JP6956788B2 - 基板処理方法及び基板処理システム - Google Patents
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Description
図1〜図13を参照して実施形態を説明する。なお、以下の説明において、X方向、Y方向、Z方向は互いに垂直な方向であり、X方向およびY方向は水平方向、Z方向は鉛直方向である。鉛直軸を回転中心とする回転方向をθ方向とも呼ぶ。
図1は、実施形態に係る基板処理システム1を示す平面図である。基板処理システム1は、基板10のダイシング、基板10の薄板化、基板10へのDAFの付着、チップ同士の間隔の拡大、基板10のマウントなどを行う。基板処理システム1は、搬入出ステーション20と、処理ステーション30と、制御装置90とを備える。
図2は、基板処理システム1による処理後の基板10を示す斜視図である。基板10は、ダイシング、薄板化、DAF15の付着、チップ13の間隔の拡大などの処理を施されたうえで、粘着テープ51を介してフレーム59に装着される。
図3は、支持基板接着部40において基板10に支持基板41が装着された状態を示す図である。支持基板接着部40は、基板処理システム1による処理前の基板10に支持基板41を接着する。基板10は、例えばシリコンウェハや化合物半導体ウェハなどの半導体基板や、サファイア基板などである。処理前の基板10の第1主表面11は、格子状に形成された複数のストリートで区画され、区画される領域には予め素子、回路、端子などを含むデバイス層14が形成されている。
図4は、ダイシング部100を示す図である。ダイシング部100は、基板10のダイシングを行う。ここで、基板10のダイシングとは、基板10を複数のチップ13に分割するための加工を意味し、特に本実施形態では、図4に示すようにレーザ光を用いて基板10の内部に破断の起点となる改質層16を形成するステルスダイシング(SD)を行う。ダイシング部100は、例えば、基板保持部110と、基板加工部120と、移動機構部130とを有する。
薄板化部200(図1参照)は、ダイシングされた基板10の支持基板41で保護されている第1主表面11とは反対側の第2主表面12を加工することにより、基板10を薄板化する。ダイシング部100で分割の起点(改質層16)を形成する場合、薄板化の過程で基板10に加工応力が作用することにより、分割の起点から板厚方向にクラックが進展し、基板10が複数のチップ13に分割される。薄板化部200は、例えば図1に示すように、回転テーブル201と、基板吸着部としてのチャックテーブル202と、粗研削部210と、仕上げ研削部220と、ダメージ層除去部230とを有する。
図6は、DAF付着部300を示す図である。DAF付着部300は、薄板化された基板10の第2主表面12に、DAF15を付着する。例えば、DAF付着部300は、薄板化された基板10の第2主表面12に、DAF15の材料を含むDAF用塗布液を塗布するDAF塗布部310を有する。DAF塗布部310は、例えばDAF用塗布液を吐出するノズルなどで構成される。
図7は、DAF分割加工部400を示す図である。DAF分割加工部400は、チップ13同士の境界線に沿って、DAF15の分割加工を行う。ここで、DAF15の分割加工とは、DAF15を分割するための加工を意味し、DAF15を分割すること、DAF15に分割の起点を形成することを含む。DAF分割加工部400は、例えば、基板保持部410と、DAF加工部420と、移動機構部430とを有する。
図8は、粘着テープ付着部510における基板10および支持基板41の状態を示す図である。粘着テープ付着部510は、DAF15を付着された基板10の第2主表面12に粘着テープ51を付着する。粘着テープ付着部510は、例えば図8に示すように、粘着テープ51の粘着面を上方に向けて台などに載置して、基板10の第2主表面12に付着されたDAF15の表面を粘着テープ51の粘着面と貼りあわせることによって、粘着テープ51を基板10の第2主表面12側に付着させる。この場合、図8に示すように、基板10の支持基板41で保護されている第1主表面11が上面とされ、基板10のDAF15と付着された第2主表面12が下面とされる。
図9は、支持基板剥離部520における基板10および支持基板41の状態を示す図である。支持基板剥離部520は、支持基板41を基板10から剥離する。基板10を構成する複数のチップ13同士の間隔を広げるときに、支持基板41が妨げとなることを防止できる。
図10は、エキスパンド部530を示す図である。エキスパンド部530は、DAF15を付着された基板10を構成する複数のチップ13同士の間隔を広げる。チップ13同士の間隔を広げることにより、搬送時やピックアップ時のチッピングを抑制できる。
図11は、マウント部540を示す図である。マウント部540は、チップ13同士の間隔が広げられた基板10を、DAF15および粘着テープ51を介してフレーム59に装着する。
図12は、洗浄部600における基板10の状態を示す図である。洗浄部600は、支持基板41を剥離された基板10の第1主表面11を洗浄する。これにより、第1主表面11に残存していた接着層42が除去される。
次に、上記構成の基板処理システム1を用いた基板処理方法について説明する。図13は、実施形態に係る基板処理方法のフローチャートである。
図14を参照して上記実施形態の変形例を説明する。図14に示すように、基板10の第1主表面11に形成されるデバイス層14に、バンプ14aが設けられる場合がある。
10 基板
11 第1主表面
12 第2主表面
13 チップ
14 デバイス層
14a バンプ
15 DAF(Die Attach Film)
41 支持基板
42 接着層
51 粘着テープ
59 フレーム
S102 支持基板接着工程
S103 ダイシング工程
S104 薄板化工程
S105 DAF付着工程
S106 DAF分割加工工程
S107 テープ付着工程
S108 支持基板剥離工程
S109 エキスパンド工程
S110 マウント工程
S111 テープ切断工程
S112 洗浄工程
40 支持基板接着部
100 ダイシング部
200 薄板化部
300 DAF付着部
400 DAF分割加工部
510 粘着テープ付着部
520 支持基板剥離部
530 エキスパンド部
540 マウント部
Claims (10)
- 基板のデバイス層が形成される側の第1主表面に支持基板を接着する支持基板接着工程と、
前記支持基板接着工程にて前記支持基板を接着された前記第1主表面とは反対側の第2主表面から前記基板の内部に破断の起点となる改質層を形成するダイシング工程と、
前記ダイシング工程が行われた前記基板の前記第2主表面を研削して前記基板を薄板化する薄板化工程と、
前記薄板化工程にて薄板化され前記支持基板に接着されている前記基板の前記第2主表面にDAF(Die Attach Film)を付着するDAF付着工程と、
前記DAF付着工程の後に、前記基板を構成する複数のチップ同士の境界に沿って前記支持基板に接着されている前記基板に付着された前記DAFを分割加工するDAF分割加工工程と、
前記支持基板に接着されている前記基板に付着された前記DAFに、粘着テープを付着するテープ付着工程と、
前記テープ付着工程の後、前記基板から前記支持基板を剥離する支持基板剥離工程と、
を有する基板処理方法。 - 前記支持基板剥離工程の後に、前記DAFが分割された前記基板を構成する複数のチップ同士の間隔を、前記粘着テープを延伸することにより広げるエキスパンド工程と、
前記エキスパンド工程にて前記チップ同士の間隔が広げられた前記基板を、前記粘着テープを介してフレームに装着するマウント工程と、
を有する、請求項1に記載の基板処理方法。 - 前記DAF分割加工工程において、前記DAFにレーザ光線を照射して前記DAFを分割加工する、
請求項1または2に記載の基板処理方法。 - 前記マウント工程の後に、前記フレームに装着されない前記粘着テープの余剰部分を切断するテープ切断工程を有する、
請求項2に記載の基板処理方法。 - 前記マウント工程の後に、前記支持基板を剥離された前記基板の前記第1主表面を洗浄する洗浄工程を有する、
請求項2に記載の基板処理方法。 - 前記基板の前記第1主表面にバンプが設けられ、
前記支持基板接着工程では、前記基板の前記第1主表面に接着剤を塗布し、前記バンプの高さより大きく接着層を形成し、前記接着層により前記支持基板を前記基板に接着する、
請求項1〜5のいずれか1項に記載の基板処理方法。 - デバイス層が形成される側の第1主表面に支持基板が接着され、前記第1主表面とは反対側の第2主表面から内部に破断の起点となる改質層を形成することが行われた後に前記第2主表面を研削して薄板化された基板について、前記支持基板を保持し、前記支持基板に接着されている前記基板の前記第2主表面にDAF(Die Attach Film)を付着するDAF付着部と、
前記DAF付着部にて前記DAFが付着された前記基板を構成する複数のチップ同士の境界に沿って、前記支持基板に接着されている前記基板に付着された前記DAFを分割加工するDAF分割加工部と、
前記支持基板に接着されている前記基板の前記第2主表面に付着された前記DAFに、粘着テープを付着する粘着テープ付着部と、
前記DAF付着部と、前記DAF分割加工部と、前記粘着テープ付着部との間で、前記支持基板に接着されている前記基板を搬送する搬送装置と、
前記粘着テープ付着部にて前記粘着テープが付着された前記基板から前記支持基板を剥離する支持基板剥離部と、
を備える基板処理システム。 - 前記支持基板剥離部にて前記支持基板が剥離された前記基板を構成する複数のチップ同士の間隔を、前記粘着テープを延伸することにより広げるエキスパンド部と、
前記エキスパンド部にて前記チップ同士の間隔が広げられた前記基板を、前記粘着テープを介してフレームに装着するマウント部と、
を備える、請求項7に記載の基板処理システム。 - 前記基板の前記第1主表面に前記支持基板を接着する支持基板接着部と、
前記支持基板接着部にて前記支持基板を接着されている前記基板の前記第2主表面から前記基板の内部に破断の起点となる改質層を形成するダイシング部と、
前記ダイシング部にて前記改質層が形成された前記基板の前記第2主表面を研削して前記基板を薄板化する薄板化部と、
を備える、請求項7または8に記載の基板処理システム。 - 前記DAF分割加工部が、前記DAFにレーザ光線を照射して前記DAFを分割加工する、
請求項7〜9のいずれか1項に記載の基板処理システム。
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