JP2011100884A - 基板搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 直線上に配設された偶数台のプローブ検査室と、プローブ検査室の列の前方をこの列と平行に移動し、収納容器から取出した被検査基板をプローブ検査室内へ搬送する搬送機構を有するローダ室とを備え、プローブ検査室内に設けられた載置台に載置された被検査基板上の電極パッドと、プローブカードのプローブとを接触させて、被検査基板の被検査チップの電気的特性を測定するプローブ装置における基板搬送方法において、搬送機構を移動させて、隣接する2つのプローブ検査室の略中央正面位置に搬送機構を停止させ、この搬送機構によって2つのプローブ検査室に被検査基板を搬入または搬出する。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- 直線上に配設された偶数台のプローブ検査室と、
前記プローブ検査室の列の前方をこの列と平行に移動し、収納容器から取出した被検査基板を前記プローブ検査室内へ搬送する搬送機構を有するローダ室とを備え、
前記プローブ検査室内に設けられた載置台に載置された被検査基板上の電極パッドと、プローブカードのプローブとを接触させて、前記被検査基板の被検査チップの電気的特性を測定するプローブ装置における基板搬送方法において、
前記搬送機構を移動させて、隣接する2つの前記プローブ検査室の略中央正面位置に前記搬送機構を停止させ、この搬送機構によって2つの前記プローブ検査室に被検査基板を搬入または搬出することを特徴とする基板搬送方法。 - 隣接する2つの前記プローブ検査室の筐体の前面側壁の互いに近接する位置に開口する基板搬入出口を設け、当該基板搬入出口を介して被検査基板を搬入または搬出することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送方法。
- 隣接する2つの前記プローブ検査室の筐体の側壁の互いに近接する位置に、前面側から側面側に回り込んで開口する屈曲又は湾曲した形状の搬入出口を設け、当該基板搬入出口を介して被検査基板を搬入または搬出することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送方法。
- 前記搬入出口を開閉するシャッタ部材を設け、被検査基板の搬入、搬出時以外はシャッタ部材によって前記搬入出口を閉じることを特徴とする請求項2または3に記載の基板搬送方法。
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