JP6817725B2 - チャックテーブル - Google Patents
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
10:研削装置 100:装置ベース 101:コラム 11:搬送手段
110:軸部材 111:搬送アーム 112:プレート 113:吸引部
12:移動基台 13:回転軸 14:接続部 15:回転手段 150:モータ
151:駆動プーリ 152:従動プーリ 153:ベルト 16:吸引路
17:吸引源 18,19:ネジ 20,20A,20B:チャックテーブル
21,21A,21B:保持手段 21a:保持面 210:ウエーハ保持部
211:側壁 22,22A,22B:ベース 220:取り付け面 220a:下面
221:ネジ穴 222,223:吸引口 23:環状凸部 23a:基準面
230:排水口 24,24A:フレーム保持手段
240,240A:リング部材 241:開口 242:上面 243:フレーム保持面25:取り付け穴 26:吸引口 27:カバーネジ穴 28:継手 29:配管
30:カバー 31:カバー取り付け穴 32:ウォーターケース 40:厚み測定手段
41:第1のリニアゲージ 42:第2のリニアゲージ 50:研削手段
51:スピンドル 52:スピンドルハウジング 53:ホルダ 54:モータ
55:マウント 56:研削ホイール 57:研削砥石 60:研削送り手段
61:ボールネジ 62:モータ 63:ガイドレール 64:昇降板 70:研磨手段71:スピンドル 72:マウント 73:研磨ホイール 74:研磨パッド
Claims (2)
- 中央に開口を有するリングフレームの該開口を塞いで貼着された粘着テープにウエーハを貼着してウエーハと該リングフレームとを一体にしたワークユニットを保持するチャックテーブルであって、
ウエーハと相似形の保持面でウエーハが貼着された該粘着テープを吸引保持する保持手段と、
該保持面に吸引保持される該粘着テープの上面より該リングフレームの上面を低くして該リングフレームの下面を吸引保持するフレーム保持手段と、を備え、
該保持手段は、該保持面から降下する側壁の下端から該保持面と平行な面方向に拡がるリング状の取り付け面と、
該取り付け面に形成されたネジ穴と、
該リング状の取り付け面より外側に配置され、該保持面と同じ高さを有し該保持面の高さを測定可能とするリング状の基準面を上面に有する環状凸部と、を備え、
該環状凸部は、該基準面の下方において径方向に貫通し研削水を排水する排水口を備え、
該フレーム保持手段は、該保持面の直径より大きい内径を有するリング状に形成され、
該フレーム保持手段の上面から下面にかけて貫通し該ネジ穴に対応する取り付け穴と、
該リングフレームを吸引保持する円環状の吸引口とを備え、
該取り付け穴にネジを挿入し該ネジを該ネジ穴に螺入させることにより該取り付け面に該フレーム保持手段が着脱自在に取り付けられるチャックテーブル。 - 前記フレーム保持手段は、弾性部材により形成される
請求項1記載のチャックテーブル。
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