JP7159568B2 - 光電変換素子、画像読取装置、および画像形成装置 - Google Patents

光電変換素子、画像読取装置、および画像形成装置 Download PDF

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Description

本発明は、光電変換素子、画像読取装置、および画像形成装置に関する。
シリコンウェハには結晶欠陥が存在することが知られており、結晶欠陥がトランジスタのチャネル層に存在すると電子が結晶欠陥に捕獲(トラップ)/放出され、1/fノイズのように現れる。このノイズは1/fノイズの一種とも考えられているが、ランダムに発生することからランダム・テレグラフ・ノイズ(RTN)と呼ばれる。RTNは近年の製造プロセスによるトランジスタの微細化によって顕在化してきたノイズであり、リニアイメージセンサではその影響が縦スジとなって現れるため、画像上致命的になってしまう。
画素の増幅トランジスタが画素群毎に構成される増幅トランジスタのサイズよりも小さくされていることを示す文献がある。この文献では、画素の増幅トランジスタのサイズが大きすぎるとFD領域にぶらさがる容量が大きくなり、これによって電荷電圧変換ゲインが低下するという不具合の解消のため、画素の増幅トランジスタのサイズを画素群毎に構成された増幅トランジスタのサイズよりも小さくしている(特許文献1参照)。
しかし、従来のRTN低減技術は1/fノイズ低減技術として広義に解釈され、RTNにフォーカスされた技術ではない。つまり、RTNによる影響を低減するためのトランジスタの詳細な設定が見つかっておらず、詳細な設定を見つけなければ画像上のRTNによる影響を確実に低減することができないという問題がある。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、画像上のRTNの影響を確実に低減することが可能な光電変換素子、画像読取装置、および画像形成装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の一実施の形態の光電変換素子は、光を受光する複数の画素と、前記画素の信号を処理する信号処理部と、を備え、前記信号処理部は、前記複数の画素のうち一つの画素からの信号を処理する第一の素子および第二の素子を有し、前記第一の素子および前記第二の素子は、何れもトランジスタであり、前記第一の素子および前記第二の素子の各トランジスタにおいて電流が実効的に通り得るチャネル幅を有効チャネル幅とすると、前記第一の素子の方が前記第二の素子よりも前記有効チャネル幅が大きいことを特徴とする。

本発明によれば、画像上のRTNの影響を確実に低減することができるという効果を奏する。
図1は、第1の実施の形態にかかる光電変換素子の全体構成の一例を示す図である。 図2は、CMOSリニアイメージセンサにおける各色の画素信号を処理するカラム構成の一例を示す図である。 図3は、PDの画素回路の構成の一例を示す図である。 図4は、AMEMの構成の一例を示す図である。 図5は、画素群回路の構成の一例を示す図である。 図6は、MOSトランジスタで生じるRTNの発生原理についての説明図である。 図7は、RTNによる画像の影響を説明するための図である。 図8は、RTNの影響によるトランジスタの動作モデルの説明図である。 図9は、SF1の有効チャネル幅をSF1以外の有効チャネル幅よりも大きくした構成の一例を示す図である。 図10は、SF1以外の画素のトランジスタのチャネル幅Weに対してSF1の有効チャネル幅Weを相対的に拡大した場合の画質向上効果を示す画像の一例を示す図である。 図11は、SF2でRTNが発生した場合の画像への影響を説明するための図である。 図12は、SF2の有効チャネル幅をSF2以外の有効チャネル幅よりも大きくした構成の一例を示す図である。 図13は、SF2以外の画素のトランジスタのチャネル幅Weに対してSF2の有効チャネル幅Weを相対的に拡大した場合の画質向上効果を示す画像の一例を示す図である。 図14は、画像全体としてRTNによる影響を低減する構成の一例を示す図である。 図15は、SF1などの画素毎に構成されるトランジスタの有効チャネル幅Weに対してSF2などの画素群毎に構成されるトランジスタの有効チャネル幅Weを相対的に拡大した場合の画質向上効果を示す画像の一例を示す図である。 図16は、トランジスタを並列に配置にすることで等価的に有効チャネル幅を拡大する構成の一例を示す図である。 図17は、SF2とSF1の最適なチャネル幅比率の関係を説明するための図である。 図18は、電流量によって等価的に有効チャネル幅を拡大する構成の一例を示す図である。 図19は、カラムADC構成である6画素を一例に、SF2/SF1の最適なバイアス電流比率について示す図である。 図20は、埋め込みチャネルの形成により有効チャネル幅を拡大する構成の一例を示す図である。 図21は、第2の実施の形態にかかる画像読取装置として示すスキャナの構成の一例を示す図である。 図22は、第3の実施の形態にかかる画像形成装置として示す複合機の制御ブロックの構成の一例を示す図である。
(実施の形態)
以下に添付図面を参照して、光電変換素子、画像読取装置、および画像形成装置の実施の形態を詳細に説明する。
以下、実施の形態にかかる光電変換素子の一例としてCMOS(Complementary MOS)リニアイメージセンサへの適用例を示す。なお、実施の形態にかかる光電変換素子を、この構成に限定するものではない。
図1は、第1の実施の形態にかかる光電変換素子の全体構成の一例を示す図である。図1には、光電変換素子の一例であるCMOSリニアイメージセンサの全体構成を模式的に示している。なお、図1に示す各矢印は信号を表しているが、信号の数は図2に示す構成例に合わせて模式的に示したものであり、信号の数をこれに限定するものではない。
CMOSリニアイメージセンサ1は、RGB各色用の多数のフォトダイオード(PD)が一次元的にライン方向に配列された構成を有する。図1に示すR画素配列10r、G画素配列10g、B画素配列10bは、それぞれ、一次元的にライン方向に配列されているR(Red)色用、G(Green)色用、B(Blue)色用のPDの全てを指している。各画素配列(R画素配列10r、G画素配列10g、B画素配列10b)は、例えば約7000個のPDを備える。各PDはR色、G色、またはB色のカラーフィルタを通じて各色の光を受光する画素である。PDの後段は、画素の信号を処理する画素回路や画素群回路を含む信号処理部となっている。
R画素回路ブロック11r、G画素回路ブロック11g、B画素回路ブロック11bは、それぞれ、R画素配列10r、G画素配列10g、B画素配列10bの各PDがPD毎に備える画素回路を指している。画素回路は、PDが蓄積した電荷を、それぞれPDの付近で電荷-電圧変換し、電圧信号を後段へ出力する構成を有する。
アナログメモリ(AMEM)12は、R画素回路ブロック11r、G画素回路ブロック11g、B画素回路ブロック11bから読出線を通じて出力されるライン方向全体の各色の各画素の信号を所定のカラム単位で保持する。
リニアイメージセンサではエリアセンサと異なり、各画素から独立に信号が読み出される為、読出線は画素毎に独立に存在する。各画素から読出線により読み出された各信号をAMEM12で保持する構成とすることにより、全体の画素の動作タイミング、つまり露光タイミングが同時となるグローバルシャッタ方式を実現することができる。
画素群回路ブロック13は、AMEM12で保持された所定のカラム単位の各色の各画素の信号を並列にRGBの順に読み出し、上記所定のカラム単位でバッファする。
ADC14は、画素群回路ブロック13でバッファされた所定のカラム単位の信号を並列に上記所定のカラム単位でデジタルデータに変換する。
ADC14で所定のカラム単位で変換されたデジタルデータは、各ADC(Analog-Digital-Converter)からパラレルにRGBの順でパラレル‐シリアル変換部(P/S)15に出力され、パラレル‐シリアル変換部(P/S)15において各色の画素毎のデータが保持される。保持されたデータは、各種処理がなされた後(図示せず)、そのシリアルデータがLVDS(Low Voltage Differential Signaling)16に順次出力される。
LVDS16は、P/S15から出力されたシリアルデータを低電圧差動シリアル信号Dに変換し、TG17から入力されるクロック信号CKと共に後段に出力する。
TG17は全ブロック(R画素回路ブロック11r、G画素回路ブロック11g、B画素回路ブロック11b、AMEM12、画素群回路ブロック13、ADC14、P/S15、LVDS16)にタイミング信号を出力するなどして全ブロックの上記動作を制御する。
図2は、CMOSリニアイメージセンサ1における各色の画素信号を処理するカラム構成の一例を示す図である。図2には、一例として、各色において2画素(Even/Odd)を含む計6画素、つまりRe(R画素のEven)、Ro(R画素のOdd)、Ge(G画素のEven)、Go(G画素のOdd)、Be(B画素のEven)、Bo(B画素のOdd)の計6画素の画素信号を、回路を共有して信号処理するカラム構成を示している。
なお、図2に示す矢印は、図1と同様の信号を表している。また、図2に示すものは、各色の画素配列全体の一部であり、その他の画素配列においても、同様のカラム構成となっているものとする。
本実施の形態では、CMOSリニアイメージセンサ1において、RGB各色の2画素の計6画素を一つの画素群として、画素群毎に画素群回路130やADC140を構成することで、全体を並列処理化し動作速度を抑えている。これによりリニアイメージセンサとして全体の高速化を実現している。なお、上記カラム構成による6画素毎の並列処理は一例であり、並列処理する画素数を6画素に限定するものではない。また、上記カラム構成の仕方も2画素(Even/Odd)に限らず、それ以外の組み合わせであってもよい。
図2において、Rエリアに配列されている各PD100はR画素配列10r(図1参照)に含まれるPDであり、Gエリアに配列されている各PD100はG画素配列10g(図1参照)に含まれるPDであり、Bエリアに配列されている各PD100はB画素配列10b(図1参照)に含まれるPDである。また、Rエリアに配列されている各PIXBLK1(画素回路)110はR画素回路ブロック11r(図1参照)の各画素回路であり、Gエリアに配列されている各PIXBLK1(画素回路)110はG画素回路ブロック11g(図1参照)の各画素回路であり、Bエリアに配列されている各PIXBLK1(画素回路)110はB画素回路ブロック11b(図1参照)の各画素回路である。
AMEM120は、AMEM12(図1参照)をカラム単位に示したアナログメモリである。PIXBLK2(画素群回路)130は、画素群回路ブロック13(図1参照)のカラム単位に示した画素群回路である。ADC140は、ADC14(図1参照)をカラム単位に示したADCである。
図2に示す構成において、各PD100の蓄積電荷を各画素回路110から画素信号として出力し、AMEM120に保持させるまでの一連の画素処理(「画素毎の処理」)は、全ての画素で並列して行われる。その後段の、画素群回路130でのバッファとADC140でのAD変換処理(「画素群毎の処理」)については6画素毎に並列して行う。つまり、後段は、RGB各色の各2画素が1つのADC140を共有するカラムADC構成になっている。このカラムADC構成により、例えば各RGBのライン方向の並びにおいて同色のEven画素又はOdd画素が全て同時にAD変換される。また、RGBの順に処理を行うため、画素群回路130以下の処理ブロックにおいてRe-Ro-Ge-Go-Be-Boの関係は時系列(シリアル)となる。
続いて、各部の具体的な回路構成について説明する。
図3は、PD100の画素回路の構成の一例を示す図である。図3において、PD100は、図2に示すPD100に対応し、光を光電変換することにより露光時間に応じた電荷を蓄積する。画素回路110は、PD100の電荷をフローティングディフュージョン(FD)に転送する転送トランジスタ(T)、FDをリセットするリセットトランジスタ(RS)、およびFD電圧をバッファして読出線に出力するソースフォロワトランジスタ(SF1)を有する。SF1にはバイアス電流源(Is1)が接続されている。
図4は、AMEM120の構成の一例を示す図である。図4に示すAMEM120は、選択スイッチ(SL)、信号保持用の容量(Cs)、Csから画素群回路130に信号を読み出すための選択スイッチ(SW(**))を有する。
AMEM120での信号保持までは全画素同時に動作し、AMEM120からの信号読出は、Re、Ro、Ge、Go、Be、Boの順で1画素ずつ行われる。
図5は、画素群回路130の構成の一例を示す図である。図5に示す画素群回路130は、ソースフォロワトランジスタ(SF2)、SF2のバイアス電流源(Is2)で構成され、AMEM120から出力される信号をバッファしてADC140に出力する。上述したようにAMEM120からはRe、Ro、Ge、Go、Be、Boの順で1画素ずつ信号が読み出されるため、この順で信号を出力していく。つまり、SF2と後段のADC140は、Re、Ro、Ge、Go、Be、Boの6画素により回路が共有される。
続いて、MOSトランジスタで生じるノイズの影響について説明する。近年ではCMOSプロセスの微細化が進み、ランダム・テレグラフ・ノイズ(Random-Telegraph-Noise;RTN)の影響が顕在化してきている。このRTNの発生原理と、その影響について図6を参照しながら以下に説明する。なお、RTNの発生原理と影響は、N型のMOSトランジスタにおいてもP型のトランジスタにおいても同様に生じるものとする。
図6は、N型のMOSトランジスタで生じるRTNの発生原理についての説明図である。図6(a)に示すように、RTNはシリコンウェハ201の結晶欠陥Qに起因したノイズであり、MOSトランジスタ200のゲート酸化膜202の界面準位による電子eのランダムな捕獲(トラップ)と放出(リリース)が原因とされている。
図6(b)には、画像信号レベルと頻度の関係を示している。結晶欠陥QによるRTNの影響を考えた場合、画像信号レベルは、電子eが捕獲(トラップ)された状態と放出(リリース)された状態の2値をとることになる。2値それぞれにおけるランダムノイズ成分は正規分布を示し、電子eが放出(リリース)された状態が通常の状態と等価となる。図6(b)において、捕獲(トラップ)された状態の正規分布を破線m1で示し、放出(リリース)された状態の正規分布を実線m2で示している。RTNが発生している画素では2値それぞれの正規分布を合成したような挙動を示すことになるため、図6(b)において太い実線m3で示すように、通常の状態で発生する標準ノイズに対しより大きなノイズを持つことになる。
図7は、RTNによる画像の影響を説明するための図である。図7(a)にRTNが発生していない場合の画像を示し、図7(b)にRTNが発生した場合の画像を示している。
図7(b)に示すように、RTNが発生した場合、RTNが発生していない図7(a)の画像に比べて縦スジAが現れる。一次元的に画像を読み取るCMOSリニアイメージセンサでは図3に示す画素のソースフォロワトランジスタ(SF1)においてRTNの影響を受けると、その画素に対応する画像上の位置に縦スジAが現れる。特に人間の視認性はスジのような非ランダムなレベルの変化に感度が高いため、画質劣化としての影響が大きい。なお、エリアセンサでは二次元で画像を読み取る性質上、RTNの影響はランダムな点状ノイズとして現れ、画質劣化としての影響は小さい。すなわち、リニアイメージセンサはエリアセンサ以上にRTNを低減する必要がある。
図7(b)に示す画像は、1画素のSF1でRTNが発生している場合の例であり、これにより縦スジが1画素のみ発生している。これはSF1が画素毎に構成されているためである。
なお、1画素の縦スジは、画素回路110(図3参照)内の各種のトランジスタや電流源Is1、AMEM120(図4参照)内の選択スイッチ(SW(*)、SL)など、SF1のように画素毎に構成されるトランジスタであれば同様に発生する可能性がある。
ところで、本発明者はトランジスタの入力が高インピーダンス状態であるほどRTNの影響が大きくなることを見出した。これについて図8を用いて説明する。
図8は、RTNの影響によるトランジスタの動作モデルの説明図である。図8(a)は、トランジスタの基本的な動作モデルを示し、図8(b)は、RTNが発生する状態の動作モデルを示している。図8(a)に示すように、トランジスタは如何なる動作状態においても、通常はゲートに任意の電圧(ここではVで示す)が掛かっている状態でドレインとソースとの間に電流が流れている。このとき、微小なリーク電流等を除けば、ドレインに流れ込む電流(Iin)とソースから流れ出る電流(Iout)は等しくなっている。
しかし、電子eが結晶欠陥Qに捕獲される状態(図6(a)に示す状態)になると、トランジスタ内で電子eを失うことになり、瞬時的に、流れ込む電流Iinに対してIoutが減少する。このIoutつまりソース電流の変化は、図8(b)に示すように、ゲートから見るとソース電圧が変化しているように見え、ソース電圧の変化はゲートとソースとの間の容量(Cgs)を介してゲート側に戻る。つまり、ソース電圧の変化がゲート側にキックバックすることになり、ゲート電圧がΔV変化してしまう。これを電流視点で捉えると、電流(ソース電流)Ioutが変化して減少した分をゲート側の容量負荷から電流(ΔI)を供給することで補われ、ゲート電圧がΔV変化してしまうと解釈することができる。その後、ゲート電圧の変化ΔVはトランジスタで増幅され、大きな電流変化となってRTNの影響が後段へと伝わる。
一方、ゲートが低インピーダンスの場合はRTNの影響は抑制される。これについて図8(c)を参照して説明する。電子eが結晶欠陥Qに捕獲されて瞬時的にソース電圧の変化がゲート側にキックバックするまでは上記の説明と同じである。しかし、ゲートが低インピーダンスの場合、その影響は低インピーダンスノードである信号源などに吸収され、ゲート電圧の変化は起こらない。これを電流視点で捉えると、ソース電流Ioutが変化して減少した分は信号源Isから電流(ΔI)を供給することで補われ、ゲート側の容量負荷からは供給されないためにゲート電圧が変化しないと解釈することができる。このとき、ゲート電圧の変化が起こっていないため、トランジスタで増幅されても後段に伝わるRTNの影響は小さい。
なお、図8では高インピーダンスの場合の説明として容量負荷をゲートに接続する例を示したが、この例に限定されるものではない。
以上の通り、RTNの影響はトランジスタの入力(ゲート)側が高インピーダンスであるほど大きい。本実施の形態のリニアイメージセンサにおいて、図8(b)に示す動作モデルは、SF1(図3参照)やSF2(図5参照)といった増幅トランジスタ(バッファ)として用いる場合が該当する。上記のバッファは、ゲートにFDやアナログメモリ(Cs)が接続され、ゲート電圧が高インピーダンス状態であるため、この動作モデルに該当する。図8(c)は、RSやT(図3参照)、SL、SW(*)(図4参照)といったスイッチングトランジスタが該当する。スイッチングトランジスタは、ゲート電圧が低インピーダンスで制御されるため、この動作モデルに該当する。
以上から、RTNを低減するためには結晶欠陥Q(図6(a)参照)を回避してチャネル電流(電子e)を流すことが重要であることが分かる。
そこで、本実施の形態では、図6(a)のチャネル幅において、電流が実効的に流れ得る領域、具体的に、結晶欠陥Qを避けた領域で、かつ、チャネル電流(電子e)が流れている又は流れ得る領域を、有効チャネル幅と定義し、RTNの影響が大きいトランジスタほど有効チャネル幅を大きく設けた構成とする。
以下において、RTNの影響が大きい(つまり画質低下の寄与度が大きい)トランジスタが「第1の素子」に対応し、「第1の素子」の比較対象になっているRTNの影響が小さい(つまり画質低下の寄与度が小さい)トランジスタが「第2の素子」に対応するものとする。本実施の形態では、画素毎に構成されるトランジスタの中でSF1(図3参照)のトランジスタの有効チャネル幅をSF1以外のトランジスタの有効チャネル幅よりも大きくする。つまり、SF1が「第1の素子」となり、SF1以外が「第2の素子」となる。
図9は、SF1の有効チャネル幅をSF1以外の有効チャネル幅よりも大きくした構成の一例を示す図である。図9には、図6(a)のN型のMOSトランジスタ200を上方から平面視した向きでチャネルの構成を示している。図9(a)にSF1の構成を示し、図9(b)に、RSやT(図3参照)、SL、SW(*)(図4参照)などのSF1以外の構成を示している。
図9(a)において、ドレイン(D)、ゲート(G)、ソース(S)を示し、ゲート(G)直下がチャネルとなっている。一般にチャネルは、電流(電子e)が流れる向きEの長さLがチャネル長と呼ばれており、これに直交する向きの幅がチャネル幅と呼ばれている。本実施の形態では、図9(a)に示す幅Wをチャネル幅と呼ぶ。
ここで、チャネルに影響する結晶欠陥Qが存在する場合、結晶欠陥Qを流れる電流(電子e)はRTNの要因となるため、結晶欠陥Qの部分を電流として無効な領域と考える。また、結晶欠陥Qがなくても電流が流れていない、又は、構造上流れ得ない部分も無効な領域と考える。
そこで、本実施の形態では、電流が流れる経路上に結晶欠陥Qが無く、かつ、電流が流れている又は構造上流れ得る領域(図9(a)の網掛部の領域)のチャネル幅Weを、一般的に用いられているチャネル幅Wと区別して有効チャネル幅と呼ぶ。有効チャネル幅Weはチャネル電流がRTNの影響を免れて流れることができる幅であるため、大きいほどRTNの低減効果が大きい。これは結晶欠陥Qの部分に電流(電子e)が流れるか否かはランダムであり、確率的に決まるので、有効チャネル幅Weが大きいほど結晶欠陥Qがない正規部分に電流が流れる確率が高くなるためである。図9(b)についても、ここまでの説明は図9(a)と同様である。
図9(a)と図9(b)との主な違いは、トランジスタの大きさが異なることに加え、有効チャネル幅Weに違いがあることである。
図9(a)のSF1のトランジスタは、有効チャネル幅Weを大きく設けられており、図9(b)のSF1以外の画素毎のトランジスタ(RS、T、SL、SW(*)など)については有効チャネル幅Weを相対的に小さく設けている。つまり、有効チャネル幅We1>有効チャネル幅We2の関係になっている。
図8で説明したように、画素毎のトランジスタの中でRTNの寄与度が大きいのはSF1である。そのため、SF1の有効チャネル幅Weを相対的に拡大することで、必要最小限の構成でRTNの影響を低減することができる。つまり、効果的に画質を向上することができる。
なお、画素毎のトランジスタの中でSF1の電流源(Is1)はカレントミラー回路であることが一般的であるが、入力側のインピーダンスはSF1ほど高くはないもののRTNの影響が大きくなる場合がある。従って、そのような構成の場合は、SF1と同様にIs1の増幅トランジスタにも同様に適用する。
図10は、SF1以外の画素のトランジスタのチャネル幅Weに対してSF1の有効チャネル幅Weを相対的に拡大した場合の画質向上効果を示す画像の一例を示す図である。
図10(a)に従来のチャネル設計で出力される画像(図7(b)に対応)を示し、図10(b)に本実施形態に示すチャネル設計で出力される画像を示している。
図10(b)に示すように、本実施形態に示すチャネル設計では、RTNが効果的に低減されることにより、画素起因の縦スジAが目立たなくなって画質が改善される。
以上のように、RTNの寄与度が大きいトランジスタの有効チャネル幅を相対的に大きくすることにより、RTNの影響が確実に低減して画質が向上する。
なお、本実施の形態では、一例としてNMOSの例を示したが、PMOSについても同様であり、以下の各変形例についてもP型とN型の種類に関係なく何れにも該当するものとする。
(変形例1)
実施の形態では、SF1(図3参照)などに起因する画素毎のRTNによる画像への影響(1画素分の縦スジA)について述べたが、SF1と同様にSF2(図5参照)にもRTNが発生する可能性があり、SF2でRTNが発生した場合の画像への影響はより顕著なものとなる。変形例1では、SF2のRTNによる画像への影響について示し、これを低減させるSF2のチャネル構成について示す。
図11は、SF2でRTNが発生した場合の画像への影響を説明するための図である。図11(a)にはSF1に起因する画素単位の縦スジAが発生した場合の画像を示し、図11(b)にはSF2に起因する画素群単位の縦スジBが発生した場合の画像を示している。
縦スジAと縦スジBとを比較すると、縦スジAよりも縦スジBの方が縦スジが顕著になり、より視認し易くなる。これはSF1のRTNが1画素のみに影響するのに対して、SF2のRTNは画素群に影響するためである。具体的に、図2に示すカラム構成では、RGB各色において2画素(Even/Odd)を含む計6画素のカラム構成のため、RGB全色に影響するのに加え、連続する2画素(EvenとOdd)とに渡りRTNの影響が現れ、1画素のみの場合に比べ、濃度かつ幅の面において縦スジがより視認し易くなるためである。
この比較画像は、カラムADC方式のCMOSリニアイメージセンサでRTNの影響を低減することにおいて、複数の画素によって共有されるトランジスタほど優先的にRTNを低減することが重要であることを示唆している。
そこで変形例1では、画素群毎に構成されるトランジスタのSF2の有効チャネル幅をそれ以外のトランジスタ(例えばIs2)よりも大きくする。
図12は、SF2の有効チャネル幅をSF2以外の有効チャネル幅よりも大きくした構成の一例を示す図である。図12において、図9に対応する箇所には同一の符号を付している。
図12(a)に示すように、SF2の有効チャネル幅Weを図12(b)に示すSF2以外の有効チャネル幅Weよりも大きく設ける。図12(a)と図12(b)に示す各有効チャネル幅Weの関係は、有効チャネル幅We1>有効チャネル幅We2である。その他の構成は、図9で説明した構成と同様であり説明の繰り返しになるため、ここでの説明を省略する。
図13は、SF2以外の画素のトランジスタのチャネル幅Weに対してSF2の有効チャネル幅Weを相対的に拡大した場合の画質向上効果を示す画像の一例を示す図である。
図13(a)に従来のチャネル設計で出力される画像(図11(b)に対応)を示し、図13(b)に本変形例1に示すチャネル設計で出力される画像を示している。
図13(b)に示すように、本変形例1に示すチャネル設計では、特に影響の大きいSF2のRTNが効果的に低減されることにより、画素群起因の縦スジBが目立たなくなって画質が改善される。
(変形例2)
変形例1で述べたように画素起因のRTNよりも画素群起因のRTNの方が影響が大きい。そこで、変形例2では、SF1などの画素毎に構成されるトランジスタよりもSF2などの画素群毎に構成されるトランジスタの有効チャネル幅を大きくすることにより最小限の構成にて画像全体としてRTNによる影響を低減する。
図14は、画像全体としてRTNによる影響を低減する構成の一例を示す図である。なお、図14において、図9に対応する箇所には同一の符号を付している。
図14(a)に示すように、SF2などの画素群毎に構成されるトランジスタの有効チャネル幅Weを図14(b)に示すSF1などの画素毎に構成されるトランジスタの有効チャネル幅Weよりも大きく設ける。図14(a)と図14(b)に示す各有効チャネル幅Weの関係は、有効チャネル幅We1>有効チャネル幅We2である。
なお、W/L比はトランジスタの特性を決める主要な要素であり、W/L比が変わるとトランジスタの特性が変わることになる。これを回避する場合、例えばW/L比が、W1/L1=W2/L2となるようにする。そうすることにより、図14(a)に示す構成と14(b)に示す構成とでW/L比を維持しつつ、つまりトランジスタの特性を合わせつつ、有効チャネル幅を拡大することができる。
その他の構成は、図9で説明した構成と同様であり説明の繰り返しになるため、ここでの説明を省略する。
図15は、SF1などの画素毎に構成されるトランジスタの有効チャネル幅Weに対してSF2などの画素群毎に構成されるトランジスタの有効チャネル幅Weを相対的に拡大した場合の画質向上効果を示す画像の一例を示す図である。
図15(a)に従来のチャネル設計で出力される画像を示し、図15(b)に本実施形態に示すチャネル設計で出力される画像を示している。
図15(a)に示すように、従来は、画素毎のトランジスタでRTNが発生し、かつ、画素群毎のトランジスタでもRTNが発生した場合に、画像に縦スジAと縦スジBとが発生する。
しかし、図15(b)に示すように、本変形例2に示すチャネル設計では、画素毎のトランジスタで発生するRTNと、画素群毎のトランジスタで発生するRTNとが共に低減されることにより、画素起因の縦スジAと画素群起因の縦スジBとが共に目立たなくなって画質が改善される。
なお、実施形態、変形例1、変形例2で説明した各チャネル設計(図9、図12、図14)は独立した構成であり、これらを組み合わせることで更なるRTN低減効果を発揮することができる。
さらに、図8で述べたように、有効チャネル幅はSF1やSF2以外であっても入力側が高インピーダンス(フローティング)状態であるトランジスタに適用することでより効果を発揮することができる。
(変形例3)
これまで有効チャネル幅を拡大する方法としてチャネル幅を拡大する方法を述べた。チャネル幅を拡大する場合、1つのトランジスタのサイズを単純に大きくしてもよいが、複数の小サイズのトランジスタを並列に配置して等価的にサイズの大きいトランジスタを構成してもよい。
そこで本変形例3では、小サイズの単位トランジスタ(トランジスタ素子)を並列配置することで等価的にサイズの大きいトランジスタを構成する例を示す。これにより、トランジスタ間のばらつきが低減される。
図16は、トランジスタを並列に配置にすることで等価的に有効チャネル幅を拡大する構成の一例を示す図である。
図16(a)にはSF1の構成を示し、図16(b)にはSF2の構成を示している。図16(a)のトランジスタを単位トランジスタとしている。図16(b)では図16(a)の単位トランジスタを2個並列に配置している。図16(b)の2つの単位トランジスタは、各電極をショートすることで電気的に接続して用いる。このとき、図16(b)に示す構成は、チャネルが単位トランジスタの2倍となり、従って電流(電子e)が流れ得る幅は2倍であり、1つのトランジスタのサイズを物理的に大きくした場合と同様に全体として有効チャネル幅Weを拡大することができる。
このように、有効チャネル幅Weを拡大する上では小サイズの単位トランジスタを並列に組み合わせることで等価的に大サイズのトランジスタを構成することができる。これにより、単位トランジスタ間のばらつきを低減した上で有効チャネル幅が拡大する。
なお、図16(b)に示す構成の場合、同じトランジスタを単純に並列に配置した構成であるため、図16(a)に示すトランジスタと図16(b)に示すトランジスタとではW/L比(チャネル幅/チャネル長の比)が異なる。W/L比は、図16(a)の構成を「1」とすると、図16(b)の構成は「2」となる。これを回避する場合、例えばW/L比が1/N(ただしNは自然数とする)のトランジスタを並列にN個配置する。そうすることにより、図16(a)に示す構成とW/L比を維持しつつ、つまりトランジスタの特性を合わせつつ、有効チャネル幅を拡大することが可能になる。
さらに、本発明者は、SF1(画素毎のトランジスタ)のチャネル幅とSF2(画素群毎のトランジスタ)のチャネル幅との最適な比率についても見出している。
図17は、SF2とSF1の最適なチャネル幅比率の関係を説明するための図である。図17には、図2に示すカラムADC構成である6画素を一例に、SF1のチャネル幅に対するSF2のチャネル幅の最適な比率と、画像全体におけるRTNの影響度の関係とを示している。なお、RTNの影響度については、全画素の平均ノイズ(σave)に対する最大のノイズ(σmax)と定義した場合の関係を示している。
図17に示されるように、SF1のチャネル幅(有効チャネル幅)に対し、RTNの寄与度が大きいSF2のチャネル幅(有効チャネル幅)を大きくすると、SF2/SF1の値が大きくなり、RTNの影響度が小さくなる。ここで、図17に示すRTNの影響度と、画像上の視認のし易さの目安とは、以下の関係にある。
RTN影響度2以上は、明確に視認できるレベルである(例えば図15(a)参照)。RTN影響度1.7~2は、条件によっては視認できるレベルである。RTN影響度1.7未満は、視認できないレベル(問題ないレベル)である(例えば図15(b)参照)。従って、RTN影響度は1.7未満であることが望ましいと言える。
図17では、SF1のチャネル幅(有効チャネル幅)に対するSF2のチャネル幅(有効チャネル幅)の比率が6以上、つまりSF2のチャネル幅(有効チャネル幅)をSF1のチャネル幅(有効チャネル幅)よりカラム構成の画素数であるk=6以上とした場合に、RTN影響度が1.7未満の1.5程度となる。また、そこから更に比率を大きくすると、それにつれてRTN影響度の低減効果も飽和してくるため、比率のさらなる増加はRTN影響度の低減よりも、サイズアップの影響の方が大きくなる。
従って、SF1とSF2のチャネル幅の最適な比率は、RTN影響度の観点で言えばカラム構成の画素数k(この例では「6」)以上であることが望ましく、回路サイズの観点で言えばカラム構成の画素数に近い値が望ましいということになる。
(変形例4)
これまでの実施の形態や各変形例ではトランジスタのサイズを大きくしてチャネル幅を物理的に拡大することにより有効チャネル幅を拡大するものを述べた。しかし、回路スペースの制約上、構成によっては必ずしもチャネル幅を拡大することができない場合がある。
そこで本変形例4では、RTNの影響が大きいトランジスタの電流(バイアス電流)を影響の小さいトランジスタの電流よりも大きく設定することにより等価的に有効チャネル幅を拡大するものを示す。これにより、回路規模に制約がある場合でも有効チャネル幅を拡大することが可能となる。
図18は、電流量によって等価的に有効チャネル幅を拡大する構成の一例を示す図である。図18は、基本的な構成は図14と同じであり、図18(a)をSF2、図18(b)をSF1としている。図14との差異は図18(a)、図18(b)ともにトランジスタのサイズが同じである点と、SF2のバイアス(ドレイン)電流Id1をSF1のドレイン電流Id2よりも大きくした点である。
仮に図18(b)において、電流が流れる経路上に結晶欠陥Qがある場合を考える。このとき電流Id2が流れる位置が物理的にほぼ固定であることを考えると、実効的な電流経路は結晶欠陥Qに阻害された状態と考えることができる。すなわち、有効チャネル幅が制限された状態であり、結晶欠陥Qの影響を受け易くなっている。
一方、図18(a)において、電流Id1は電流Id2よりも大きいため、電流Id1が流れる経路が拡大している。そのため、実効的な電流経路は上述ほど結晶欠陥Qによって制限されず、相対的に電流Id2より等価的に有効チャネル幅を拡大した状態となる。このため、結晶欠陥Qの影響は電流Id2より電流Id1の方が相対的に受けづらくなる。
上記は電流量で理解してもよい。例えば電流Id1=2μA、電流Id2=1μAとした場合、電流は単位時間当たりの電荷移動量で定義されるため、電流Id2で移動する電荷量は電流Id1で移動する電荷量の2倍となる。結晶欠陥Qにトラップされる電荷(電子)が固定数であると、電流Id2より電流Id1の方が真の信号による電荷量に対してトラップされた電荷量は相対的に小さい。そのため、電流Id2より電流Id1の方が結晶欠陥Qの影響は相対的に受けづらくなると理解できる。
なお、図18では実際に電流が流れる経路をモデルを用いて有効チャネル幅を説明したが、これまで述べてきたチャネル幅拡大による有効チャネル幅は電流が流れ得る経路である。
また、変形例4では、等価的に有効チャネル幅を拡大する例としてトランジスタを同じサイズにしたものを示したが、トランジスタのサイズをこれに限定するものではない。
本発明者は、SF1(画素毎のトランジスタ)とSF2(画素群毎のトランジスタ)のバイアス電流の最適な比率についても見出している。
図19は、カラムADC構成である6画素を一例に、SF2/SF1の最適なバイアス電流比率について示す図である。図19には、SF1のバイアス電流量に対するSF2のバイアス電流量の最適な比率と、画像全体におけるRTNの影響度の関係とを示している。なお、RTNの影響度については、図17と同様に、全画素の平均ノイズ(σave)に対する最大のノイズ(σmax)と定義した場合の関係を示している。
図19に示されるように、SF1のチャネル幅(有効チャネル幅)に対し、RTNの寄与度が大きいSF2のバイアス電流量を大きくすると、SF2/SF1の値が大きくなり、RTNの影響度が小さくなる。特に、SF1に対するSF2の比率が2以上、つまりSF2のバイアス電流をSF1のバイアス電流より2倍以上とした場合、RTN影響度が1.7程度となっていることが分かる。また、それより更に比率を大きくするにつれRTN影響度の低減効果も飽和してくるため、それ以上の比率の増加はRTN影響度よりも消費電力や発熱の影響の方が大きくなることになる。
従って、SF1とSF2のバイアス電流の最適な比率は、RTN影響度の観点で言えば2以上であることが望ましく、消費電力や発熱の観点で言えば2に近い方が望ましいということになる。
(変形例5)
これまで、トランジスタのサイズを大きくしてチャネル幅を物理的に拡大したり、トランジスタのバイアス電流を増やすことで等価的に有効チャネル幅を拡大したりする例を示した。しかし、回路スペースや回路設計の制約上、何れの方法も採用できない場合がある。
そこで本変形例5では、RTNの影響が大きいトランジスタのチャネルの形成位置を深くする。Si表面から離れたところに形成されたチャネルは埋め込みチャネルと呼ばれる。埋め込みチャネルの形成は、MOSトランジスタの微細化加工プロセスにおいて、イオン(不純物)注入における注入(加速)エネルギーやイオン種、注入量などの形成条件を変更することにより容易に形成することができる。埋め込みチャネルの形成により、回路スペースや回路設計上に制約がある場合でも有効チャネル幅を拡大することが可能になる。
図20は、埋め込みチャネルの形成により有効チャネル幅を拡大する構成の一例を示す図である。図20(a)および図20(b)には、トランジスタの深さ方向の断面図を示している。なお、本実施例5では、チャネル長Lに直交する深さ方向の幅をチャネル幅と呼び、当該チャネル幅の有効チャネル幅Wpを拡大する。
シリコン(Si)ウェハの表面は結晶欠陥が多いことが一般に知られている。このとき、図20(a)に示すように、Si表面に近いところ(深さが浅い領域)にチャネルを形成すると、結晶欠陥Qの影響を受け易くなり、有効チャネル幅Wpが本来のチャネル幅から制限される。これに対し、図20(b)に示すように、Si表面から離れたところ(深さが比較的深い領域)にチャネル、つまり埋め込みチャネルを形成すると、結晶欠陥Qの影響を受けにくくなる。そのため、有効チャネル幅Wpは本来のチャネル幅同等とすることができ、相対的に有効チャネル幅Wpを拡大することができる。
以上のように、第1の実施の形態、または各変形例は、RTNの寄与度が大きいトランジスタの有効チャネル幅を相対的に大きくすることにより、RTNの影響が確実に低減し、画質が向上する。
なお、第1の実施の形態や、各変形例は、個別に適用してもよいし、それらの2つ以上を任意に組み合わせて適用してもよい。
画素毎に構成される回路において第一の素子の有効チャネル幅を第二の素子の有効チャネル幅よりも大きくすることを優先すれば、画素毎のRTNの影響を効果的に低減することができる。
画素群毎に構成される回路において第一の素子の有効チャネル幅を第二の素子の有効チャネル幅よりも大きくすることを優先すれば、画素群毎のRTNの影響を効果的に低減することができる。
画素群毎に構成される回路の第一の素子の有効チャネル幅を画素毎に構成される回路の第二の素子の有効チャネル幅よりも大きくすれば、画像全体のRTNの影響を効果的に低減することができる。
複数のトランジスタ素子を組み合わせて実効的にチャネル幅を大きくすれば、トランジスタ間のばらつきを抑えながら有効チャネル幅を大きくすることができる。
第1の素子と第2の素子の各チャネル長とチャネル幅との比を揃えればトランジスタの特性を合わせながら有効チャネル幅を大きくすることができる。
第1の素子のバイアス電流を第2の素子のバイアス電流より大きくすれば、回路規模を変えずに有効チャネル幅を相対的に大きくすることができる。
埋め込みチャネルの深さを深くすれば、電流やサイズに制限がある場合でも有効チャネル幅を大きくすることができる。
第一の素子のチャネル幅を第二の素子のチャネル幅のk倍にしたり、第一の素子のバイアス電流を第二の素子のバイアス電流の2倍にしたりすれば、最小限の構成でRTNの影響を低減することができる。
第1の実施の形態および各変形例では、CMOSリニアイメージセンサを一例に挙げて説明した。CMOSリニアイメージセンサは入射光をフォトダイオードで光電変換する点はCCD(Charge Coupled Device)と同じだが、画素付近で電荷-電圧変換して後段に出力する点がCCDと異なる。
また、CMOSセンサは、CMOSプロセスが使用できることからADC等の高速ロジック回路を内蔵することが可能であり、高速性の面でもCCDより有利と言える。上述した例では、CMOSリニアイメージセンサを高速化する方式として、複数の画素を単位とする画素群毎にAD変換などを行うカラムADC方式を採用し、ADCの前段に画素群毎に増幅トランジスタを備え、これにより画素群内の画素信号をバッファして順次ADCに出力する構成を示した。
なお、以上に示す構成は一例であり、光電変換素子をそれらの構成に限定するものではない。
(第2の実施の形態)
第1の実施の形態または各変形例に一例として示す光電変換素子を備えた画像読取手段を備えたスキャナ(「画像読取装置」の一例)への適用例について示す。なお、当該光電変換素子は、第1の実施の形態や、各変形例を、個別に適用したものでもよいし、それらの2つ以上を任意に組み合わせて適用したものでもよい。
図21は、第2の実施の形態にかかる画像読取装置として示すスキャナの構成の一例を示す図である。先ず、図21(a)を参照し、スキャナの全体構成について説明する。
図21のスキャナ2は、筐体20の上面にコンタクトガラス21を有し、筐体20の内部に、第1キャリッジ22、LED(Light Emitting Diode)23、第1反射ミラー24、第2キャリッジ25、第2反射ミラー26、第3反射ミラー27、レンズユニット28、基準白板29、およびCMOSリニアイメージセンサ30を有する。
第1キャリッジ22は、LED23と第1反射ミラー24とを有し、副走査方向Xに移動する。第2キャリッジ25は、第2反射ミラー26と第3反射ミラー27とを有し、所定方向に移動する。
LED23は、スキャナ2の光源であり、コンタクトガラス21に配置された原稿Yや基準白板29を照明する。原稿Yや基準白板29からの反射光は、第1反射ミラー24と、第2反射ミラー26と、第3反射ミラー27とを介して、レンズユニット28に導かれる。
レンズユニット28は、マイクロレンズアレイなどであり、第3反射ミラー27からの光をCMOSリニアイメージセンサ30の各画素の受光エリアに結像する。
CMOSリニアイメージセンサ30は、第1の実施の形態または各変形例に一例として示すCMOSリニアイメージセンサである。
続いて、図21(b)のスキャナ2の制御ブロック図を参照して、スキャナ2の制御について説明する。
スキャナ2は、CPU(Central Processing Unit)31や、CMOSリニアイメージセンサ30や、LEDドライバ(LED_DRV)32や、LED23や、画像処理部33などを有する。この他に、図示を省略しているが、第1キャリッジ22や第2キャリッジ25を移動させるモータや、そのモータドライバなども構成される。
CPU31は、スキャナ2のシステム全体を統括的に制御する。
CMOSリニアイメージセンサ30は、タイミングジェネレータ(TG)301を内蔵し、TG301が生成する制御信号により画素全体の画素信号の出力動作やADCカラム構成単位でのAD変換動作などを行う。
LED_DRV32は、TG301の制御信号に基づいてLED23の点灯や消灯を制御する。
スキャナ2は、LED23が照明した原稿Yからの反射光をCMOSリニアイメージセンサ30において画素毎に光電変換し、各画素信号を画素群単位にA/D変換するなどの後段処理を行う。後段処理により得られた画像データは、LVDS(トランスミッタ)302からLVDS(レシーバ)331に入力され、画像処理のメインボードである画像処理部33において各種画像補正や処理がなされ、所定の記憶領域に保存される。
第2の実施の形態にかかる画像読取装置は、第1の実施の形態または各変形例の光電変換素子を備える。このため、当該画像読取装置では、RTNの影響を抑制した高画質な画像読取を提供することができる。
(第3の実施の形態)
第1の実施の形態または各変形例に一例として示す光電変換素子を備えた画像形成装置を第3の実施の形態として示す。なお、当該光電変換素子は、第1の実施の形態や、各変形例を、個別に適用したものでもよいし、それらの2つ以上を任意に組み合わせて適用したものでもよい。ここでは、スキャナ(画像読取手段)を有する複合機への適用例について示す。
図22は、第3の実施の形態にかかる画像形成装置として示す複合機の制御ブロックの構成の一例を示す図である。図22に示す複合機4は、「画像読取手段」の一例であるスキャナ2と「画像形成手段」の一例であるプリンタ40とを備える。
複合機4は、プリンタ40側にCPU41とLVDS(レシーバ)42と画像処理部43とを含むメインボード44を有する。メインボード44はI/F45を介してプリンタエンジン46に接続されている。
CPU41は、プリンタエンジン46やスキャナ2を含めたシステム全体を統括的に制御する。プリンタエンジン46は、被記録媒体(例えば記録紙など)に画像を形成する。例えば、プリンタエンジン46は、インクジェット方式や電子写真方式により被記録媒体上に画像を形成する。
複合機4において、スキャナ2は、LED23が照明した原稿Yからの反射光をCMOSリニアイメージセンサ30において画素毎に光電変換し、各画素信号を画素群単位にA/D変換するなどの後段処理を行う。後段処理により得られた画像データは、LVDS(トランスミッタ)302からプリンタ40のLVDS(レシーバ)42に出力する。
プリンタ40は、スキャナ2のLVDS(トランスミッタ)302から出力されたクロック/同期信号/画像データがLVDS(レシーバ)42に入力され、LVDS(レシーバ)42でクロック/ライン同期信号/パラレル10bitデータに変換される。変換後のデータは、画像処理部43で各種画像補正や処理がなされて、プリンタエンジン46に出力され、被記録媒体に画像が形成される。
第3の実施の形態にかかる画像形成装置は、第1の実施の形態や各変形例の光電変換素子を備える画像読取装置を含む。これにより、画像読取装置においてRTNの影響を抑制した高画質な画像読取が行われ、画像形成装置全体として、高画質な画像の形成を提供することができる。
D ドレイン
E 電流(電子)の流れ
G ゲート
L チャネル長
Q 結晶欠陥
S ソース
W チャネル幅
We 有効チャネル幅
特開2017-005427号公報

Claims (17)

  1. 光を受光する複数の画素と、
    前記画素の信号を処理する信号処理部と、
    を備え、
    前記信号処理部は、前記複数の画素のうち一つの画素からの信号を処理する第一の素子および第二の素子を有し、
    前記第一の素子および前記第二の素子は、何れもトランジスタであり、
    前記第一の素子および前記第二の素子の各トランジスタにおいて電流が実効的に通り得るチャネル幅を有効チャネル幅とすると、前記第一の素子の方が前記第二の素子よりも前記有効チャネル幅が大きい
    ことを特徴とする光電変換素子。
  2. 前記信号処理部は、前記画素の信号を前記画素毎に後段に出力する画素回路であり、
    前記第一の素子および前記第二の素子は、前記画素回路内に構成され、
    前記第一の素子は、前記画素の信号を増幅して後段に出力するソースフォロワの増幅トランジスタであり、
    前記第二の素子は、前記ソースフォロワ以外に用いられているスイッチングトランジスタの何れかである
    ことを特徴とする請求項1記載の光電変換素子。
  3. 前記信号処理部は、前記画素の信号を前記画素毎に後段に出力する画素回路、および、前記画素回路の出力信号を画素群毎に処理して後段に出力する画素群回路を有し、
    前記第一の素子および前記第二の素子は、前記画素群回路内に構成され、
    前記第一の素子は、前記画素回路の信号を増幅して後段に出力するソースフォロワの増幅トランジスタであり、
    前記第二の素子は、前記ソースフォロワ以外に用いられているスイッチングトランジスタの何れかである
    ことを特徴とする請求項1記載の光電変換素子。
  4. 前記信号処理部は、前記画素の信号を前記画素毎に後段に出力する画素回路、および、前記画素回路の出力信号を画素群毎に処理して後段に出力する画素群回路を有し、
    前記第一の素子は、
    前記画素群回路内に構成され、前記画素回路の前記出力信号を増幅して後段に出力するソースフォロワの増幅トランジスタであり、
    前記第二の素子は、
    前記画素回路内に構成され、前記画素の信号を増幅して後段に出力するソースフォロワの増幅トランジスタである
    ことを特徴とする請求項1記載の光電変換素子。
  5. 前記画素が色毎に一次元的に構成されているリニアイメージセンサである
    ことを特徴とする請求項1乃至4のうちの何れか一項に記載の光電変換素子。
  6. 前記第一の素子の入力はフローティング状態となる
    ことを特徴とする請求項2乃至5のうちの何れか一項に記載の光電変換素子。
  7. 前記第一の素子は、前記第二の素子に対して前記チャネル幅を大きくしていることを特徴とする請求項1乃至6のうちの何れか一項に記載の光電変換素子。
  8. 前記第一の素子は、複数のトランジスタ素子を組み合わせることで実効的にチャネル幅を大きくしている
    ことを特徴とする請求項7記載の光電変換素子。
  9. 前記第一の素子および前記第二の素子は、チャネル長とチャネル幅の比が同じである
    ことを特徴とする請求項7または8に記載の光電変換素子。
  10. 前記第一の素子は、前記第二の素子に対してバイアス電流量を大きくしている
    ことを特徴とする請求項4記載の光電変換素子。
  11. 前記第一の素子は、前記第二の素子よりチャネルを埋め込みチャネルとして深く埋め込んでいる
    ことを特徴とする請求項1乃至6のうちの何れか一項に記載の光電変換素子。
  12. 前記第一の素子は、前記画素群回路内に構成され、
    前記第二の素子は、前記画素回路内に構成され、
    1つの前記画素群回路で処理される画素数をkとした場合に、
    前記第一の素子のチャネル幅を前記第二の素子のチャネル幅のk倍以上とする
    ことを特徴とする請求項4記載の光電変換素子。
  13. 前記第一の素子のチャネル幅を前記第二の素子のチャネル幅のk倍とする
    ことを特徴とする請求項12記載の光電変換素子。
  14. 前記第一の素子は、前記画素群回路内に構成され、
    前記第二の素子は、前記画素回路内に構成され、
    前記第一の素子のバイアス電流を前記第二の素子のバイアス電流の2倍以上とする
    ことを特徴とする請求項10記載の光電変換素子。
  15. 前記第一の素子のバイアス電流を前記第二の素子のバイアス電流の2倍とする
    ことを特徴とする請求項14記載の光電変換素子。
  16. 請求項1乃至15のうちの何れか一項に記載の光電変換素子を有する画像読取手段を有する
    ことを特徴とする画像読取装置。
  17. 請求項1乃至15のうちの何れか一項に記載の光電変換素子を有する画像読取手段と、
    前記画像読取手段により読み取られた画像データに基づき画像を形成する画像形成手段とを有する
    ことを特徴とする画像形成装置。
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