JP6636696B2 - 半導体ウエハのマウント方法および半導体ウエハのマウント装置 - Google Patents
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Description
すなわち、支持用の粘着テープを介してリングフレームに半導体ウエハをマウントする半導体ウエハのマウント方法であって、
前記半導体ウエハは、裏面外周に環状凸部を有し、
前記リングフレームに貼り付けられた粘着テープと半導体ウエハの裏面を近接対向させた状態で、一対のハウジングの一方に備えられた保持テーブルで当該半導体ウエハを保持するとともに、粘着テープを両ハウジングによって挟み込んでチャンバを形成する過程と、
前記粘着テープによって仕切られたハウジング内の2つの空間に差圧を生じさせるとともに、当該粘着テープを加熱しながら凹入湾曲させて半導体ウエハの裏面に貼り付ける第1貼付け過程と、
前記チャンバでの差圧および加熱を解消させた後に、前記粘着テープを押圧することなく前記粘着テープを再加熱して前記粘着テープに蓄積されている引張応力を解消させながら前記粘着テープを貼り付ける第2貼付け過程と、
を備えたことを特徴とする。
裏面外周に環状凸部を有する前記半導体ウエハを保持する第1保持テーブルと、
前記粘着テープの貼り付けられたリングフレームを保持するフレーム保持部と、
前記第1保持テーブルを収納するとともに、リングフレームに貼り付けられた粘着テープを挟み込む一対のハウジングからなるチャンバと、
前記チャンバ内の粘着テープを加熱する第1加熱器と、
前記粘着テープにより仕切られたチャンバ内の2つの空間に差圧を生じさせ、加熱されている粘着テープを凹入湾曲させながら半導体ウエハの裏面に貼り付けさせる制御部とを含む第1貼付け機構と、
前記第1貼付け機構で粘着テープに半導体ウエハを貼り付けられてなるマウントフレームを保持する第2保持テーブルと、
前記第2保持テーブル上で粘着テープを再加熱する第2加熱器と、
前記第1貼付け機構から第2保持テーブルに前記マウントフレームを搬送する搬送機構と、
前記チャンバでの差圧および前記第1加熱器による加熱を解消させた後に、前記粘着テープを押圧することなく前記粘着テープを前記第2加熱器で再加熱して前記粘着テープに蓄積されている引張応力を解消させながら前記粘着テープを貼り付ける第2貼付け機構と、
を備えたことを特徴とする。
前記リングフレームとハウジングの一方の接合部に粘着テープを貼り付けるテープ貼付け機構と、
前記リングフレーム上で粘着テープを切断する切断機構と、
円形に切り抜かれた粘着テープを剥離する剥離する剥離機構と、
剥離後の前記粘着テープを回収するテープ回収部と、
を備えることが好ましい。
半導体ウエハW(以下、単に「ウエハW」という)は、図1ないし図3に示すように、パターンが形成された表面に保護テープPTが貼り付けられて表面が保護された状態でバックグラインド処理されたものである。その裏面は、外周部を径方向に約2mmを残して研削(バックグラインド)されている。すなわち、裏面に扁平凹部bが形成されるとともに、その外周に沿って環状凸部rが残存された形状に加工されたものが使用される。例えば、扁平凹部bの深さdが数百μm、研削域のウエハ厚さtが数十μmになるよう加工されている。したがって、裏面外周に形成された環状凸部rは、ウエハWの剛性を高める環状リブとして機能し、ハンドリングやその他の処理工程におけるウエハWの撓み変形を抑止する。
図4に半導体ウエハのマウント装置の平面図が示されている。
5 … 第1保持テーブル
6 … フレーム供給部
7 … 反転ユニット
8 … 第2保持テーブル
9 … プッシャ
10 … 第1貼付けユニット
11 … チャンバ
11A… 下ハウジング
11B… 上ハウジング
81 … テープ貼付け機構
82 … テープ切断機構
102 … 制御部
W … 半導体ウエハ
f … リングフレーム
T … 粘着テープ
PT … 保護テープ
Claims (4)
- 支持用の粘着テープを介してリングフレームに半導体ウエハをマウントする半導体ウエハのマウント方法であって、
前記半導体ウエハは、裏面外周に環状凸部を有し、
前記リングフレームに貼り付けられた粘着テープと半導体ウエハの裏面を近接対向させた状態で、一対のハウジングの一方に備えられた保持テーブルで当該半導体ウエハを保持するとともに、粘着テープを両ハウジングによって挟み込んでチャンバを形成する過程と、
前記粘着テープによって仕切られたハウジング内の2つの空間に差圧を生じさせるとともに、当該粘着テープを加熱しながら凹入湾曲させて半導体ウエハの裏面に貼り付ける第1貼付け過程と、
前記チャンバでの差圧および加熱を解消させた後に、前記粘着テープを押圧することなく前記粘着テープを再加熱して前記粘着テープに蓄積されている引張応力を解消させながら前記粘着テープを貼り付ける第2貼付け過程と、
を備えたことを特徴とする半導体ウエハのマウント方法。 - 請求項1に記載の半導体ウエハのマウント方法において、
前記第1貼付け過程のチャンバから搬出して異なる保持テーブルに半導体ウエハを搬送しながら粘着テープを室温の大気にさらした後に、当該保持テーブル上で半導体ウエハを加熱しながら粘着テープを貼り付ける第2貼付け過程を行う
ことを特徴とする半導体ウエハのマウント方法。 - 支持用の粘着テープを介してリングフレームに半導体ウエハをマウントする半導体ウエハのマウント装置であって、
裏面外周に環状凸部を有する前記半導体ウエハを保持する第1保持テーブルと、
前記粘着テープの貼り付けられたリングフレームを保持するフレーム保持部と、
前記第1保持テーブルを収納するとともに、リングフレームに貼り付けられた粘着テープを挟み込む一対のハウジングからなるチャンバと、
前記チャンバ内の粘着テープを加熱する第1加熱器と、
前記粘着テープにより仕切られたチャンバ内の2つの空間に差圧を生じさせ、加熱されている粘着テープを凹入湾曲させながら半導体ウエハの裏面に貼り付けさせる制御部とを含む第1貼付け機構と、
前記第1貼付け機構で粘着テープに半導体ウエハを貼り付けられてなるマウントフレームを保持する第2保持テーブルと、
前記第2保持テーブル上で粘着テープを再加熱する第2加熱器と、
前記第1貼付け機構から第2保持テーブルに前記マウントフレームを搬送する搬送機構と、
前記チャンバでの差圧および前記第1加熱器による加熱を解消させた後に、前記粘着テープを押圧することなく前記粘着テープを前記第2加熱器で再加熱して前記粘着テープに蓄積されている引張応力を解消させながら前記粘着テープを貼り付ける第2貼付け機構と、
を備えたことを特徴とする半導体ウエハのマウント装置。 - 請求項3に記載の半導体ウエハのマウント装置において、
前記第1貼付け機構は、リングフレームを被覆する大きさの粘着テープを供給するテープ供給部と、
前記リングフレームとハウジングの一方の接合部に粘着テープを貼り付けるテープ貼付け機構と、
前記リングフレーム上で粘着テープを切断する切断機構と、
円形に切り抜かれた粘着テープを剥離する剥離する剥離機構と、
剥離後の前記粘着テープを回収するテープ回収部と、
を備えたことを特徴とする半導体ウエハのマウント装置。
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