JP6464021B2 - 測定装置 - Google Patents
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Description
数式1によると、屈折によって延びる光路長は、45.4mm×(1.52mm−1mm)/1.52mm=15.532mmとなる。
Claims (5)
- 平板状の測定対象物を載置するテーブル部と、
対物レンズ及び撮像部を有する顕微鏡と、
前記テーブル部の前記測定対象物の裏面側の測定位置に対応する位置に配置されたコーナーキューブと
を備え、
前記撮像部は、前記コーナーキューブ、及び前記対物レンズを介して前記測定対象物の裏面側の測定位置の像を撮像することを特徴とする測定装置。 - 前記テーブル部の前記測定対象物の裏面側の複数の前記測定位置に対応するそれぞれの位置には、前記コーナーキューブを配置する配置部が形成され、
前記コーナーキューブは、前記配置部のそれぞれに配置され、
更に前記顕微鏡を前記測定対象物の縁部に沿って移動させる顕微鏡移動部を備え、
前記撮像部は、前記コーナーキューブ、及び前記対物レンズを介した前記測定対象物の裏面側の複数の測定位置の像を順次撮像することを特徴とする請求項1記載の測定装置。 - 平板状の測定対象物を載置するテーブル部と、
対物レンズ及び撮像部を有する顕微鏡と、
前記測定対象物の裏面側に位置するコーナーキューブと、
前記コーナーキューブを前記測定対象物の縁部に沿って移動させるコーナーキューブ移動部と、
前記顕微鏡を前記測定対象物の縁部に沿って移動させる顕微鏡移動部と、
前記コーナーキューブを前記顕微鏡の移動に追従させて前記測定対象物の裏面側の測定位置に順次移動させる制御部と
を備え、
前記撮像部は、前記コーナーキューブ、及び前記対物レンズを介した前記測定対象物の裏面側の複数の測定位置の像を順次撮像することを特徴とする測定装置。 - 前記測定対象物は、縁部に面取部分を有し、
前記撮像部は、前記対物レンズ及び前記コーナーキューブを介して前記測定対象物の裏面の前記面取部分の像を撮像することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の測定装置。 - 前記測定対象物は、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板、金属薄板、シリコンウェーハー、及び樹脂薄板の何れかであることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の測定装置。
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