KR20190103957A

KR20190103957A - 검사 시스템

Info

Publication number: KR20190103957A
Application number: KR1020190021129A
Authority: KR
Inventors: 타카노리 햐쿠도미; 쥰 후지하라; 히로아키 사카모토; 토모야 엔도; 씽준 지앙
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2018-02-28
Filing date: 2019-02-22
Publication date: 2019-09-05
Also published as: CN110211889B; US11360115B2; US20190265272A1; CN110211889A; JP2019149500A; JP6956030B2; KR102171309B1

Abstract

기판 내의 디바이스를 위한 검사 시스템을 제공한다. 일실시 형태의 검사 시스템은 검사 모듈, 얼라인먼트 모듈, 지지 기구 및 고정 기구를 가진다. 검사 모듈은 복수의 테스터를 가지고, 복수의 검사실을 제공한다. 복수의 테스터는 각각, 복수의 검사실에 수용 가능하다. 얼라인먼트 모듈은 얼라이너를 가진다. 얼라이너는 얼라인먼트 공간 내에 마련되어 있다. 얼라이너는 기판의 위치를, 복수의 테스터 중 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터에 대하여 조정한다. 지지 기구는 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터를 하방으로부터 지지한다. 고정 기구는 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터를 지지 기구와 협동하여 고정하도록 구성되어 있다.

Description

검사 시스템 {INSPECTION SYSTEM}

본 개시된 실시 형태는 검사 시스템에 관한 것이다.

전자 디바이스는 그 제조 프로세스에 있어서 기판 내에 형성된 후에, 그 전기적 특성이 검사된다. 기판 내에 형성된 전자 디바이스의 전기적 특성의 검사에는 검사 시스템이 이용된다. 검사 시스템은, 일반적으로 스테이지, 얼라이너 및 테스터를 구비한다. 테스터는 프로브 카드 및 테스트 헤드를 가진다. 테스트 헤드는 프로브 카드를 개재하여 전자 디바이스에 신호를 주어, 전자 디바이스의 전기적 특성의 검사를 행하도록 구성되어 있다. 프로브 카드는 복수의 컨택트 프로브를 가진다. 복수의 컨택트 프로브는 전자 디바이스의 전극에 접촉하도록 구성되어 있다. 스테이지는 그 위에 배치된 기판을 지지하도록 구성되어 있다. 얼라이너는 테스터에 대하여 기판의 위치를 조정하기 위하여 스테이지를 이동시키고, 또한 회전시키는 것이 가능하도록 구성되어 있다.

하기의 특허 문헌 1에는, 복수의 테스터를 구비한 검사 시스템이 기재되어 있다. 이 검사 시스템에 있어서, 복수의 테스터는, 다수의 기판 내에 각각 형성된 전자 디바이스를 효율적으로 검사하기 위하여 이용된다. 복수의 테스터는 높이 방향 및 이에 직교하는 방향으로 배열되어 있다.

일본특허공개공보 2014-179379호

검사 시스템이 배치되는 스페이스의 크기에는 제한이 있다. 따라서, 검사 시스템의 풋프린트를 억제할 필요가 있다. 복수의 테스터를 구비하는 검사 시스템의 풋프린트를 억제하기 위해서는, 테스터의 개수와 동일 수의 얼라이너를 이용하는 것이 아니라, 공통의 얼라인먼트 공간 내에 있어서, 단일의 얼라이너를 이용하여 테스터와 기판과의 위치 조정을 행하는 것이 고려된다. 그러기 위해서는, 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터의 위치가 얼라이너에 대하여 변동하지 않는 것이 요구된다.

일태양에 있어서는 검사 시스템이 제공된다. 검사 시스템은 검사 모듈, 얼라인먼트 모듈, 지지 기구 및 고정 기구를 가진다. 검사 모듈은 복수의 테스터를 가지고, 복수의 검사실을 제공한다. 복수의 테스터의 각각은, 프로브 카드 및 테스트 헤드를 포함한다. 복수의 테스터는 각각, 복수의 검사실에 수용 가능하다. 얼라인먼트 모듈은 얼라이너를 가진다. 얼라이너는 얼라인먼트 공간 내에 마련되어 있다. 얼라인먼트 공간은 복수의 검사실에 접속 가능하다. 얼라이너는 검사되는 기판의 위치를, 복수의 테스터 중 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터에 대하여 조정하도록 구성되어 있다. 지지 기구는 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터를 하방으로부터 지지하도록 구성되어 있다. 고정 기구는 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터를 얼라이너에 대하여 위치 결정하여, 상기 테스터를 지지 기구와 협동하여 고정하도록 구성되어 있다.

일태양에 따른 검사 시스템에서는, 대응의 검사실로부터 얼라인먼트 공간으로 반송된 테스터는, 얼라인먼트 공간 내에서, 지지 기구에 의해 하방으로부터 지지된다. 그리고, 테스터의 얼라이너에 대한 위치가, 얼라인먼트 공간 내에서 고정 기구와 지지 기구에 의해 고정된다. 따라서, 이 검사 시스템에서는, 복수의 테스터 중 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터의 얼라이너에 대한 위치가 변동하지 않는다.

일실시 형태에 있어서, 복수의 테스터의 각각에는, 위로 개구된 제 1 홀 및 제 2 홀이 마련되어 있다. 고정 기구는 제 1 핀 및 제 2 핀 그리고 승강 기구를 가진다. 제 1 핀 및 제 2 핀은 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터를 얼라이너에 대하여 위치 결정하기 위하여, 제 1 홀 및 제 2 홀에 각각 삽입 가능하다. 승강 기구는 제 1 핀 및 제 2 핀을 승강시키도록 구성되어 있다. 이 실시 형태에 의하면, 간이한 구성으로, 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터의 위치를 고정할 수 있다.

일실시 형태에 있어서, 제 1 홀 및 제 2 홀은 서로 간에 정해진 거리를 가진다. 제 1 홀과 제 2 홀이 배열되어 있는 방향은, 복수의 테스터의 각각이 복수의 검사실 중 대응하는 검사실과 얼라인먼트 공간과의 사이에서 반송되는 반송 방향에 대하여 정해진 각도를 이루고 경사져 있다. 즉, 이 실시 형태에서는, 복수의 테스터의 각각에는, 제 1 홀 및 제 2 홀이, 그들의 배열 방향이 반송 방향에 대하여 동일한 각도를 이루고, 또한 서로의 사이에 동일한 간격을 가지도록 형성되어 있다. 따라서 이 실시 형태에 의하면, 모든 테스터를, 제 1 핀 및 제 2 핀을 이용하여, 얼라인먼트 공간 내에서 동일하게 고정하는 것이 가능하다.

일실시 형태에 있어서, 제 1 홀은 원형의 홀이며, 제 2 홀은 긴 홀이다. 제 2 홀의 장축은, 제 1 홀의 중심과 제 2 홀의 중심을 포함하는 직선 상에서 연장되어 있다.

일실시 형태에 있어서, 제 1 홀 및 제 2 홀의 각각의 개구 단부는, 테이퍼면에 의해 구획 형성되어 있다. 제 1 홀을 구획 형성하는 테이퍼면에 제 1 핀이 접촉하고, 제 2 홀을 구획 형성하는 테이퍼면에 제 2 핀이 접촉함으로써, 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터가 얼라이너에 대하여 위치 결정된다. 이 실시 형태에서는, 테스터는, 그 위치의 고정을 위하여, 고정 기구(제 1 핀 및 제 2 핀)와 지지 기구와의 사이에서 협지된다.

일실시 형태에 있어서, 지지 기구는 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터가 그 상에서 슬라이드 이동 가능하도록 상기 테스터를 지지한다. 이 실시 형태에 의하면, 얼라인먼트 공간 내에서의 고정 위치에의 테스터의 이동이 지원된다. 일실시 형태에서는, 지지 기구는 복수의 캠 팔로워 또는 복수의 볼 트랜스퍼 유닛을 포함한다.

일실시 형태에 있어서, 검사 시스템은 센서를 더 구비한다. 센서는 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터가 지지 기구에 의해 수평으로 지지되어 있는지 여부를 검출하도록 구성되어 있다. 이 실시 형태에서는, 센서의 검출 신호에 기초하여 테스터가 지지 기구 상에서 수평으로 설치된 상태를 확보한 후에, 테스터의 위치를 고정할 수 있다.

일실시 형태에 있어서, 검사 시스템은 반송 기구를 더 구비한다. 반송 기구는 복수의 테스터의 각각을, 복수의 검사실 중 대응하는 검사실로부터 얼라인먼트 공간으로 반송하여, 상기 얼라인먼트 공간 내에서 얼라이너 상에 배치하도록 구성되어 있다.

일실시 형태에 있어서, 복수의 검사실은 얼라인먼트 공간에 대하여 양측에 마련되어 있다. 반송 기구는 제 1 클램프 및 제 2 클램프를 가진다. 제 1 클램프는 복수의 테스터 중 얼라인먼트 공간에 대하여 일방측에 배치되어 있는 테스터를 파지하도록 구성되어 있다. 제 2 클램프는 복수의 테스터 중 얼라인먼트 공간에 대하여 타방측에 배치되어 있는 테스터를 파지하도록 구성되어 있다. 일실시 형태에 있어서, 반송 기구는 제 1 이동 기구 및 제 2 이동 기구를 더 가진다. 제 1 이동 기구는 제 1 클램프를, 얼라인먼트 공간으로부터 일방측을 향하는 방향 및 그 반대 방향으로 이동시키도록 구성되어 있다. 제 2 이동 기구는 제 2 클램프를, 얼라인먼트 공간으로부터 타방측을 향하는 방향 및 그 반대 방향으로 이동시키도록 구성되어 있다. 다른 실시 형태에 있어서, 반송 기구는 이동 기구를 더 가진다. 이동 기구는 제 1 클램프 및 제 2 클램프를, 일방측으로부터 타방측을 향하는 방향 및 그 반대 방향으로 이동시키도록 구성되어 있다.

이상 설명한 바와 같이, 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터의 얼라이너에 대한 위치를 고정하는 것이 가능해진다.

도 1은 일실시 형태에 따른 검사 시스템을 개략적으로 나타내는 도이다.
도 2는 도 1의 II－II선을 따른 단면도이다.
도 3은 일실시 형태에 따른 테스터 및 척 탑을 나타내는 도이다.
도 4는 도 1에 나타내는 얼라인먼트 모듈의 얼라인먼트 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 1에 나타내는 검사 시스템의 얼라이너의 상면도이다.
도 6은 도 1에 나타내는 검사 시스템의 얼라이너의 측면도이다.
도 7의 (a)는 테스터의 제 1 홀을 나타내는 상면도이며, 도 7의 (b)는 테스터의 제 2 홀을 나타내는 상면도이다.
도 8의 (a)는 테스터의 제 1 홀과 제 1 핀을 나타내는 단면도이며, 도 8의 (b)는 테스터의 제 2 홀과 제 2 핀을 나타내는 단면도이다.
도 9는 도 1에 나타내는 검사 시스템에 채용 가능한 얼라이너의 측면도이다.
도 10은 도 1에 나타내는 검사 시스템에 채용 가능한 얼라이너의 상면도이다.

이하, 도면을 참조하여 다양한 실시 형태에 있어서 상세하게 설명한다. 또한, 각 도면에서 동일 또는 상당한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하는 것으로 한다.

도 1은 일실시 형태에 따른 검사 시스템을 개략적으로 나타내는 도이다. 도 2는 도 1의 II－II선을 따른 단면도이다. 도 1 및 도 2에 나타내는 검사 시스템(1)은 기판 내에 형성된 전자 디바이스의 전기적 특성을 검사하도록 구성되어 있다. 검사 시스템(1)은 검사 모듈(2) 및 얼라인먼트 모듈(4)을 구비하고 있다.

검사 모듈(2)은 복수의 검사실(2c)을 제공하고 있다. 검사 모듈(2)은 복수의 테스터(2t)를 가지고 있다. 복수의 테스터(2t)는 각각, 복수의 검사실(2c) 내에 수용 가능하다. 복수의 테스터(2t)의 각각은, 대응하는 검사실(2c) 내에 있어서, 기판(W)의 전기적 특성의 검사를 행하도록 구성되어 있다.

얼라인먼트 모듈(4)은 얼라인먼트 공간(4s)을 제공하고 있다. 얼라인먼트 모듈(4)은 얼라인먼트 유닛(4u)을 가지고 있다. 얼라인먼트 유닛(4u)은 얼라인먼트 공간(4s) 내에 마련되어 있다.

도시된 예에서는, 복수의 검사실(2c)은, 얼라인먼트 공간(4s)에 대하여 양측에 마련되어 있다. 복수의 검사실(2c) 중 몇 개의 검사실(예를 들면 반수의 검사실)은, 얼라인먼트 공간(4s)에 대하여 일방측에서, 높이 방향(즉, Z 방향)을 따라 배열되어 있고, 또한 Z 방향에 직교하는 일방향(X 방향)을 따라 배열되어 있다. X 방향은 얼라인먼트 공간(4s)의 길이 방향에 대하여 평행하다. 복수의 검사실(2c) 중 나머지 검사실은, 얼라인먼트 공간(4s)에 대하여 타방측에서, X 방향 및 Z 방향을 따라 배열되어 있다. 또한, 복수의 검사실(2c)의 개수 및 배열은 한정되는 것은 아니다.

일실시 형태에 있어서, 검사 시스템(1)은 로더부(6)를 더 구비하고 있다. 로더부(6)는 복수의 용기(8), 배치대(10), 로더 모듈(12), 반송 모듈(14), 버퍼 모듈(16) 및 프리 얼라인먼트 모듈(18)을 포함하고 있다.

복수의 용기(8)의 각각은, 그 안에 복수의 기판(W)을 수용하도록 구성되어 있다. 복수의 용기(8)의 각각은, 예를 들면 FOUP(Front Opening Unified Pod)이다. 복수의 용기(8)는 배치대(10) 상에 탑재되어 있다. 배치대(10)는 로드 포트를 가진다.

로더 모듈(12)은 로더(12r)를 가진다. 로더(12r)는 로더 모듈(12) 내의 공간 내에서 X 방향, Y 방향, Z 방향 및 Z축 둘레의 회전 방향(θ 방향)으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, Y 방향은 X 방향 및 Z 방향에 직교하는 방향이다. 로더(12r)는 복수의 용기(8) 중 임의의 용기 내에 수용된 기판(W)을 로드 포트를 개재하여 수취한다. 로더(12r)는 수취한 기판(W)을 버퍼 모듈(16) 또는 프리 얼라인먼트 모듈(18)로 반송한다. 또한, 로더(12r)는 버퍼 모듈(16) 내의 검사 완료된 기판(W)을 복수의 용기(8) 중 임의의 용기로 반송한다.

버퍼 모듈(16)은 그 내부에 공간을 제공하고 있다. 버퍼 모듈(16) 내의 공간에는 기판(W)이 임시 배치된다. 프리 얼라인먼트 모듈(18)은 그 내부의 공간에 기판(W)을 수용하여, 기판(W)의 프리 얼라인먼트를 실행하도록 구성되어 있다. 버퍼 모듈(16) 내의 공간은 버퍼 모듈(16)의 개구를 개재하여 로더 모듈(12) 내의 공간에 접속 가능하다. 버퍼 모듈(16)의 개구는 셔터(16g)에 의해 개폐 가능하다. 프리 얼라인먼트 모듈(18) 내의 공간은 프리 얼라인먼트 모듈(18)의 개구를 개재하여 로더 모듈(12) 내의 공간에 접속 가능하다. 프리 얼라인먼트 모듈(18)의 개구는 셔터(18g)에 의해 개폐 가능하다.

셔터(16g) 및 셔터(18g)는 대기 분위기와 드라이 분위기를 분리하기 위하여 마련되어 있다. 검사 시스템(1)에서는 얼라인먼트 공간(4s), 복수의 검사실(2c), 반송 모듈(14) 내의 공간, 버퍼 모듈(16) 내의 공간 및 프리 얼라인먼트 모듈(18) 내의 공간의 분위기는 드라이 분위기로 조정된다. 드라이 분위기는 이들 공간에 드라이 에어를 공급함으로써 형성된다. 한편, 로더부(6)의 다른 요소 중의 공간의 분위기는 대기 분위기이다.

반송 모듈(14)은 반송 장치(14t)를 가지고 있다. 반송 장치(14t)는 예를 들면 다관절 로봇이다. 반송 장치(14t)는 반송 모듈(14) 내의 공간 내에서 승강 가능하게 구성되어 있다. 반송 모듈(14)의 하부에는 얼라인먼트 공간(4s)에 연결되는 개구가 형성되어 있다. 반송 장치(14t)는 이 개구를 개재하여, 얼라인먼트 공간(4s)과 반송 모듈(14) 내의 공간과의 사이에서 기판(W)을 반송한다. 또한, 반송 장치(14t)는 반송 모듈(14)의 개구보다 상방에서, 버퍼 모듈(16) 및 프리 얼라인먼트 모듈(18)의 각각과 반송 장치(14t)와의 사이에서 기판(W)의 전달을 행한다.

반송 모듈(14)의 상기 개구는 셔터(14g)에 의해 개폐 가능하다. 셔터(14g)에 의해, 얼라인먼트 공간(4s) 및 복수의 검사실(2c)에의 대기의 침입이 확실히 방지된다. 또한, 복수의 검사실(2c)의 각각은 다른 검사실(2c)로부터 벽에 의해 구획되어 있다. 복수의 검사실(2c)의 각각을 구획 형성하는 벽에는 얼라인먼트 공간(4s)에 연결되는 개구(2p)가 형성되어 있다. 개구(2p)는 셔터(2g)에 의해 개폐 가능하다. 셔터(2g)에 의하면, 복수의 검사실(2c)의 각각의 분위기를 개별로 조정하는 것이 가능하다.

반송 모듈(14), 검사 모듈(2) 및 얼라인먼트 모듈(4) 하에는 칠러 에어리어(20)가 마련되어 있다. 칠러 에어리어(20) 내에는 칠러 유닛(20u)이 마련되어 있다. 칠러 유닛(20u)은 Z 방향에 있어서 최하단의 검사실(2c)의 하방에 마련되어 있다.

복수의 검사실(2c)의 각각의 안에는 상술한 바와 같이 테스터(2t)가 수용된다. 복수의 검사실(2c)의 각각의 안에는 척 탑(22)도 수용된다. 척 탑(22)은 그 위에 기판(W)을 탑재한다. 복수의 검사실(2c)의 각각의 안에서는, 그 위에 기판(W)을 탑재한 척 탑(22)이 테스터(2t)의 컨택트부(예를 들면 인터페이스 보드)에 흡착된 상태로, 기판(W)의 전자 디바이스의 전기적 특성의 검사가 행해진다.

도 3은 일실시 형태에 따른 테스터 및 척 탑을 나타내는 도이다. 도 3에는 기판(W)의 전기적 특성의 검사가 행해지는 상태에 있는 테스터(2t) 및 척 탑(22)이 나타나 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 테스터(2t)는 테스트 헤드(24) 및 프로브 카드(26)를 가지고 있다. 테스터(2t)는 인터페이스 보드(28) 및 벨로우즈(30)를 더 가질 수 있다.

테스트 헤드(24)는 프로브 카드(26)를 개재하여 전자 디바이스에 신호를 부여하여, 전자 디바이스의 전기적 특성의 검사를 행하도록 구성되어 있다. 테스트 헤드(24)는 하우징 내에, 하나 이상의 테스터 모듈 보드를 가지고 있다. 테스터 모듈 보드는 기판(W) 내에 형성된 전자 디바이스에 대한 전력 공급, 파형 입력(드라이버), 파형 측정(콤퍼레이터) 그리고 전압, 전류 출력 및 측정을 행하도록 구성되어 있다.

프로브 카드(26)는 복수의 컨택트 프로브(26p)를 가지고 있다. 복수의 컨택트 프로브(26p)는 침 형상 또는 봉 형상을 이루고 있다. 복수의 컨택트 프로브(26p)는 전자 디바이스의 전기적 특성의 검사가 실행될 시, 전자 디바이스의 전극에 접촉한다. 인터페이스 보드(28)는 테스트 헤드(24)와 프로브 카드(26)와의 사이에 마련되어 있다. 인터페이스 보드(28)는 복수의 포고핀을 가지고 있다. 복수의 포고핀은, 복수의 컨택트 프로브(26p)를 테스트 헤드(24)의 테스터 모듈 보드에 전기적으로 접속한다. 벨로우즈(30)는 그 위에 기판(W)을 탑재한 척 탑(22)을 테스터(2t)에 대하여 흡착할 시, 척 탑(22)과 테스터(2t)(예를 들면 인터페이스 보드(28))와의 사이에 밀폐된 공간을 형성하도록 마련되어 있다.

척 탑(22)은 그 위에 탑재된 기판(W)을 흡착하도록 구성되어 있다. 또한, 척 탑(22)은 온조(溫調) 기구를 가지고 있다. 척 탑(22)의 온조 기구는 칠러 유닛(20u)으로부터의 냉매를 이용해도 된다. 혹은, 척 탑(22)의 온조 기구는 그 내부에 히터를 가지고 있어도 된다.

척 탑(22)은 벨로우즈(30)에 의해 형성되는 상기의 공간의 압력이 감압됨으로써, 테스터(2t)에 흡착된다. 척 탑(22)이 테스터(2t)에 흡착된 상태에서는, 기판(W) 내의 전자 디바이스의 전극에 복수의 컨택트 프로브(26p)가 접촉한다. 테스트 헤드(24)로부터 복수의 컨택트 프로브(26p)를 개재하여 전기 신호가 전자 디바이스에 부여되고, 전자 디바이스로부터의 응답 신호가 테스트 헤드(24)로 되돌려진다. 되돌려진 응답 신호를 이용하여, 전자 디바이스의 전기적 특성의 검사가 행해진다.

복수의 테스터(2t)의 각각과 기판(W)과의 얼라인먼트는, 얼라인먼트 공간(4s) 내에서 얼라인먼트 유닛(4u)을 이용하여 행해진다. 이 때문에, 복수의 테스터(2t)의 각각은, 복수의 검사실(2c) 중 대응하는 검사실(2c)로부터 얼라인먼트 공간(4s) 내로 개구(2p)를 거쳐 인출되도록 되어 있다.

이하, 도 2 및 도 4를 참조하여, 얼라인먼트 모듈(4)에 대하여 설명한다. 도 4는 도 1에 나타내는 얼라인먼트 모듈의 얼라인먼트 유닛을 나타내는 사시도이다. 얼라인먼트 모듈(4)의 얼라인먼트 유닛(4u)은 얼라이너(40), 이동 기구(41) 및 이동 기구(42)를 포함하고 있다.

이동 기구(41)는 얼라이너(40) 및 이동 기구(42)를 X 방향으로 이동시키도록 구성되어 있다. 이동 기구(41)는 베이스 블록(41b) 및 복수의 레일(41r)을 가지고 있다. 복수의 레일(41r)은 서로 평행하게 마련되어 있고, X 방향을 따라 연장되어 있다. 베이스 블록(41b)은 대략 판 형상을 이루고 있고, X 방향 및 Y 방향으로 연장되어 있다. 베이스 블록(41b)은 복수의 레일(41r) 상에 탑재되어 있다. 베이스 블록(41b)은 복수의 레일(41r)을 따라 X 방향으로 이동 가능하다. 베이스 블록(41b)의 X 방향으로의 이동을 위한 동력은, 이동 기구(41)의 구동부로부터 부여된다. 이동 기구(41)의 구동부는 예를 들면 리니어 모터이다.

베이스 블록(41b)은 이동 기구(42)를 지지하고 있으며, 이동 기구(42)는 얼라이너(40)가 Z 방향으로 이동 가능하도록, 얼라이너(40)를 지지하고 있다. 이동 기구(42)는 복수의 지주(支柱)(42s)를 가지고 있다. 도시된 예에서는, 이동 기구(42)는 네 개의 지주 (42s)를 가지고 있다. 복수의 지주(42s)는 베이스 블록(41b)으로부터 Z 방향(상방)으로 연장되어 있다.

이동 기구(42)는 가이드 및 구동부를 더 가질 수 있다. 이동 기구(42)의 가이드는 베이스 블록(41b)의 상방에서 Z 방향(윗쪽)으로 연장된다. 이동 기구(42)의 구동부는 이동 기구(42)의 가이드를 따라 얼라이너(40)를 승강시키기 위한 동력을 발생한다. 이동 기구(42)의 구동부는 예를 들면 모터이다.

얼라이너(40)는 얼라인먼트 공간(4s) 내에서, 기판(W)과 테스터(2t)와의 얼라인먼트를 행하도록 구성되어 있다. 얼라이너(40)는 스테이지(40x), 스테이지(40y), 스테이지(40z) 및 흡착부(40s)를 가지고 있다. 흡착부(40s)는 그 상면 상에 탑재된 척 탑(22)을 흡인함으로써, 척 탑(22)을 유지하도록 구성되어 있다. 흡착부(40s)는 스테이지(40z) 상에 탑재되어 있다. 스테이지(40z)는 Z 방향을 따라 흡착부(40s)를 이동시키도록 구성되어 있다. 즉, 스테이지(40z)는 흡착부(40s)를 상승 또는 하강시키도록 구성되어 있다. 흡착부(40s)는 또한 θ 방향으로 회전 가능하게 지지되어 있다. 스테이지(40z)는 스테이지(40y) 상에 탑재되어 있다. 스테이지(40y)는 Y 방향을 따라 스테이지(40z) 및 흡착부(40s)를 이동시키도록 구성되어 있다. 스테이지(40y)는 스테이지(40x) 상에 탑재되어 있다. 스테이지(40x)는 X 방향을 따라 스테이지(40y), 스테이지(40z), 및 흡착부(40s)를 이동시키도록 구성되어 있다. 척 탑(22)의 흡착부(40s) 상에서의 위치는 상측 카메라(40u)(도 6 참조)에 의해 취득되는 화상을 이용하여 조정된다. 또한, 프로브 카드(26)에 대한 척 탑(22) 상에서의 기판(W)의 위치는, 하측 카메라(40d)(도 6 참조)에 의해 취득되는 화상을 이용하여 조정된다.

검사 시스템(1)은 얼라이너(40)에 대한 테스터(2t)의 위치를 고정하기 위하여, 지지 기구(50) 및 고정 기구(60)를 더 구비하고 있다. 일실시 형태에서는, 지지 기구(50) 및 고정 기구(60)는 얼라이너(40)에 의해 제공되어 있다. 이하, 도 5 및 도 6을 참조하여, 지지 기구(50) 및 고정 기구(60)에 대하여 설명한다. 도 5는 도 1에 나타내는 검사 시스템의 얼라이너의 상면도이다. 도 6은 도 1에 나타내는 검사 시스템의 얼라이너의 측면도이다.

도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 일실시 형태에 있어서, 검사 시스템(1)은 반송 기구(70)를 더 구비한다. 반송 기구(70)는 얼라이너(40)에 의해 제공되어 있다. 반송 기구(70)는 복수의 테스터(2t)의 각각을, 복수의 검사실(2c) 중 대응하는 검사실(2c)로부터 얼라인먼트 공간(4s)으로 반송하여, 얼라인먼트 공간(4s) 내에서 얼라이너(40) 상에 배치하도록 구성되어 있다.

얼라이너(40)는 한 쌍의 브릿지(40b)를 가지고 있다. 한 쌍의 브릿지(40b)는 대략 판 형상을 이루고 있고, 흡착부(40s)의 상방 또한 양측에 있어서, Y 방향을 따라 연장되어 있다. 반송 기구(70)는 제 1 가이드(71g), 제 2 가이드(72g), 제 1 암(71a), 제 2 암(72a), 제 1 클램프(71c), 제 2 클램프(72c), 제 1 구동부(71m) 및 제 2 구동부(72m)를 가지고 있다. 제 1 가이드(71g), 제 1 암(71a) 및 제 1 구동부(71m)는 제 1 이동 기구를 구성하고 있고, 제 1 클램프(71c)를 Y 방향 및 그 반대 방향으로 이동시키도록 구성되어 있다. 제 2 가이드(72g), 제 2 암(72a) 및 제 2 구동부(72m)는 제 2 이동 기구를 구성하고 있고, 제 2 클램프(72c)를 Y 방향 및 그 반대 방향으로 이동시키도록 구성되어 있다.

제 1 가이드(71g)는 한 쌍의 브릿지(40b) 중 일방 상에서 Y 방향을 따라 연장되어 있다. 제 1 가이드(71g)는 예를 들면 나사축을 포함하고, 나사축은 Y 방향을 따라 연장되어 있다. 제 1 암(71a)은 제 1 가이드(71g)를 따라 Y 방향 및 그 반대 방향으로 이동 가능하다. 제 1 구동부(71m)는 제 1 가이드(71g)의 나사축을 회전시키도록 구성되어 있다. 제 1 구동부(71m)는 예를 들면 모터이다. 제 1 가이드(71g)의 나사축이 회전하면, 제 1 암(71a)은 Y 방향 및 그 반대 방향으로 이동한다. 제 1 암(71a)의 선단에는 제 1 클램프(71c)가 마련되어 있다. 제 1 클램프(71c)는 얼라인먼트 공간(4s)에 대하여 Y 방향의 일방측에 배치된 테스터(2t)의 그립(2i)을 파지하도록 구성되어 있다. 제 1 클램프(71c)는 예를 들면 에어 구동식의 클램프이다.

제 2 가이드(72g)는 한 쌍의 브릿지(40b) 중 타방 상에서 Y 방향을 따라 연장되어 있다. 제 2 가이드(72g)는 예를 들면 나사축을 포함하고, 나사축은 Y 방향을 따라 연장되어 있다. 제 2 암(72a)은 제 2 가이드(72g)를 따라 Y 방향 및 그 반대 방향으로 이동 가능하다. 제 2 구동부(72m)는 제 2 가이드(72g)의 나사축을 회전시키도록 구성되어 있다. 제 2 구동부(72m)는 예를 들면 모터이다. 제 2 가이드(72g)의 나사축이 회전하면, 제 2 암(72a)은 Y 방향 및 그 반대 방향으로 이동한다. 제 2 암(72a)의 선단에는 제 2 클램프(72c)가 마련되어 있다. 제 2 클램프(72c)는 얼라인먼트 공간(4s)에 대하여 Y 방향의 타방측에 배치된 테스터(2t)의 그립(2i)을 파지하도록 구성되어 있다. 제 2 클램프(72c)는 예를 들면 에어 구동식의 클램프이다.

지지 기구(50)는 얼라인먼트 공간(4s) 내에 수용된 테스터(2t)를 하방으로부터 지지하도록 구성되어 있다. 테스터(2t)는 상술한 바와 같이 반송 기구(70)에 의해 얼라인먼트 공간(4s)으로 반송될 수 있다. 또한, 반송 기구(70)는 센서에 의해 검출되는 테스터(2t)의 Y 방향의 위치에 기초하여, 얼라인먼트 공간(4s) 내에서의 테스터(2t)의 위치를 조정하도록 되어 있다.

일실시 형태에 있어서, 지지 기구(50)는 얼라인먼트 공간(4s) 내에 수용된 테스터(2t)가 그 위에서 슬라이드 이동 가능하도록, 테스터(2t)를 지지하도록 구성되어 있다. 일례에 있어서, 지지 기구(50)는 복수의 캠 팔로워를 포함한다. 지지 기구(50)의 복수의 캠 팔로워의 개수는 예를 들면 네 개이다. 복수의 캠 팔로워의 각각은 X 방향으로 연장되는 축선 둘레에서 회전 가능하게 마련되어 있다. 복수의 캠 팔로워 중 몇 개는, 한 쌍의 브릿지(40b) 중 일방의 위에서 Y 방향을 따라 배열되어 있다. 복수의 캠 팔로워 중 다른 캠 팔로워는, 한 쌍의 브릿지(40b) 중 타방의 위에서 Y 방향을 따라 배열되어 있다.

테스터(2t)는 프레임(2f)을 가지고 있다. 프레임(2f)은 테스트 헤드(24), 인터페이스 보드(28) 및 프로브 카드(26)를 지지하고 있다. 프레임(2f)은 저부에 있어서 개구된 오목부를 구획 형성하고 있다. 프레임(2f)의 오목부 내에는 테스트 헤드(24) 및 인터페이스 보드(28)가 배치되어 있다. 프로브 카드(26)는 프레임(2f)의 하방에 배치되어 있다. 프레임(2f)은 한 쌍의 상단부를 가지고 있다. 프레임(2f)의 한 쌍의 상단부는 테스트 헤드(24)에 대하여 X 방향의 양측으로 연장되어 있다. 프레임(2f)의 한 쌍의 상단부에는 복수의 캠 팔로워(40c)가 마련되어 있다. 복수의 캠 팔로워(40c)의 각각은, Y 방향으로 연장되는 축선 둘레로 회전 가능하다. 복수의 캠 팔로워(40c)는 각각, 지지 기구(50)의 복수의 캠 팔로워 상에 배치되도록 되어 있다.

복수의 캠 팔로워(40c)가 각각 지지 기구(50)의 복수의 캠 팔로워에 접하면, 테스터(2t)는 얼라인먼트 공간(4s) 내에서 수평인 상태로 하방으로부터 지지된다. 테스터(2t)가 수평인 상태로 지지 기구(50)에 의해 지지되어 있는지 여부는, 복수의 센서(56)의 검출 신호로부터 판정할 수 있다. 복수(예를 들면 네 개)의 센서(56) 중 몇 개의 센서(예를 들면 두 개의 센서)는, 한 쌍의 브릿지(40b) 중 일방에 의해 지지되어 있고, Y 방향을 따라 배열되어 있다. 복수의 센서(56) 중 다른 센서(예를 들면 두 개의 센서)는, 한 쌍의 브릿지(40b) 중 타방에 의해 지지되어 있고, Y 방향을 따라 배열되어 있다. 복수의 센서(56)의 각각은, 프레임(2f)의 한 쌍의 상단부의 높이 방향의 위치를 나타내는 검출 신호를 출력하도록 구성되어 있다. 복수의 센서(56)에 의해 출력되는 검출 신호로부터 프레임(2f)의 한 쌍의 상단부의 높이 방향의 위치가 대략 동일하다고 판정되는 경우에는, 테스터(2t)는 수평인 상태로 지지 기구(50)에 의해 하방으로부터 지지되어 있는 것으로 판정된다.

고정 기구(60)는 얼라인먼트 공간(4s) 내에 수용된 테스터(2t)를 얼라이너(40)에 대하여 위치 결정하여, 테스터(2t)를 지지 기구(50)와 협동하여 고정하도록 구성되어 있다. 일실시 형태에 있어서는, 복수의 테스터(2t)의 각각에는, 제 1 홀(401) 및 제 2 홀(402)이 마련되어 있다. 또한, 고정 기구(60)는 제 1 핀(61), 제 2 핀(62), 제 1 승강 기구(63) 및 제 2 승강 기구(64)를 가진다. 이하, 도 5 및 도 6과 함께, 도 7의 (a), 도 7의 (b), 도 8의 (a) 및 도 8의 (b)을 참조한다. 도 7의 (a)는 테스터의 제 1 홀을 나타내는 상면도이며, 도 7의 (b)는 테스터의 제 2 홀을 나타내는 상면도이다. 도 8의 (a)는 테스터의 제 1 홀과 제 1 핀을 나타내는 단면도이며, 도 8의 (b)는 테스터의 제 2 홀과 제 2 핀을 나타내는 단면도이다.

제 1 홀(401)은 프레임(2f)의 한 쌍의 상단부 중 일방에 형성되어 있다. 제 2 홀(402)은 프레임(2f)의 한 쌍의 상단부 중 타방에 형성되어 있다. 제 1 홀(401) 및 제 2 홀(402)은 위로 개구되어 있다.

제 1 핀(61)은 제 1 홀(401)에 삽입 가능하다. 제 1 승강 기구(63)는 제 1 핀(61)을 승강시키도록 구성되어 있다. 제 1 승강 기구(63)는 예를 들면 에어 실린더 및 변환 기구를 가진다. 에어 실린더는 로드를 Y 방향을 따라 이동시킨다. 변환 기구는 제 1 핀(61)을 지지하고, 로드의 Y 방향의 운동을 제 1 핀(61)의 Z 방향의 운동으로 변환하도록 구성되어 있다. 제 1 핀(61)은 제 1 승강 기구(63)에 의해 하방으로 이동되어, 제 1 홀(401)에 삽입된다.

제 2 핀(62)은 제 2 홀(402)에 삽입 가능하다. 제 2 승강 기구(64)는 제 2 핀(62)을 승강시키도록 구성되어 있다. 제 2 승강 기구(64)는, 예를 들면 에어 실린더 및 변환 기구를 가진다. 에어 실린더는 로드를 Y 방향을 따라 이동시킨다. 변환 기구는 제 2 핀(62)을 지지하고, 로드의 Y 방향의 운동을 제 2 핀(62)의 Z 방향의 운동으로 변환하도록 구성되어 있다. 제 2 핀(62)은 제 2 승강 기구(64)에 의해 하방으로 이동되어, 제 2 홀(402)에 삽입된다. 제 1 핀(61)이 제 1 홀(401)에 삽입되고, 제 2 핀(62)이 제 2 홀(402)에 삽입되면, 지지 기구(50)와 고정 기구(60)에 의해 테스터(2t)의 위치가 고정된다.

일실시 형태에서는, 복수의 테스터(2t)의 각각에 있어서, 제 1 홀(401) 및 제 2 홀(402)은 서로 간에 정해진 거리를 가진다. 또한, 제 1 홀(401)과 제 2 홀(402)이 배열되어 있는 방향은, 반송 방향에 대하여 정해진 각도를 이루고 경사져 있다. 반송 방향은, 복수의 테스터(2t)의 각각이 대응하는 검사실과 얼라인먼트 공간과의 사이에서 반송되는 방향이며, Y 방향에 평행하다. 즉, 이 실시 형태에서는, 복수의 테스터(2t)의 각각에는, 제 1 홀(401) 및 제 2 홀(402)이, 그들의 배열 방향이 반송 방향에 대하여 동일한 각도를 이루고, 또한 서로 간에 동일한 간격을 가지도록 형성되어 있다. 따라서 이 실시 형태에 의하면, 모든 테스터(2t)를, 제 1 핀(61) 및 제 2 핀(62)을 이용하여, 얼라인먼트 공간(4s) 내에서 동일하게 고정하는 것이 가능하다.

일실시 형태에 있어서, 제 1 홀(401)은, 도 7의 (a)에 나타내는 바와 같이, 원형의 홀이다. 제 2 홀(402)은 도 7의 (b)에 나타내는 바와 같이 긴 홀이다. 제 2 홀(402)의 장축은 제 1 홀(401)의 중심과 제 2 홀(402)의 중심을 포함하는 직선(LH) 상에서 연장되어 있다.

일실시 형태에 있어서, 제 1 홀(401)의 개구 단부는, 도 8의 (a)에 나타내는 바와 같이, 테이퍼면(401t)에 의해 구획 형성되어 있다. 제 2 홀(402)의 개구 단부는, 도 8의 (b)에 나타내는 바와 같이, 테이퍼면(402t)에 의해 구획 형성되어 있다. 제 1 핀(61)의 선단도 테이퍼면(401t)에 대응하는 테이퍼면을 가지고 있다. 제 2 핀(62)의 선단도 테이퍼면(402t)에 대응하는 테이퍼면을 가지고 있다. 이 실시 형태에서는, 테이퍼면(401t)에 제 1 핀(61)의 선단이 접촉하고, 테이퍼면(402t)에 제 2 핀(62)의 선단이 접촉함으로써, 얼라인먼트 공간(4s) 내에서 테스터(2t)가 얼라이너(40)에 대하여 위치 결정된다. 이 실시 형태에서는, 테스터(2t)는, 그 위치의 고정을 위하여, 고정 기구(60)(제 1 핀(61) 및 제 2 핀(62))와 지지 기구(50)와의 사이에서 협지된다.

도 1로 돌아온다. 검사 시스템(1)은 제어부(15)를 더 구비한다. 제어부(15)는, 일실시 형태에서는 배치대(10)의 내부에 마련되어 있다. 제어부(15)는 검사 시스템(1)의 각 부를 제어한다. 제어부(15)는 로더(12r), 반송 장치(14t), 셔터(16g)의 구동부, 셔터(18g)의 구동부, 셔터(14g)의 구동부, 복수의 셔터(2g) 각각의 구동부, 이동 기구(41)의 구동부, 이동 기구(42)의 구동부, 스테이지(40x), 스테이지(40y) 및 스테이지(40z) 각각의 구동부, 흡착부(40s), 제 1 구동부(71m), 제 2 구동부(72m), 제 1 승강 기구(63), 제 2 승강 기구(64), 칠러 유닛(20u) 등을 제어한다. 제어부(15)는 프로세서, 키보드 및 마우스와 같은 입력 장치, 표시 장치, 메모리와 같은 기억 장치, 그리고 신호의 입출력 인터페이스를 가지고 있다. 제어부(15)에서는, 프로세서가 기억 장치에 기억되어 있는 제어 프로그램에 따라 동작한다. 이에 의해, 제어부(15)로부터 제어 신호가 출력된다. 출력된 제어 신호에 의해 검사 시스템(1)의 각 부는 제어된다.

이하, 검사 시스템(1)의 동작에 대하여 설명한다. 이하에 설명하는 검사 시스템(1)의 동작은, 제어부(15)에 의한 검사 시스템(1)의 각 부의 제어에 의해 실현될 수 있다.

검사 시스템(1)에서는, 반송 기구(70)에 의해, 복수의 테스터(2t) 중 하나의 테스터(2t)가 복수의 검사실(2c) 중 대응하는 검사실(2c)로부터, 얼라인먼트 공간(4s)으로 반송된다. 테스터(2t)는 얼라인먼트 공간(4s) 내에서는, 얼라이너(40) 상에 배치된다. 반송 기구(70)는, 테스터(2t)의 Y 방향에 있어서의 위치를 센서의 검출 신호에 기초하여 조정한다. 또한, 테스터(2t)에 흡착되어 있는 척 탑(22)도 동시에, 얼라인먼트 공간(4s)으로 반송된다.

이어서, 이동 기구(42)에 의해 얼라이너(40)가 상방으로 이동된다. 이에 의해, 지지 기구(50)(예를 들면 복수의 캠 팔로워)가 하방으로부터 테스터(2t)를 지지한다. 이동 기구(42)는 복수의 센서(56)의 검출 신호에 기초하여, 제어된다. 이에 의해, 지지 기구(50) 상에서 테스터(2t)는 수평인 상태로 지지된다.

이어서, 얼라인먼트 공간(4s) 내에서의 얼라이너(40)에 대한 테스터(2t)의 위치가, 지지 기구(50)와 함께 고정 기구(60)를 이용하여 고정된다. 예를 들면, 제 1 핀(61) 및 제 2 핀(62)이 제 1 홀(401) 및 제 2 홀(402)에 삽입됨으로써, 얼라이너(40)에 대한 테스터(2t)의 위치가 고정된다.

이어서, 흡착부(40s) 상에 척 탑(22)을 탑재하도록 얼라이너(40)의 스테이지(40z)가 상승한다. 그리고, 테스터(2t)에 의한 척 탑(22)의 흡착이 해제되고, 흡착부(40s)에 의해 척 탑(22)이 흡착된다. 흡착부(40s) 상에서의 척 탑(22)의 얼라인먼트를 위하여, 얼라이너(40)의 위치는 상측 카메라(40u)에 의해 취득되는 화상에 기초하여 조정된다.

이어서, 반송 장치(14t)에 의해, 척 탑(22) 상으로 기판(W)이 반송된다. 척 탑(22) 상에서의 기판(W)의 얼라인먼트를 위하여, 얼라이너(40)의 위치는, 상측 카메라(40u)에 의해 취득되는 화상에 기초하여 조정된다. 이러한 후에, 기판(W)은 척 탑(22)에 의해 흡착된다.

이어서, 테스터(2t)에 대한 기판(W)의 얼라인먼트가 행해진다. 구체적으로, 하측 카메라(40d)에 의해 취득되는 화상에 기초하여, 스테이지(40x) 및 스테이지(40y)의 위치가 조정됨으로써, 테스터(2t)에 대한 기판(W)의 얼라인먼트가 행해진다.

이어서, 스테이지(40z)가 상승된다. 그 결과, 복수의 컨택트 프로브(26p)가 기판(W)의 전자 디바이스의 전극에 접촉한다. 이어서, 벨로우즈(30)에 의해 둘러싸인 공간이 감압되고, 흡착부(40s)에 의한 척 탑(22)의 흡착이 해제됨으로써, 척 탑(22)이 테스터(2t)에 흡착된다.

이어서, 테스터(2t) 및 척 탑(22)이 반송 기구(70)에 의해 대응하는 검사실(2c)로 되돌려진다. 그리고, 검사실(2c) 내에 있어서, 테스터(2t)에 의해 기판(W) 내의 전자 디바이스의 전기적 특성의 검사가 행해진다. 이상의 동작은, 다른 테스터(2t)를 이용하여 다른 기판에 대해서도 행해진다.

이상 설명한 검사 시스템(1)에서는, 대응하는 검사실(2c)로부터 얼라인먼트 공간(4s)으로 반송된 테스터(2t)는, 얼라인먼트 공간(4s) 내에서, 지지 기구(50)에 의해 하방으로부터 지지된다. 그리고, 테스터(2t)의 얼라이너(40)에 대한 위치가, 얼라인먼트 공간(4s) 내에서 고정 기구(60)와 지지 기구(50)에 의해 고정된다. 따라서, 이 검사 시스템(1)에서는, 복수의 테스터(2t) 중 얼라인먼트 공간(4s) 내에 수용된 테스터(2t)의 얼라이너(40)에 대한 위치가, 변동하지 않는다. 그 결과, 테스터(2t)에 대한 기판의 얼라인먼트가 높은 정밀도로 행해질 수 있다.

이상, 각종 실시 형태에 대하여 설명했지만, 상술한 실시 형태에 한정되지 않고 각종 변형 태양을 구성 가능하다. 예를 들면, 지지 기구(50)는 복수의 캠 팔로워가 아닌, 복수의 볼 트랜스퍼 유닛을 가지고 있어도 된다. 도 9는 도 1에 나타내는 검사 시스템에 채용 가능한 얼라이너의 측면도이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 지지 기구(50)의 복수의 볼 트랜스퍼 유닛 중 몇 개는, 한 쌍의 브릿지(40b) 중 일방의 위에서 Y 방향을 따라 배열되어 있고, 프레임(2f)의 한 쌍의 상단부 중 일방을 하방으로부터 직접적으로 지지하도록 구성되어 있다. 복수의 볼 트랜스퍼 유닛 중 다른 볼 트랜스퍼 유닛은, 한 쌍의 브릿지(40b) 중 타방의 위에서 Y 방향을 따라 배열되어 있고, 프레임(2f)의 한 쌍의 상단부 중 타방을 하방으로부터 직접적으로 지지하도록 구성되어 있다. 복수의 볼 트랜스퍼 유닛의 각각은, 임의의 방향으로 회전 가능한 구체에 의해, 당해 구체 상에 탑재된 물체를 지지한다. 따라서 이 예에서는, 테스터(2t)는 지지 기구(50) 상에서 Z 방향에 직교하는 임의의 방향으로 슬라이드 이동 가능하다.

도 10은 도 1에 나타내는 검사 시스템에 채용 가능한 얼라이너의 상면도이다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 반송 기구(70)는 제 1 암(71a) 및 제 2 암(72a) 대신에, 단일의 암(70a)을 가지고, 제 1 구동부(71m) 및 제 2 구동부(72m) 대신에, 단일의 구동부(70m)를 가지고 있어도 된다. 암(70a)은 X 방향으로 연장되어 있고, 제 1 가이드(71g) 및 제 2 가이드(72g)를 따라 Y 방향 및 그 반대 방향으로 이동 가능하다. 구동부(70m)는 제 1 가이드(71g)의 나사축을 회전시키도록 구성되어 있다. 구동부(70m)는 예를 들면 모터이다. 제 1 가이드(71g)의 나사축이 회전하면, 암(70a)은 Y 방향 및 그 반대 방향을 따라 이동한다. 암(70a)은 제 1 클램프(71c) 및 제 2 클램프(72c)의 쌍방을 지지하고 있다. 제 1 클램프(71c)는 암(70a)으로부터(예를 들면 암(70a)의 X 방향의 중앙으로부터), Y 방향으로 연장되어 있다. 제 2 클램프(72c)는 암(70a)으로부터(예를 들면 암(70a)의 X 방향의 중앙으로부터), Y 방향과 반대 방향으로 연장되어 있다. 이 예에서는, 두 개의 클램프를 단일의 이동 기구를 이용하여 이동시키는 것이 가능하다.

또한 상기 실시 형태에서는, 복수의 테스터(2t)의 각각에 두 개의 홀, 즉 제 1 홀(401) 및 제 2 홀(402)이 마련되고, 고정 기구(60)에 두 개의 핀, 즉 제 1 핀(61), 제 2 핀(62)이 마련되어 있지만, 복수의 테스터(2t)에 마련된 홀의 수 및 고정 기구(60)에 마련된 핀의 수의 각각은 두 개에 한정되는 것은 아니다. 복수의 테스터(2t)에 마련된 홀의 수 및 고정 기구(60)에 마련된 핀의 수의 각각은, 예를 들면 네 개 또는 여섯 개여도 된다.

1 : 검사 시스템
2 : 검사 모듈
2c : 검사실
2t : 테스터
4 : 얼라인먼트 모듈
4s : 얼라인먼트 공간
4u : 얼라인먼트 유닛
22 : 척 탑
24 : 테스트 헤드
26 : 프로브 카드
26p : 컨택트 프로브
40 : 얼라이너
401 : 제 1 홀
401t : 테이퍼면
402 : 제 2 홀
402t : 테이퍼면
50 : 지지 기구
60 : 고정 기구
61 : 제 1 핀
62 : 제 2 핀
63 : 제 1 승강 기구
64 : 제 2 승강 기구
70 : 반송 기구

Claims

각각이 프로브 카드 및 테스트 헤드를 포함하는 복수의 테스터를 가지고, 상기 복수의 테스터를 각각 수용 가능한 복수의 검사실을 제공하는 검사 모듈과,
상기 복수의 검사실에 접속 가능한 얼라인먼트 공간 내에 마련된 얼라이너를 가지는 얼라인먼트 모듈이며, 상기 얼라이너는 검사되는 기판의 위치를 상기 복수의 테스터 중 상기 얼라인먼트 공간 내에 수용된 테스터에 대하여 조정하도록 구성된, 상기 얼라인먼트 모듈과,
상기 복수의 테스터 중 상기 얼라인먼트 공간 내에 수용된 상기 테스터를 하방으로부터 지지하도록 구성된 지지 기구와,
상기 얼라인먼트 공간 내에 수용된 상기 테스터를 상기 얼라이너에 대하여 위치 결정하여, 상기 테스터를 상기 지지 기구와 협동하여 고정하도록 구성된 고정 기구
를 구비하는, 검사 시스템.
제 1 항에 있어서,
상기 복수의 테스터의 각각에는 위로 개구된 제 1 홀 및 제 2 홀이 마련되어 있고,
상기 고정 기구는,
상기 얼라인먼트 공간 내에 수용된 상기 테스터를 상기 얼라이너에 대하여 위치 결정하기 위하여, 상기 제 1 홀 및 상기 제 2 홀에 각각 삽입 가능한 제 1 핀 및 제 2 핀과,
상기 제 1 핀 및 상기 제 2 핀을 승강시키도록 구성된 승강 기구
를 가지는, 검사 시스템.
제 2 항에 있어서,
상기 제 1 홀 및 상기 제 2 홀은 서로 간에 정해진 거리를 가지고,
상기 제 1 홀과 상기 제 2 홀이 배열되어 있는 방향은 상기 복수의 테스터의 각각이 상기 복수의 검사실 중 대응하는 검사실과 상기 얼라인먼트 공간과의 사이에서 반송되는 반송 방향에 대하여 정해진 각도를 이루고 경사져 있는, 검사 시스템.
제 3 항에 있어서,
상기 제 1 홀은 원형의 홀이고 상기 제 2 홀은 긴 홀이며,
상기 제 2 홀의 장축은 상기 제 1 홀의 중심과 상기 제 2 홀의 중심을 포함하는 직선 상에서 연장되는, 검사 시스템.
제 4 항에 있어서,
상기 제 1 홀 및 상기 제 2 홀의 각각의 개구 단부는 테이퍼면에 의해 구획 형성되어 있고,
상기 제 1 홀을 구획 형성하는 상기 테이퍼면에 상기 제 1 핀이 접촉하고, 상기 제 2 홀을 구획 형성하는 상기 테이퍼면에 상기 제 2 핀이 접촉함으로써 상기 얼라인먼트 공간 내에 수용된 상기 테스터가 상기 얼라이너에 대하여 위치 결정되는, 검사 시스템.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 기구는 상기 얼라인먼트 공간 내에 수용된 상기 테스터가 그 상에서 슬라이드 이동 가능하도록, 상기 테스터를 지지하는, 검사 시스템.
제 6 항에 있어서,
상기 지지 기구는 복수의 캠 팔로워 또는 복수의 볼 트랜스퍼 유닛을 포함하는, 검사 시스템.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 얼라인먼트 공간 내에 수용된 상기 테스터가 상기 지지 기구에 의해 수평으로 지지되어 있는지 여부를 검출하기 위한 센서를 더 구비하는, 검사 시스템.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 테스터의 각각을 상기 복수의 검사실 중 대응하는 검사실로부터 상기 얼라인먼트 공간으로 반송하여, 상기 얼라인먼트 공간 내에서 상기 얼라이너 상에 배치하는 반송 기구를 더 구비하는, 검사 시스템.
제 9 항에 있어서,
상기 복수의 검사실은 상기 얼라인먼트 공간에 대하여 양측에 마련되어 있고,
상기 반송 기구는,
상기 복수의 테스터 중 상기 얼라인먼트 공간에 대하여 일방측에 배치되어 있는 테스터를 파지하도록 구성된 제 1 클램프와,
상기 복수의 테스터 중 상기 얼라인먼트 공간에 대하여 타방측에 배치되어 있는 테스터를 파지하도록 구성된 제 2 클램프와,
상기 제 1 클램프를 상기 얼라인먼트 공간으로부터 상기 일방측을 향하는 방향 및 그 반대 방향으로 이동시키도록 구성된 제 1 이동 기구와,
상기 제 2 클램프를 상기 얼라인먼트 공간으로부터 상기 타방측을 향하는 방향 및 그 반대 방향으로 이동시키도록 구성된 제 2 이동 기구
를 가지는, 검사 시스템.
제 9 항에 있어서,
상기 복수의 검사실은, 상기 얼라인먼트 공간에 대하여 양측에 마련되어 있고,
상기 반송 기구는,
상기 복수의 테스터 중 상기 얼라인먼트 공간에 대하여 일방측에 배치되어 있는 테스터를 파지하도록 구성된 제 1 클램프와,
상기 복수의 테스터 중 상기 얼라인먼트 공간에 대하여 타방측에 배치되어 있는 테스터를 파지하도록 구성된 제 2 클램프와,
상기 제 1 클램프 및 상기 제 2 클램프의 쌍방을 상기 일방측으로부터 상기 타방측을 향하는 방향 및 그 반대 방향으로 이동시키도록 구성된 이동 기구
를 가지는, 검사 시스템.