KR20210073270A - 테이프 마운팅 장치 - Google Patents

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KR20210073270A
KR20210073270A KR1020190163912A KR20190163912A KR20210073270A KR 20210073270 A KR20210073270 A KR 20210073270A KR 1020190163912 A KR1020190163912 A KR 1020190163912A KR 20190163912 A KR20190163912 A KR 20190163912A KR 20210073270 A KR20210073270 A KR 20210073270A
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정라파엘
차지수
이형섭
신승수
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정라파엘
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Abstract

테이프 마운팅 장치는 기판을 지지하며, 승강 가능하게 구비된 기판 척, 기판 척의 측부 및 하부를 둘러싸도록 구비되며, 기판 척을 승강 가능하도록 하는 제1 승강 축이 관통할 수 있도록 축 홀이 형성된 하부 챔버 및 하부 챔버와 마주보며 이동 가능하게 구비되며, 하부 챔버와 함께 기판 척을 둘러싸는 챔버 공간을 정의하며 테이프의 외곽부를 고정하는 상부 챔버를 포함하고, 테이프를 기준으로 챔버 공간을 상부 공간 및 하부 공간으로 구획하며, 상부 공간 및 하부 공간 사이의 진공도 차이를 이용하여 테이프를 처지도록 하여 테이프를 기판에 부착시키도록 구비된다. 이로써, 테이프 및 기판 사이에 기포가 발생하는 것이 억제된다.

Description

테이프 마운팅 장치{TAPE MOUNTING APPARATUS}
본 발명의 실시예들은 테이프 마운팅 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 기판에 테이프를 장착할 수 있는 테이프 마운팅 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있다. 상기 반도체 소자들이 형성된 웨이퍼는 다이싱 공정을 통해 복수의 다이들로 분할될 수 있으며, 상기 다이들은 기판 상에 탑재된 후 몰딩 공정을 통해 반도체 패키지들로 제조될 수 있다.
상기 다이싱 공정에 이용되는 반도체 조립 장치로서 테이프를 웨이퍼상에 접착하기 위한 웨이퍼 테이프 마운팅 장치 및 고속 회전하는 블레이드에서 웨이퍼를 절단하는 다이싱 장치가 이용된다.
상기 테이프 마운팅 장치는 테이프와 웨이퍼 사이에 기포를 발생시키지 않고 웨이퍼의 전면에 테이프를 밀착해 접착시키기 위해 사용되는 장치에 해당한다. 상기 테이프 마운팅 장치는 상면에 구비한 웨이퍼 흡착 수단에 의해 웨이퍼를 흡착 지지함과 동시에 지지부 내측에 가압 공기를 도입해 웨이퍼를 외측에 가압하도록 한 웨이퍼 지지 테이블 및 웨이퍼 지지 테이블에 지지된 웨이퍼에 시트형 테이프를 접착하는 테이프 접착 수단을 가진다. 상기 테이프 마운팅 장치에 관하여 대한민국등록특허 제10-0199823호가 개시된다.
하지만, 테이프와 기판 사이에 기포를 발생시키지 않고 웨이퍼의 전면에 테이프를 밀착해 정밀하게 접착시키는 데 있어서 기술적 어려움이 여전히 존재한다.
본 발명의 실시예들은 테이프와 기판 사이에 기포를 발생시키지 않고 웨이퍼의 전면에 테이프를 밀착해 정밀하게 접착시킬 수 있는 테이프 마운팅 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 테이프 마운팅 장치는 기판을 지지하며, 승강 가능하게 구비된 기판 척, 상기 기판 척의 측부 및 하부를 둘러싸도록 구비되며, 상기 기판 척을 승강 가능하도록 하는 제1 승강 축이 관통할 수 있도록 축 홀이 형성된 하부 챔버 및 상기 하부 챔버와 마주보며 이동 가능하게 구비되며, 상기 하부 챔버와 함께 상기 기판 척을 둘러싸는 챔버 공간을 정의하며 테이프의 외곽부를 고정하는 상부 챔버를 포함하고, 상기 테이프를 기준으로 상기 챔버 공간을 상부 공간 및 하부 공간으로 구획하며, 상기 상부 공간 및 하부 공간 사이의 진공도 차이를 이용하여 상기 테이프를 처지도록 하여 상기 테이프를 상기 기판에 부착시키도록 구비된다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 하부 챔버 하부의 중심부에는 진공 라인과 연결된 진공 포트가 형성될 수 있다. 여기서, 상기 진공 포트는 상기 하부 챔버의 중심부에 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 상부 챔버에는 가스 공급 라인과 연결된 가스 공급 포트가 형성될 수 있다. 여기서, 상기 가스 공급 포트는 상기 상부 챔버의 측부에 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 승강 축과 연결되며, 상기 제1 승강 축을 승강시키는 제1 구동부가 추가적으로 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 상부 챔버와 연결되며, 상기 테이프를 커팅하는 커팅 유닛이 추가적으로 구비된다.
여기서 커팅 유닛은, 상기 상부 챔버의 중심부를 관통하여 제2 승강 축, 상기 제2 승강 축의 하단부와 연결되며, 상기 상부 챔버의 하면을 가로지도록 연장되며 회전 가능한 연장 바 및 상기 연장 바의 단부에 구비되며, 상기 제2 승강 축이 하강하면서 상기 연장 바를 회전함으로써 상기 테이프를 커팅하는 커터를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판의 외주연을 가압하여, 상기 기판 척에 상기 기판을 고정할 수 있도록 구비된 링이 추가적으로 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 상부 챔버를 직교 좌표계 상으로 구동가능한 제2 구동부가 추가적으로 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 척에 인접하게 배치되며, 상기 테이프를 공급하는 공급 롤 및 상기 테이프를 회수하는 권취 롤이 더 구비될 수 잇따.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따른 테이프 마운팅 장치는, 테이프를 기준으로 상기 챔버 공간을 상부 공간 및 하부 공간으로 구획하며, 상기 상부 공간 및 하부 공간 사이의 진공도 차이를 이용하여 상기 테이프를 처지도록 하여 상기 테이프를 상기 기판에 부착시킬 수 있다.
이로써, 상기 테이프(20)를 처지도록 하여 상기 테이프의 중심부로터 외곽부로 순차적으로 상기 기판에 부착시킬 수 있다. 결과적으로 상기 테이프 및 상기 기판 사이에 공기가 효과적으로 배출됨으로써 상기 테이프 및 상기 기판 사이에 기포가 발생하는 현상이 억제될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프 마운팅 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 테이프 마운팅 장치를 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 상부 챔버를 설명하기 위한 이면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 테이프 마운팅 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프 마운팅 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다. 도 2는 도 1에 도시된 테이프 마운팅 장치를 설명하기 위한 정면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 상부 챔버를 설명하기 위한 이면도이다. 도 4는 도 2에 도시된 테이프 마운팅 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 테이프 마운팅 장치(100)는, 기판 척(110), 하부 챔버(130) 및 상부 챔버(150)를 포함한다. 상기 하부 챔버(130) 및 상기 상부 챔버(150)는 상호 개폐됨으로써 챔버 공간(105)을 정의할 수 있다. 상기 챔버 공간(105) 내부에는 기판 척(110)이 승강 가능하게 구비될 수 있다. 한편, 상기 하부 챔버(130) 및 상기 상부 챔버(150) 사이에는 테이프(20)가 제공될 수 있다.
상기 기판 척(110)은 기판(10)을 지지한다. 상기 기판 척(110)은 진공력 또는 정전기력을 이용하여 상기 기판(10)을 지지할 수 있다. 이와 다르게 상기 기판 척(110)은 상기 기판(10)의 외주연을 가압하는 링(20)을 이용하여 상기 기판(10)을 고정할 수 있다.
상기 기판 척(110)은 승강 가능하게 구비된다. 이로써, 상기 기판 척(110) 상에 지지된 기판(10)을 상기 테이프(20)의 하면을 향하여 접근하거나 상기 테이프(20)가 부착된 기판(10)이 상기 상부 챔버(150)로부터 멀어질 수 있다.
상기 하부 챔버(130)는 상기 기판 척(110)의 측부 및 하부를 둘러싸도록 구비된다. 상기 하부 챔버(130)는 상기 상부 챔버(150)와 함께 챔버 공간(105)을 정의한다. 상기 하부 챔버(130)는 바닥부 및 제1 측부를 포함할 수 있다.
상기 하부 챔버(130)에는 상기 기판 척(110)을 승강 가능하도록 하는 제1 승강 축(141)이 관통할 수 있도록 축 홀(131)이 형성된다. 즉, 상기 하부 챔버(130)의 바닥부에는 상기 축 홀(131)이 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 축 홀(131)은 바닥부의 에지에 한 쌍으로 제공될 수 있다. 이로써, 상기 축 홀(131)을 통하여 상기 제1 승강 축(141)이 승강 가능하게 연장됨으로써 상기 기판 척(110)을 승강시킬 수 있다.
상기 상부 챔버(150)는 상기 하부 챔버(130)와 마주도록 이동 가능하게 구비된다. 상기 상부 챔버(150)는 수평 방향으로 이동하여 상기 하부 챔버(130)의 상부에 마주보도록 위치할 수 있다. 또한 상기 상부 챔버(150)는 수직 방향으로 승강함으로써, 상기 하부 챔버(130)에 대하여 상기 챔버 공간(105)을 개폐할 수 있다.
상기 상부 챔버(150)는 상기 하부 챔버(130)와 함께 상기 기판 척(110)을 둘러싸는 챔버 공간(105)을 정의한다. 예를 들면, 상기 상부 챔버(150)는 커버부 및 제2 측부를 포함할 수 있다.
한편, 상기 상부 챔버(150)는 상기 하부 챔버(130)와 함께 테이프(20)의 외곽부를 고정할 수 있다. 즉, 상기 하부 챔버(130)의 제1 측부 및 상기 상부 챔버(150)의 제2 측부가 상호 컨택함으로써, 상기 테이프(20)의 외곽부를 클램핑할 수 있다.
또한, 상기 하부 챔버(130)의 제1 측부 및 상기 상부 챔버(150)의 제2 측부 사이에는 밀봉 부재(190)가 구비된다. 상기 밀봉 부재(190)의 예로는 오링(O-ring)을 들 수 있다. 이로써, 상기 챔버 공간(105)이 외부로부터 효과적으로 격리될 수 있다.
상기 챔버 공간(105)은 상기 테이프를 기준으로 상부 공간(105a) 및 하부 공간(105b)으로 구획된다.
또한, 상기 상부 공간(105a) 및 하부 공간(105b) 사이의 진공도 차이를 이용하여 상기 테이프(20)를 처지도록 하여 상기 테이프(20)의 중심부로터 외곽부로 순차적으로 상기 기판(10)에 부착시킬 수 있다. 이로써, 상기 테이프(20) 및 상기 기판(10) 사이에 공기가 효과적으로 배출됨으로써 상기 테이프(20) 및 상기 기판(10) 사이에 기포가 발생하는 현상이 억제될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 하부 챔버(130) 하부의 중심부에는 진공 라인(165)과 연결된 진공 포트(135)가 형성될 수 있다. 상기 진공 포트(135)를 통하여 상기 하부 공간(105b)이 진공화되는 반면에, 상기 상부 공간(105a)은 대기압 상태가 됨으로써 상기 상부 공간(105a) 및 하부 공간(105b) 사이의 진공도 차이가 발생한다. 이로써, 상기 제1 및 제2 측부 사이에 고정된 테이프(20)가 연신되어 상기 테이프(20)의 중심부가 하방으로 처지는 처짐 현상이 발생할 수 있다.
상기 진공 라인(165)의 단부는 진공 펌프(161)와 연결된다. 이로써, 상기 진공 펌프(161)는 상기 진공 라인(165) 및 진공 포트(135)를 통하여 상기 하부 공간(105b)를 진공화 할 수 있다.
여기서, 상기 진공 포트(135)는 상기 하부 챔버(130)의 중심부에 형성될 수 있다. 상기 테이프(20)의 중심부가 보다 효과적으로 처질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 상부 챔버(150)에는 가스 공급 라인(185)과 연결된 가스 공급 포트(155)가 형성될 수 있다. 상기 가스 공급 포트를 통하여 상기 상부 공간(105a)이 상기 대기압 보다 높은 고압 상태로 변화하는 반면에 상기 하부 공간(105b)은 대기압 상태를 유지함으로써 상기 상부 공간(105a) 및 하부 공간(105b) 사이의 진공도 차이가 발생한다. 이로써, 상기 제1 및 제2 측부 사이에 고정된 테이프(20)가 연신되어 상기 테이프(20)의 중심부가 하방으로 처지는 처짐 현상이 발생할 수 있다.
상기 가스 공급 라인(185)의 타단부는 가스 공급 탱크(181)와 연결된다. 따라서, 상기 가스 공급 탱크(181)는 상기 가스 공급 라인(185) 및 상기 가스 공급 포트(155)를 통하여 상부 공간(105b)를 고압 상태로 변화시킬 수 있다.
여기서, 상기 가스 공급 포트(155)는 상기 상부 챔버(150)의 측부에 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 승강 축(141)과 연결되며, 상기 제1 승강 축을 승강시키는 제1 구동부(140)가 추가적으로 구비될 수 있다. 상기 제1 구동부(140)는 실린더 또는 서보 모터 등을 포함할 수 있다.
상기 제1 구동부(140)는 상기 기판 척(110)을 승강 가능하도록 구동력을 제공한다. 이로써, 상기 기판 척(110) 상에 지지된 기판(10)을 상기 테이프(20)의 하면을 향하여 접근하거나 상기 테이프(20)가 부착된 기판(10)이 상기 상부 챔버(150)로부터 멀어질 수 있다.
예를 들면, 상기 기판 척(110) 상에 지지된 기판(10)을 상기 테이프(20)의 하면을 향하여 상승시킬 때, 상기 테이프(20)의 중심부가 저진 상태이다. 이로 인하여, 상기 기판(10)의 중심부가 상기 테이프(20)의 중심부와 먼저 컨택한다. 따라서, 상기 기판(10)의 중심부가 상기 테이프(20)의 중심부 사이가 먼저 점착될 수 있다.
이후, 상기 제1 구동부(140)가 상기 기판 척(110)을 추가적으로 상승시켜, 상기 기판 척(110)에 지지된 기판(10)의 중심부로부터 외곽을 향하여 점차적으로 상기 테이프(20)에 부착시킬 수 있다. 이로써, 상기 테이프(20) 및 상기 기판(10) 사이에 공기가 효과적으로 배출됨으로써 상기 테이프(20) 및 상기 기판(10) 사이에 기포가 발생하는 현상이 억제될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 상부 챔버(150)와 연결되며, 상기 테이프(20)를 커팅하는 커팅 유닛(170)이 추가적으로 구비된다.
상기 커팅 유닛(170) 은상기 상부 챔버(150)의 중심부를 관통하여 제2 승강 축(173), 상기 제2 승강 축(173)의 하단부와 연결되며, 상기 상부 챔버(150)의 하면을 가로지도록 연장되며 회전 가능한 연장 바(175) 및 상기 연장 바(175)의 단부에 구비되며, 상기 제2 승강 축(173)이 하강하면서 상기 연장 바(175)를 회전함으로써 상기 테이프(20)를 커팅하는 커터(171)가 추가적으로 구비될 수 있다.
상기 제2 승강 축(173)이 하강할 경우, 상기 커터(171)가 테이프에 접근할 수 있다. 이후, 상기 제2 승강 축(173)이 회전함에 따라 상기 연장 바(175)의 단부에 구비된 커터(171)가 회전함으로써, 상기 커터(171)가 테이프를 절단할 수 있다. 이후, 상기 제2 승강 축(173)이 상승함으로써, 상기 커터(171)가 상기 테이프(20)로부터 이격된다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판 척에 상기 기판을 고정할 수 있도록 구비된 링(30)이 추가적으로 제공된다.
상기 링(30)은 링 형상을 가진다. 상기 링(30)은 서스(SUS) 재질로 이루어질 수 있다. 상기 링(30)은 상기 기판의 외주연을 상기 기판 척을 향하여 가압한다. 이로써, 상기 링(30)은 상기 기판 척(110)에 상기 기판을 고정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 상부 챔버(150)를 직교 좌표계 상으로 구동가능한 제2 구동부(180)가 추가적으로 구비된다.
이로써, 상기 제2 구동부(180)는 상기 상부 챔버(150)를 수평 방향으로 이동시켜 하부 챔버(130)와 마주보도록 할 수 있다. 또한 상기 제2 구동부(180)는 상기 상부 챔버(150)를 승강시켜 상기 챔버 공간(105)을 개폐할 수 있다.
즉, 상기 제2 구동부(180)는 수평 방향 및 수직 방향으로 상기 상부 챔버(150)를 이동시킬 수 있다.
상기 제2 구동부(180)는 수직 방향으로 상기 상부 챔버를 이동시키는 제1 실린더(185) 및 수평 방향으로 상기 상부 챔버(150)를 이동시키는 제2 실린더(181)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 챔버 공간(105)의 외부에 배치되고, 상기 챔버 공간의 내부로 상기 테이프를 공급하는 공급 롤(121) 및 상기 테이프를 회수하는 권취 롤(126)이 추가적으로 구비된다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 테이프 마운팅 장치 110 : 기판 척
130 : 하부 챔버 140 : 제1 구동부
150 : 상부 챔버 170 : 커터 유닛
180 : 제2 구동부

Claims (11)

  1. 기판을 지지하며, 승강 가능하게 구비된 기판 척;
    상기 기판 척의 측부 및 하부를 둘러싸도록 구비되며, 상기 기판 척을 승강 가능하도록 하는 제1 승강 축이 관통할 수 있도록 축 홀이 형성된 하부 챔버; 및
    상기 하부 챔버와 마주보며 이동 가능하게 구비되며, 상기 하부 챔버와 함께 상기 기판 척을 둘러싸는 챔버 공간을 정의하며 테이프의 외곽부를 고정하는 상부 챔버를 포함하고,
    상기 테이프를 기준으로 상기 챔버 공간을 상부 공간 및 하부 공간으로 구획하며, 상기 상부 공간 및 하부 공간 사이의 진공도 차이를 이용하여 상기 테이프를 처지도록 하여 상기 테이프를 상기 기판에 부착시키도록 구비된 테이프 마운팅 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 하부 챔버 하부의 중심부에는 진공 라인과 연결된 진공 포트가 형성된 것을 특징으로 하는 테이프 마운팅 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 진공 포트는 상기 하부 챔버의 중심부에 형성된 것을 특징으로 하는 테이프 마운팅 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 상부 챔버에는 가스 공급 라인과 연결된 가스 공급 포트가 형성된 것을 특징으로 하는 테이프 마운팅 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 가스 공급 포트는 상기 상부 챔버의 측부에 형성된 것을 특징으로 하는 테이프 마운팅 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 승강 축과 연결되며, 상기 제1 승강 축을 승강시키는 제1 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 마운팅 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 상부 챔버와 연결되며, 상기 테이프를 커팅하는 커팅 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 마운팅 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 커팅 유닛은,
    상기 상부 챔버의 중심부를 관통하여 제2 승강 축;
    상기 제2 승강 축의 하단부와 연결되며, 상기 상부 챔버의 하면을 가로지도록 연장되며 회전 가능한 연장 바; 및
    상기 연장 바의 단부에 구비되며, 상기 제2 승강 축이 하강하면서 상기 연장 바를 회전함으로써 상기 테이프를 커팅하는 커터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 마운팅 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 기판의 외주연을 가압하여, 상기 기판 척에 상기 기판을 고정할 수 있도록 구비된 링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 마운팅 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 상부 챔버를 직교 좌표계 상으로 구동가능한 제2 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 마운팅 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 기판 척에 인접하게 배치되며, 상기 테이프를 공급하는 공급 롤 및 상기 테이프를 회수하는 권취 롤을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 마운팅 장치.
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