定キャリア以外のキャリアを搬送できるので、キャリアの搬送効率を向上させることができる。その結果、キャリアの搬送待ちが低減されるので、基板処理のスループットを向上させることができる。
また、第1基板搬送機構は、キャリアから全ての基板を取り出した後、他のキャリアから基板を取り出すことができる。また、第2基板搬送機構は、キャリアに全ての基板を収納した後、他のキャリアに基板を収納することができる。
また、複数のキャリア載置部が上下方向に配置されていると、例えば上側のキャリア載置部に操作者の手が届かないために、上側のキャリア載置部に対してキャリアの置き換えをすることが操作者にとって難しい場合がある。しかしながら、キャリア搬送機構がキャリアの搬送を行うので、キャリアの搬送が容易になる。また、キャリアから全ての基板を取り出した後のキャリアを基板が収納された他のキャリアに置き換えるので、基板処理装置内により多くの未処理の基板を供給することができる。更に、キャリアに全ての基板を収納した後のキャリアを、基板が収納されていない他のキャリアに置き換えるので、処理ブロックによる処理が終わった、多くの処理済の基板をキャリアに戻すことができる。
また、通常、第2基板搬送機構は、第2キャリア載置部列のキャリアに基板を収納する(戻す)ように設定されている。しかしながら、所定の条件を満たす場合に、第2基板搬送機構は、特定キャリアから基板を取り出し、その後、処理済の基板を前記特定キャリアに収納する。すなわち、第2基板搬送機構は、通常の基板搬送動作と異なる動作を行う。これにより、特定キャリアから基板を全て取り出してから全ての基板を収納するまで、特定キャリアを載置位置に留めさせることができる。そのため、キャリア搬送機構は、特定キャリア以外のキャリアを搬送できるので、キャリアの搬送効率を向上させることができる。その結果、キャリアの搬送待ちが低減されるので、基板処理のスループットを向上させることができる。
IDブロック2は、キャリアに基板を受け渡し搬送する。IDブロック2は、4つのオープナ5A~5D、2つの基板搬送機構6A,6Bおよび基板バッファ部7を備えている。4つのオープナ5A~5Dは、IDブロック2の前面の壁部8に設けられている。
処理ブロック3は、基板Wに対して塗布処理を行う。処理ブロック3は、図1に示すように、上下方向に配置された4つ(複数)の塗布処理層31A~31Dを備えている。
図1、図2に示すように、フープバッファ装置4は、複数(例えば、12個)の棚61と、フープFを搬送するフープ搬送機構62とを備えている。
次に基板処理装置1の動作について説明する。まず、基板処理装置1の2つの基板搬送機構6A,6Bの動作について説明する。
図8(a)において、第1基板搬送機構6Aの進退駆動部23は、2つのハンド21(21A,21B)を前進させることで、2つのハンド21をフープF内に進入させる。進入後、昇降回転駆動部25(図4参照)は、2つのハンド21を少し上昇させる。これにより、2つのハンド21によって2枚の基板Wをすくい上げて保持する。2枚の基板Wをすくい上げた後、進退駆動部23は、2枚の基板Wを保持した状態で2つのハンド21を後退させる。
図9(a)において、戻りバッファ部RBF1の下から1~3段目の載置板29Bには、3枚の基板Wが載置されている。この3枚の基板Wは、第3基板搬送機構33で搬送された基板Wであり、第1塗布処理層31Aで所定の処理が行われた基板Wである。第2基板搬送機構6Bの進退駆動部23は、2つのハンド21を前進させることで、2つのハンド21を戻りバッファ部RBF1の領域に進入させる。進入後、2つのハンド21によって2枚の基板Wをすくい上げて保持する。2枚の基板Wをすくい上げた後、進退駆動部23は、2枚の基板Wを保持した状態で2つのハンド21を後退させる。
次に、2つのオープナ5A,5Bに載置された2つのフープFA,FBに対する第1基板搬送機構6Aの動作を説明する。
次に、2つのオープナ5C,5Dに載置された2つのフープFC,FDに対する第2基板搬送機構6Bの動作を説明する。
次に、フープ搬送機構62の2つの把持部65A,65Bによる2つのフープFの置き換え動作について説明する。4つのオープナ5A~5Dの各々に載置されたフープFは、他のフープFに置き換えられる。この場合、フープ搬送の効率化のため、フープ搬送機構62の2つの把持部65A,65Bを用いて置き換え動作が行われる。なお、4つのオープナ5A~5D以外の搬送、例えば入力ポートIP1から未処理基板フープ棚IB1へのフープ搬送は、2つの把持部65A,65Bの一方を用いて行われる。
次に、図11に示すフローチャートに従って、フープバッファ装置4の動作について説明する。図11は、入力ポートから出力ポートへのフープF1の搬送動作と、基板搬送動作を説明するためのフローチャートである。「フープF1」とは、所定のフープFである。すなわち、「フープF1」に注目し、「フープF1」を一例としてフープ搬送等を説明する。所定のフープF1にフープを限定しない場合は、「フープF」と示す。図12は、フープバッファ装置4の動作優先順位を示す図である。
次に、複数のフープFを搬送する場合の動作例を説明する。なお、この搬送は、図11に示すフローチャートの動作が適用され、図12に示す動作優先順位が一部適用される。
2 … インデクサブロック(IDブロック)
3 … 処理ブロック
4 … フープバッファ装置
5A~5D … オープナ
6A,6B … 第1基板搬送機構、第2基板搬送機構
7 … 基板バッファ部
SBF1~SBF4 … 送りバッファ部
RBF1~RBF4 … 戻りバッファ部
9 … 第1オープナ列
10 … 第2オープナ列
21(21A,21B) … ハンド
23 … 進退駆動部
25 … 昇降回転駆動部
31A~31D … 塗布処理層
33 … 第3基板搬送機構
34 … 搬送スペース
SC … 塗布処理部
41 … ハンド
61 … 棚
62 … フープ搬送機構
71 … 制御部
F … フープ
EB1~EB4 … 空フープ棚
Claims (4)
- 複数の基板を収納することが可能なキャリアに基板を受け渡し搬送するインデクサブロックと、
基板に所定の処理を行う処理ブロックと、
前記キャリアを搬送するキャリア搬送機構と、
基板が収納されていないキャリアを載置することが可能な空キャリア棚と、
を備え、
前記インデクサブロックは、
上下方向に配置された2以上のキャリア載置部を有する第1キャリア載置部列と、
上下方向に配置された2以上のキャリア載置部を有し、前記第1キャリア載置部列に水平方向に並んで配置される第2キャリア載置部列と、
前記インデクサブロックと前記処理ブロックとの間で、複数の基板を載置する基板バッファ部と、
前記第1キャリア載置部列の前記2以上のキャリア載置部の各々に載置された前記キャリアと前記基板バッファ部との間で基板を搬送する第1基板搬送機構と、
前記第2キャリア載置部列の前記2以上のキャリア載置部の各々に載置された前記キャリアと前記基板バッファ部との間で基板を搬送する第2基板搬送機構と、
を備え、
前記第1基板搬送機構および前記第2基板搬送機構は各々、水平方向に進退可能であり基板を保持するハンドと、上下方向に延びる支柱部に沿って前記ハンドを昇降させると共に前記支柱部に沿った軸周りに前記ハンドを回転させる昇降回転駆動部とを備え、
前記昇降回転駆動部の水平方向の位置は、固定されており、
前記キャリア搬送機構は、前記第1キャリア載置部列および前記第2キャリア載置部列を挟んで前記第1基板搬送機構および前記第2基板搬送機構の反対側に設けられ、
前記第1基板搬送機構は、前記第1キャリア載置部列の所定のキャリア載置部に載置された前記キャリアから全ての基板を取り出した後、前記第1キャリア載置部列の他のキャリアから基板を取り出し、
前記第2基板搬送機構は、前記第2キャリア載置部列の所定のキャリア載置部に載置された前記キャリアに全ての基板を収納した後、前記第2キャリア載置部列の他のキャリアに基板を収納し、
前記キャリア搬送機構は、前記第1基板搬送機構によって前記キャリアから全ての基板を取り出した後のキャリアを、基板が収納された他のキャリアに置き換え、また、前記第2基板搬送機構によって前記キャリアに全ての基板を収納した後のキャリアを、基板が収納されていない他のキャリアに置き換え、
前記第1キャリア載置部列の前記2以上のキャリア載置部の全てに前記キャリアが載置されていない場合、前記第2キャリア載置部列の前記2以上のキャリア載置部の中の少なくともいずれかのキャリア載置部に前記キャリアが載置されていない場合、および前記空キャリア棚に前記キャリアが載置されていない場合に、前記キャリア搬送機構は、前記第2キャリア載置部列における前記キャリアが載置されていない前記キャリア載置部のいずれかに特定キャリアを搬送し、
前記第2基板搬送機構は、前記特定キャリアから基板を取り出し、その後、前記処理ブロックで処理された処理済の基板を前記特定キャリアに収納し、
前記キャリア搬送機構は、前記第2基板搬送機構により前記特定キャリアから基板を全て取り出してから前記特定キャリアに処理済の全ての基板を収納するまでの間、前記特定キャリアの載置位置に前記特定キャリアを留めさせることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記第1基板搬送機構、前記第2基板搬送機構、および前記処理ブロックの第3基板搬送機構は、各々が有するハンドを前記基板バッファ部に同時に進入させることを組み入れながら、各々の基板搬送を行うことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置において、
前記処理ブロックは、上下方向に配置された複数の処理層を備え、
前記複数の処理層は各々、基板を搬送するために第3基板搬送機構と、
前記第3基板搬送機構が移動するため、水平方向に直線状に延びる搬送スペースと、
前記搬送スペースに沿ってかつ、前記搬送スペースに対して水平方向に設けられた複数の液処理ユニットであって、処理液を供給して基板を処理する前記複数の液処理ユニットと、を備え、
前記液処理ユニットは、複数段で互いに重なって配置されず1段で配置されていることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に所定の処理を行う処理ブロックと、
複数の基板を収納することが可能なキャリアに基板を受け渡し搬送するインデクサブロックであって、
上下方向に配置された2以上のキャリア載置部を有する第1キャリア載置部列と、
上下方向に配置された2以上のキャリア載置部を有する第2キャリア載置部列と、
前記第1キャリア載置部列の前記2以上のキャリア載置部の各々に載置された前記キャリアと前記基板バッファ部との間で基板を搬送する第1基板搬送機構と、
前記第2キャリア載置部列の前記2以上のキャリア載置部の各々に載置された前記キャリアと前記基板バッファ部との間で基板を搬送する第2基板搬送機構と、
前記インデクサブロックと前記処理ブロックとの間の基板の搬送に用いられ、複数の基板を載置する基板バッファ部とを有する前記インデクサブロックと、
前記第1キャリア載置部列および前記第2キャリア載置部列を挟んで前記第1基板搬送機構および前記第2基板搬送機構の反対側に設けられ、前記キャリアを搬送するキャリア搬送機構と、
基板が収納されていないキャリアを載置することが可能な空キャリア棚と、
を備えた基板処理装置の制御方法において、
前記第1基板搬送機構により、前記第1キャリア載置部列の所定のキャリア載置部に載置された前記キャリアから全ての基板を取り出した後、前記第1キャリア載置部列の他のキャリアから基板を取り出す第1基板搬送工程と、
前記第2基板搬送機構により、前記第2キャリア載置部列の所定のキャリア載置部に載置された前記キャリアに全ての基板を収納した後、前記第2キャリア載置部列の他のキャリアに基板を収納する第2基板搬送工程と、
前記第1基板搬送機構によって前記キャリアから全ての基板を取り出した後のキャリアを、基板が収納された他のキャリアに、前記キャリア搬送機構により置き換える第1置き換え工程と、
前記第2基板搬送機構によって前記キャリアに全ての基板を収納した後のキャリアを、基板が収納されていない他のキャリアに、前記キャリア搬送機構により置き換える第2置き換え工程と、
前記第1キャリア載置部列の前記2以上のキャリア載置部の全てに前記キャリアが載置されていない場合、前記第2キャリア載置部列の前記2以上のキャリア載置部の中の少なくともいずれかのキャリア載置部に前記キャリアが載置されていない場合、および前記空キャリア棚に前記キャリアが載置されていない場合に、前記キャリア搬送機構により、前記第2キャリア載置部列における前記キャリアが載置されていない前記キャリア載置部のいずれかに特定キャリアを搬送する特定キャリア搬送工程と、
前記第2基板搬送機構により、前記特定キャリアから基板を取り出し、その後、前記処理ブロックで処理された処理済の基板を前記特定キャリアに収納する第3基板搬送工程と、
前記第2基板搬送機構により前記特定キャリアから基板を全て取り出してから前記特定キャリアに処理済の全ての基板を収納するまでの間、前記キャリア搬送機構により、前記特定キャリアの載置位置に前記特定キャリアを留めさせる特定キャリア留め置き工程と、
を備え、
前記第2キャリア載置部列は、前記第1キャリア載置部列に水平方向に並んで配置され、
前記第1基板搬送工程と前記第2基板搬送工程と前記第3基板搬送工程において、前記第1基板搬送機構および前記第2基板搬送機構は各々、水平方向に進退可能であり基板を保持するハンドと、上下方向に延びる支柱部に沿って前記ハンドを昇降させると共に前記支柱部に沿った軸周りに前記ハンドを回転させる昇降回転駆動部とを使って、前記昇降回転駆動部の水平方向の位置を固定した状態で基板を搬送することを特徴とする基板処理装置の制御方法。
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