JP6909567B2 - 直線変位測定装置の取付け具 - Google Patents

Description

本発明は直線変位測定装置の取付け具に関する。具体的には、熱応力を逃がすようにしながら直線変位測定装置を被測定物に取り付けるための構造に関する。

各種産業機械において精密な位置制御を行うため、変位測定装置、いわゆるエンコーダが利用される。
直線変位測定装置を図９に示す。
直線変位測定装置１０は、スケール部１１と、検出ヘッド部１６と、を具備する。
スケール部１１は、測長方向に長手状のメインスケール（不図示）と、メインスケールを収容するスケール収容筐体１２と、を備える。

光電式の例でいうと、メインスケールは、主としてガラス基板で構成されており、ガラス基板上に回折格子が配列されている。スケール収容筐体１２は中空かつ長尺状であり、例えばアルミニウム等の（軽量の）金属製であることが多い。そして、スケール収容筐体１２には、取り付け固定用の孔１３が複数穿設されている。

検出ヘッド１６は、スケール収容筐体１２の長手方向に相対移動可能に設けられており、メインスケールに対する相対変位あるいは相対位置を検出する。検出ヘッド１６にも、取り付け固定用の孔が穿設されている。

直線変位測定装置１０は、例えば、移動ステージ９０に取り付けられる。移動ステージ９０が、基台９１と、基台９１に対してスライド移動可能なステージ９２と、で構成されているとする。このとき、スケール収容筐体１２がステージ９２の側端面９３にネジ止めされ、検出ヘッド１６が基台９１にネジ止めされる。この構成により、基台９１に対するステージ９２の相対変位が精密に測定される。

ところで、移動ステージ９０も金属製なのであるが、十分な剛性を確保したり、変形を防止したりするため、例えば鉄製であることが多い。
ここで、鉄の線膨張係数が１１×１０^−６であるのに対し、アルミニウムの線膨張係数は２３×１０^−６である。
温度が変化したときの変形量（伸縮量）はアルミニウムの方が大きい。
スケール収容筐体１２がステージ９２の側端面９３に完全に固定されていると、スケール収容筐体１２の伸縮が規制され、その分、熱応力が発生する。
この熱応力はスケール収容筐体１２に曲がりや歪みを生じさせる。これにより、スケール収容筐体１２内部のメインスケールにも曲がりや歪みが生じることになり、測定精度の劣化が生じてくる。さらに、熱応力がスケール収容筐体１２とステージ９２との締結力を超えると、結合部にずれや緩みが生じてしまうことになる。熱応力に起因するスケール収容筐体１２の変形は、例えば２ｍや３ｍといった長尺のスケールになってくると到底無視出来ない問題となってくる。したがって、スケール収容筐体１２とステージ９２との結合部には、単なるネジ止めではなく、熱応力を逃がす機構を組み込んでおく必要がある。

ちなみに、熱応力を逃がすことによってスケール収容筐体１２およびメインスケールの曲がりや歪みを回避することができれば、直線性を保った伸縮自体は致命的な問題ではない。温度による伸縮だけであれば温度補正は（原理的には）可能である。

本出願人は熱応力の低減を目的とする直線変位測定装置の取付け構造をこれまでにもいくつか提案している（例えば特許文献１）。特許文献１に開示された長さ測定装置の弾性固定具を図１０に示す。スケール収容筐体１２は、一つの完全固定ブロック４０と、複数の弾性固定ブロック５０と、によってステージ９２に取り付けられる。完全固定ブロック４０は、剛性を有し、変形しない、逆さＬ字型の金具である。完全固定ブロック４０は、スケール収容筐体１２の略中央に取り付けられ（２２）、さらに、ステージ９２の側端面９３にネジ止めされる。

一方、弾性固定ブロック５０は、同じく逆さＬ字型の金具であるが、一部が矩形に穿設されることで平行板ばね機構５４となっている。弾性固定ブロック５０の一端（固定部５２）がステージ９２の側端面９３にネジ止めされ、他端（連結部５６）がスケール収容筐体１２にネジ止め（２２）される。

完全固定ブロック４０による一点においてスケール収容筐体１２はステージ９２に固定的にネジ止めされており、これによって原点位置が固定的に確保される。一方、その他の箇所ではスケール収容筐体１２とステージ９２との間に弾性固定ブロック５０が介在し、平行板ばね機構５４が横ずれを許容する。これにより、ステージ９２に対するスケール収容筐体１２の相対的伸縮が許容される。したがって、スケール収容筐体１２の熱応力を逃がすことができ、スケール収容筐体１２、すなわち、メインスケールの曲がりや歪みを防止できる。もちろん、ネジ止め（２０）であるので、直線変位測定装置１０や移動ステージ９０を交換することも可能である。

この構成は確かに優れた性能を発揮するのであるが、部品点数がかなり多くなってしまうという問題も持つ。すなわち、一つの完全固定ブロック４０と、複数の弾性固定ブロック５０と、多くのネジと、が必要になってくる。例えば、メインスケールの長さが２ｍ−３ｍという長尺になってくると弾性固定ブロック５０が２０個以上必要になってくる。また、弾性固定ブロック５０は、平行板ばね５４を作り込まなければならないなど特殊な形状をしていることもあって、製造コストが安価というわけにはいかない。ある程度短いスケールであれば上記構成を採用することに利点もあるが、長尺のスケールに対しては設置工数、時間、コストなどの面で問題もある。

そこで、部品点数を少なくするための工夫として本出願人は次のような構成も採用している。図１１において、スケール収容筐体１２には取付け用の孔１３が複数穿設されている。ここで、長手方向の略中央に穿設された中央孔（不図示）については、その孔径は雄ネジ径と略同じになっている。中央孔により、スケール収容筐体１２は固定的にステージ９２にネジ止めされ、メインスケールの原点が固定される。一方、その他の孔１３については、孔径が雄ネジ１４の径よりも一回り大きくなっており、ネジ軸１４と孔１３との間に隙間が残るようにしている。この隙間により、スケール収容筐体１２の横ずれを許容する。

ただし、当然ながら各種産業機械には常に振動や衝撃が発生するのであるから、直線変位測定装置１０がガタつかないようにしなければならない。したがって、雄ネジ１４と孔１３との間に数本のＯリング１５を介装し、さらに、隙間に接着剤１８を流し込んでＯリング１５の位置を固定する。図１２に断面図を示した。Ｏリング１５には、弾性的にスケール収容筐体１２を支えて横ずれを許容すること、雄ネジ１４が孔１３の中心にくるように心出しすること、振動や衝撃に対して防振すること、といった役割がある。接着剤１８を流し込むのは、振動や衝撃が常時かかるような場合でもＯリング１５の位置がずれないようにするためである。

この構成は簡易でありながらも横ずれを許容しながら長尺の直線変位測定装置１０を安定的に設置する優れた構造である。

特開２００４−３０１５４１号公報

図１１、図１２の構造は優れたものであるが、次のような問題があることに本発明者らは気付いた。
問題の一つは、隙間に接着剤１８を流し込むのが難しいということである。接着剤１８には粘性があるので、接着剤１８を孔１３に流し込むのは時間、手間、技量を要する。また、丁度良い量の接着剤１８を孔に流し込むのも難しい。少なすぎるとＯリング１５の固定が不十分になってしまうのであるが、だからといって接着剤１８が多すぎると孔１３から接着剤１８が溢れてくる。美観を損ねることにもなるし、きれいに拭き取ることになると手間が掛かる。

問題の二つ目は、一度接着剤１８で固定してしまうと、直線変位測定装置１０や移動ステージ９０を交換することが難しいということである。直線変位測定装置１０および移動ステージ９０の一方が故障したとした場合、まとめて交換しなければならなくなってくる。これはユーザにとって費用負担が大きい。

本発明の目的は、スケール収容筐体の熱応力を低減できる直線変位測定装置の取付け具を提供することにあり、より具体的には、簡易な構成でありながらも着脱もできる直線変位測定装置の取付け具を提供することにある。

本発明の取付け具は、
直線変位測定装置を取付け面に取り付ける取付け具であって、
スケール収容筐体に穿設された貫通孔に挿入されるブッシュと、
前記貫通孔と前記ブッシュとの間に設けられた弾性体と、
前記ブッシュに挿入され、さらに、前記取付け面に螺入される取付けネジと、
前記取付けネジの頭部と前記スケール収容筐体との間に配設され、前記スケール収容筐体を前記取付け面に向けて付勢する付勢手段と、を備える
ことを特徴とする。

本発明では、
前記弾性体は、前記ブッシュに熱溶着されたゴムである
ことが好ましい。

本発明では、
前記ブッシュは軸に垂直な方向に張り出したフランジ部を有し、
前記付勢手段は、前記フランジ部のうら面に熱溶着されたゴムである
ことが好ましい。

本発明では、
前記ブッシュは軸に垂直な方向に張り出したフランジ部を有し、
前記付勢手段は、板バネであって、中央部分である台部に前記取付けネジを挿通する孔を有するとともに前記台部の端に屈曲によって形成された脚部を有し、
前記板バネの前記台部が前記フランジ部と前記取付けネジの頭部とに挟持された状態で前記脚部が前記スケール収容筐体を前記取付け面に向けて付勢する
ことが好ましい。

本発明では、
前記フランジ部と前記スケール収容筐体との間にギャップが存在する
ことが好ましい。

本発明では、
前記フランジ部は、測長方向に長く、測長方向に垂直な方向に短い
ことが好ましい。

本発明では、
前記ブッシュに外嵌し、前記ブッシュが前記貫通孔から抜けないようにするストップリングを備える
ことが好ましい。

本発明の直線変位測定装置は、
取付け面に取付け可能な直線変位測定装置であって、
貫通孔を有するスケール収容筐体と、
前記貫通孔に挿入されたブッシュと、
前記貫通孔と前記ブッシュとの間に設けられた弾性体と、
前記ブッシュに外嵌し、前記ブッシュが前記貫通孔から抜けないようにするストップリングと、を備える
ことを特徴とする。

本発明の直線変位測定装置の取付け方法は、
前記ブッシュに取付けネジを挿入し、
前記取付けネジを前記取付け面に螺入する
ことを特徴とする。

直線変位測定装置を本実施形態の取付け具で移動ステージに取り付けた状態を示す図である。 正面側から見た取付け具の分解斜視図である。 背面側から見た取付け具の分解斜視図である。 図１中のＶＩ−ＶＩ線における断面図である。 ブッシュの斜視図である。 板バネを側方視した図である。 取付け具でスケール収容筐体をステージに取り付ける途中の状態を断面図で示す図である。 第２実施形態を説明するための図である。 背景技術として、直線変位測定装置を示す図である。 背景技術として、弾性固定具を示す図である。 背景技術として、接着剤で固定するタイプの取り付け形態を示す図である。 図１１の断面図である。

本発明の実施形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
取付け具２００の説明の前に、取付け面９３となるステージ９２、および、取り付けられる直線変位測定装置１００の方を少し説明しておく。
図１は、直線変位測定装置１００を本実施形態の取付け具２００で移動ステージ９０に取り付けた状態を示す図である。
ステージ９２の側端面９３には、直線変位測定装置１００をネジ止めするためのネジ孔９４が所定の間隔で設けられている。（ネジ孔９４は、断面図である図４に表われる。）
ネジ孔９４の位置や大きさは、移動ステージ９０の規格で大体決められている。

直線変位測定装置１００について簡単に説明する。
直線変位測定装置１００のスケール収容筐体１１０が取付け具２００によって取付け面９３に取り付けられる。
スケール収容筐体１１０を側方視すると長方形の一つの角を鈍角にするように引っ込めた六角形である。
ここで、図３においてスケール収容筐体１１０を断面して示す通り、スケール収容筐体１１０は、メインスケール１０１を収容する中空の５角形１２０の上に矩形の頭１３０が乗っているような形とも解釈できる。
この矩形の頭１３０の部分が取付け具２００によってステージ９２の側端面９３に取付けられると、これにより中空の５角形１２０がつり下げられるような形になる。そこで、矩形の頭１３０の部分をハンギングフレーム部１３０と名付けることにする。中空の５角形１２０の部分は、中空ボディ１２０と名付けることにする。

スケール収容筐体１１０の背面は、ステージ９２の側端面９３に密接できるように略平坦面となっている。
そして、ハンギングフレーム部１３０はその正面側の面と背面側の面とが略平行である。
正面側の面から取付け具２００が取り付けられることでハンギングフレーム部１３０はステージ９２の側端面９３にほぼ隙間無く押し付けられるようになっている。

ネジの長さを考えればハンギングフレーム部１３０の奥行きＷ１は薄い方が良いとも言える。が、後述するように、弾性リング（Ｏリング２３０）の内挿によってネジとスケール収容筐体１１０との間に適切な弾性力を保持しなければならない。このことを考えると、二以上のＯリング２３０を並列に収納できる程度の幅Ｗ１は必要である。また、ハンギングフレーム部１３０の高さＴ１は、ステージ９２の高さやステージ９２のネジ孔９４の位置などの規格によってほぼ決まってくる。仮にハンギングフレーム部１３０の高さＴ１を少し大きくしたいという思いがあったとしても、測定機メーカ（直線変位測定装置のメーカ）の一存では変えることができない。

ハンギングフレーム部１３０には長手方向に沿って複数の貫通孔１４０がステージ９２側端面９３のネジ孔９４と同じ間隔で穿設されている。貫通孔１４０が設けられた箇所においては、ハンギングフレーム部１３０の背面に浅い凹部１５０が凹設されている。また、ハンギングフレーム部１３０の正面側には、長手方向に続く浅い溝１６０ができるように、上縁条１６１と下縁条１６２とが貫通孔１４０を間にして平行に凸設されている。

取付け具２００を説明する。
図２および図３は、取付け具２００の分解斜視図を示す図である。図２は正面側から見た分解斜視図であり、図３は背面側から見た分解斜視図である。さらに、図４は図１のＶＩ−ＶＩ線における断面図である。

取付け具２００は、取付けネジ２１０と、ブッシュ２２０と、Ｏリング２３０と、板バネ２４０と、ストップリング２５０と、を備える。

ここで簡単に取り付け手順を記しておく。
まず、ハンギングフレーム部１３０の貫通孔１４０にＯリング２３０とブッシュ２２０とを挿入する。ハンギングフレーム部１３０の背面からストップリング２５０をブッシュ２２０に嵌める。さらに、ブッシュ２２０を覆うように正面側から板バネ２４０を被せ、取付けネジ２１０をネジ込む。なお、背景技術との対比でいうと、この取付け具２００は弾性固定ブロック５０に対比される。したがって、スケール収容筐体１１０の略中央の孔（不図示）についてはこの取付け具２００を使用せずに完全固定的なネジ止めとし、その他の孔（貫通孔１４０）に取付け具２００を適用する。

取付け具２００の各部品について説明していく。
取付けネジ２１０は、頭部２１１とネジ軸２１２とを有するいわゆる雄ネジである。頭部２１１がある程度張り出し、平坦な座面２１３を有している。ここで、頭部２１１の径は、貫通孔１４０の孔径よりも一回り大きいのは当然であるが、ネジ軸２１２の軸径は、貫通孔１４０の孔径に比べて一回り小さい。（貫通孔１４０の孔径がネジ軸２１２の軸径よりも一回り大きい。）つまり、取付けネジ２１０を貫通孔１４０に挿入したとき、取付けネジ２１０と貫通孔１４０との間に隙間ができる。この隙間にはブッシュ２２０とＯリング２３０とが介装される。

取付けネジ２１０をハンギングフレーム部１３０の正面側から挿入したとき、取付けネジ２１０の先端側がネジ孔９４に螺入できる程度に雄ネジ２１２の軸長は十分な長さを有する。
さらに、後述するように、座面２１３とハンギングフレーム部１３０との間にブッシュ２２０のフランジ部２２５を挟むので、雄ネジ２１２の軸長はハンギングフレーム部１３０の奥行きＷ１よりも十分に長い。

ブッシュ２２０は、両端開口の円筒形であり、ネジ軸２１２と貫通孔１４０との間の隙間に介装される。
ネジ軸２１２と貫通孔１４０との間の隙間にはブッシュ２２０に加えてＯリング２３０も介装される。このことも考慮して、ブッシュ２２０は肉薄に設計されている。
ブッシュ２２０の筒孔の内径は、ネジ軸２１２を挿通できる程度の大きさであるが、筒孔とネジ軸２１２との間に極僅かなクリアランスが確保できる程度に設計しておくことが好ましい。

図５はブッシュ２２０の斜視図である。
ブッシュ２２０は、円筒状の胴部２２１と、胴部２２１の一端（これを基端とする）において張り出したフランジ部２２５と、を有する。

胴部２２１において、その外側面には胴部２２１を一周する円環状の凸条２２２が複数設けられている。凸条２２２は、胴部２２１の軸方向に間隔を隔てて複数設けられている。これら凸条２２２を竹の節に見立てて節２２２と呼び、節２２２と節２２２との間を節間部２２３ということにする。節間部２２３にはＯリング２３０が配設されるところ、節２２２はＯリング２３０が乗り越えられない程度の高さを持った仕切りとなる。節２２２は、仕切りとして機能できればよいので、必ずしも胴部２２１を一周連続している必要はなく、断続していてもいいのであり、例えば、所定角度（例えば１２０°）間隔で突き出た凸部であってもよい。

さらに、胴部２２１において、その先端側には胴部２２１を一周する円環状の凹条２２４が形成されている。
この凹条２２４にはストップリング２５０が外嵌する。

フランジ部２２５は、胴部２２１の基端において軸に垂直な方向に張り出している。ここでは、軸方向から見たときにフランジ部２２５は円形ではなく、楕円形とも違うが、円または楕円の上下を切り落とし、二つの半円を二本の直線で繋いだような形状である。ハンギングフレーム部１３０の高さＴ１が規格によってある程度決まってくることは前述した。また、貫通孔１４０の孔径をネジ軸２１２よりも一回り大きくとっていることも前述した。このような制約の下、フランジ部２２５としての張り出し幅を十分に確保しようとすると、上下方向を切り落とし、左右方向（測長方向）に延ばすということになる。フランジ部２２５の正面側端面２２６は平坦面であり、フランジ部２２５の正面側端面２２６と取付けネジ２１０の座面２１３との間に板バネ２４０を挟む。

ブッシュ２２０の胴部２２１の長さＬ１は、ハンギングフレーム部１３０の奥行きＷ１よりもほんの僅かに長い。
ブッシュ２２０が貫通孔１４０に挿入された状態でハンギングフレーム部１３０の背面がステージ９２の側端面９３に押し当てられる。
ここで、胴部２２１の先端がステージ９２の側端面９３に突き当たったとき、フランジ部２２５の背面とハンギングフレーム部１３０の側面（溝部１６０）との間にはほんの僅かに隙間Ｇ１が残る（図４参照）。
つまり、ブッシュ２２０のフランジ部２２５は、ハンギングフレーム部１３０（スケール収容筐体１１０）をステージ９２の側端面９３に直接的に押し付けているわけではない。
（ハンギングフレーム部１３０（スケール収容筐体１１０）をステージ９２の側端面９３に直接的に押し付けるのは板バネ２４０の役目である。）

Ｏリング２３０は、市販されているいわゆるＯリングである。
Ｏリング２３０は、胴部２２１の節間部２２３に配設された状態で貫通孔１４０に挿入される。
胴部２２１の節間部２２３と貫通孔１４０の内壁との間のギャップをＯリング２３０がちょうど埋めるようにＯリング２３０の径が選定される。つまり、Ｏリング２３０は、節間部２２３の外径とほぼ同じサイズの内径を有し、凸状２２２の外径よりも大きいサイズの外径を有するものが使用される。そして、Ｏリング２３０を節間部２２３に嵌め込んで、このブッシュ２２０を貫通孔１４０に挿入すると、Ｏリング２３０は貫通孔１４０の内壁によって押しつぶされて、節間部２２３内でブッシュ２２０の軸線方向に沿って広がる。なお、ここでは、線径１．５ｍｍ、内径７．５ｍｍのものを使用している。
各種産業機械が発する振動や衝撃を吸収したり緩衝したりする必要から、Ｏリング２３０は複数本あった方がよい。

板バネ２４０は、スケール収容筐体１１０をステージ９２の側端面９３に押し付ける付勢手段である。
図６は、板バネ２４０を側方視した図である。
板バネ２４０は、金属製の帯状薄板をＭ字状に折り曲げたような形状である。
板バネ２４０を側方視すると、中央に略平坦な台部２４１があって、台部２４１の両サイドに脚２４２が付いているようにも見える。
板バネ２４０を正面から見ると、台部２４１の中央には取付けネジ２１０のネジ軸２１２を挿通できる孔２４７が穿設されている。

台部２４１の端が折られることで脚部２４２が形成される。脚２４２の形状説明するにあたり図６の向きを用いることにする。図６の紙面上方を上といい、図６の紙面下方を下ということにする。薄板が台部２４１の端で浅く折られることで脚部２４２が始まる。この部分を脚２４２の根元部２４３とする。根元部２４３で折られることで、脚部２４２はまず浅い角度で台部２４１よりも上方に向かう。その後、略９０°の角度で鋭く折り曲げられて下方に下がる。この鋭い曲折点２４４を膝部２４４とする。膝部２４４から下方に向かい、その後、かかと部２４５を形成するように略９０°で折り曲げられている。かかと部２４５から先のつま先部２４６が台部２４１とは反対側、すなわち、外側に向かうように折られている。

板バネ２４０の幅は、ハンギングフレーム部１３０の正面にある溝１６０にちょうど嵌る長さである（例えば図１参照）。板バネ２４０に力を掛けていない状態において、かかと部２４５から台部２４１までの高さＬ２がある程度必要である。ここで、図７は、取付け具２００でスケール収容筐体１１０をステージ９２に取り付ける途中の状態を断面図で示す図である。

ブッシュ２２０の先端がステージ９２の側端面９３に突き当たった状態で、ブッシュ２２０のフランジ２２５とハンギングフレーム部１３０の溝部１６０底面との間にギャップＧ１があることは既に説明した。ここで、板バネ２４０をブッシュ２２０のフランジ部２２５を覆うように被せたとする。このとき、かかと部２４５が溝部１６０底面に当接した状態で台部２４１がブッシュ２２０のフランジ部２２５から浮いている必要がある（図７中のギャップＧ２）。この後、取付けネジ２１０を締め込んでいくと（矢印Ａ１）、取付けネジ２１０の座面２１３によって台部２４１がフランジ部２２５に向けて押される（矢印Ａ２）。取付けネジ２１０の座面２１３が板バネ２４０を押し込む力はかかと部２４５に伝わる。かかと部２４５は、根元部２４３に溜まった歪みに起因する力でスケール収容筐体１１０をステージ９２の側端面９３に付勢する。このようにして直線変位測定装置１００（スケール収容筐体１１０）がステージ９２の側端面９３に密接し、板バネ２４０で押さえられることでガタつきもなくなる。

ストップリング２５０は、いわゆるＣ形リング（Ｃ形止め輪）である。ストップリング２５０は、ブッシュ２２０の先端側に形成された凹条２２４に外嵌する。
ストップリング２５０は、図４または図７に示されるように、ブッシュ２２０が貫通孔１４０から抜けないように、ハンギングフレーム部１３０の背面側からブッシュ２２０に嵌められる。
なお、ハンギングフレーム部１３０の背面側には凹部１５０が凹設されており、ストップリング２５０がハンギングフレーム部１３０の背面から出っ張らないようになっている。

ストップリング２５０はブッシュ２２０の抜け止めであって、直線変位測定装置１００（スケール収容筐体１１０）の取り付けだけを考えると、無くてもよい。ただ、ストップリング２５０を利用することで、直線変位測定装置１００（スケール収容筐体１１０）の取り付け作業が格段に効率的になる。すなわち、測定機メーカとしては工場段階においてブッシュ２２０をスケール収容筐体１１０に取り付けておくことができる。Ｏリング２３０を胴部２２１の節間部２２３に配設し、このブッシュ２２０を貫通孔１４０に挿入して、ストップリング２５０でブッシュ２２０を抜け止めしてしまう。顧客の工場で各種産業機械に直線変位測定装置１００を取り付けるにあたっては、ブッシュ２２０の上に板バネ２４０を置いて、さらに取付けネジ２１０をねじ込めば良い。

２ｍや３ｍといった長尺の直線変位測定装置１００になると取り付け箇所は２０や３０箇所になってくる。これだけの数のブッシュ２２０やＯリング２３０を顧客先でバラバラと取り出して作業するとなると部品の管理が大変であるし効率も悪い。この点、工場出荷段階でＯリング２３０やブッシュ２２０まで取り付けできていれば、その後の作業は楽である。

このような構成を備える本実施形態の取付け具２００によれば次の効果を奏する。
（１）本実施形態の取付け具においては、スケール収容筐体１１０の貫通孔１４０にブッシュ２２０を挿入し、このブッシュ２２０と貫通孔１４０の内壁とでＯリング２３０を挟むようにした。そして、ブッシュ２２０の外周には節間部２２３を設けてあり、Ｏリング２３０の据わりを良くした。これにより、Ｏリング２３０を接着剤で固定する必要がなくなった。このことは、取付け作業の効率化に大きく貢献する。また、接着剤で固定してしまうわけでないので、取り外し自在である。

（２）Ｏリング２３０を配設したブッシュ２２０をストップリング２５０によって貫通孔１４０内に抜け止めしておくことができる。これにより、取付け作業の段階においてはＯリング２３０やブッシュ２２０を意識する必要はなく、ただのネジ止めとほぼ同等の作業となる。したがって、取り付け作業が簡素になるとともに特別な技量が要求されるようなこともなくなる。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態を説明する。
第２実施形態の基本的構成は第１実施形態と同じであるが、第２実施形態では、ブッシュ２２０にＯリング２３０を外嵌することに代えて、ブッシュ２２０に弾性体層２６０を直接形成する点に特徴を有する。
図８に第２実施形態を示す。
図８に示すように、ブッシュ２２０にゴム（樹脂）からなる弾性体層２６０を熱溶着で形成している。ブッシュ２２０に弾性体層２６０を直接形成するので、Ｏリングを嵌めるための凸条２２２や節間部２２３は必要なく、胴部２２１の側面はストレートでよい。

弾性体層２６０は、胴部２２１の側面およびフランジ部２２５のうら面に形成されている。
弾性体層２６０の厚みとしては、胴部２２１の側面において０．５ｍｍ〜０．７ｍｍ程度とし、フランジ部２２５のうら面においては０．２ｍｍ程度とすることが例として挙げられる。

図８では、ハンギングフレーム部１３０の貫通孔１４０と弾性体層２６０との間には隙間があるように描いているが、この隙間は例えばシリコーン接着剤で埋めるようにしてもよい。すなわち、ブッシュ２２０を貫通孔１４０に挿入する前に、弾性体層２６０の外側にシリコーン接着剤を薄く塗布してもよい。

あるいは、貫通孔１４０と弾性体層２６０との間に隙間ができないようにし、ブッシュ２２０を貫通孔１４０に圧入するようにしてもよい。

第２実施形態においては、ハンギングフレーム部１３０の奥行きとブッシュ２２０の胴部２２１の長さとを略同じか、あるいは、ブッシュ２２０の胴部２２１の長さハンギングフレーム部１３０の奥行きよりも若干短くしておく。
そして、取り付けネジ２１０をブッシュ２２０に挿入して、ステージ９２の孔９４に取り付けネジ２１０を螺入させたとき、取付けネジ２１０の座面２１３がブッシュ２２０フランジ部２２５を介してハンギングフレーム部１３０を押すようにする。このとき、フランジ部２２５のうら面に形成された弾性体層２６０はクッションになるとともに、適度な力でハンギングフレーム部１３０を押す付勢手段ともなる。

図８には図示しなかったが、第２実施形態のブッシュ２２０にも抜け止めとしてのストップリング２５０を取り付けるようにしてもよいことはもちろんである。

なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
上記実施形態においては、板バネ２４０をブッシュ２２０のフランジ部２２５と取付けネジ２１０の頭部２１１とで挟むようにしている。
これに対し、例えば、弾性部材をブッシュ２２０のフランジ部２２５とハンギングフレーム部との間のギャップＧ１に挟むようにしても同等の作用を得ることができる。
（ちなみに、ギャップＧ１に弾性部材を介装した場合でもフランジ部のさらに外側に取付けネジの頭部が存在するのであるから、弾性部材は「前記取付けネジの頭部と前記スケール収容筐体の外側面との間に配設され」ていることに違いはない。）

ブッシュのフランジ部を左右（測長方向）に長い形状としていたが、ハンギングフレーム部の形状によってはフランジ部を円形にしてももちろんよい。

１０…直線変位測定装置、１１…スケール部、１２…スケール収容筐体、１３…孔、１４…雄ネジ、１５…Ｏリング、１６…検出ヘッド部、１８…接着剤、４０…完全固定ブロック、５０…弾性固定ブロック、５２…固定部、５４…平行板ばね機構、５６…連結部、９０…移動ステージ、９１…基台、９２…ステージ、９３…取付け面、９４…ネジ孔、１００…直線変位測定装置、１０１…メインスケール、１１０…スケール収容筐体、１２０…中空ボディ、１３０…ハンギングフレーム部、１４０…貫通孔、１５０…凹部、１６０…溝部、１６１…上縁条、１６２…下縁条、２００…取付け具、２１０…取付けネジ、２１１…ネジ頭部、２１２…ネジ軸、２１３…座面、２２０…ブッシュ、２２１…胴部、２２２…節、２２３…節間部、２２４…凹条、２２５…フランジ部、２３０…Ｏリング、２４０…板バネ、２４１…台部、２４２…脚部、２４３…根元部、２４４…膝部、２４５…かかと部、２４６…つま先部、２４７…孔、２５０…ストップリング、２６０…弾性体層。

Claims (6)

1. 直線変位測定装置を取付け面に取り付ける取付け具であって、
   スケール収容筐体に穿設された貫通孔に挿入されるブッシュと、
   前記貫通孔と前記ブッシュとの間に設けられた弾性体と、
   前記ブッシュに挿入され、さらに、前記取付け面に螺入される取付けネジと、
   前記取付けネジの頭部と前記スケール収容筐体との間に配設され、前記スケール収容筐体を前記取付け面に向けて付勢する付勢手段と、を備え、
   前記ブッシュは軸に垂直な方向に張り出したフランジ部を有し、
   前記付勢手段は、板バネであって、中央部分である台部に前記取付けネジを挿通する孔を有するとともに前記台部の端に屈曲によって形成された脚部を有し、
   前記板バネの前記台部が前記フランジ部と前記取付けネジの頭部とに挟持された状態で前記脚部が前記スケール収容筐体を前記取付け面に向けて付勢する
   ことを特徴とする直線変位測定装置の取付け具。
2. 請求項１に記載の直線変位測定装置の取付け具において、
   前記フランジ部と前記スケール収容筐体との間にギャップが存在する
   ことを特徴とする直線変位測定装置の取付け具。
3. 請求項１または請求項２に記載の直線変位測定装置の取付け具において、
   前記弾性体は、前記ブッシュの胴部に熱溶着されたゴムである
   ことを特徴とする直線変位測定装置の取付け具。
4. 請求項１から請求項３のいずれかに記載の直線変位測定装置の取付け具において、
   前記フランジ部は、測長方向に長く、測長方向に垂直な方向に短い
   ことを特徴とする直線変位測定装置の取付け具。
5. 取付け面に取付け可能な直線変位測定装置と、請求項１から請求項４のいずれかに記載の直線変位測定装置の取付け具と、を具備した直線変位測定装置の取付けセットにおいて、
   前記ブッシュに外嵌し、前記ブッシュが前記貫通孔から抜けないようにするストップリングを備える
   ことを特徴とする直線変位測定装置の取付けセット。
6. 請求項５に記載の直線変位測定装置の取付けセットで直線変位測定装置を取り付け面に取り付ける方法であって、
   前記ブッシュに前記取付けネジを挿入し、
   前記取付けネジを前記取付け面に螺入する
   ことを特徴とする直線変位測定装置の取付け方法。

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