JP6862192B2 - 光学素子 - Google Patents
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Description
1.45≦n1≦1.50 かつ 0.39×λ0≦n1×d1≦0.72×λ0
2.00≦n2≦2.30 かつ 0.05×λ0≦n2×d2≦0.09×λ0
1.45≦n3≦1.50 かつ 0.07×λ0≦n3×d3≦0.13×λ0
2.00≦n4≦2.30 かつ 0.16×λ0≦n4×d4≦0.30×λ0
1.45≦n5≦1.50 かつ 0.05×λ0≦n5×d5≦0.09×λ0
2.00≦n6≦2.30 かつ 0.10×λ0≦n6×d6≦0.19×λ0
1.38≦n7≦1.41 かつ 0.12×λ0≦n7×d7≦0.22×λ0
1.45≦n8≦1.50 かつ 0.07×λ0≦n8×d8≦0.14×λ0
の条件を満足する。
図1は、第1実施形態に係る光学素子の一部分の断面図である。光学素子300は、レンズ基体である樹脂で形成されたレンズ(樹脂レンズ)200と、樹脂レンズ200の表面上に形成された反射防止膜100と、を有する。
蒸着治具: φ1400ド−ム、φ600治具単位で自公転
3〜15r.p.m.で公転可能
蒸発源 : 10KW電子銃
イオン銃: エンドホール型イオン銃
膜厚制御: 水晶膜厚系による蒸着速度、膜厚制御
導入ガス: 酸素およびアルゴン(イオン銃内部)、酸素(真空室内)
1.45≦n1≦1.50 かつ 0.39×λ0≦n1×d1≦0.72×λ0
2.00≦n2≦2.30 かつ 0.05×λ0≦n2×d2≦0.09×λ0
1.45≦n3≦1.50 かつ 0.07×λ0≦n3×d3≦0.13×λ0
2.00≦n4≦2.30 かつ 0.16×λ0≦n4×d4≦0.30×λ0
1.45≦n5≦1.50 かつ 0.05×λ0≦n5×d5≦0.09×λ0
2.00≦n6≦2.30 かつ 0.10×λ0≦n6×d6≦0.19×λ0
1.38≦n7≦1.41 かつ 0.12×λ0≦n7×d7≦0.22×λ0
1.45≦n8≦1.50 かつ 0.07×λ0≦n8×d8≦0.14×λ0
0.50×λ0≦n1×d1≦0.61×λ0
0.06×λ0≦n2×d2≦0.08×λ0
0.09×λ0≦n3×d3≦0.11×λ0
0.21×λ0≦n4×d4≦0.25×λ0
0.06×λ0≦n5×d5≦0.07×λ0
0.13×λ0≦n6×d6≦0.16×λ0
0.15×λ0≦n7×d7≦0.19×λ0
0.10×λ0≦n8×d8≦0.12×λ0
図5は、第2実施形態に係る光学素子の一部分の断面図である。光学素子300Aは、レンズ基体である樹脂で形成されたレンズ(樹脂レンズ)200Aと、樹脂レンズ200Aの表面上に形成された反射防止膜100Aと、を有する。
1.45≦n1≦1.50 かつ 0.37×λ0≦n1×d1≦0.69×λ0
2.00≦n2≦2.30 かつ 0.03×λ0≦n2×d2≦0.06×λ0
1.45≦n3≦1.50 かつ 0.06×λ0≦n3×d3≦0.12×λ0
2.00≦n4≦2.30 かつ 0.06×λ0≦n4×d4≦0.12×λ0
1.45≦n5≦1.50 かつ 0.03×λ0≦n5×d5≦0.06×λ0
2.00≦n6≦2.30 かつ 0.13×λ0≦n6×d6≦0.25×λ0
1.45≦n7≦1.50 かつ 0.04×λ0≦n7×d7≦0.08×λ0
2.00≦n8≦2.30 かつ 0.09×λ0≦n8×d8≦0.16×λ0
1.38≦n9≦1.41 かつ 0.14×λ0≦n9×d9≦0.26×λ0
1.45≦n10≦1.50 かつ 0.04×λ0≦n10×d10≦0.08×λ0
0.47×λ0≦n1×d1≦0.58×λ0
0.04×λ0≦n2×d2≦0.05×λ0
0.08×λ0≦n3×d3≦0.10×λ0
0.08×λ0≦n4×d4≦0.10×λ0
0.04×λ0≦n5×d5≦0.05×λ0
0.17×λ0≦n6×d6≦0.21×λ0
0.06×λ0≦n7×d7≦0.07×λ0
0.11×λ0≦n8×d8≦0.14×λ0
0.18×λ0≦n9×d9≦0.22×λ0
0.06×λ0≦n10×d10≦0.70×λ0
第3実施形態では、レンズ基体である樹脂基板上に8層の反射防止膜を設けた光学素子について説明する。第3実施形態における8層の反射防止膜は、入射角0度で光が入射したとき波長450(nm)の可視域から波長850(nm)の近赤外域までの反射率を1%以下に抑えるよう構成したものである。第3実施形態における8層の反射防止膜の膜構成を表11に示す。ここで、基準波長をλ0とする。基準波長λ0は定数であり、以下の表11には、設計時の基準波長λ0が550(nm)の場合について示している。
1.45≦n1≦1.50 かつ 0.44×λ0≦n1×d1≦0.67×λ0
2.00≦n2≦2.30 かつ 0.05×λ0≦n2×d2≦0.09×λ0
1.45≦n3≦1.50 かつ 0.09×λ0≦n3×d3≦0.14×λ0
2.00≦n4≦2.30 かつ 0.16×λ0≦n4×d4≦0.25×λ0
1.45≦n5≦1.50 かつ 0.05×λ0≦n5×d5≦0.09×λ0
2.00≦n6≦2.30 かつ 0.11×λ0≦n6×d6≦0.17×λ0
1.38≦n7≦1.41 かつ 0.17×λ0≦n7×d7≦0.27×λ0
1.45≦n8≦1.50 かつ 0.04×λ0≦n8×d8≦0.07×λ0
第4実施形態では、レンズ基体である樹脂基板上に10層の反射防止膜を設けた光学素子について説明する。第4実施形態における8層の反射防止膜は、入射角0度で光が入射したとき波長420(nm)の可視域から波長850(nm)の近赤外域までの反射率を1%以下に抑えるよう構成したものである。表13に第4実施形態における10層の反射防止膜の膜構成を示す。ここで、基準波長をλ0とする。基準波長λ0は定数であり、以下の表13には、設計時の基準波長λ0が550(nm)の場合について示している。
1.45≦n1≦1.50 かつ 0.40×λ0≦n1×d1≦0.61×λ0
2.00≦n2≦2.30 かつ 0.03×λ0≦n2×d2≦0.05×λ0
1.45≦n3≦1.50 かつ 0.07×λ0≦n3×d3≦0.12×λ0
2.00≦n4≦2.30 かつ 0.07×λ0≦n4×d4≦0.12×λ0
1.45≦n5≦1.50 かつ 0.03×λ0≦n5×d5≦0.06×λ0
2.00≦n6≦2.30 かつ 0.17×λ0≦n6×d6≦0.27×λ0
1.45≦n7≦1.50 かつ 0.04×λ0≦n7×d7≦0.07×λ0
2.00≦n8≦2.30 かつ 0.09×λ0≦n8×d8≦0.15×λ0
1.38≦n9≦1.41 かつ 0.15×λ0≦n9×d9≦0.24×λ0
1.45≦n10≦1.50 かつ 0.05×λ0≦n10×d10≦0.08×λ0
第5実施形態では、レンズ基体である樹脂基板上に6層の反射防止膜を設けた光学素子について説明する。第5実施形態における6層の反射防止膜は、入射角0度で光が入射したとき波長450(nm)から波長650(nm)までの可視域での反射率を0.5%以下に抑えるよう構成したものである。第5実施形態における6層の反射防止膜の膜構成を表15に示す。ここで、基準波長をλ0とする。基準波長λ0は定数であり、以下の表15には、設計時の基準波長λ0が550(nm)の場合について示している。
1.45≦n1≦1.50 かつ 0.25×λ0≦n1×d1≦0.48×λ0
2.00≦n2≦2.30 かつ 0.02×λ0≦n2×d2≦0.05×λ0
1.45≦n3≦1.50 かつ 0.06×λ0≦n3×d3≦0.13×λ0
2.00≦n4≦2.30 かつ 0.32×λ0≦n4×d4≦0.60×λ0
1.38≦n5≦1.41 かつ 0.09×λ0≦n5×d5≦0.17×λ0
1.45≦n6≦1.50 かつ 0.05×λ0≦n6×d6≦0.11×λ0
第6実施形態では、レンズ基体である樹脂基板上に8層の反射防止膜を設けた光学素子について説明する。第6実施形態における8層の反射防止膜は、入射角0度で光が入射したとき波長450(nm)の可視域から波長650(nm)の可視域までの反射率を0.5%以下に抑えるよう構成したものである。表17に第6実施形態における8層の反射防止膜の膜構成を示す。ここで、基準波長をλ0とする。基準波長λ0は定数であり、以下の表17には、設計時の基準波長λ0が550(nm)の場合について示している。
1.45≦n1≦1.50 かつ 0.33×λ0≦n1×d1≦0.62×λ0
2.00≦n2≦2.30 かつ 0.04×λ0≦n2×d2≦0.08×λ0
1.45≦n3≦1.50 かつ 0.06×λ0≦n3×d3≦0.12×λ0
2.00≦n4≦2.30 かつ 0.19×λ0≦n4×d4≦0.36×λ0
1.45≦n5≦1.50 かつ 0.01×λ0≦n5×d5≦0.04×λ0
2.00≦n6≦2.30 かつ 0.10×λ0≦n6×d6≦0.19×λ0
1.38≦n7≦1.41 かつ 0.10×λ0≦n7×d7≦0.21×λ0
1.45≦n8≦1.50 かつ 0.05×λ0≦n8×d8≦0.10×λ0
Claims (15)
- レンズ基体の上に反射防止層を備える光学素子であって、
前記反射防止層が、
前記レンズ基体側から、シリコン酸化物層とタンタル酸化物層とが交互に積層された6層からなる多重層と、
前記多重層の上に設けられたマグネシウムフッ化物層と、
前記マグネシウムフッ化物層の上に設けられたシリコン酸化物層と、を含み、
前記レンズ基体側から順に、前記反射防止層に含まれる各層の波長λ0に対する屈折率をn1、n2、n3、n4、n5、n6、n7、n8とし、物理膜厚をd1、d2、d3、d4、d5、d6、d7、d8としたとき、
1.45≦n1≦1.50 かつ 0.39×λ0≦n1×d1≦0.72×λ0
2.00≦n2≦2.30 かつ 0.05×λ0≦n2×d2≦0.09×λ0
1.45≦n3≦1.50 かつ 0.07×λ0≦n3×d3≦0.13×λ0
2.00≦n4≦2.30 かつ 0.16×λ0≦n4×d4≦0.30×λ0
1.45≦n5≦1.50 かつ 0.05×λ0≦n5×d5≦0.09×λ0
2.00≦n6≦2.30 かつ 0.10×λ0≦n6×d6≦0.19×λ0
1.38≦n7≦1.41 かつ 0.12×λ0≦n7×d7≦0.22×λ0
1.45≦n8≦1.50 かつ 0.07×λ0≦n8×d8≦0.14×λ0
の条件を満足する光学素子。 - 前記反射防止層が、
0.50×λ0≦n1×d1≦0.61×λ0
0.06×λ0≦n2×d2≦0.08×λ0
0.09×λ0≦n3×d3≦0.11×λ0
0.21×λ0≦n4×d4≦0.25×λ0
0.06×λ0≦n5×d5≦0.07×λ0
0.13×λ0≦n6×d6≦0.16×λ0
0.15×λ0≦n7×d7≦0.19×λ0
0.10×λ0≦n8×d8≦0.12×λ0
の条件を満足する請求項1に記載の光学素子。 - レンズ基体の上に反射防止層を備える光学素子であって、
前記反射防止層が、
前記レンズ基体側から、シリコン酸化物層とタンタル酸化物層とが交互に積層された8層からなる多重層と、
前記多重層の上に設けられたマグネシウムフッ化物層と、
前記マグネシウムフッ化物層の上に設けられたシリコン酸化物層と、を含み、
前記レンズ基体側から順に、前記反射防止層に含まれる各層の波長λ0に対する屈折率をn1、n2、n3、n4、n5、n6、n7、n8、n9、n10とし、物理膜厚をd1、d2、d3、d4、d5、d6、d7、d8、d9、d10としたとき、
1.45≦n1≦1.50 かつ 0.37×λ0≦n1×d1≦0.69×λ0
2.00≦n2≦2.30 かつ 0.03×λ0≦n2×d2≦0.06×λ0
1.45≦n3≦1.50 かつ 0.06×λ0≦n3×d3≦0.12×λ0
2.00≦n4≦2.30 かつ 0.06×λ0≦n4×d4≦0.12×λ0
1.45≦n5≦1.50 かつ 0.03×λ0≦n5×d5≦0.06×λ0
2.00≦n6≦2.30 かつ 0.13×λ0≦n6×d6≦0.25×λ0
1.45≦n7≦1.50 かつ 0.04×λ0≦n7×d7≦0.08×λ0
2.00≦n8≦2.30 かつ 0.09×λ0≦n8×d8≦0.16×λ0
1.38≦n9≦1.41 かつ 0.14×λ0≦n9×d9≦0.26×λ0
1.45≦n10≦1.50 かつ 0.04×λ0≦n10×d10≦0.08×λ0
の条件を満足する光学素子。 - 前記反射防止層が、
0.47×λ0≦n1×d1≦0.58×λ0
0.04×λ0≦n2×d2≦0.05×λ0
0.08×λ0≦n3×d3≦0.10×λ0
0.08×λ0≦n4×d4≦0.10×λ0
0.04×λ0≦n5×d5≦0.05×λ0
0.17×λ0≦n6×d6≦0.21×λ0
0.06×λ0≦n7×d7≦0.07×λ0
0.11×λ0≦n8×d8≦0.14×λ0
0.18×λ0≦n9×d9≦0.22×λ0
0.06×λ0≦n10×d10≦0.70×λ0
の条件を満足する請求項3に記載の光学素子。 - 前記反射防止層に対する光の入射角を0度とし、波長550(nm)の光に対する前記反射防止層の反射率をR550、波長650(nm)の光に対する前記反射防止層の反射率をR650、波長850(nm)の光に対する前記反射防止層の反射率をR850としたとき、
前記反射防止層は、前記レンズ基体の中央部での反射率が1.5%≧R550≧R650≧R850で、かつR850≦1%である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光学素子。 - レンズ基体の上に反射防止層を備える光学素子であって、
前記反射防止層が、
前記レンズ基体側から、シリコン酸化物層とタンタル酸化物層とが交互に積層された6層からなる多重層と、
前記多重層の上に設けられたマグネシウムフッ化物層と、
前記マグネシウムフッ化物層の上に設けられたシリコン酸化物層と、を含み、
前記レンズ基体側から順に、前記反射防止層に含まれる各層の波長λ0に対する屈折率をn1、n2、n3、n4、n5、n6、n7、n8とし、物理膜厚をd1、d2、d3、d4、d5、d6、d7、d8としたとき、
1.45≦n1≦1.50 かつ 0.44×λ0≦n1×d1≦0.67×λ0
2.00≦n2≦2.30 かつ 0.05×λ0≦n2×d2≦0.09×λ0
1.45≦n3≦1.50 かつ 0.09×λ0≦n3×d3≦0.14×λ0
2.00≦n4≦2.30 かつ 0.16×λ0≦n4×d4≦0.25×λ0
1.45≦n5≦1.50 かつ 0.05×λ0≦n5×d5≦0.09×λ0
2.00≦n6≦2.30 かつ 0.11×λ0≦n6×d6≦0.17×λ0
1.38≦n7≦1.41 かつ 0.17×λ0≦n7×d7≦0.27×λ0
1.45≦n8≦1.50 かつ 0.04×λ0≦n8×d8≦0.07×λ0
の条件を満足する光学素子。 - レンズ基体の上に反射防止層を備える光学素子であって、
前記反射防止層が、
前記レンズ基体側から、シリコン酸化物層とタンタル酸化物層とが交互に積層された8層からなる多重層と、
前記多重層の上に設けられたマグネシウムフッ化物層と、
前記マグネシウムフッ化物層の上に設けられたシリコン酸化物層と、を含み、
前記レンズ基体側から順に、前記反射防止層に含まれる各層の波長λ0に対する屈折率をn1、n2、n3、n4、n5、n6、n7、n8、n9、n10とし、物理膜厚をd1、d2、d3、d4、d5、d6、d7、d8、d9、d10としたとき、
1.45≦n1≦1.50 かつ 0.40×λ0≦n1×d1≦0.61×λ0
2.00≦n2≦2.30 かつ 0.03×λ0≦n2×d2≦0.05×λ0
1.45≦n3≦1.50 かつ 0.07×λ0≦n3×d3≦0.12×λ0
2.00≦n4≦2.30 かつ 0.07×λ0≦n4×d4≦0.12×λ0
1.45≦n5≦1.50 かつ 0.03×λ0≦n5×d5≦0.06×λ0
2.00≦n6≦2.30 かつ 0.17×λ0≦n6×d6≦0.27×λ0
1.45≦n7≦1.50 かつ 0.04×λ0≦n7×d7≦0.07×λ0
2.00≦n8≦2.30 かつ 0.09×λ0≦n8×d8≦0.15×λ0
1.38≦n9≦1.41 かつ 0.15×λ0≦n9×d9≦0.24×λ0
1.45≦n10≦1.50 かつ 0.05×λ0≦n10×d10≦0.08×λ0
の条件を満足する光学素子。 - レンズ基体の上に反射防止層を備える光学素子であって、
前記反射防止層が、
前記レンズ基体側から、シリコン酸化物層とタンタル酸化物層とが交互に積層された4層からなる多重層と、
前記多重層の上に設けられたマグネシウムフッ化物層と、
前記マグネシウムフッ化物層の上に設けられたシリコン酸化物層と、を含み、
前記レンズ基体側から順に、前記反射防止層に含まれる各層の波長λ0に対する屈折率をn1、n2、n3、n4、n5、n6とし、物理膜厚をd1、d2、d3、d4、d5、d6としたとき、
1.45≦n1≦1.50 かつ 0.25×λ0≦n1×d1≦0.48×λ0
2.00≦n2≦2.30 かつ 0.02×λ0≦n2×d2≦0.05×λ0
1.45≦n3≦1.50 かつ 0.06×λ0≦n3×d3≦0.13×λ0
2.00≦n4≦2.30 かつ 0.32×λ0≦n4×d4≦0.60×λ0
1.38≦n5≦1.41 かつ 0.09×λ0≦n5×d5≦0.17×λ0
1.45≦n6≦1.50 かつ 0.05×λ0≦n6×d6≦0.11×λ0
の条件を満足する光学素子。 - レンズ基体の上に反射防止層を備える光学素子であって、
前記反射防止層が、
前記レンズ基体側から、シリコン酸化物層とタンタル酸化物層とが交互に積層された6層からなる多重層と、
前記多重層の上に設けられたマグネシウムフッ化物層と、
前記マグネシウムフッ化物層の上に設けられたシリコン酸化物層と、を含み、
前記レンズ基体側から順に、前記反射防止層に含まれる各層の波長λ0に対する屈折率をn1、n2、n3、n4、n5、n6、n7、n8とし、物理膜厚をd1、d2、d3、d4、d5、d6、d7、d8としたとき、
1.45≦n1≦1.50 かつ 0.33×λ0≦n1×d1≦0.62×λ0
2.00≦n2≦2.30 かつ 0.04×λ0≦n2×d2≦0.08×λ0
1.45≦n3≦1.50 かつ 0.06×λ0≦n3×d3≦0.12×λ0
2.00≦n4≦2.30 かつ 0.19×λ0≦n4×d4≦0.36×λ0
1.45≦n5≦1.50 かつ 0.01×λ0≦n5×d5≦0.04×λ0
2.00≦n6≦2.30 かつ 0.10×λ0≦n6×d6≦0.19×λ0
1.38≦n7≦1.41 かつ 0.10×λ0≦n7×d7≦0.21×λ0
1.45≦n8≦1.50 かつ 0.05×λ0≦n8×d8≦0.10×λ0
の条件を満足する光学素子。 - 前記波長λ0は、380nm以上750nm以下である請求項1乃至9のいずれか1項に記載の光学素子。
- 前記レンズ基体の材質が、d線に対して屈折率1.48以上1.55以下の樹脂である請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光学素子。
- 前記レンズ基体の材質が、d線に対して屈折率1.48以上1.65以下の樹脂である請求項6乃至9のいずれか1項に記載の光学素子。
- 前記レンズ基体の材質が、シクロオレフィンポリマー樹脂又はPMMA樹脂である請求項11または12に記載の光学素子。
- 前記レンズ基体が曲率を有するレンズである請求項1乃至13のいずれか1項に記載の光学素子。
- 前記レンズの半開角が45°以下である請求項14に記載の光学素子。
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