JP6576741B2 - 基板搬送用コンベア及び部品実装装置 - Google Patents
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Description
特に、作業位置における基板は、その原点が、コンベア本体のうち、第1脚部側、つまり熱伸びの量が比較的小さい側に位置することとなるので、コンベア本体の熱伸びによる原点の位置ずれを可及的に小さく抑えることが可能となる。
また、本発明の他の一の局面に係る基板搬送用コンベアは、基台上に支持されて、基板を搬送する基板搬送用のコンベアであって、基板の搬送方向に延びるコンベア本体と、前記搬送方向における互いに異なる位置でそれぞれ前記コンベア本体に固定され、当該コンベア本体を基台上に固定的に支持する第1脚部、および前記搬送方向への変位を許容する状態で当該コンベア本体を基台上に支持する第2脚部と、前記コンベア本体により搬送される基板を所定の作業位置で保持する基板保持装置と、前記第1脚部を基準として前記搬送方向における前記第2脚部の側とは反対側である反第2脚部側の位置でコンベア本体に固定され、前記搬送方向への変位を許容する状態で当該コンベア本体を基台上に支持する第3脚部と、を備えているものである。
(第1の実施形態)
図1は、本発明に係る部品実装装置(本発明に係る基板搬送用コンベアが使用された部品実装装置)を概略的に平面図で示している。
図4および図5は、第2実施形態に係るコンベア4(基板搬送機構3)を概略的に示しており、図4(a)は正面図、図4(b)は平面図、図5(a)は左側面図、図5(b)は右側面図でそれぞれコンベア4を示している。なお、以下の説明では、第1実施形態と同一の構成要素については同一符号を付して説明を省略又は簡略化し、第1実施形態との相違点について詳述する。後述する第3、第4の実施形態の説明についても同様である。
図6は、第3の実施形態にかかるコンベア4(基板搬送機構3)の概略的な正面図である。第3実施形態のコンベア4は、以下の点で第1実施形態のコンベア4と構成が相違している。すなわち、第3実施形態のコンベア4は、X方向におけるコンベア本体20の略中央にクランプ機構18が設けられるとともに第1脚部22Aが設けられており、この第1脚部22Aを基準として、X方向における上記作業位置Wpの両外側の位置に第2、第3脚部22B、22Cが設けられている。なお、第3脚部22Cの構成は、第2脚部22Bの構成と同一である。
図7は、第4実施形態のコンベア4(基板搬送機構3)を概略的に示しており、(a)は正面図で、(b)は左側面図でそれぞれコンベア4を示している。
なお、上述した第1〜第4実施形態の部品実装装置1は、本発明に係る部品実装装置(本発明に係る基板搬送用コンベアが適用された部品実装装置)の好ましい実施形態の例示であって、部品実装装置1の具体的な構成や、コンベア4(基板搬送機構3)の具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
2 基台
3 基板搬送機構
4 コンベア(基板搬送用コンベア)
5 ヘッド
6 部品供給部
18 クランプ機構(基板保持装置)
20 コンベア本体
22A 第1脚部
22B 第2脚部
22C 第3脚部
23 可動部
24 レール部(固定部)
30 基板搬送部
32 支持フレーム(フレーム部)
34 吸着装置(基板保持装置)
41、42 滑り案内面
43 エア供給機構(流体供給機構)
Ca 第1脚部の略中央位置
Cb 第2脚部の略中央位置
Cd 搬送方向
D1、D2 直線距離
P 基板
Pa フィデューシャルマーク(原点)
Wp 作業位置
Claims (9)
- 基台上に支持されて、基板を搬送する基板搬送用のコンベアであって、
基板の搬送方向に延びるコンベア本体と、
前記搬送方向における互いに異なる位置でそれぞれ前記コンベア本体に固定され、当該コンベア本体を基台上に固定的に支持する第1脚部、および前記搬送方向への変位を許容する状態で当該コンベア本体を基台上に支持する第2脚部と、
前記コンベア本体により搬送される基板を所定の作業位置で保持する基板保持装置と、を備え、
前記基板は、基板上の位置基準となる原点を有するものであり、
前記第1脚部および第2脚部は、基板保持装置により保持された基板の前記原点の位置と第1脚部の略中央位置とを結んだ前記搬送方向の直線距離が、前記原点の位置と第2脚部の略中央位置とを結んだ前記搬送方向の直線距離より小さくなる位置にそれぞれ設けられている、ことを特徴とする基板搬送用コンベア。 - 請求項1に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
前記第1脚部を基準として前記搬送方向における前記第2脚部の側とは反対側である反第2脚部側の位置でコンベア本体に固定され、前記搬送方向への変位を許容する状態で当該コンベア本体を基台上に支持する第3脚部をさらに備えている、ことを特徴とする基板搬送用コンベア。 - 請求項2に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
前記基板保持装置は、コンベア本体に設けられ、
前記第1脚部は、基板保持装置により保持される基板の前記搬送方向におけるコンベア本体の略中央で当該コンベア本体に固定されている、ことを特徴とする基板搬送用コンベア。 - 請求項1乃至3の何れか一項に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
前記コンベア本体は、基板を搬送する基板搬送部と、この基板搬送部に固定されて当該基板搬送部の下方で前記搬送方向に延びかつ前記基板保持装置が固定されたフレーム部とを含み、
前記第1脚部および前記第2脚部は、前記フレーム部に固定されている、ことを特徴とする基板搬送用コンベア。 - 請求項1乃至4の何れか一項に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
前記第2脚部は、コンベア本体に固定される可動部と、基台に固定されて前記可動部を前記搬送方向へ移動可能に支持する固定部とを備えている、ことを特徴とする基板搬送用コンベア。 - 請求項5に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
可動部および固定部は、前記搬送方向へのコンベア本体の変位を許容する滑り案内面を介して互いに当接していることを特徴とする基板搬送用コンベア。 - 請求項5に記載の基板搬送用コンベアにおいて、
前記第2脚部は、可動部と固定部との間に、可動部を静圧案内するための所定圧の流体を供給する流体供給機構を備える、ことを特徴とする基板搬送用コンベア。 - 基台上に支持されて、基板を搬送する基板搬送用のコンベアであって、
基板の搬送方向に延びるコンベア本体と、
前記搬送方向における互いに異なる位置でそれぞれ前記コンベア本体に固定され、当該コンベア本体を基台上に固定的に支持する第1脚部、および前記搬送方向への変位を許容する状態で当該コンベア本体を基台上に支持する第2脚部と、
前記コンベア本体により搬送される基板を所定の作業位置で保持する基板保持装置と、
前記第1脚部を基準として前記搬送方向における前記第2脚部の側とは反対側である反第2脚部側の位置でコンベア本体に固定され、前記搬送方向への変位を許容する状態で当該コンベア本体を基台上に支持する第3脚部と、を備えていることを特徴とする基板搬送用コンベア。 - 請求項1乃至8の何れか一項に記載の基板搬送用コンベアと、
部品を供給する部品供給部と、
前記部品供給部から部品を吸着して取り出し、当該部品を前記基板搬送用コンベアが搬送する基板上に実装するヘッドと、を備えていることを特徴とする部品実装装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015167107A JP6576741B2 (ja) | 2015-08-26 | 2015-08-26 | 基板搬送用コンベア及び部品実装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015167107A JP6576741B2 (ja) | 2015-08-26 | 2015-08-26 | 基板搬送用コンベア及び部品実装装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017045852A JP2017045852A (ja) | 2017-03-02 |
JP6576741B2 true JP6576741B2 (ja) | 2019-09-18 |
Family
ID=58211746
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015167107A Active JP6576741B2 (ja) | 2015-08-26 | 2015-08-26 | 基板搬送用コンベア及び部品実装装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6576741B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113412048B (zh) * | 2021-06-09 | 2022-11-25 | 东莞市冠佳电子设备有限公司 | 一种出料整脚装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0643208B2 (ja) * | 1987-10-30 | 1994-06-08 | 小松技研株式会社 | 自動半田付装置のプリント基板搬送装置 |
JP2000159317A (ja) * | 1998-11-20 | 2000-06-13 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 空気浮上式コンベヤ |
JP4490564B2 (ja) * | 2000-09-11 | 2010-06-30 | Juki株式会社 | 電子部品搭載機 |
CN202389895U (zh) * | 2011-11-22 | 2012-08-22 | 衡阳运输机械有限公司 | 一种带式输送机的钢结构桁架结构 |
JP5703521B1 (ja) * | 2014-10-27 | 2015-04-22 | 大谷開発株式会社 | 集塵装置およびそれを備えた乾留式焼却システム |
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2015
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017045852A (ja) | 2017-03-02 |
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A977 | Report on retrieval |
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