JP6436672B2 - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Description
また、第7の態様は、第1の態様に係る検査装置であって、配線パターン情報取得部は、前記配線パターンが走査方向に対して斜めである場合に、前記配線パターンの一部または全部を含むように設定される前記走査方向に平行に延びる矩形領域を配線パターン情報として取得する。
また、第8の態様は、第6の態様に係る検査方法であって、前記(b)工程は、前記配線パターンが走査方向に対して斜めである場合に、前記配線パターンの一部または全部を含むように設定される前記走査方向に平行に延びる矩形領域を配線パターン情報として取得する工程を含む。
1 装置架台
2 テラヘルツ波測定系
22 プローブ光照射部
221 フェムト秒レーザ
23 テラヘルツ波検出部
231 テラヘルツ波検出器
24 遅延部
3 移動ステージ
31 ステージ駆動機構
4 試料台
41 電圧印加テーブル
43 電極ピンユニット
431 電極ピン
432 電極バー
5 EL/PL測定系
6 カメラ
7 制御部
71 CPU
711 配線パターン情報取得部
713 走査位置決定部
715 画像生成部
74 記憶部
81 撮影画像データ
83 配線パターン情報
85 走査位置情報
87 テラヘルツ波強度情報
9 太陽電池
91 受光面
93 バスバー電極
95 フィンガー電極
i1 テラヘルツ波強度分布画像
LP11 パルス光(プローブ光)
LT1 テラヘルツ波パルス
P1〜P3 ピッチ
R1 検査対象領域
R2 配線パターン領域
R3 走査領域
SP1 照射スポット
Claims (8)
- 電極の配線パターンが形成された太陽電池を検査する検査装置において、
太陽電池を保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記太陽電池をプローブ光で走査する走査機構と、
前記プローブ光の照射に応じて、前記太陽電池から放射される電磁波を検出する検出部と、
前記配線パターンの位置を示す配線パターン情報を取得する配線パターン情報取得部と、
前記太陽電池における検査対象領域から前記配線パターンの少なくとも一部を除いた走査領域に基づいて、前記走査機構が前記プローブ光で走査する走査位置を示す走査位置情報を決定する走査位置決定部と、
前記走査位置情報に基づく前記走査位置を、前記プローブ光で走査するように前記走査機構を制御する制御部と、
を備える、検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記走査機構は、
前記プローブ光に対し、前記太陽電池の表面に平行な主走査方向に沿って前記太陽電池を相対的に移動させる主走査機構と、
前記プローブ光に対し、前記太陽電池の表面に平行で、かつ、前記主走査方向に直交する副走査方向に前記太陽電池を相対的に移動させる副走査機構と、
を含み、
前記制御部は、前記配線パターンのうち、前記主走査方向に延びる部分を除いて前記プローブ光で走査するように、前記副走査機構を制御する、検査装置。 - 請求項2に記載の検査装置において、
前記主走査方向に延びる部分が、バスバー電極の部分を含む、検査装置。 - 請求項3に記載の検査装置であって、
前記保持部に保持された前記太陽電池における前記バスバー電極の延びる方向に沿って、所定の間隔をあけて配列される複数の電極ピン、
をさらに備え、
前記走査機構は、前記主走査方向と平行に前記プローブ光を照射し、前記検出部は、前記主走査方向と平行に放射される前記電磁波を検出する、検査装置。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の検査装置であって、
前記配線パターン情報取得部が、
前記太陽電池を撮影して得られた画像から、前記配線パターンを検出することによって、前記配線パターン情報を取得する、検査装置。 - 表面に電極の配線パターンが形成された太陽電池を検査する検査方法であって、
(a)太陽電池を保持部で保持する工程と、
(b)前記(a)工程にて保持された前記太陽電池の表面に形成された配線パターンの位置を示す配線パターン情報を取得する工程と、
(c)前記太陽電池における検査対象領域から前記配線パターンの少なくとも一部を除いた走査領域に基づいて、前記走査機構が前記プローブ光で走査する走査位置を示す走査位置情報を決定する走査位置工程と、
(d)前記(c)工程にて決定された前記走査位置情報に基づく前記走査位置を、前記プローブ光で走査するとともに、前記プローブ光の照射に応じて前記太陽電池から放射される電磁波を検出する工程と、
を含む、検査方法。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
配線パターン情報取得部は、前記配線パターンが走査方向に対して斜めである場合に、前記配線パターンの一部または全部を含むように設定される前記走査方向に平行に延びる矩形領域を配線パターン情報として取得する、検査装置。 - 請求項6に記載の検査方法であって、
前記(b)工程は、前記配線パターンが走査方向に対して斜めである場合に、前記配線パターンの一部または全部を含むように設定される前記走査方向に平行に延びる矩形領域を配線パターン情報として取得する工程を含む、検査方法。
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