JP6956030B2 - 検査システム - Google Patents
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Description
Claims (10)
- 各々がプローブカード及びテストヘッドを含む複数のテスタを有し、前記複数のテスタをそれぞれ収容可能な複数の検査室を提供する検査モジュールと、
前記複数の検査室に接続可能なアライメント空間内に設けられたアライナを有するアライメントモジュールであり、該アライナは、検査される基板の位置を、前記複数のテスタのうち前記アライメント空間内に収容されたテスタに対して調整するように構成された、該アライメントモジュールと、
前記複数のテスタのうち前記アライメント空間内に収容された前記テスタを下方から支持するように構成された支持機構と、
前記アライメント空間内に収容された前記テスタを前記アライナに対して位置決めして、該テスタを前記支持機構と協働して固定するように構成された固定機構と、
を備え、
前記複数のテスタの各々には、上に開口した第1の穴及び第2の穴が設けられており、
前記固定機構は、
前記アライメント空間内に収容された前記テスタを前記アライナに対して位置決めするために、前記第1の穴及び前記第2の穴にそれぞれ挿入可能な第1のピン及び第2のピンと、
前記第1のピン及び前記第2のピンを昇降させるように構成された昇降機構と、
を有する、
検査システム。 - 前記第1の穴及び前記第2の穴は、互いの間に所定の距離を有し、
前記第1の穴と前記第2の穴とが配列されている方向は、前記複数のテスタの各々が前記複数の検査室のうち対応の検査室と前記アライメント空間との間で搬送される搬送方向に対して所定の角度をなして傾斜している、
請求項1に記載の検査システム。 - 前記第1の穴は、円形の穴であり、前記第2の穴は、長穴であり、
前記第2の穴の長軸は、前記第1の穴の中心と前記第2の穴の中心とを含む直線上で延びる、請求項2に記載の検査システム。 - 前記第1の穴及び前記第2の穴の各々の開口端部はテーパー面によって画成されており、
前記第1の穴を画成する前記テーパー面に前記第1のピンが当接し、前記第2の穴を画成する前記テーパー面に前記第2のピンが当接することにより、前記アライメント空間内に収容された前記テスタが前記アライナに対して位置決めされる、
請求項3に記載の検査システム。 - 前記支持機構は、前記アライメント空間内に収容された前記テスタがその上で摺動可能であるよう、該テスタを支持する、請求項1〜4の何れか一項に記載の検査システム。
- 前記支持機構は、複数のカムフォロア又は複数のボールトランスファユニットを含む、請求項5に記載の検査システム。
- 前記アライメント空間内に収容された前記テスタが前記支持機構によって水平に支持されているか否かを検出するためのセンサを更に備える、請求項1〜6の何れか一項に記載の検査システム。
- 前記複数のテスタの各々を、前記複数の検査室のうち対応の検査室から前記アライメント空間に搬送して、該アライメント空間内で前記アライナ上に配置する搬送機構を更に備える、請求項1〜7の何れか一項に記載の検査システム。
- 前記複数の検査室は、前記アライメント空間に対して両側に設けられており、
前記搬送機構は、
前記複数のテスタのうち前記アライメント空間に対して一方側に配置されているテスタを把持するよう構成された第1のクランプと、
前記複数のテスタのうち前記アライメント空間に対して他方側に配置されているテスタを把持するよう構成された第2のクランプと、
前記第1のクランプを、前記アライメント空間から前記一方側に向かう方向及びその反対方向で移動させるよう構成された第1の移動機構と、
前記第2のクランプを、前記アライメント空間から前記他方側に向かう方向及びその反対方向で移動させるよう構成された第2の移動機構と、
を有する、請求項8に記載の検査システム。 - 前記複数の検査室は、前記アライメント空間に対して両側に設けられており、
前記搬送機構は、
前記複数のテスタのうち前記アライメント空間に対して一方側に配置されているテスタを把持するよう構成された第1のクランプと、
前記複数のテスタのうち前記アライメント空間に対して他方側に配置されているテスタを把持するよう構成された第2のクランプと、
前記第1のクランプ及び前記第2のクランプの双方を、前記一方側から前記他方側に向かう方向及びその反対方向に移動させるよう構成された移動機構と、
を有する、請求項8に記載の検査システム。
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