JP2000141270A - 多関節型ロボット - Google Patents

多関節型ロボット

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JP2000141270A
JP2000141270A JP10315887A JP31588798A JP2000141270A JP 2000141270 A JP2000141270 A JP 2000141270A JP 10315887 A JP10315887 A JP 10315887A JP 31588798 A JP31588798 A JP 31588798A JP 2000141270 A JP2000141270 A JP 2000141270A
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Yukiaki Suzuki
志秋 鈴木
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 多関節型ロボットにおいてアーム内からの粉
塵の発生防止と、アーム内への粉塵侵入を防止する機能
を実現する。 【解決手段】 本発明は、多関節ロボットにおける構造
を中空構造にし、アーム全体で一つの密閉構造をとるこ
とにより空気の流路を確保できることを利用して、アー
ム内で発生する粉塵をクリーンルーム外へ排出すること
が可能となる。また、２つ以上の開口部を設けることで
アーム内の圧力レベルを制御し、多関節型ロボットの摺
動部にある減速機や軸受けに影響を及ぼさないで、アー
ム動作時に発生する摺動部の粉塵や潤滑剤の蒸発気体が
アーム外へ流出するのを防止することが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム内
などで作業が行える多関節型ロボットに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーンルーム内で作業をする産
業用のロボットとしては直交ロボットを用いており、そ
れに対して、多関節型ロボットは用いられていなかっ
た。
【０００３】図３に従来の多関節型ロボットの断面図を
示す。このような従来の多関節型ロボットには各所に開
口部５１〜５５があった。したがって、この従来形態の
多関節型ロボットをクリーンルーム内での作業に使用す
る場合には、マニピュレータを動作させたときにアーム
内に付着した粉塵が、アームの開口部や隙間から外部に
流出しないようにする必要があり、また、多関節型ロボ
ットにある軸と軸の境界で構造上必要となる摺動部から
は、その近傍に存在する軸受や減速機の潤滑剤から発生
する、気化した油分や細粒化した粉塵が流出するので、
この対策を行う必要があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の多関
節型ロボットでは、その構造上、クリーンルーム内での
作業用に付加部品を追加して粉塵をアームから出さない
ようにする密閉構造とするには大きな設計変更を伴うこ
とと、設計変更により追加される部品でアーム周辺のサ
イズが大きくなり、アーム全体として重量増加やサイズ
アップとなるので、コストが大幅にアップするというデ
メリットがあった。
【０００５】本発明は上記課題を解決するもので、簡単
な構成で、粉塵の流出を防止できる多関節型ロボットを
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の本発明は、複数のアームと、前記アー
ムを駆動する駆動源と、前記駆動源を内部に配置しアー
ム内部と外部とを遮蔽するアームカバーと、各アームカ
バー間を空間的に連通する連通孔と、外部に開口した少
なくとも二つの開口部を設け、開口部の一方にアームカ
バー内部から空気を吸引する吸引手段を設けた多関節型
ロボットである。
【０００７】請求項２記載の発明は、複数のアームと、
前記アームを駆動する駆動源と、前記駆動源を内部に配
置しアーム内部と外部とを遮蔽するアームカバーと、各
アームカバー間を空間的に連通する連通孔と、外部に開
口した少なくとも二つの開口部を設け、開口部の一方に
アームカバー内部から空気を挿入する送風手段を設けた
多関節型ロボットである。
【０００８】請求項３記載の発明は、開口部の少なくと
も一方の管路断面積を変更することで流路抵抗を変化さ
せた請求項１または２記載の多関節型ロボットである。
【０００９】請求項４記載の発明は、アームの可動部に
パッキンを設けた請求項１から３の何れかに記載の多関
節型ロボットである。
【００１０】請求項５記載の発明は、一方の開口部を基
台側のアームに設け、他方の開口部を異なるアームに設
けた請求項１から４の何れかに記載の多関節型ロボット
である。
【００１１】請求項６記載の発明は、他方の開口部を先
端側のアームに設けた請求項１から５の何れかに記載の
多関節型ロボットである。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明においては、ロボットを開
発する段階から密閉構造が容易にとれるようにアームを
中空化し、多関節ロボットにおける各軸の摺動部にシー
ルパッキンが装着できる構造としておくことで、アーム
内を密閉したロボットを容易に構築することができる。
【００１３】また、密閉空間内の圧力を制御するため
に、ロボット本体の基台後部から内部空気を吸引するた
めの開口部を設けておくことで、空気の吸引がいつでも
容易に実施できる構造としておく。
【００１４】この場合、密閉構造で連続的に空気を吸引
するアーム内の負圧レベルが過度に上昇し、摺動部近傍
にある軸受や減速機の精密歯車部に直接空気が通過する
こととなる。軸受や減速機に直接外気が通過すると、潤
滑が必要な部分の潤滑剤の流出や潤滑剤の酸化が促進さ
れるので、潤滑性能の低下及び外気に含まれる粉塵によ
る磨耗などの悪影響が考えられる。
【００１５】したがって、そのような悪影響を防止する
ために、本発明では基台部に内部空気を吸引する開口部
を設けるとともに、アームの中間部にフィルターを取り
付けた第２の開口部を設ける。この第２の開口部から密
閉空間の圧力が外気と比べて過度とならないようにフィ
ルターを通して外気流入が行われる。この機能により、
前記基台の開口部から一定量の空気を吸引する場合、ア
ーム部の第２の開口部からほぼ同量の空気が流入する。
このとき、フィルターの流路抵抗により外気に対して僅
かな一定負圧を保ちながら空気の流れを制御することが
できる。
【００１６】この外気に対して僅かな負圧がアーム内の
粉塵がアーム外に流出することなく基台の開口部からク
リーンルーム外に排出される。
【００１７】また、第２の開口部の管路断面積を変更す
ることで流路抵抗を変化させ負圧のレベルを容易にコン
トロールすることができ、ロボット本体の摺動部である
軸受や減速機に悪影響を及ぼすことなく、粉塵がアーム
外に流出することが非常に少ない多関節型ロボットの清
浄度レベルを飛躍的に向上させることができる。
【００１８】したがって、本発明は、上記構成の中空構
造及び密閉空間を実現でき、空気流路を新たに設ける必
要が無いのでコストアップを低く抑えることができる。
【００１９】さらに、本発明によれば、前記空気流路を
利用してアーム内の圧力レベルを制御することができる
ので、アーム内の圧力を負圧にした場合、粉塵の発生が
非常に少ない多関節型ロボットを実現できる。
【００２０】また、前記アーム内負圧レベルを最適にす
ることで、多関節型ロボットの重要部品である減速機や
軸受に影響度の少ないロボットを実現することができ
る。
【００２１】（実施の形態）以下、本発明の実施の形態
例を図面を参照しながら説明する。
【００２２】図１は、本発明の一実施の形態における多
関節型ロボットの外形図である。ロボット本体の基台１
後端部には開口部２を設けている。アーム３の中間部に
は第２の開口部４、フィルター５が取付られている。ま
た、図２は本発明の一実施の形態における多関節型ロボ
ットの断面図で、手首部、アーム部、基台部がそれぞれ
図に示すハッチング部のように中空の構造となってい
る。この中空構造の各部が相隣り合うそれぞれの摺動部
には、図１に示す各摺動部ごとにシールパッキン６〜１
１を装着することで密閉構造となっている。また、手首
先端のモータ１２から信号接続用コネクタ１３まで各回
転軸のモータに接続される信号線１４は中空のダクトや
チューブによりアーム内に設置されている。このよう
に、アーム内はハーネスが通る経路であるとともに密閉
空間における空気流路となっている。そのために、基台
１後端に設けた開口部２から吸引ポンプ１５を用いてア
ーム内空気を吸引することで、その経路途中にある第２
の開口部４までの空気の流路ａ〜ｇが確保される。
【００２３】この空気の流路は吸引ポンプ１５を用いて
一定の流量の空気を吸引する限り、第２の開口部４から
基台の開口部２に向かう一定の流量での空気経路とな
る。そのときに第２の開口部４で発生するフィルター５
による流路抵抗によりアーム内は外気に比べて負圧にな
る。その負圧は密閉空間内では一様に発生し、摺動部や
アームの嵌合部に存在する僅かな隙間でアーム内に吸い
込む力を常に発生させることにより、アーム内の粉塵や
摺動部で発生する粉塵を外部に流出させること無く基台
１の開口部２からクリーンルーム外に排出することが可
能となる。
【００２４】なお、実施例はクリーンルーム内で作業す
る産業用ロボットについて説明したが、他の用途として
は、清浄な環境に保つ必要があるような食品関係の作業
や医療機器関係の作業ロボットとしても適用できる。
【００２５】また、他の用途として粉塵が非常に多い悪
環境下で作業するロボットの場合は次のような方法で対
応が可能となる。
【００２６】なお、別の実施の形態としては、例えば、
吸引ポンプ１５の代わりに送風機を設け、ロボット本体
の基台１の開口部２から空気を送気し、アーム内の密閉
空間を通る流路を利用して第２の開口部４から空気を排
出し、アーム内を正圧にすることでアーム外からの粉塵
が軸受や減速機に流入するのを防止し、多関節型ロボッ
トの寿命低下を防止することが可能となるものもある。
【００２７】
【発明の効果】以上に記載したことから明らかなように
本発明は、多関節ロボットにおける構造を中空構造に
し、アーム全体で一つの密閉構造をとることにより空気
の流路を確保できることを利用して、アーム内で発生す
る粉塵をクリーンルーム外へ排出することが可能とな
る。
【００２８】また、２つ以上の開口部を設けることでア
ーム内の圧力レベルを制御し、多関節型ロボットの摺動
部にある減速機や軸受けに影響を及ぼさないで、アーム
動作時に発生する摺動部の粉塵や潤滑剤の蒸発気体がア
ーム外へ流出するのを防止することが可能となる。
【００２９】以上のような特徴のある構造のロボットの
アーム内の圧力を制御することで、高品質な製品を生産
する清浄度の高いクリーンルームでの作業の自動化が可
能となる多関節型ロボットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態における多関節型ロボッ
トの外形図
【図２】本発明の一実施の形態における多関節型ロボッ
トの断面図
【図３】従来形態の多関節型ロボットの断面図
【符号の説明】
１ 基台 ２ 開口部 ３ アーム ４ 第２の開口部 ５ フィルター １４ 信号線 １５ 吸引ポンプ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数のアームと、前記アームを駆動する
    駆動源と、前記駆動源を内部に配置しアーム内部と外部
    とを遮蔽するアームカバーと、各アームカバー間を空間
    的に連通する連通孔と、外部に開口した少なくとも二つ
    の開口部を設け、開口部の一方にアームカバー内部から
    空気を吸引する吸引手段を設けた多関節型ロボット。
  2. 【請求項２】 複数のアームと、前記アームを駆動する
    駆動源と、前記駆動源を内部に配置しアーム内部と外部
    とを遮蔽するアームカバーと、各アームカバー間を空間
    的に連通する連通孔と、外部に開口した少なくとも二つ
    の開口部を設け、開口部の一方にアームカバー内部から
    空気を挿入する送風手段を設けた多関節型ロボット。
  3. 【請求項３】 開口部の少なくとも一方の管路断面積を
    変更することで流路抵抗を変化させた請求項１または２
    記載の多関節型ロボット。
  4. 【請求項４】 アームの可動部にパッキンを設けた請求
    項１から３の何れかに記載の多関節型ロボット。
  5. 【請求項５】 一方の開口部を基台側のアームに設け、
    他方の開口部を異なるアームに設けた請求項１から４の
    何れかに記載の多関節型ロボット。
  6. 【請求項６】 他方の開口部を先端側のアームに設けた
    請求項１から５の何れかに記載の多関節型ロボット。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006093133A1 (ja) * 2005-02-28 2006-09-08 Nidec Sankyo Corporation ロボットアーム及びロボット
CN109571430A (zh) * 2017-09-29 2019-04-05 精工爱普生株式会社 机器人
WO2020136891A1 (ja) * 2018-12-28 2020-07-02 ヤマハ発動機株式会社 多関節ロボット
CN112591450A (zh) * 2020-12-16 2021-04-02 宁波职业技术学院 一种塑料机材料的夹持机械手
JP2021522996A (ja) * 2018-05-03 2021-09-02 ファナック アメリカ コーポレイション ロボットを用いた塗装ブース及び操作方法

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3734135B2 (ja) * 1999-08-03 2006-01-11 株式会社不二越 産業用ロボットの手首装置
JP2001300883A (ja) * 2000-04-20 2001-10-30 Kawasaki Heavy Ind Ltd ロボット
US6543307B2 (en) * 2001-04-06 2003-04-08 Metrica, Inc. Robotic system
TW490787B (en) * 2001-07-10 2002-06-11 Asm Assembly Automation Ltd High speed pick and place apparatus
WO2003067341A2 (en) * 2002-02-06 2003-08-14 The Johns Hopkins University Remote center of motion robotic system and method
AU2003207811A1 (en) * 2002-02-15 2003-09-09 The John Hopkins University System and method for laser based computed tomography and magnetic resonance registration
WO2003091839A2 (en) * 2002-04-25 2003-11-06 The John Hopkins University Robot for computed tomography interventions
DE10357609A1 (de) * 2003-12-10 2005-07-21 Kuka Roboter Gmbh Handhabungsgerät wie Industrieroboter und Verfahren zum Beeinflussen einer Umgebungsbedingung in einem solchen
JP4225208B2 (ja) * 2004-01-26 2009-02-18 澁谷工業株式会社 アイソレータシステム
US7255747B2 (en) 2004-12-22 2007-08-14 Sokudo Co., Ltd. Coat/develop module with independent stations
US7819079B2 (en) 2004-12-22 2010-10-26 Applied Materials, Inc. Cartesian cluster tool configuration for lithography type processes
US7798764B2 (en) 2005-12-22 2010-09-21 Applied Materials, Inc. Substrate processing sequence in a cartesian robot cluster tool
US7651306B2 (en) * 2004-12-22 2010-01-26 Applied Materials, Inc. Cartesian robot cluster tool architecture
EP1846196B1 (en) * 2005-02-11 2010-12-29 Abb Ab An industrial robot with several axes, with multistage transmission gears and prepared for working in an aggressive and limited working area
JP2008238320A (ja) * 2007-03-27 2008-10-09 Fanuc Ltd 作業ツールを備えたロボット
US20090084927A1 (en) * 2007-09-27 2009-04-02 Fanuc Ltd Industrial robot
CN101980837B (zh) * 2008-04-07 2015-04-01 株式会社安川电机 机器人机械手以及机器人***
JP5499647B2 (ja) * 2009-11-10 2014-05-21 株式会社安川電機 ロボット及びロボットシステム
CN102079089A (zh) * 2009-11-30 2011-06-01 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 机器人
CN102114629B (zh) * 2009-12-30 2014-06-25 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 机器人结构
JP5457922B2 (ja) * 2010-04-14 2014-04-02 株式会社ダイヘン 産業用ロボット
CN102452079A (zh) * 2010-10-27 2012-05-16 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 机器人臂部件
TWI462813B (zh) * 2010-10-29 2014-12-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 機器人臂部件
JP5488494B2 (ja) * 2011-02-23 2014-05-14 株式会社安川電機 ロボットシステム
CN103120992A (zh) * 2011-11-18 2013-05-29 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 机器人臂部件
DE102013206791A1 (de) * 2013-04-16 2014-10-16 Kuka Roboter Gmbh Industrieroboter mit einer an einem Armausleger angeordneten Antriebsanordnung
US9079316B1 (en) * 2014-01-04 2015-07-14 Hiwin Technologies Corp. Length-adjustable mechanical arm
DE102015113467A1 (de) * 2015-08-14 2017-02-16 Sami Haddadin Roboterarm und Roboterhandgelenk
DE202016005868U1 (de) 2016-09-23 2016-11-11 Kuka Roboter Gmbh Manipulatorsystem mit Mitteln zur Erzeugung eines Luftstroms
CN110202611B (zh) * 2018-02-28 2023-07-11 精工爱普生株式会社 机器人
CN109127630A (zh) * 2018-09-29 2019-01-04 武汉华星光电技术有限公司 清洁***
CN111283724A (zh) * 2018-12-10 2020-06-16 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种前置驱动型机器人关节
CN116261504A (zh) * 2020-09-07 2023-06-13 Abb瑞士股份有限公司 用于改善机器人的清洁度的装置以及相关联的机器人
WO2022061589A1 (en) * 2020-09-23 2022-03-31 Abb Schweiz Ag Robot arm assembly and robot
CN112792841B (zh) * 2021-01-13 2021-09-17 河南理工大学 一种智能控制可移动式机械手臂

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6114889A (ja) * 1984-06-29 1986-01-23 フアナツク株式会社 内圧防爆構造の電動式産業用ロボツト
JPS60127996A (ja) * 1983-12-15 1985-07-08 松下電器産業株式会社 工業用ロボツトの塵埃飛散防止装置
JPS6133890A (ja) * 1984-07-26 1986-02-17 松下電器産業株式会社 工業用ロボツト
US4984745A (en) * 1985-01-22 1991-01-15 Gmf Robotics Corporation Electric robot for use in a hazardous location
US4668146A (en) * 1985-10-25 1987-05-26 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho Explosion proof construction of motor robot
JPS6365973A (ja) * 1986-09-05 1988-03-24 Hitachi Ltd ロボツト装置
JPH01240291A (ja) * 1988-03-22 1989-09-25 Texas Instr Japan Ltd ロボット
JPH058194A (ja) 1991-07-02 1993-01-19 Sony Corp 直交型ロボツトの集塵構造
US5440916A (en) * 1993-11-15 1995-08-15 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronatics And Space Administration Emergency response mobile robot for operations in combustible atmospheres
JP3799581B2 (ja) * 1996-04-09 2006-07-19 旭硝子株式会社 ガラス成形装置
CA2213287A1 (en) * 1997-08-18 1999-02-18 Clement Tessier Apparatus for shielding an articulated structure

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006093133A1 (ja) * 2005-02-28 2006-09-08 Nidec Sankyo Corporation ロボットアーム及びロボット
JP7027775B2 (ja) 2017-09-29 2022-03-02 セイコーエプソン株式会社 ロボット
CN109571430A (zh) * 2017-09-29 2019-04-05 精工爱普生株式会社 机器人
JP2019063941A (ja) * 2017-09-29 2019-04-25 セイコーエプソン株式会社 ロボット
CN109571430B (zh) * 2017-09-29 2023-08-15 精工爱普生株式会社 机器人
JP7389755B2 (ja) 2018-05-03 2023-11-30 ファナック アメリカ コーポレイション ロボットを用いた塗装ブース及び操作方法
JP2021522996A (ja) * 2018-05-03 2021-09-02 ファナック アメリカ コーポレイション ロボットを用いた塗装ブース及び操作方法
DE112018008229T5 (de) 2018-12-28 2021-09-23 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Gelenkroboter
JPWO2020136891A1 (ja) * 2018-12-28 2021-09-27 ヤマハ発動機株式会社 多関節ロボット
JP7140846B2 (ja) 2018-12-28 2022-09-21 ヤマハ発動機株式会社 多関節ロボット
WO2020136891A1 (ja) * 2018-12-28 2020-07-02 ヤマハ発動機株式会社 多関節ロボット
CN112591450B (zh) * 2020-12-16 2022-07-08 宁波职业技术学院 一种塑料机材料的夹持机械手
CN112591450A (zh) * 2020-12-16 2021-04-02 宁波职业技术学院 一种塑料机材料的夹持机械手

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US6267022B1 (en) 2001-07-31

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