JP7145643B2 - 検査治具及び検査方法 - Google Patents
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Description
また、本発明は、制御手段と、保持手段と、加工手段と、撮像手段と、撮像した画像を表示する画面と、を少なくとも備える加工装置における該撮像手段のピクセルサイズを測定するための検査方法であって、表面に幅が異なる複数のパターンと該パターンの幅を記録した二次元コードとを備える検査治具を、該保持手段に保持する保持ステップと、該二次元コードを該撮像手段で読み取り、該パターンの幅を該制御手段に記憶させる読み取りステップと、該パターンと該撮像手段とを平行にする平行合わせステップと、該パターンを撮像して該画面上で該パターンの幅に対応するピクセル数を測定する測定ステップと、該読み取りステップで読み込んだ該パターンの幅を該測定ステップで測定したピクセル数で割ることでピクセルサイズを算出する算出ステップと、を備え、該算出ステップは、各パターンに対応するピクセルサイズを算出し、これら算出したピクセルサイズを平均値とすることを特徴とする。
図1は、実施形態1に係る検査治具が用いられる加工装置の構成例を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係る検査治具の構成例を示す平面図である。図3は、加工装置の制御手段の構成例を示すブロック図である。加工装置1は、被加工物としてのウエーハ200を切削加工して、ウエーハ200を個々のチップに分割する装置である。加工装置1は、図1に示すように、チャックテーブル(保持手段)10と、加工手段20と、門型フレーム30と、加工送り手段40と、割り出し送り手段50と、切り込み送り手段60と、撮像手段70と、表示手段74と、制御手段80とを備えている。
次に、実施形態2に係る検査治具100Aについて説明する。図6は、実施形態2に係る検査治具の構成例を示す平面図である。検査治具100Aは、上記した検査治具100と比較して、平行合わせ用の一対の基準パターン106,106を備えている点で構成を異にする。検査治具100と同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。一対の基準パターン106,106は、同一の大きさで同一の形状(十字形状)に形成されている。一対の基準パターン106,106は、上記した第一パターン102等の長手方向と平行な方向に並べて配置されている。一対の基準パターン106,106は、上記した第一パターン102等と同様に、板体101の表面にエッチング、ダイシングもしくはレーザ加工によって形成される十字溝であり、被覆したクロムが除去されて溝底の石英が露出している。
次に、実施形態3に係る検査治具100Bについて説明する。図7は、実施形態3に係る検査治具の構成例を示す平面図である。この実施形態3では、検査治具100Bは、円板状の板体101Bを備え、この板体101Bの表面に、一対の第一基準パターン107,107と、一対の第二基準パターン108,108とが形成されている。
10 チャックテーブル(保持手段)
20 加工手段
21 切削ブレード
70 撮像手段
71 光学系
72 撮像本体
74 表示手段
75 画面
80 制御手段
81 記憶手段
82 画像読み取り手段
83 測定手段
84 演算手段
100、100A、100B 検査治具
101、101B 板体
102 第一パターン
102a 側壁
103 第二パターン
104 第三パターン
105 二次元コード
106 基準パターン
107 第一基準パターン
108 第二基準パターン
200 ウエーハ
Claims (4)
- 切削ブレードによりウエーハを切削する加工装置の撮像手段のピクセルサイズを測定するための板状の検査治具であって、
表面にパターンと、該パターンの幅を記録した二次元コードと、
を備え、
該パターンの幅は、該ウエーハの加工に使用される切削ブレードの刃幅に合わせて形成されていることを特徴とする検査治具。 - 該パターンは、幅が異なるものが複数形成されていることを特徴とする請求項1に記載の検査治具。
- 制御手段と、保持手段と、加工手段と、撮像手段と、撮像した画像を表示する画面と、を少なくとも備え、切削ブレードによりウエーハを切削する加工装置における該撮像手段のピクセルサイズを測定するための検査方法であって、
表面にパターンと該パターンの幅を記録した二次元コードとを備える検査治具を、該保持手段に保持する保持ステップと、
該二次元コードを該撮像手段で読み取り、該パターンの幅を該制御手段に記憶させる読み取りステップと、
該パターンと該撮像手段とを平行にする平行合わせステップと、
該パターンを撮像して該画面上で該パターンの幅に対応するピクセル数を測定する測定ステップと、
該読み取りステップで読み込んだ該パターンの幅を該測定ステップで測定したピクセル数で割ることでピクセルサイズを算出する算出ステップと、
を備え、
該パターンの幅は、該ウエーハの加工に使用される切削ブレードの刃幅に合わせて形成されていることを特徴とする検査方法。 - 制御手段と、保持手段と、加工手段と、撮像手段と、撮像した画像を表示する画面と、を少なくとも備える加工装置における該撮像手段のピクセルサイズを測定するための検査方法であって、
表面に幅が異なる複数のパターンと該パターンの幅を記録した二次元コードとを備える検査治具を、該保持手段に保持する保持ステップと、
該二次元コードを該撮像手段で読み取り、該パターンの幅を該制御手段に記憶させる読み取りステップと、
該パターンと該撮像手段とを平行にする平行合わせステップと、
該パターンを撮像して該画面上で該パターンの幅に対応するピクセル数を測定する測定ステップと、
該読み取りステップで読み込んだ該パターンの幅を該測定ステップで測定したピクセル数で割ることでピクセルサイズを算出する算出ステップと、
を備え、
該算出ステップは、各パターンに対応するピクセルサイズを算出し、これら算出したピクセルサイズを平均値とする
ことを特徴とする検査方法。
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