JPH1050778A - 重量物移動装置及び検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 テストヘッドとプローブカードを再現性良く
常に一定の平行状態に維持する。 【解決手段】 本プローブ装置は、テストヘッド２を移
動させて装置本体１のプローブカードに電気的に接続し
切り離す移動機構４と、この移動機構４に連結されてテ
ストヘッド２の一側から張り出したジョイントプレート
７を介してテストヘッド２を片持ち支持するアーム３と
を備え、更に、テストヘッド２とプローブカードの離接
時に移動機構４と連動してテストヘッド２を水平に支持
しながら昇降する水平補助機構５を移動機構４とは反対
側の側面に設けることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、重量物移動装置及
び検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の検査装置、例えばプローブ装置
は、装置本体の天面に装着されたプローブカードと、こ
のプローブカードの裏面に形成された接続端子に、これ
らの端子と対応する接続端子が形成されたテストヘッド
とを備え、上記テストヘッドの接続端子を上記プローブ
カードの接続端子に電気的に導通させて被検査体例えば
半導体ウエハの電気的特性検査を行なうように構成され
ている。

【０００３】即ち、プローブ装置本体にはその天面を形
成するヘッドプレートが取り付けられている。このヘッ
ドプレートの略中央には開口部が形成され、この開口部
にインサートリングが装着されている。そして、インサ
ートリングにはカードホルダを介してプローブカードが
着脱自在に装着されている。また、このヘッドプレート
の上方にはプローブカードの接続端子と電気的に導通す
るテストヘッドが配設されている。このテストヘッドは
装置本体の側面に配設された移動装置を介して上下方
向、前後方向及びθ方向で移動できるようにしてある。
そして、半導体ウエハの検査を行う時には、移動装置を
用いてテストヘッドを移動させ、テストヘッド側にリン
グ状に多数配設された接続端子（例えば、ポゴピン）を
プローブカードの接続端子と接続させ、プローブカード
を介して半導体ウエハの電気的検査を行うようにしてあ
る。また、プローブカードを交換する時あるいは装置本
体内を点検する時等のメンテナンス時には、移動装置を
用いてテストヘッドを装置本体のプローブカードから切
り離した後、メンテナンスエリアへ移動させるようにし
てある。

【０００４】また、テストヘッドは移動装置の一対のア
ームにより片持ち支持されている。即ち、アームは例え
ばフローティングボルトからなる連結部材を有し、アー
ムは連結部材を介してテストヘッドのフレームにアーム
と対応させて取り付けられた一対のジョイントプレート
を介して連結されている。そして、連結部材はジョイン
トプレートに形成された連結孔に遊嵌し、テストヘッド
が反転したり、テストヘッドとプローブカードを接続す
る時に連結部材が連結孔内で移動し、連結部材でテスト
ヘッドを持ち上げたり、テストヘッドを移動機構から切
り離したりするようにしてある。

【０００５】また、最近では半導体ウエハの大口径化、
高集積化し、プローブカードの種類によってはテストヘ
ッドが大型化、重量化して来ているため、テストヘッド
をモータを用いて移動させるようになって来た。そし
て、テストヘッドとプローブカードとを電気的に接続す
る時には、テストヘッドの水平状態を極力保持した状態
でテストヘッドを下降させ、テストヘッドと装置本体の
プローブカードとを円滑に接続させるようにしてある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プローブ装置の場合には、プローブカードの種類によっ
てはテストヘッドが例えば１００Ｋｇを超える超重量級
のものがあり、アームで片持ちされたテストヘッドが自
重で水平状態から僅かではあるが下方へ傾斜し、テスト
ヘッドとプローブカードとの平行が崩れ、リング状に配
置されたポゴピン等の接続端子のうち、傾斜端の接続端
子がプローブカードの対応する接続端子に対して斜め方
向から接続し始め、これらの接続端子に過負荷が掛かり
接続端子を損傷する虞があった。また、従来のプローブ
装置の場合には移動中にテストヘッドを平行に保持する
対策も講じられてはいるが、必ずしも万全ではなく、特
に、テストヘッドを反転状態からプローブカードと接続
する状態に戻す時、アームとジョイントプレートとを連
結する連結部材が連結孔内で移動するが、連結部材が連
結孔内で再現性良く移動しないため、テストヘッドとプ
ローブカードを再現性良く常に一定の平行状態に維持す
ることが難しいという課題があった。

【０００７】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、片持ちされたテストヘッド等の重量物を回
転移動等をする際にも重量物を再現性良く常に一定の状
態で片持ち保持して移動させることができる重量物移動
装置を提供すると共に、テストヘッドをメンテナンスな
どにより反転させても、装置本体のプローブカードに対
して常に再現性良く平行を保持した状態で電気的に接続
することができ、ポゴピン等のテストヘッド側の接続端
子を損傷する虞がなく、しかも、テストヘッドをアーム
から確実に切り離すことができる検査装置を提供するこ
とを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の重量物移動装置は、重量物を移動させる移動機構と、
この移動機構に連結されて上記重量物の一側から張り出
したジョイントプレートを介して上記重量物を片持ち支
持するアームとを備え、上記重量物を片持ち移動させて
基台上に載置する重量物移動装置において、上記ジョイ
ントプレートに第１、第２連結孔を上下に設け、第１連
結孔に回転自在なローラを有する第１連結部材を遊嵌す
ると共に第２連結孔に回転自在なローラを有する第２連
結部材を遊嵌して上記ジョイントプレートを上記アーム
に連結し、また、第１連結孔の重量物より遠い側に、上
記重量物側へ傾斜し且つ上記ローラが転動する第１傾斜
辺を設け、また、上記ジョイントプレートの下端に第１
傾斜辺とは逆向きの第２傾斜辺を設けると共にこの傾斜
辺に従って転動する下端ローラを上記アームに設けたこ
とを特徴とするものである。

【０００９】また、本発明の請求項２に記載の検査装置
は、テストヘッドを移動させて装置本体のプローブカー
ドに電気的に接続し切り離す移動機構と、この移動機構
に連結されて上記テストヘッドの一側から張り出したジ
ョイントプレートを介して上記テストヘッドを片持ち支
持するアームとを備え、上記移動機構を介して上記テス
トヘッドを上記プローブカードに接続させて被検査体の
電気的特性検査を行う検査装置において、上記ジョイン
トプレートに第１、第２連結孔を上下に設け、第１連結
孔に第１連結部材を遊嵌すると共に第２連結孔に第２連
結部材を上下動自在に遊嵌して上記ジョイントプレート
を上記アームに連結し、また、上記第１連結孔のテスト
ヘッドより遠い側に、上記テストヘッド側へ傾斜し且つ
上記ローラが転動する第１傾斜辺を設け、更に、上記テ
ストヘッドと上記プローブカードの離接時に上記移動機
構と連動して上記テストヘッドを水平に支持しながら昇
降する水平補助機構を上記移動機構とは反対側の側面に
設けことを特徴とするものである。

【００１０】また、本発明の請求項３に記載の検査装置
は、請求項２に記載の発明において、上記水平補助機構
は、上記テストヘッドのアームによる支持側とは反対側
の側面に下方に突出させて設けられた係合突起と、この
係合突起が係合するように上記装置本体側に設けられた
昇降可能な係合凹部と、この係合凹部を昇降駆動させる
駆動機構とを備えたことを特徴とするものである。

【００１１】また、本発明の請求項４に記載の検査装置
は、請求項２または請求項３に記載の発明において、第
１連結部材は、第１連結孔内に位置する回転自在なロー
ラを有することを特徴とするものである。

【００１２】また、本発明の請求項５に記載の検査装置
は、請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載の発明に
おいて、上記ジョイントプレートの下端に、上記第１傾
斜辺とは逆向きの第２傾斜辺を設けると共にこの傾斜辺
に従って転動する下端ローラを上記アームに設けたこと
を特徴とするものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の検査装置の実施形
態であるプローブ装置を図１〜図７を参照しながら説明
する。本実施形態のプローブ装置は、図１、図２に示す
ように、装置本体１の上面に固定されたプローブカード
（図示せず）と、このプローブカードの裏面に形成され
た接続端子と対応する接続端子を有するテストヘッド２
と、このテストヘッド２を装置本体１の正面左側方で支
持するアーム３と、このアーム３を介してテストヘッド
２を装置本体１から移動させる移動機構４とを備えてい
る。そして、移動機構４は、図１に示すように、上下方
向（Ｚ方向）で移動する昇降体（テストヘッド２を支持
する支持体でもある）４１と、昇降体４１をＺ方向で移
動させる昇降機構及び昇降体４１を前後方向（Ｙ方向）
で移動させる前後移動機構が収納されたハウジング４２
と、テストヘッド２をＸ方向の軸芯を中心にθ方向で所
定の角度範囲で正逆方向に回転させる、昇降体４１上端
部に収納された回転駆動機構４３（図３参照）とを備
え、テストヘッド２をメンテナンスエリアと装置本体１
のプローブカードと接続する範囲で往復移動させるよう
にしてある。従って、テストヘッド２は、移動機構４に
より装置本体１の上方で昇降してプローブカードに対し
て電気的に接続し、切り離されるようになっている。

【００１４】また、上記プローブ装置には図２に示すよ
うに本実施形態のプローブ装置の要部を構成する水平補
助機構５が設けられ、この水平補助機構５は、同図に示
すように、テストヘッド２をプローブカードに接続する
時に移動機構４と同期して連動し、テストヘッド２を受
けて水平に保持した状態で昇降するようにしてある。即
ち、水平補助機構５は、例えばアーム３とは反対側の側
面の前後２箇所にブラケット５１を介して下方に突出す
るように取り付けられた係合突起（係合ロッド）５２
と、各係合ロッド５２が上方から係合するように装置本
体１の側面にブラケット５３を介して取り付けられた昇
降可能な前後２箇所の係合体５４と、各係合体５４をそ
れぞれ同期駆動させる駆動機構（例えば、エアシリン
ダ）５５とを備えて構成されている。係合ロッド５２の
下端には球体部５２Ａが形成され、係合体５４の上面に
は逆円錐形状の凹部５４Ａが形成され、この凹部５４Ａ
に係合ロッド５２の球体部５２Ａが嵌まり込むようにし
てある。この凹部５４Ａの最大径は、球体凹部５２Ａの
最大径より大きく形成され、凹部５２Ａによりテストヘ
ッド２の位置決めも行うようにしてある。

【００１５】上記テストヘッド２が下降する時には、エ
アシリンダ５５の空気を排気し、例えば流量調整弁で下
降速度を調整するようにしてある。テストヘッド２が上
昇する時には、圧縮空気をシリンダ内へ供給し、上昇速
度は下降時と同様に流量調整弁で調整するようにしてあ
る。水平補助機構５の移動機構４との同期駆動は、上下
に設けけられたセンサ（図示せず）でテストヘッド２を
検出することにより行うようにしてある。

【００１６】ところで、上記テストヘッド２は、図２、
図３に示すようにテストヘッド２の枠体６に連結された
ジョイントプレート７を介してアーム３に連結されてい
るが、このジョイントプレート７とアーム３とは後述す
るように切り離しが容易になるように連結され、この点
に本実施形態のプローブ装置の特徴がある。即ち、上記
アーム３は図２に示すようにテストヘッド２の側面に沿
って細長形状に形成され、その長手方向の中央よりやや
偏倚した位置の下辺に回転駆動機構４３と回転体４３Ａ
を介して連結する連結部３１が形成されている。また、
アーム３には長手方向に縦走する断面コ字状の補強部材
３２が上下に取り付けられ、テストヘッド２の荷重によ
る捻れを補強部材３２により防止するようにしてある。

【００１７】そして、上記アーム３の前後両端（図３、
図４では左右両端）には略Ｔ字形状に形成されたブロッ
ク体３３が連結部材３４及びネジ３５を介して連結され
ている。一方、上記ジョイントプレート７は、図３に示
すように、上記枠体６から移動機構４側へ張り出した張
り出し部６Ａに連結されている。そして、このジョイン
トプレート７はアーム３のブロック体３３に重ねた状態
で第１、第２連結部材８、９により上下で連結されてい
る。第１、第２連結部材８、９は、いずれもジョイント
プレート７の上下の第１、第２連結孔７Ａ、７Ｂには遊
嵌し、ブロック体３３の上下の第１、第２連結孔３３
Ａ、３３Ｂには隙間を空けることなく貫通している。そ
して、第１、第２連結部材８、９は、ブロック体３３か
ら突出し、その部分に第１、第２止め部材８１、９１が
装着され、第１、第２止め部材８１、９１とでアーム３
とジョイントプレート７とを連結している。また、ジョ
イントプレート７とブロック体３３間にはシート部材１
０が介装され、このシート部材１０を介してジョイント
プレート７がブロック体３３に対して滑り易い構造にし
てある。

【００１８】次に、ジョイントプレート７の第１、第２
連結孔７Ａ、７Ｂと第１、第２連結部材８、９との関係
について説明する。第１、第２連結孔７Ａ、７Ｂは、図
４、図５に示すように、それぞれ略矩形状に形成されて
いる。また、第１、第２連結部材８、９は、それぞれ第
１、第２連結孔７Ａ、７Ｂ内に位置するローラ８２、９
２を有し、雄ネジ部でブロック体３３の第１、第２連結
用雌ネジ３３Ａ、３３Ｂと螺合してジョイントプレート
７をブロック体３３に連結するようにしてある。そし
て、テストヘッド２がθ方向で回転する際にテストヘッ
ド２の荷重により第１、第２連結部材８、９がそれぞれ
の連結孔７Ａ、７Ｂ内において移動する際に各ローラ８
２、９２が摺動部材８３（但し、第１連結部材８につい
てのみ図５に図示してある。）を介して回転するように
なっている。そして、図５の（ａ）、（ｂ）に示すよう
に、第１連結孔７Ａは第１連結部材８が遊嵌する大きさ
に形成されている。更に、第１連結孔７Ａにはテストヘ
ッド２より遠い側の辺が、昇降体４１側からテストヘッ
ド２側へ傾斜する第１傾斜辺７Ｃとして形成され、他の
辺は互いに直交するように形成されている。また、第２
連結孔７Ｂは第２連結部材９が遊嵌する大きさの長方形
として形成されている。尚、８４、９４はそれぞれスペ
ーサである。

【００１９】そして、テストヘッド２が装置本体１上に
載置され、プローブカードと接続した時には、第１、第
２連結部材８、９の軸芯が第１、第２連結孔７Ａ、７Ｂ
の中心と略一致し、テストヘッド２がアーム３から切り
離された、いわゆるフローティング状態になるようにし
てある。また、移動機構４を介してテストヘッド２がプ
ローブカードから切り離される時には、第１連結部材８
が第１連結孔７Ａの第１傾斜辺７Ｃに接触するようにし
てある。また、テストヘッド２がプローブカードに接続
する時には、水平補助機構５の係合ロッド５２が係合体
５４の凹部５４Ａと係合すると共に、水平補助機構５の
エアシリンダ５５が移動機構４と同期して駆動し、エア
シリンダ５５の圧縮空気を徐々に排気しながらテストヘ
ッド２が水平を維持しながら徐々に下降し、テストヘッ
ド２が下降端に達した時に第１、第２連結部材８がテス
トヘッド２から切り離されてフローティング状態になる
と共に、テストヘッド２は装置本体１上で水平に維持さ
れた状態になる。

【００２０】更に、図４、図５に示すように、上記ブロ
ック体３３の上下両端には取付部材１１がそれぞれ取り
付けられ、各取付部材１１の端部にはローラ１２が軸部
材１３を介して回転自在に取り付けられている。各ロー
ラ１２はアーム３とジョイントプレート７とが連結され
た状態でジョイントプレート７の上下端の突起部７Ｄ、
７Ｅの移動機構４側の側辺を転動するようにしてある。
特に、下側の突起部７Ｄのローラ１２が係合する辺は第
１連結孔７Ａの第１傾斜辺７Ｃと逆方向に同一角度だけ
傾斜した第２傾斜辺７Ｆとして形成されている。そし
て、テストヘッド２が昇降する時に、下側のローラ１２
は、第１連結部材８のローラ８２と同様に突起部７Ｅの
第２傾斜辺７Ｆに強く圧接しながら円滑に転動するよう
になっている。従って、テストヘッド２の昇降時に、テ
ストヘッド２の荷重はジョイントプレート７を介して第
１連結部材８及びローラ１２で均等に２分するようにし
てある。

【００２１】図７は図５の（ａ）に示したジョイントプ
レート７とは別のジョイントプレート７０を示す図であ
る。このジョイントプレート７０は、同図に示すよう
に、図５の場合と同様に、第１、第２連結部材８０、９
０が遊嵌する第１、第２連結孔７０Ａ、７０Ｂが形成さ
れている。しかし、第１連結孔７０Ａと下側のローラ１
２の中心間の距離Ｌ１は図５の（ａ）の場合のその距離
Ｌより短く形成されている。また、第１、第２連結部材
８０、９０にはローラがなく、第１連結孔７０Ａの傾斜
辺７０Ｃ及び突起部７０Ｅの傾斜辺７０Ｆそれぞれの角
度βは角よりも大きく設定されている。

【００２２】図７に示すジョイント機構の場合には、例
えばテストヘッド２がプローブカードに接続され、ある
いはプローカードから切り離される時に、テストヘッド
２から第１連結孔７０Ａの傾斜辺７０Ｃに掛かる荷重は
同図の（ｂ）で示すようにＦ１で、距離Ｌ１が短いほど
大きくなる力である。また、テストヘッド２が反転した
状態からプローブカードに接続する状態に戻る時には、
例えば第１連結部材８０は図７の（ｂ）の右下の隅角部
から左側へ移動し、傾斜辺７０Ｃに摺接しながら移動す
るが、この時、第１連結部材８０の傾斜辺７０Ｃでの移
動を妨げる力が同図の（ｂ）で示すＦ４として働く。こ
の抵抗力はＦ４＝Ｆ２×ｃｏｓβ＋Ｆ３×μで求めるこ
とができる。また、Ｆ１とＦ２の合力であるＦ３はＦ３
＝Ｆ１／ｃｏｓβで求めることができる。但し、μは接
触部の摩擦係数である。これらの関係式からも明らかな
ように、第１、第２連結孔間の距離Ｌ１を小さくし、角
度βを小さくするほどＦ２、Ｆ３が小さくなることが判
る。更に、接触部の摩擦係数μが小さいほどＦ４が小さ
くなることも判る。

【００２３】これらのことから図５の（ａ）、（ｂ）に
示すジョイントプレート７のように第１傾斜辺７Ｃ及び
第２傾斜辺７Ｆの傾斜角αが小さく、しかもそれぞれの
ローラ８２、９２により摩擦係数が小さくなるほど第
１、第２連結部材８、９の移動を妨げる力Ｆ４が小さく
なり、第１、第２連結部材８、９が第１、第２連結孔７
Ａ、７Ｂにおいて円滑に移動することが判る。特に、テ
ストヘッド２が反転状態（第１連結孔７Ａが下側に位置
し、第２傾斜辺７Ｆが上側に位置する状態）からプロー
ブカードに接続する状態（図５の（ａ）で示す状態）に
戻る時には、図６に示す反転状態（但し、第１連結部材
８と第１連結孔７Ａとの関係のみが示してある。）の第
１連結部材８は同図に実線で示す位置にあり、テストヘ
ッド２がプローブカードに接続する状態に戻るに連れて
第１連結部材８は第１連結孔７Ａの一点鎖線で示す位置
へ移動し、次いで二点鎖線で示す第１傾斜辺７Ｃへ移動
し、第１傾斜辺７Ｃに従ってローラ８２が転動しながら
図５の（ａ）に示す状態に円滑に再現性良く戻り、常に
テストヘッド２とプローブカードとの関係を常に一定の
対峙関係に維持することができる。このように第１連結
部材８が第１連結孔７Ａにおいて再現性良く移動するた
めには、傾斜角αは例えばフローティング部の中心から
テストヘッド２の重心までの水平方向の寸法を４００ｍ
ｍに設定し、図５のＬを２７０ｍｍと設定した時には８
°以下に設定されていることが好ましい。

【００２４】次の動作について説明する。まず、テスト
ヘッド２を装置本体１の真上の位置から下降させてテス
トヘッド２をプローブカードに接続させる場合について
説明する。テストヘッド２が装置本体１の上方に位置す
る時には、テストヘッド２はジョイントプレート７を介
してアーム３により水平に保持されている。この状態で
移動機構４の昇降体４１はテストヘッド２からの荷重に
より多少装置本体１側へ傾斜し、昇降体４１に連結され
たアーム３のブロック体３３も昇降体４１と同様に装置
本体１側へ傾斜している。

【００２５】次いで、移動機構４によりテストヘッド２
が下降し、係合ロッド５２が係合体５４の凹部５４Ａに
嵌入し、水平補助機構５がテストヘッド２を水平に保持
した状態になったことを水平補助機構５のセンサが検出
すると、水平補助機構５が移動機構４と同期しながらシ
リンダ内の圧縮空気を流量調整しながら排気するに連れ
てテストヘッド２が水平を保持しながら徐々に下降し、
テストヘッド２の全接続端子がプローブカードの接続端
子に真上から均等な圧力で接触し始め、テストヘッド２
が下降端に達すると、センサがテストヘッド２を検出し
（図１に示すように係合体５４がブラケット側に接触し
た状態）、エアシリンダ５５の排気を終了すると共に図
示しないクランプ機構でテストヘッドをクランプする。
この時には、テストヘッド２の全接続端子がプローブカ
ードの接続端子に接続されている。その後も移動機構４
が引き続き駆動し、第１、第２連結部材８、９が第１、
第２連結孔７Ａ、７Ｂの中心に達してテストヘッド２は
移動機構４から切り離されたフローティング状態にな
る。テストヘッド２がフローティング状態になった後に
は、プローブ装置により所定の検査を行うことができ
る。

【００２６】所定の検査を終了した後、例えばプローブ
カードの交換作業を行う場合には、移動機構４を介して
テストヘッド２が装置本体１から上昇する。この際、例
えば図示しないクランプ機構が作動してテストヘッド２
を解放した後、移動機構４により第１、第２連結部材
８、９が上昇するとジョイントプレート７を介してテス
トヘッド２を徐々に持ち上げ、テストヘッド２をプロー
ブカードから切り離しに掛かる。この時、移動機構４に
よりテストヘッド２を持ち上げるタイミングに合わせて
センサを介して水平補助機構５が作動してエアシリンダ
５５に圧縮空気を供給し、その空気圧で係合体５４を持
ち上げ、テストヘッド２は水平状態のまま上昇する。

【００２７】テストヘッド２が上昇端に達し、メンテナ
ンスエリアまで移動した後、メンテナンスのためテスト
ヘッド２が反転すると、例えば第１連結部材８は第１連
結孔７Ａ内で移動して図６の実線位置まで移動し、第２
連結部材９は第２傾斜辺７Ｆに従って移動する。メンテ
ナンス終了後、再びテストヘッド２が装置本体１側へ移
動する時には、例えばメンテナンスエリアにおいてテス
トヘッド２が反転する。テストヘッド２が反転してプロ
ーブカードと接続する状態に戻る時には、テストヘッド
２が反転するに連れて例えば第１連結部材８は図６に示
すように実線位置から一点鎖線で示す位置へ移動し、次
いでテストヘッド２が反転した時点で第１連結部材８は
第１傾斜辺７Ｃ側の二点鎖線で示す位置へ移動して第１
傾斜辺７Ｃに圧接する。この時、第１連結部材８には第
１傾斜辺７Ｃに圧接しているため、第１連結部材８が図
５の（ａ）に位置に戻る過程で第１傾斜辺７Ｃとの間で
その移動を妨げる力が作用するが、本実施形態では第１
傾斜辺７Ｃの傾斜角が小さく、しかも第１連結部材８は
ローラ８２を介して第１傾斜辺７Ｃに接触しているた
め、第１連結部材８は第１傾斜辺７Ｃに従って円滑に移
動し、再現性良く確実に図５の（ａ）で示す位置へ戻
り、テストヘッド２とプローブカードとの位置関係を常
に一定の状態に確保することができる。その後、テスト
ヘッド２が下降し、プローブカードに接続される時には
上述したように水平補助機構５の作用によりプローブカ
ードと平行を維持した状態になり、ポゴピン等の損傷を
確実に防止することができる。

【００２８】以上説明したように本実施形態によれば、
テストヘッド２とアーム３とを連結するジョイントプレ
ート７に第１、第２連結孔７Ａ、７Ｂを上下に設け、第
１連結部材８を第１連結孔７Ａに遊嵌すると共に第２連
結孔７Ｂに第２連結部材９を遊嵌してジョイントプレー
ト７をアーム３に連結し、また、第１連結孔７Ａにテス
トヘッド２側へ傾斜する第１傾斜辺７Ｃを設け、テスト
ヘッド２とプローブカードの離接時に移動機構４と連動
してテストヘッド２を水平に支持しながら昇降する水平
補助機構５を移動機構４とは反対側の側面に設けたた
め、テストヘッド２とプローブカードとが常に平行を保
持した状態で接続し、切り離され、ポゴピン等の接続端
子の損傷を確実に防止することができる。

【００２９】また、本実施形態によれば、アーム３の第
１連結部材８に第１連結孔７Ａ内に位置するローラ８２
を設けると共にアーム３の下端にジョイントプレート７
の第２傾斜辺７Ｆに接触するローラ１２を設けたため、
第１連結部材８のローラ８２及びローラ１２にジョイン
トプレート７の第１傾斜辺７Ｃ及び第２傾斜辺７Ｄが強
く圧接しても第１連結部材８はローラ８２を介して第１
傾斜辺７Ｃを転動すると共にローラ１２が第２傾斜辺７
Ｆを転動し、第１連結部材８が第１連結孔７Ａ内で円滑
に移動し、テストヘッド２を反転からプローブカードと
の接続状態に戻す際に、第１連結孔７Ａ内において第１
連結部材８は第１傾斜辺７Ｃと上辺との隅角部に確実且
つ再現性良く戻り、常に一定の状態でテストヘッド２を
水平補助機構５に引き渡すことができ、テストヘッド２
を移動機構４から確実に切り離し、テストヘッド２のフ
ローティング状態を確保することができる。

【００３０】尚、本発明は上記実施形態に何等制限され
るものではなく、例えば第１連結孔７Ａの第１傾斜辺７
Ｃ及び下端の第２傾斜辺７Ｆの傾斜角αは適宜設定する
ことができ、ローラの構造も適宜選択することができ
る。また、水平補助機構５の駆動機構もエアシリンダに
制限されるものではない。要は本発明に要旨を逸脱しな
い限り、具体的な構成要素は必要に応じて適宜選択する
ことができる。

【００３１】

【発明の効果】本発明の請求項１に記載の発明によれ
ば、片持ちされたテストヘッド等の重量物を回転移動等
をする際にも重量物を再現性良く常に一定の状態で片持
ち保持して移動させることができる重量物移動装置を提
供することができる。

【００３２】また、本発明の請求項２〜請求項５に記載
の発明によれば、テストヘッドをメンテナンスなどによ
り反転させても、装置本体のプローブカードに対して常
に再現性良く平行を保持した状態で電気的に接続するこ
とができ、ポゴピン等のテストヘッド側の接続端子を損
傷する虞がなく、しかも、テストヘッドをアームから確
実に切り離すことができる検査装置を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の実施形態であるプローブ装
置を示す斜視図である。

【図２】図１に示すプローブ装置の要部を一部を破断し
て示す正面図である。

【図３】（ａ）は図１に示すプローブ装置の移動機構と
アームとの関係を示す分解斜視図、（ｂ）はアームの断
面図である。

【図４】図２に示すアームとジョイントプレートとの関
係を示す分解斜視図である。

【図５】図４に示すジョイントプレートと連結部材との
関係を示す図で、（ａ）はその正面図、（ｂ）は（ａ）
の○で囲んだ部分を拡大して示す図である。

【図６】テストヘッドを反転状態からプローブカードと
の接続状態に戻す際の第１連結部材の移動状態を説明す
るための説明図である。

【図７】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ他のジョイントプレ
ートと連結部材との関係を示す図５の（ａ）、（ｂ）に
相当する図である。

【符号の説明】

１ 装置本体 ２ テストヘッド ３ アーム ４ 移動機構（重量物移動装置） ５ 水平補助機構 ７ ジョイントプレート ７Ａ 第１連結孔 ７Ｂ 第２連結孔 ７Ｃ 第１傾斜辺 ７Ｆ 第２傾斜辺 ８ 第１連結部材 ９ 第２連結部材 １２ 下側のローラ（下端ローラ） ８２ 第１連結部材のローラ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 重量物を移動させる移動機構と、この移
   動機構に連結されて上記重量物の一側から張り出したジ
   ョイントプレートを介して上記重量物を片持ち支持する
   アームとを備え、上記重量物を片持ち移動させて基台上
   に載置する重量物移動装置において、上記ジョイントプ
   レートに第１、第２連結孔を上下に設け、第１連結孔に
   回転自在なローラを有する第１連結部材を遊嵌すると共
   に第２連結孔に回転自在なローラを有する第２連結部材
   を遊嵌して上記ジョイントプレートを上記アームに連結
   し、また、第１連結孔の重量物より遠い側に、上記重量
   物側へ傾斜し且つ上記ローラが転動する第１傾斜辺を設
   け、また、上記ジョイントプレートの下端に第１傾斜辺
   とは逆向きの第２傾斜辺を設けると共にこの傾斜辺に従
   って転動する下端ローラを上記アームに設けたことを特
   徴とする重量物移動装置。
2. 【請求項２】 テストヘッドを移動させて装置本体のプ
   ローブカードに電気的に接続し切り離す移動機構と、こ
   の移動機構に連結されて上記テストヘッドの一側から張
   り出したジョイントプレートを介して上記テストヘッド
   を片持ち支持するアームとを備え、上記移動機構を介し
   て上記テストヘッドを上記プローブカードに接続させて
   被検査体の電気的特性検査を行う検査装置において、上
   記ジョイントプレートに第１、第２連結孔を上下に設
   け、第１連結孔に第１連結部材を遊嵌すると共に第２連
   結孔に第２連結部材を上下動自在に遊嵌して上記ジョイ
   ントプレートを上記アームに連結し、また、上記第１連
   結孔のテストヘッドより遠い側に、上記テストヘッド側
   へ傾斜し且つ上記ローラが転動する第１傾斜辺を設け、
   更に、上記テストヘッドと上記プローブカードの離接時
   に上記移動機構と連動して上記テストヘッドを水平に支
   持しながら昇降する水平補助機構を上記移動機構とは反
   対側の側面に設けことを特徴とする検査装置。
3. 【請求項３】 上記水平補助機構は、上記テストヘッド
   のアームによる支持側とは反対側の側面に下方に突出さ
   せて設けられた係合突起と、この係合突起が係合するよ
   うに上記装置本体側に設けられた昇降可能な係合凹部
   と、この係合凹部を昇降駆動させる駆動機構とを備えた
   ことを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
4. 【請求項４】 第１連結部材は、第１連結孔内に位置す
   る回転自在なローラを有することを特徴とする請求項２
   または請求項３に記載の検査装置。
5. 【請求項５】 上記ジョイントプレートの下端に、上記
   第１傾斜辺とは逆向きの第２傾斜辺を設けると共にこの
   傾斜辺に従って転動する下端ローラを上記アームに設け
   たことを特徴とする請求項２〜請求項４のいずれか１項
   に記載の検査装置。