JP5358138B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
11 載置台
12 プローブカード
12A プローブ
13 アライメント機構
18A 支持柱(支持体)
21 テスタ
22 昇降駆動機構
23 昇降ガイド機構
24 荷重センサ
25 接続リング
W 半導体ウエハ(被検査体)
Claims (4)
- 移動可能な載置台上で保持された被検査体と上記載置台の上方に配置されたプローブカードを位置合わせした後、上記被検査体と上記プローブカードを一括接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置において、上記プローブカードを支持する支持体と、上記プローブカードの上側に配置されたテスタと、上記テスタに連結され且つ上記テスタを昇降させて上記プローブカードと電気的に接触させる昇降駆動機構と、上記プローブカードと上記載置台の間に移動可能に配置されて上記被検査体の電極パッドと上記プローブカードのプローブとの位置合わせを行う際に上記被検査体及び上記プローブカードの双方を撮像するアライメント機構と、を備え、上記アライメント機構は、互いに対向する位置に配置された第1、第2のカメラと、第1、第2のカメラそれぞれの光軸に光路変換手段として配置された第1、第2のプリズムと、これら両プリズムの間に配置された透明な合焦手段と、を有し、上下方向及び水平方向に移動可能に構成され、上記第1のカメラが上記第1、第2のプリズムを介して上記プローブと上記電極パッドとを撮像すると同時に上記第2のカメラが第2、第1のプリズムを介して上記第1のカメラで撮像した上記プローブと上記電極パッドそれぞれに対応する電極パッドとプローブとを撮像することを特徴とする検査装置。
- 上記被検査体と上記プローブカードの接触荷重を検出する荷重センサを設けたことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 上記テスタを昇降案内する昇降ガイド機構を設けたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査装置。
- 上記テスタは、上記プローブカードと電気的に接触する接続リングを有すると共に上記接続リングを保守点検するために旋回可能に構成されていることを特徴とする求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の検査装置。
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