JP7036646B2 - 半導体素子用パッケージおよび半導体装置 - Google Patents
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Description
配線6はコプレナ型の伝送線路またはマイクロストリップ線路を形成している。
装置は、いわゆるLN変調器であり、光ファイバを含む通信システムにおいて光電変換用の部品として用いられる。
子3部分でインピーダンスが小さくなり過ぎる可能性が効果的に低減されている。
、絶縁板2の用途または収容部1aaの形状および寸法等に応じて適宜設定されて構わない。また、絶縁板2は、平板状でもよく、上面、下面および側面等の外表面に、段状の部分または湾曲した部分等を有していてもよい。
生じるときには、ガラスまたは金属材料(ろう材)等で隙間を塞いで、収容部1aa内の気密性を確保する。
の金属材料からなる。例えば、ピン端子3が鉄-ニッケル-コバルト合金からなる場合は、この合金の原材料に打ち抜き、圧延、研磨およびエッチング等の金属加工方法から適宜選択した加工を施すことによって、ピン端子3を製作することができる。
ングワイヤ13等によって信号配線4、第1接地配線5および第2接地配線6の、それぞれ対応する配線に電気的に接続される。
距離は適宜設定することができるが、第1接地配線5の延在部分とピン端子3との間の距離が、第1接地配線5および第2接地配線6のそれぞれと信号配線4との間の距離以上であるときには、次のような点で有利である。
様の符号を付している。
3とを電気的に接続するためにピン端子3の平面視における壁部分1aからの突出長さを350μmとして、それぞれ設定した。シミュレーションは、Sパラメータにより、S11、
S33、S55に関して行ない、50GHz以下の周波数(Frequency)における周波数に対す
る反射損失(Return Loss)の変化をシミュレータにより解析し、グラフ化した。
との電気的な接続が容易になる。
1a・・壁部分
1aa・・収容部
1b・・貫通孔
1c・・台座
2・・絶縁板
3・・ピン端子
4・・信号配線
5・・第1接地配線
5A・・接地層
6・・第2接地配線
7・・貫通導体
8・・溝部
10・・半導体素子用パッケージ
11・・半導体素子
12・・蓋体
20・・半導体装置
Claims (6)
- 壁部分で囲まれた半導体素子の収容部を有する基体と、
該基体の前記壁部分の内側面に隣接して位置する絶縁板と、
前記壁部分から突出するとともに、前記絶縁板の表面に位置するピン端子と、
前記絶縁板の表面に位置しており、前記ピン端子と接続された端部を有する信号配線と、前記絶縁板の表面に、前記信号配線を挟んで、該信号配線と間隔をあけて位置している第1接地配線および第2接地配線とを備えており、
前記第1接地配線のみが、前記ピン端子と隣り合う位置まで延在している半導体素子用パッケージ。 - それぞれ2つ以上の前記ピン端子および前記信号配線が、前記壁部分の前記内側面に沿って互いに並んで位置しており、
互いに隣り合う2つの前記信号配線の間において互いに隣り合って位置する2つ以上の前記第1接地配線を備えている請求項1記載の半導体素子用パッケージ。 - 互いに隣り合う2つの前記第1接地配線が、前記絶縁板のうち前記壁部分と反対側の外周部分において合流して1つの接地層になっている請求項2記載の半導体素子用パッケージ。
- 平面視において、前記第1接地配線の延在部分と前記信号配線の前記端部との間の距離が、前記第1接地配線および前記第2接地配線のそれぞれと前記信号配線のうち前記第1接地配線および前記第2接地配線で挟まれた部分との間の距離以上の大きさである請求項1~請求項3のいずれか1項記載の半導体素子用パッケージ。
- 前記絶縁板が、前記壁部分に隣接した部分において前記表面から前記内側面に沿って伸びる溝部を有しており、
前記第1接地配線の前記壁部分側の端部が前記溝部内まで延在している請求項1~請求項4のいずれか1項記載の半導体素子用パッケージ。 - 請求項1~請求項5のいずれか1項記載の半導体素子用パッケージと、
前記収容部に収容された半導体素子とを備える半導体装置。
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