JP2018516371A5

JP2018516371A5 -

Info

Publication number: JP2018516371A5
Application number: JP2017562982A
Authority: JP
Filing date: 2015-07-27
Publication date: 2018-08-16

Claims

半導体デバイスの少なくとも側面を検査する装置であって、
イメージングビーム経路を定めるカメラと、
第１ミラー、第２ミラー、第３ミラー及び第４ミラーを有し、長方形の態をなす自由空間を囲むようそれらミラーが配列されており、且つ第１ミラー及びその逆側の第３ミラーが固定実装、第２ミラー及びその逆側の第４ミラーが可動実装されているミラーブロックと、
その半導体デバイスの少なくとも側面の像を上記ミラーブロックから上記カメラへと差し向ける傾斜ミラーと、
を備える装置。
請求項１記載の装置であって、上記カメラの焦点位置の調整用に第１モータが同カメラに割り当てられている装置。
請求項２記載の装置であって、上記カメラがオートフォーカス機構付ズームレンズを有し、第１モータがそのカメラの一部分である装置。
請求項２記載の装置であって、上記カメラの焦点の調整用に、第１モータが、上記イメージングビーム経路に沿い同カメラに直線運動を実行させるよう構成されている装置。
請求項４記載の装置であって、第１モータによってリードスクリューが駆動され、駆動されるそのリードスクリューが上記カメラのスライドに連結されている装置。
請求項１記載の装置であって、半導体デバイスの側面と固定的な第１及び第３ミラーそれぞれとの間の第１距離が、その半導体デバイスの側面と第２及び第４ミラーそれぞれとの間の第２距離と等しくなるよう、第２ミラー及び第４ミラーを位置決めすべく、第２モータが第２ミラー及びその逆側の第４ミラーに割り当てられている装置。
請求項６記載の装置であって、第２モータによってリードスクリューが駆動され、カム機構の働きで第２ミラー及び第４ミラーが同時に動かされる装置。
請求項１記載の装置であって、上記ミラーブロックの第１ミラー、第２ミラー、第３ミラー及び第４ミラーにより定まる鏡面が４０〜４８°傾斜している装置。
請求項１記載の装置であって、上記ミラーブロックの第１ミラー、第２ミラー、第３ミラー及び第４ミラーにより縁取られた自由空間内に検査のため配置された半導体デバイスを照明すべく、照明デバイスが設けられている装置。
請求項１記載の装置であって、複数本の保持アームを有し、検査対象半導体デバイスを保持するよう各保持アームが構成されたタレットをさらに備え、複数本の保持アームの各保持アームは、本装置のミラーブロックの自由空間内にその半導体デバイスをプレースしうるように構成されている装置。
請求項１記載の装置であって、上記カメラ、上記ミラーブロック、上記傾斜ミラー及び照明デバイスが単一モジュール内に配列されている装置。
半導体デバイスの少なくとも側面を検査する方法であって、
固定的な第１ミラー、固定的な第３ミラー、可動な第２ミラー及び可動な第４ミラーを有するミラーブロックによって縁取られた自由空間の中央に半導体デバイスをプレースするステップと、
その半導体デバイスの種類についての情報を制御ユニットに提供するステップと、
その半導体デバイスの個別側面と第２ミラー及び第４ミラーとの間の第２距離が、同半導体デバイスの個別側面と固定的な第１ミラー及び固定的な第３ミラーとの間の第１距離と等しくなるよう、第２ミラー及び第４ミラーを動かすステップと、
イメージングビーム経路に沿いカメラの焦点位置を調整することで焦点距離の変化を補償するステップと、
を有する方法。
請求項１２記載の方法であって、上記カメラのオートフォーカス機構付ズームレンズを動かすことで第１モータが同カメラの焦点位置を調整する方法。
請求項１２記載の方法であって、上記カメラのスライドに連結されているリードスクリューを駆動しそのカメラを直線運動させることで第１モータが同カメラの焦点位置を調整する方法。
請求項１２記載の方法であって、カム機構に作用するリードスクリューを第２モータによって駆動することで第２ミラー及び第４ミラーを同時に動かす方法。
請求項１２記載の方法であって、更に、
半導体デバイスの少なくとも４側面の像を傾斜ミラー経由で上記カメラのイメージングビーム経路上に差し向けるステップと、
上記カメラの焦点を調整するステップと、
を有する方法。
請求項１６記載の方法であって、上記傾斜ミラーが、半導体デバイスの少なくとも側面の像に加えその半導体デバイスの底面の像を上記カメラのイメージングビーム経路上に差し向ける方法であり、そのカメラが、同半導体デバイスの少なくとも側面及び底面が合焦状態に保たれる焦点深度を有する方法。
請求項１２記載の方法であって、更に、
タレットの保持アームで以て上記ミラーブロックの自由空間内に半導体デバイスを挿入するステップと、
上記ミラーブロックの自由空間内での計測中、その半導体デバイスを保持するステップと、
上記タレットの保持アームで以て上記ミラーブロックの自由空間からその半導体デバイスを取り除くステップと、
を有する方法。
半導体デバイスの少なくとも側面を検査する方法であって、
複数本の保持アームを有し各保持アームが１個の半導体デバイスを保持するタレットを回動させるステップと、
固定的な第１ミラー、固定的な第３ミラー、可動な第２ミラー及び可動な第４ミラーを有するミラーブロックにより縁取られた自由空間の中央に個別の保持アームで以て個別の半導体デバイスをプレースするステップと、
その半導体デバイスの種類についての情報を制御ユニットに提供するステップと、
その半導体デバイスの個別側面と第２ミラー及び第４ミラーとの間の第２距離が、同半導体デバイスの個別側面と固定的な第１ミラー及び固定的な第３ミラーとの間の第１距離と等しくなるよう、第２ミラー及び第４ミラーを動かすステップと、
イメージングビーム経路に沿いカメラを動かすことで焦点距離の変化を補償するステップと、
上記タレットの保持アームで以て上記ミラーブロックの自由空間からその半導体デバイスを取り除くステップと、
を有する方法。
請求項１９記載の方法であって、更に、
第１モータ及び第２モータを互いに独立に制御するステップを有し、第１モータが上記イメージングビーム経路の方向に沿い上記カメラをスライド上で直線的に動かし、第２モータが第２ミラー及び第４ミラーを同時に動かす方法。
半導体デバイスの少なくとも側面を検査する装置であって、
ハウジングと、
イメージングビーム経路を定めており、そのイメージングビーム経路に沿い上記ハウジング内で直線的に動かしうるカメラと、
上記ハウジングの第１端に配列され、第１ミラー、第２ミラー、第３ミラー及び第４ミラーを担持しているミラーブロックであり、長方形の態をなす自由空間を囲むようそれらミラーが配列されており、その自由空間が上記ハウジングの外部からアクセス可能であり、且つ第１ミラー及びその逆側の第３ミラーが固定実装、第２ミラー及びその逆側の第４ミラーが可動実装されているミラーブロックと、
上記ミラーブロック内にある半導体デバイスの少なくとも側面の像がカメラへと差し向けられるよう、上記カメラ及び上記ミラーブロックを基準にして上記ハウジング内に配列された傾斜ミラーと、
を備える装置。
請求項２１記載の装置であって、第１モータが上記ハウジング内に配列され上記カメラに割り当てられている装置。
請求項２１記載の装置であって、半導体デバイスの側面と固定的な第１及び第３ミラーそれぞれとの間の第１距離が、その半導体デバイスの側面と第２及び第４ミラーそれぞれとの間の第２距離と等しくなるよう、第２ミラー及び第４ミラーを位置決めすべく、第２モータが上記ハウジング内に配列され且つ第２ミラー及びその逆側の第４ミラーに割り当てられている装置。
半導体デバイスの少なくとも側面の検査用に非一時的コンピュータ可読媒体上に配されたコンピュータプログラム製品であって、
プレース機構で以てミラーブロックの自由空間内に半導体デバイスをプレースし、
その半導体デバイスの種類を判別し、
その半導体デバイスの種類に従い上記ミラーブロックの第２ミラー及び第４ミラーを動かすことで、同半導体デバイスの個別側面と第２ミラー及び第４ミラーとの間の第２距離を、同半導体デバイスの個別側面とそのミラーブロックの固定的な第１ミラー及び固定的な第３ミラーとの間の第１距離と等しくし、
イメージングビーム経路に沿いカメラの焦点位置を調整することでその半導体デバイスの少なくとも４側面の合焦像を取得する、
よう、その実行によりコンピュータを制御することが可能なコンピュータ実行処理ステップ群を有するコンピュータプログラム製品。