JP4791118B2 - 画像測定機のオフセット算出方法 - Google Patents
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Description
このような撮像手段による画像測定機能と、非接触式光学プローブにより非接触変位検出機能との間にオフセットが存在する場合、このオフセットを定量的に特定する必要がある。このオフセット値の算出のため、様々な治具が用いられている。
Claims (1)
- 画像測定用の撮像手段を備えると共に被測定物に対して照射される光に基づき被測定物の形状を測定する非接触式光学プローブを備えた画像測定機のオフセット算出方法において、
予め精密に測定され寸法が既知の基準球を、基板上に形成され且つ所定の表面粗さを有する反射板の上に設置すると共に、前記基板上に表面が平面である基準ブロックを設置し、前記基準球、前記基準ブロック及び前記反射板を設置した前記基板を前記画像測定機の測定テーブル上に載置し、その後、前記撮像手段により前記基準球及び前記基準ブロックを撮像して前記基準球の画像測定を行うと共に前記基準ブロックの表面に対する前記撮像手段の合焦動作を行い、更に非接触式光学プローブによる前記基準球及び前記基準ブロックの測定を実行する工程と、
前記画像測定の測定結果と、前記合焦動作の結果と、前記非接触式光学プローブの測定結果とを比較してオフセットを算出する工程と
を備えたことを特徴とする画像測定機のオフセット算出方法。
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