JP6955900B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
第2の移動手段722は、Y方向に延びる矩形板状の本体部材723と、本体部材723に沿って水平移動するスライドアーム724と、スライドアーム724を移動させる図示しない駆動機構とを有する。本体部材723は、仮置きテーブル移動手段60の−X側に配置され、図示しない支持部材を介して基台2から所定の高さ位置に設けられている。本体部材723は、仮置きテーブル移動手段60側(+X側)に開口してY方向に延びるガイド溝723aを有し、ガイド溝723aにスライドアーム724の基部(−X側端部)が摺動可能に連結されている。スライドアーム724は、本体部材723から+X側に延びる板状の部材である。スライドアーム724の先端部+X側端部には昇降部726が設けられている。昇降部726は、スライドアーム724の先端部から下方に延びる円柱状の昇降部材727と、昇降部材727を上下に移動させる昇降機構728とを有する。保持部721は、昇降部材727の下端部に固定されている。昇降機構728が昇降部材727を上下に移動させることにより保持部721が上下に移動し、図示しない駆動機構がスライドアーム724を移動させることにより保持部721が左右方向に移動する。
図3(a)に示すように、カセットエレベータ58がカセットステージ57を昇降させることにより、カセット50に棚状に保持された一の板状ワークWが仮置きテーブル59の載置面591と同じ高さに位置づけられる。また、仮置きテーブル移動手段60が仮置きテーブル59をX方向に横移動させることにより、2つのカセット50(50A、50B)のいずれか一方の前に仮置きテーブル59が位置づけられる。
その後、第1の移動手段712によりアーム部材713を前方(−Y方向)に移動させていく。アーム部材713の先端の押し部711がカセット50内に第2の開口52から進入し、板状ワ一クWの外周縁Waを押し始める。押し部711が前方に移動するにつれて、板状ワ一クWは第1の開口51から仮置きテーブル59上へ押し出されていく。
その後、仮置きテーブル59が−X側に横移動することにより、板状ワークWが保持部721による保持が可能な位置に位置づけられる。
10:保持テーブル 11:載置面
20:加工手段 21:切削ブレード
30:加工送り手段
31:ボールネジ 32:ガイドレール 33:パルスモータ 34:可動板
35:支持部
40:加工手段移動機構
410:Y方向移動機構
411:ボールネジ 412:ガイドレール 413:パルスモータ
414:水平移動板
420:Z方向移動機構
421:ボールネジ 422:ガイドレール 423:パルスモータ
424:上下移動板
50(50A、50B):カセット 51:第1の開口 52:第2の開口
511、512:支持棚 510、520:側壁 530:天板 540:底板
57:カセットステージ
58:カセットエレベータ
581:柱部材 582:ボールネジ 583:パルスモータ
59:仮置きテーブル 591:載置面
592:第1の磁着部 593:第2の磁着部
59a:第1の辺 59b:第2の辺
60:仮置きテーブル移動手段
601:本体部材 602:ボールネジ 603:パルスモータ
70:搬入手段
710:第1の搬入手段 711:押し部 712:第1の移動手段
713:アーム部材 716:ガイド部材 717:移動部材 718:反転部
720:第2の搬入手段
721:保持部 722:第2の移動手段 723:本体部材
724:スライドアーム 726:昇降部 727:昇降部材
728:昇降機構
80:搬出手段 810:吸引保持部 820:第3の移動手段
821:本体部材 822:スライドアーム 823:昇降部
824:昇降部材 825:昇降機構
90:受け取り手段 910:水槽 920:籠 921:取手部
S:水溶液
T:保護テープ W:板状ワーク Wa:外周縁
Claims (2)
- 棚状に複数の板状ワークを収納したカセットが載置されるカセットステージと、板状ワークを保持する保持テーブルと、該カセット内に収納された板状ワークを該保持テーブルに搬入する搬入手段と、該保持テーブルが保持した板状ワークを加工する加工手段と、を備える加工装置であって、
該加工装置は、該カセットステージを昇降させるカセットエレベータと、該カセットステージに隣接して配設される仮置きテーブルと、を備え、
該カセットは、板状ワークを棚状に支持する支持棚を対面させた側壁と、該側壁の上端を連結する天板と、該側壁の下端を連結する底板と、該支持棚に支持された板状ワークを搬出するための前方の第1の開口と、該支持棚に支持された板状ワークに後方からアクセス可能とする第2の開口と、を備え、
該搬入手段は、該カセットステージに載置された該カセットに収納された板状ワークを該仮置きテーブルに搬入する第1の搬入手段と、該仮置きテーブルに仮置きされた板状ワ一クを該保持テーブルに搬入する第2の搬入手段と、を備え、
該第1の搬入手段は、該カセットエレベータが該カセットステージを昇降させることにより該仮置きテーブルと同じ高さに位置する板状ワークに対し、該カセットの該第2の開口から進入し板状ワ一クの外周縁を押す押し部と、該押し部を該第2の開口から該第1の開口に向かって移動させる第1の移動手段と、を備え、
該カセットステージは、該カセットの該第1の開口を横並びにして該カセットを少なくとも2つ載置可能であって、
該仮置きテーブルは、該カセットステージに載置された2つの該カセットの一方の該第1の開口と他方の該第1の開口とのどちらかに選択的に位置づけることが可能であり、
該押し部は、該カセットステージに載置された2つの該カセットの一方の該第2の開口と他方の該第2の開口とのどちらかに対面する位置に選択的に位置づけることが可能であり、
該第2の搬入手段は、該仮置きテーブルに仮置きされた板状ワークを吸引保持する保持部と、該保持部を該仮置きテーブルから該保持テーブルに移動させる第2の移動手段と、を備えた加工装置。 - 前記加工手段は、円板状の切削ブレードを回転可能に装着した切削手段であり、
前記板状ワークは、該切削ブレードによって切削される分割予定ラインにより上面が区画されるとともに下面に保護テープが貼着されており、
前記保持テーブルは、前記保護テープを介して板状ワークを吸引保持し、
該切削ブレードの先端を該保護テープまで切り込ませることにより分割された板状ワークを該保持テーブルから搬出する搬出手段と、該搬出手段が搬出した板状ワークを受け取る受け取り手段と、を備え、
該搬出手段は、該切削ブレードの先端を該保護テープにまで切り込ませ分割した板状ワークを、ベルヌーイ効果を利用して吸引保持する吸引保持部と、該吸引保持部を該保持テーブルから該受け取り手段へ移動させる第3の移動手段と、を備える請求項1記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017098954A JP6955900B2 (ja) | 2017-05-18 | 2017-05-18 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017098954A JP6955900B2 (ja) | 2017-05-18 | 2017-05-18 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018195729A JP2018195729A (ja) | 2018-12-06 |
JP6955900B2 true JP6955900B2 (ja) | 2021-10-27 |
Family
ID=64571824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017098954A Active JP6955900B2 (ja) | 2017-05-18 | 2017-05-18 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6955900B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110047789A (zh) * | 2019-03-29 | 2019-07-23 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种卡匣及其传送设备 |
JP2022148902A (ja) * | 2021-03-24 | 2022-10-06 | Towa株式会社 | 加工装置、及び加工品の製造方法 |
CN114284191B (zh) * | 2022-03-02 | 2022-08-02 | 华芯半导体研究院(北京)有限公司 | 片盒及其承载装置和取放装置、半导体处理设备 |
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2017
- 2017-05-18 JP JP2017098954A patent/JP6955900B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018195729A (ja) | 2018-12-06 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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