JP5874950B2 - ワーク搬送装置及びワーク加工装置 - Google Patents
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Description
≪全体構成≫
図1、図2は、それぞれ本発明に係るワーク加工装置の第1の実施の形態の概略構成を示す平面図と正面図である。
供給・回収部12は、ウェーハWを格納するカセットCと、カセットCが載置されるカセットステージ20と、カセットステージ20を昇降させるカセットステージ昇降機構22とを備えて構成される。
加工部14は、ウェーハWを吸着保持するワークテーブル30と、ワークテーブル送り機構(不図示)と、一対のスピンドルユニット32A、32Bと、各スピンドルユニット32A、32BをY軸方向に送るスピンドルユニットY送り機構34A、34Bと、各スピンドルユニット32A、32BをZ軸方向に送るスピンドルユニットZ送り機構36A、36Bと、ワークテーブル30に載置されたウェーハWを撮像する撮像ユニット38とを備えて構成される。
洗浄部16は、加工後のウェーハWを洗浄するワーク洗浄装置56を有する。ワーク洗浄装置56は、たとえば、スピン洗浄装置で構成され、ワーク洗浄位置に設置される。スピン洗浄装置は、ウェーハWを回転させながら、洗浄液を付与して、ウェーハWを洗浄する。洗浄後は、ウェーハWを回転させながら、エアを吹き付けて乾燥させる。なお、この種のワーク洗浄装置の構成は公知なので、その具体的な構成の説明については省略する。
搬送部18は、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能な第1アーム60と、第1アーム60をY軸方向に移動させる第1アームY移動機構62と、第1アーム60をZ軸方向に移動させる第1アームZ移動機構64と、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能な第2アーム66と、第2アーム66をY軸方向に移動させる第2アームY移動機構68と、第2アーム66をZ軸方向に移動させる第2アームZ移動機構70と、第1アーム60に設けられ、ウェーハWを把持するウェーハ把持機構72と、第1アーム60に設けられ、ウェーハWの上面を吸着保持する第1吸着保持機構74と、第2アーム66に設けられ、カセットCから取り出されたウェーハWが載置されるトレイ76と、第2アーム66に設けられ、トレイ76に載置されたウェーハWを位置決め(プリアライメント)する位置決め機構78と、第2アーム66に設けられ、ウェーハWの上面を吸着保持する第2吸着保持機構80を備えて構成される。
図8は、供給・回収部、加工部、洗浄部のレイアウトと、搬送部による搬送経路を示す平面図である。
ウェーハWの搬送は、次のように行われる。
以上のように構成される本実施の形態のダイシング装置10によるウェーハWの加工処理は、次のように行われる。
上記第1の実施の形態では、第1吸着保持機構74が、第1アーム60に固定されているため、ウェーハWを直線Lに沿ってのみ搬送可能に構成されている。同様に、第2吸着保持機構80が、第2アーム66に固定されているため、ウェーハWを直線Lに沿ってのみ搬送可能に構成されている。この場合、装置のレイアウトとしては、ワーク供給・交換位置と、ワーク交換位置と、ワーク洗浄位置とを同一直線上(直線L上)に設定する必要がある。
上記第1、2の実施の形態のダイシング装置では、第1吸着保持機構74を構成する4つの第1吸着パッド112が一定位置に固定して設置されている。同様に、第2吸着保持機構80を構成する4の第2吸着パッド126が一定位置に固定して設置されている。この場合、一定サイズのウェーハWしか搬送することができない。
本実施の形態では、本発明に係るダイシング装置の外観構成について説明する。
上記第2、第3の実施の形態のダイシング装置では、ワーク交換位置をワーク加工位置に近づけて設定し、装置内にオペレータが立ち入れるスペースを形成している。この場合、ハウジング150は、装置正面部において、供給・回収部12と洗浄部16との間に窪みが形成される(天井部は除く。)。そして、このように装置正面部分に窪みが形成されたハウジング150の正面開口部156を板状に形成された正面扉158で閉じると、窪みの部分が開口してしまう。このような開口部が装置にあると、開口部から装置内に塵埃が入り込んだり、また、装置内で発生したミストが、開口部から外部に飛散したりするおそれがある。
図28、図29は、それぞれダイシング装置の第6の実施の形態の概略構成を示す正面図と平面図である。
上記各実施の形態では、本発明をブレード式のダイシング装置に適用した場合を例に説明したが、いわゆるレーザ方式のダイシング装置にも本発明は適用することができる。
Claims (20)
- カセットに格納された板状のワークを前記カセットに形成された取出口から所定の取出方向に引き出して取り出し、所定の搬送位置に搬送するワーク搬送装置において、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第1アームと、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動し、前記第1アームの下に重ねて配置可能な第2アームと、
前記第1アームに設けられ、前記ワークの縁部を把持する把持手段と、
前記第1アームに設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する吸着保持手段と、
前記第2アームに設けられ、前記ワークが載置されるトレイと、
前記トレイに設けられ、前記トレイに載置された前記ワークを所定の基準位置に位置決めする位置決め手段と、
を備え、
前記カセットに格納された前記ワークの縁部を前記把持手段で把持して、前記把持手段を移動させることにより、前記ワークを前記カセットから取り出し、
前記カセットから取り出された前記ワークの下方に前記トレイを移動させて、前記カセットから取り出した前記ワークを前記トレイに載置し、
前記トレイに載置された前記ワークを前記位置決め手段で位置決めし、
位置決めされた前記ワークの上方に前記吸着保持手段を移動させて、位置決めされた前記ワークの上面を前記吸着保持手段で保持し、
前記吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記搬送位置に搬送することを特徴とするワーク搬送装置。 - 前記第1アームに設けられ、前記吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる手段を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載のワーク搬送装置。
- 前記吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも2箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のワーク搬送装置。
- 前記吸着保持手段に上面を吸着保持されて搬送される前記ワークを撮像する撮像手段を更に備えたことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のワーク搬送装置。
- カセットに格納された板状のワークを前記カセットに形成された取出口から所定の取出方向に引き出して取り出し、所定の第1搬送位置に搬送するとともに、前記第1搬送位置から所定の第2搬送位置に搬送するワーク搬送装置において、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第1アームと、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動し、前記第1アームの下に重ねて配置可能な第2アームと、
前記第1アームに設けられ、前記ワークの縁部を把持する把持手段と、
前記第1アームに設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する第1吸着保持手段と、
前記第2アームに設けられ、前記ワークが載置されるトレイと、
前記トレイに設けられ、前記トレイに載置された前記ワークを所定の基準位置に位置決めする位置決め手段と、
前記第2アームに設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する第2吸着保持手段と、
を備え、
前記カセットに格納された前記ワークの縁部を前記把持手段で把持して、前記把持手段を移動させることにより、前記ワークを前記カセットから取り出し、
前記カセットから取り出された前記ワークの下方に前記トレイを移動させて、前記カセットから取り出した前記ワークを前記トレイに載置し、
前記トレイに載置された前記ワークを前記位置決め手段で位置決めし、
位置決めされた前記ワークの上方に前記第1吸着保持手段を移動させて、位置決めされた前記ワークの上面を前記第1吸着保持手段で保持し、
前記第1吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記第1搬送位置に搬送し、
前記第1搬送位置の上方に前記第2吸着保持手段を移動させて、前記第1搬送位置にある前記ワークの上面を前記第2吸着保持手段で保持し、
前記第2吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記第2搬送位置に搬送することを特徴とするワーク搬送装置。 - 前記第1アームに設けられ、前記第1吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる手段と、
前記第2アームに設けられ、前記第2吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる手段と、
を更に備えたことを特徴とする請求項5に記載のワーク搬送装置。 - 前記第1吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも2箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備え、
前記第2吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも2箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備えることを特徴とする請求項5又は6に記載のワーク搬送装置。 - 前記第1吸着保持手段又は前記第2吸着保持手段に上面を吸着保持されて搬送される前記ワークを撮像する撮像手段を更に備えたことを特徴とする請求項5から7のいずれか1項に記載のワーク搬送装置。
- 内部に格納された板状のワークが、所定の取出口から所定方向に引き出されて取り出されるカセットと、
前記ワークが前記取出口から所定の取出方向に引き出されて取り出されるように前記カセットが載置されるカセットステージと、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第1アームと、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動し、前記第1アームの下に重ねて配置可能な第2アームと、
前記第1アームに設けられ、前記ワークの縁部を把持する把持手段と、
前記第1アームに設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する吸着保持手段と、
前記第2アームに設けられ、前記ワークが載置されるトレイと、
前記トレイに設けられ、前記トレイに載置された前記ワークを所定の基準位置に位置決めする位置決め手段と、
前記ワークが載置され、ワーク交換位置とワーク加工位置との間を移動するワークテーブルと、
前記ワーク加工位置に移動した前記ワークテーブル上の前記ワークを加工する加工手段と、
を備え、
前記カセットに格納された前記ワークの縁部を前記把持手段で把持して、前記把持手段を移動させることにより、前記ワークを前記カセットから取り出し、
前記カセットから取り出された前記ワークの下方に前記トレイを移動させて、前記カセットから取り出した前記ワークを前記トレイに載置し、
前記トレイに載置された前記ワークを前記位置決め手段で位置決めし、
位置決めされた前記ワークの上方に前記吸着保持手段を移動させて、位置決めされた前記ワークの上面を前記吸着保持手段で保持し、
前記吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記ワーク交換位置に位置した前記ワークテーブルの上に搬送することを特徴とするワーク加工装置。 - 前記第1アームに設けられ、前記吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる手段を更に備えたことを特徴とする請求項9に記載のワーク加工装置。
- 前記吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも2箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備えることを特徴とする請求項9又は10に記載のワーク加工装置。
- 前記吸着保持手段に上面を吸着保持されて搬送される前記ワークを撮像する撮像手段を更に備えたことを特徴とする請求項9から11のいずれか1項に記載のワーク加工装置。
- 内部に格納された板状のワークが、所定の取出口から所定方向に引き出されて取り出されるカセットと、
前記ワークが前記取出口から所定の取出方向に引き出されて取り出されるように前記カセットが載置されるカセットステージと、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動する第1アームと、
水平に設置され、前記取出方向と平行な方向に水平移動するとともに、前記取出方向と直交する方向に垂直移動し、前記第1アームの下に重ねて配置可能な第2アームと、
前記第1アームに設けられ、前記ワークの縁部を把持する把持手段と、
前記第1アームに設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する第1吸着保持手段と、
前記第2アームに設けられ、前記ワークが載置されるトレイと、
前記トレイに設けられ、前記トレイに載置された前記ワークを所定の基準位置に位置決めする位置決め手段と、
前記第2アームに設けられ、前記ワークの上面を吸着保持する第2吸着保持手段と、
前記ワークが載置され、ワーク交換位置とワーク加工位置との間を移動するワークテーブルと、
前記ワーク加工位置に移動した前記ワークテーブル上の前記ワークを加工する加工手段と、
所定の後処理位置に設置され、加工後の前記ワークを後処理する後処理手段と、
を備え、
前記カセットに格納された前記ワークの縁部を前記把持手段で把持して、前記把持手段を移動させることにより、前記ワークを前記カセットから取り出し、
前記カセットから取り出された前記ワークの下方に前記トレイを移動させて、前記カセットから取り出した前記ワークを前記トレイに載置し、
前記トレイに載置された前記ワークを前記位置決め手段で位置決めし、
位置決めされた前記ワークの上方に前記第1吸着保持手段を移動させて、位置決めされた前記ワークの上面を前記第1吸着保持手段で保持し、
前記第1吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを前記ワーク交換位置に位置した前記ワークテーブルの上に搬送し、
前記ワーク交換位置に位置した前記ワークテーブルの上方に前記第2吸着保持手段を移動させて、前記ワーク交換位置に位置した前記ワークテーブル上の前記ワークの上面を前記第2吸着保持手段で保持し、
前記第2吸着保持手段を移動させることにより、前記ワークを後処理手段に搬送することを特徴とするワーク加工装置。 - 前記第1アームに設けられ、前記第1吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる手段と、
前記第2アームに設けられ、前記第2吸着保持手段を前記取出方向と直交する方向に水平移動させる手段と、
を更に備えたことを特徴とする請求項13に記載のワーク加工装置。 - 前記後処理位置は、前記ワークを前記カセットから引き出す際の前記ワークの移動経路の延長線上に設定され、前記ワーク交換位置は、前記カセットステージと前記後処理手段の間であって、前記延長線上の位置から前記ワーク加工位置側にズレた位置に設定されることを特徴とする請求項14に記載のワーク加工装置。
- 前記第1吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも2箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備え、
前記第2吸着保持手段は、前記ワークの上面の少なくとも2箇所を吸着する吸着パッドと、前記ワークのサイズに応じて前記吸着パッドの間隔を調整するサイズ調整手段と、を備えることを特徴とする請求項13から15のいずれか1項に記載のワーク加工装置。 - 前記第1吸着保持手段又は前記第2吸着保持手段に上面を吸着保持されて搬送される前記ワークを撮像する撮像手段を更に備えたことを特徴とする請求項13から16のいずれか1項に記載のワーク加工装置。
- 前記後処理手段は、前記加工後のワークを洗浄することを特徴とする請求項13から17のいずれか1項に記載のワーク加工装置。
- 前記加工手段は、環状のフレームにテープを介してマウントされたウェーハを回転するダイシングブレードでチップに分割する手段であることを特徴とする請求項13から18のいずれか1項に記載のワーク加工装置。
- 前記ワーク交換位置と前記ワーク加工位置との間に開閉自在なシャッタが更に設けられ、前記加工手段が隔離可能であることを特徴とする請求項13から19のいずれか1項に記載のワーク加工装置。
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