JP6908655B2 - バックアップ装置の制御方法及び基板処理装置 - Google Patents
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Description
40 制御装置
100 基板支持装置
104 ロック片
200 バックアップ装置
203 バックアッププレート(担持部材の要素例)
204 バックアップピン(担持部材の要素例)
210 モータ
211 エンコーダ
C ベアチップ
H0 初期高さ
H1 離反高さ
H2 受渡高さ
H3 ロック開始高さ
H4 ロック終了高さ
(H0−H1) 離反区間
(H1−H2) 受渡区間
(H2−H3) リフト区間
(H3−H4) ロック区間
P 基板
PH 基板搬送経路
S1 実装作業位置
S2 実装作業位置
V0 初動速度(高速側の速度)
V1 受取速度(低速側の速度)
V2 リフト速度(中速側の速度)
V3 ロック速度(低速側の速度)
V4 降下速度(中速側の速度)
V5 受渡速度(低速側の速度)
V6 復帰速度(高速側の速度)
W ウエハ
Claims (2)
- 基板を搬送する搬送コンベアの搬送経路上に設定される基板停止位置と前記基板停止位置の上方に設定された基板処理位置との間で当該基板を昇降可能なバックアップピンを含むバックアップ装置を用いて、前記基板処理位置にある前記基板を前記基板停止位置に降下させて当該搬送コンベアに受け渡す際のバックアップ装置の制御方法において、
前記基板処理位置にある基板を担持している前記バックアップピンが降下し始めてから当該バックアップピンが担持している基板が前記搬送コンベアに着地する前までの初期降下区間では、前記基板に過大な慣性を作用させない所定の第1速度に設定された降下速度まで前記バックアップピンが降下する速度を上げて当該基板を降下させるステップと、
降下している基板が前記搬送コンベアに着地し始めてから前記バックアップピンが基板から離れるまでの受渡区間では、前記第1速度より低速の第2速度に設定された受渡速度に前記バックアップピンが降下する速度を下げて当該バックアップピンを降下させるステップと、
降下している基板が前記搬送コンベアに着地し終えた後の離反区間では、前記第1速度より高速の第3速度に設定された復帰速度に前記バックアップピンが降下する速度を上げて当該バックアップピンを降下させるステップと
を備え、
前記過大な慣性は、前記基板に実装された部品の保持力に対して前記基板の搬送速度が相対的に速すぎる結果として、当該基板上の部品の実装状態に悪影響を及ぼす大きさの慣性であって、
前記第1速度は、前記保持力に対して前記過大な慣性を生じさせない速度が選定される、ことを特徴とするバックアップ装置の制御方法。 - 基板を搬送する搬送経路に沿って基板を搬送する搬送コンベアと、
前記搬送コンベアに設定される基板停止位置と前記基板停止位置の上方に設定された基板処理位置との間で当該基板を昇降可能なバックアップピンを含むバックアップ装置と、
前記バックアップ装置を制御する制御装置であって、前記基板処理位置にある前記基板を前記基板停止位置に降下させて当該搬送コンベアに受け渡す際において、前記基板処理位置にある基板を担持している前記バックアップピンが降下し始めてから当該バックアップピンが担持している基板が前記搬送コンベアに着地する前までの初期降下区間では、前記基板に過大な慣性を作用させない所定の第1速度に設定された降下速度まで前記バックアップピンが降下する速度を上げて当該基板を降下させ、降下している基板が前記搬送コンベアに着地し始めてから前記バックアップピンが基板から離れるまでの受渡区間では、前記第1速度より低速の第2速度に設定された受渡速度に前記バックアップピンが降下する速度を下げて当該バックアップピンを降下させ、降下している基板が前記搬送コンベアに着地し終えた後の離反区間では、前記第1速度より高速の第3速度に設定された復帰速度に前記バックアップピンが降下する速度を上げて当該バックアップピンを降下させるように前記バックアップ装置を制御する前記制御装置と
を備え、
前記過大な慣性は、前記基板に実装された部品の保持力に対して前記基板の搬送速度が相対的に速すぎる結果として、当該基板上の部品の実装状態に悪影響を及ぼす大きさの慣性であって、
前記第1速度は、前記保持力に対して前記過大な慣性を生じさせない速度が選定される、ことを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
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JP2019130252A JP6908655B2 (ja) | 2016-01-28 | 2019-07-12 | バックアップ装置の制御方法及び基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (2)
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JP2016014384A JP6650280B2 (ja) | 2016-01-28 | 2016-01-28 | バックアップ装置の制御方法及び基板処理装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2019208042A JP2019208042A (ja) | 2019-12-05 |
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ID=68768671
Family Applications (1)
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JP2019130252A Active JP6908655B2 (ja) | 2016-01-28 | 2019-07-12 | バックアップ装置の制御方法及び基板処理装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6908655B2 (ja) |
-
2019
- 2019-07-12 JP JP2019130252A patent/JP6908655B2/ja active Active
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