JP6665041B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
切削機構4は、図2に示すように、上記静止基台2上に固定された門型の支持フレーム41を有している。この門型の支持フレーム41は、間隔をおいて配設された第1の柱部411および第2の柱部412と、該第1の柱部411と第2の柱部412の上端を連結し矢印Xで示す加工送り方向と直交する矢印Yで示す割り出し送り方向(Y軸方向)に沿って配設された支持部413とからなり、上記2本のX軸ガイドレール31、31を跨ぐように配設されている。なお、本願明細書においては、図1、2に示されているように、直交するX軸方向とY軸方向とで水平面をなし、該X、Y軸方向と直交し上下方向に向かう方向をZ軸方向と定義付ける。
先ず、図11に示すように、仮置き機構8のエアーシリンダ891を作動して一対の第1の支持レール80Aを上部位置に位置付けるとともに、搬出・搬入機構7の把持部材74(図6参照)および一対の規制ピン75(図5、図6を参照)が配設された支持基台72を図示の位置(待機位置)に位置付ける。
3:保持テーブル機構
32:移動基台
34:保持テーブル
35:加工送り機構
351:X軸リニアレール
4:切削機構
5a:第1の切削手段
5b:第2の切削手段
54:割り出し送り手段
540:Y軸リニアレール
6:カセット載置機構
60:カセット
7:搬出・搬入機構
71:搬送移動手段
72:支持基台
74:把持部材
75:一対の規制ピン
76:補助把持部材
77:一対の補助規制ピン
8:仮置き機構
80A:一対の第1の支持レール
80B:一対の第2の支持レール
9:補助仮置き機構
90A:一対の第1の補助支持レール
90B:一対の第2の補助支持レール
10:洗浄手段
11:洗浄ハウジング
12:スピンナーテーブル
13:噴射ノズル
14:錘
15:ワイヤー
16:プーリー
F:環状のフレーム
T:ダイシングテープ
W:半導体ウエーハ
Claims (7)
- 被加工物を切削する切削装置であって、
複数の被加工物を収容したカセットが載置されるカセット載置手段と、該カセットから被加工物を搬出および搬入する搬出入手段と、該搬出入手段によって搬出された被加工物を仮置きする仮置手段と、該仮置手段から移送された被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削手段と、該保持手段をX軸方向に加工送りする加工送り手段と、を少なくとも含み、
該加工送り手段は、該保持手段をX軸方向に移動可能に支持するX軸ガイドレールと、該X軸ガイドレールに沿って保持手段を移動するX軸駆動部と、を備え、
該カセット載置手段と該仮置手段とはY軸方向に配設され、
該搬出入手段は、カセット内に収容された被加工物を把持する把持部と被加工物を所定の位置に規制する一対の規制部材と、該把持部と該規制部材が配設される支持基台と該支持基台をY軸方向に移動する移動部と、を備え、
該仮置手段は、Y軸方向に延在し被加工物を支持する底部と側部とを有し、該底部が開閉可能に構成された一対の第1の支持レールと、該第1の支持レールの直下に配設されY軸方向に延在し被加工物を支持する底部と側部とを有し該底部が開閉可能に構成された一対の第2の支持レールと、該第1の支持レールと該第2の支持レールとを上昇および下降する昇降部と、を備え、
該X軸ガイドレールは、該仮置手段の直下から少なくとも該切削手段の下方領域に至り配設されており、
該第1の支持レールと該第2の支持レールとの直下に該保持手段を位置付けすると共に、該搬出入手段によって該カセットから被加工物を搬出して該仮置手段を構成する該第1の支持レールに仮置きし、
該第1の支持レールが該第2の支持レールと共に下降して該第1の支持レールの該底部を開にして被加工物を該保持手段上に保持する切削装置。 - 該仮置手段に隣接し該カセット載置手段とは反対側のY軸方向に被加工物を洗浄するスピンナーテーブルを備えた洗浄手段が配設されると共に該洗浄手段の直上で被加工物を仮置きする補助仮置手段が配設され、
該補助仮置手段は、Y軸方向に延在し被加工物を支持する底部と側部とを有し該底部が開閉可能に構成された一対の第1の補助支持レールと、該第1の補助支持レールの直下に配設されY軸方向に延在し被加工物を支持する底部と側部とを有し該底部が開閉可能に構成された一対の第2の補助支持レールと、該第1の補助支持レールと該第2の補助支持レールとを上下動する補助昇降部と、を備え、該補助仮置手段と該仮置手段との間で被加工物の受け渡しが可能に構成されている請求項1に記載の切削装置。 - 該搬出入手段は、該把持部に加え該補助支持レールに位置付けられた被加工物を把持する補助把持部と、該一対の規制部材に加え該第1の補助支持レールと該第2の補助支持レールに位置付けられた被加工物を所定の位置に規制する一対の補助規制部材と、を備え、
該保持手段に保持された切削済みの被加工物が該仮置手段の直下に位置付けられた際、該底部を開にした該第2の支持レールが下降して該底部が切削済みの被加工物の下部に位置付けられ該底部を閉にして切削済みの被加工物を支持して上昇し、
次に、該搬出入手段の把持部によってカセットに収容された未加工の被加工物を把持すると共に該一対の補助規制部材を該仮置手段に支持された切削済みの被加工物の側面に位置付けて該洗浄手段側に移動しつつ該カセットに収容された被加工物を該第1の支持レールに位置付けると共に切削済みの被加工物を該第2の補助支持レールに位置付け、
次に、該補助昇降部によって該第2の補助支持レールを該第1の補助支持レールと共に下降して該第2の補助支持レールの底部を開にして切削済みの被加工物を該スピンナーテーブルに保持する請求項2に記載の切削装置。 - 該洗浄手段によって被加工物の洗浄が終了した後、該補助仮置手段は該補助昇降部によって該第1の補助支持レールを該第2の補助支持レールと共に下降して該第1の補助支持レールの底部を開にして洗浄済みの被加工物の下部に該底部を位置付けると共に閉にして洗浄済みの被加工物を該第1の補助支持レールで支持して上昇し、
該仮置手段は、該昇降部によって該第1の補助支持レールに対応する高さ位置に該第1の支持レールを位置付け、
該搬出入手段は、該補助把持部によって該第1の補助支持レールに支持された洗浄済みの被加工物を把持し該第1の支持レールまで搬送し、その後、該規制部材を洗浄済みの被加工物の側面に位置付けてカセット側に移動してカセット内に搬入する請求項3に記載の切削装置。 - 該洗浄手段は、該スピンナーテーブルの上方に洗浄水を噴射するノズルを備えており、該ノズルは該搬出入手段の支持基台の係合部と選択的に係合可能に構成され、該搬出入手段の支持基台の係合部の移動に伴ってY軸方向に揺動し、少なくとも被加工物の外周から中心に至り切削水を噴射する請求項2乃至4のいずれかに記載の切削装置。
- 該洗浄手段のノズルには錘がワイヤーとプーリーとを介して連結され、
該搬出入手段の支持基台の係合部には、ロッドが進退自在に装着されており、進出したロッドはノズルの重力による移動に対向する方向から該ノズルに接触してY軸方向に揺動する請求項5に記載の切削装置。 - 該切削手段は、第1の切削ブレードを回転可能に備えた第1の切削手段と、第2の切削ブレードを回転可能に備えた第2の切削手段と、該第1の切削ブレードと第2の切削ブレードとを対峙させ、該X軸方向と直交するY軸方向に割り出し送り可能に該第1の切削手段と第2の切削手段とを支持するY軸ガイドレールと、該Y軸ガイドレールに沿って該第1の切削手段と該第2の切削手段とを移動する第1の駆動部と第2の駆動部と、を備えている請求項1に記載の切削装置。
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