JP6418421B2 - マスクケース、保管装置、搬送装置、露光装置、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
別の態様によれば、マスクを支持する支持部が設けられる底面を有する第1ケース部と、第1ケース部に対して着脱可能に設けられ、その底面に対向配置される上面を有する第2ケース部と、で構成されるマスクケースであって、その第1ケース部は、その底面においてその支持部に対向する位置に設けられ、外部からの光を通過させる光通過部と、その光通過部と重ならない位置に設けられ、外部からの光を反射する反射部材と、を有するマスクケースが提供される。
第4の態様によれば、パターンが形成されたマスクが収納されるマスクケースであって、そのマスクを支持する下ケース部と、その下ケース部に支持されたそのマスクを覆うように、その下ケース部に載置される上ケース部と、を備え、その上ケース部は、マスクケース用の支持部でその上ケース部を支持するための鍔部を有し、その鍔部に、その上ケース部の位置を検出するための光ビームが通過可能な開口が設けられたマスクケースが提供される。
第6の態様によれば、パターンが形成されたマスクが収納されるマスクケースであって、そのマスクを支持する下ケース部と、その下ケース部に支持されたそのマスクを覆うように、その下ケース部に載置される上ケース部と、を備え、その下ケース部のそのマスクケースの搬送部に対向する底面に、回転対称な第1の凹部、V字型の溝状の第2の凹部、及び少なくとも1箇所の平坦部が設けられたマスクケースが提供される。
第9の態様によれば、マスクケースを搬送する搬送装置であって、第8の態様の保管装置にそのマスクケースを搬送する搬送アームを備え、その搬送アームは、そのマスクケースを保持してからそのマスクケースがその保管装置のその支持部に支持されるまでの間にその検出部で検出されたその光ビームの検出結果に基づいて、そのマスクケースがその支持部で支持される位置を制御する搬送装置が提供される。
第11の態様によれば、マスクケースを搬送する搬送装置において、第3の態様のマスクケースを支持するケース支持部と、そのマスクケースに向けて光ビームを照射する照射部と、そのマスクケースに向けて照射されたその光ビームを検出する検出部と、を備える搬送装置が提供される。
第13の態様によれば、マスクケースを搬送する搬送装置であって、上述の態様のマスクケースから第2ケース部を取り出して、そのマスクが載置されたその第1ケース部を搬送する搬送アームを備える搬送装置が提供される。
第15の態様によれば、基板を露光する露光装置において、上述の態様の保管装置、又は上述の態様の搬送装置を備え、その保管装置に保管可能なマスクケース、又はその搬送装置によって搬送されたマスクケースの内部に収納されたマスクを用いて、その基板を露光する露光装置が提供される。
第17の態様によれば、マスクケースを保管する保管方法において、上述の態様のマスクケースのその保持部を介してそのマスクケースを支持することと、その支持部に向けて光ビームを照射することと、その支持部に向けて照射されたその光ビームを検出することと、を含む保管方法が提供される。
凹部36Aa,36Ba及び平坦部36Caをそれぞれボールトランスファ54A〜54Cで支持することによって、マスクケース搬送部53(搬送車V)に対するマスクケース30のX方向及びY方向の位置、及びZ軸に平行な軸の回り(以下、θz方向という)の回転角がそれぞれ目標値に自動的に設定され、この状態で搬送車Vによってマスクケース30が安定に搬送される。また、他の位置PS2の位置決め部36Cに近接してボールトランスファ54Dが配置されているため、振動等でマスクケース30が傾斜しても、位置決め部36Cがボールトランスファ54Dに接触することによって、その傾斜角がそれ以上大きくなることはない。さらに、この状態でマスクケース30の連結部38A,38Bの開口38Aa,38Baにマスクケース搬送部53のピン57Aa,57Baが差し込まれるため、搬送中の振動等によってマスクケース30の位置がずれることが確実に防止できる。なお、搬送中の振動が少ない場合等には、連結部38A,38B及び支持部57A,57Bを省略することも可能である。
また、マスクケース搬送部61の上面に、図3(B)に示すマスクケース30のベース部材32の底面に設けられた位置決め部36A,36B、及び位置PS1,PS2の位置決め部36Cと同じ配置で、それぞれ表面に球面部62Aa,62Ba,62Ca,62Daが設けられた支持部材であるボールトランスファ62A,62B,62C,62Dがボルト(不図示)によって固定されている。さらに、図2(B)の位置決め部36Bに対する反射部37A及び窓部32a1と同じ位置関係で、マスクケース搬送部61の上面のボールトランスファ62から−Y方向に離れた位置に、マスクケース30の検出装置63が設けられている。
凹部36Aa,36Ba及び平坦部36Caをそれぞれボールトランスファ62A〜62Cで支持することによって、マスクケース搬送部61(搬送装置H1)に対するマスクケース30のX方向及びY方向の位置、及びθz方向の回転角がそれぞれ目標値に自動的に設定され、この状態でマスクケース搬送部61によってマスクケース30が安定に搬送される。また、他の位置PS2の位置決め部36Cに近接してボールトランスファ62Dが配置されているため、振動等でマスクケース30が傾斜しても、位置決め部36Cがボールトランスファ62Dに接触することによって、その傾斜角がそれ以上大きくなることはない。さらに、この状態でマスクケース30の反射部37A及び窓部32a1が検出装置63に対向している。
昇降駆動部68によってマスクケース搬送部61で支持されているマスクケース30のZ位置をマスクライブラリLBのある収容部65(又は一時収容部66)での設定値よりも高く設定した状態で、水平駆動部67によってマスクケース搬送部61を+Y方向に移動して、マスクケース搬送部61で支持されるマスクケース30をその収容部65(又は一時収容部66)の上方に移動した後、マスクケース搬送部61を降下させることで、マスクケース30をその収容部65(又は一時収容部66)に受け渡すことができる。逆に、ある収容部65(又は一時収容部66)に保持されているマスクケース30の底面側にマスクケース搬送部61を移動した後、マスクケース搬送部61のZ位置を高くすることによって、収容部65(又は一時収容部66)からマスクケース搬送部61(搬送装置H1)にマスクケース30を受け渡すことができる。
なお、光源部52aと光電センサ52cとの配置を入れ替えて、ビームスプリッター52bが光源部52aからの光ビームを透過させ、光電センサ52cがビームスプリッター52bで反射された光ビームを検出してもよい。また、反射部材49に、上述した反射部37Bと同様に偏光特性をもたせてもよく、あるいは反射部材49に向かう光ビームと反射部材49で反射された光ビームとが互いに偏光方向が直交する直線偏光になるように光ビームの光路に1/4波長板や偏光子等の偏光素子を配置してもよい。この場合、ビームスプリッター52bに偏光特性を持たせて偏光ビームスプリッターにしてもよい。
次に、本実施形態の露光装置EXにおけるマスクMの搬送方法を含む露光方法の一例につき図11(A)及び(B)のフローチャートを参照して説明する。この動作は制御装置CONTによって制御される。
また、本実施形態のマスクケース30は、マスクMが載置される下ケース部31Aと、下ケース部31Aに載置されるマスクMを覆うように、下ケース部31Aに載置される上ケース部31Bと、を備え、上ケース部31Bは、マスクライブラリLB(マスクケース30の保管部)で上ケース部31Bを支持するための鍔部41A,41Bを有し、鍔部41Bに、上ケース部31Bの位置を検出するための光ビームLB1が通過可能な開口41Bcが設けられている。
また、マスクケース30を保管するマスクライブラリLB(保管装置)は、マスクケース30の鍔部41A,41B(保持部)を介してマスクケース30を支持可能な支持部47A1,47A2,47B1,47B2と、支持部47B1(支持部47B1の近傍の鍔部41Bの開口41Bc,41Bd)に向けて光ビームLB1を照射する光源部52a(照射部)と、支持部47B1に向けて照射された光ビームLB1を検出する光電センサ52c(検出部)と、を備えている。
また、マスクケース30を保管する保管方法は、マスクケース30の鍔部41A,41Bを介してマスクケース30の上ケース部31Bを支持するステップ108と、鍔部41Bに向けて光ビームLB1を照射し、鍔部41Bに向けて照射された光ビームLB1を検出するステップ130とを含んでいる。
なお、マスクケース30の下ケース部31Aに反射部37A及び窓部32a1を設けた場合には、下ケース部31Aの底面に位置決め部36A〜36Cを設ける必要も必ずしもない。この場合、搬送装置H1(マスクケース搬送部61)とマスクケース30との連結は、クランプ機構、電磁石機構、又は真空吸着機構等を用いた連結機構によって行ってもよい。
また、本実施形態の露光装置EXは、露光光でマスクMを照明し、露光光でマスクM及び投影光学系PLを介してプレートP(基板)を露光する露光装置であって、マスクMを保持するマスクステージMSTと、搬送装置H1と、を備え、搬送装置H1によって搬送されるマスクケース30から取り出されるマスクMがマスクステージMSTに載置される。
本実施形態によれば、露光装置EXの露光工程におけるマスクMの搬送不良を低減させることができる。
なお、上述の実施形態においては以下のような変形が可能である。
まず、上述の実施形態においては、マスクケース30の側面に1対の鍔部41A,41Bが設けられているが、図14の変形例のマスクケース30Aで示すように、マスクケースの対向する側面に複数(一例として2つ)の鍔部41C1,41C2及び41D1,41D2を設けてもよい。なお、図14において図3(A)に対応する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。また、図15(A)〜(E)、及び図17(A)〜(E)において、図12、図13に対応する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
−Y方向にある鍔部41C1,41D1には、それぞれマスクライブラリLBの支持部47A2,47B2の上面のピン48(図9参照)が挿通可能な大きさの開口(貫通孔)41C1a,41D1aが設けられている。一例として、マスクケース30Aのより大きい位置決め誤差に対応できるように、一方の開口41D1aは他方の開口41C1aよりも大きく形成されている。また、+Y方向で+X方向の鍔部41C2には、Y方向に沿って所定間隔で2つの互いに同じ大きさの円形の開口(貫通孔)41C2a,41C2bが設けられている。具体的には、一例として、開口41C2a,41C2bは、Y方向に互いに60mm隔てた位置が開口(貫通)するように設けられている。また、一例として、41C2aの中心と、開口41C1aの中心とのY方向の間隔は570mmである。開口41C2a,41C2bは、図9の検出装置52から照射される光ビームLB1を通過させるために使用される。なお、開口41C2a,41C2bは、互いに同じ大きさに限定されず異なる大きさであってもよく、円形状に限定されず他の形状であってもよい。例えば、開口41C2a,41C2bは、円形状に閉じた開口(孔)形状ではなく、鍔部41C2の側面に繋がった切り欠き形状であってもよい。また、開口41Ab,41Bbは、ピン48が挿通されるように貫通した開口した形状に限定されず、ピン48と互いに嵌合する形状であればよく、例えば、鍔部41A,41Bの上面側が閉じた(開口していない)孔、すなわち貫通していない(凹状の)孔とすることもできる。この他の構成は図4のマスクケース30と同様である。
その後、位置P2のレール46A,46B上にマスクケース30A内のマスクMを露光に使用する場合には、図17(A)に示すように、搬送装置H1の搬送アーム61をマスクケース30Aの下ケース部31Aの下方に移動する。光ビームLB1は、マスクケース30Aの鍔部41C2の開口41C2aを通過しているため、光ビームLB1の検出信号S1は、図16(B)の時点t11で示すように閾値Sthを超えている。
また、図18(A)の他の変形例のマスクケース30Bで示すように、マスクケースの鍔部に設ける2つの開口の形状及び大きさを変えるようにしてもよい。なお、図18(A)において図14に対応する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
なお、鍔部41C3の開口41C3aは、開口41C3bよりも大きい円形でもよい。さらに、鍔部41C3の代わりに、図18(C)に示すように、ほぼ正方形の開口41C4a及びこれよりも小さい円形の開口41C4bが形成された鍔部41C4を使用してもよい。
次に、上述の実施形態においては、搬送装置H1とは別に搬送車Vが使用されているが、搬送車Vを本発明による搬送装置の一例とみなすことも可能である。この場合、搬送車Vに検出装置63を設けるようにしてもよい。
また、上述の実施形態においては、搬送車V及び搬送装置H1とマスクケース30との連結はマスクケース30(下ケース部31A)の底面部において行っているが、下ケース部31Aの側面部又は上ケース部31Bの上面部等でその連結を行うようにしてもよい。
また、上述の実施形態においては、搬送車Vのマスクケース搬送部53及び搬送装置H1のマスクケース搬送部61の少なくとも一方に、マスクケース30のθz方向の回転角を調整する機構を設けてもよい。
また、上記の各実施形態の露光装置EX又は露光方法を用いて、基板上に所定のパターン(TFTパターン等)を形成することによって、電子デバイス(マイクロデバイス)としての液晶ディスプレイ用のパネル(液晶表示パネル)を得ることもできる。以下、図19のフローチャートを参照して、この製造方法の一例につき説明する。
上述の電子デバイスの製造方法によれば、上記の実施形態の露光装置又は露光方法を用いてマスクのパターンを基板に転写する工程(ステップS401の一部)と、この工程によりそのパターンが転写された基板をそのパターンに基づいて加工(現像、エッチング等)する工程(ステップS401の他の部分)とを含んでいる。
なお、上述の電子デバイスの製造方法は、有機EL(Electro-Luminescence)ディスプレイ、又はプラズマディスプレイ等の他のディスプレイ用のパネル等を製造する場合にも適用できる。
13. マスクを支持する支持部が設けられる底面を有する第1ケース部と、前記第1ケース部に対して着脱可能に設けられ、前記底面に対向配置される上面を有する第2ケース部と、を備え、保管装置に保管可能なマスクケースであって、
前記第2ケース部は、前記第1ケース部から取り外されて保持されるときに用いられる保持部を備え、
前記保持部は、前記第1ケース部から取り外された前記第2ケース部が前記保管装置で支持されるときに、前記保管装置に設けられたピン部に嵌合するための開口部を有するマスクケース。
14. 前記保持部の開口部は、前記第2ケース部の前記上面における一方の側面及び他方の側面のそれぞれに設けられる13に記載のマスクケース。
15. マスクを支持する支持部が設けられる底面を有する第1ケース部と、前記第1ケース部に対して着脱可能に設けられ、前記底面に対向配置される上面を有する第2ケース部と、で構成されるマスクケースであって、
前記第1ケース部は、前記底面において前記支持部に対向する位置に、外部からの光を通過させる光通過部を有し、
前記第2ケース部は、前記第1ケース部の前記光通過部に対向する位置に、前記光通過
部から入射する光を前記光通過部に向けて反射する反射部を有するマスクケース。
16. 前記第1ケース部に設けられ、外部からの光を反射する反射部材をさらに備える15に記載のマスクケース。
17. マスクを支持する支持部が設けられる底面を有する第1ケース部と、前記第1ケース部に対して着脱可能に設けられ、前記底面に対向配置される上面を有する第2ケース部と、で構成されるマスクケースであって、
前記第1ケース部は、前記底面において前記支持部に対向する位置に設けられ、外部からの光を通過させる光通過部と、前記光通過部と重ならない位置に設けられ、外部からの光を反射する反射部材と、を有するマスクケース。
18. 前記支持部は、前記マスクケースが保管される保管装置に前記第1ケース部及び前記第2ケース部が搬送される第1方向における前記マスクの端部の位置を規定し、
前記光通過部は、前記支持部に対向する位置に設けられる15〜17のいずれか一項に記載のマスクケース。
19. 前記光通過部は、前記第1ケース部の底面に対して傾斜して設けられる15〜18のいずれか一項に記載のマスクケース。
20. 前記光通過部は、前記第2ケース部が前記第1ケース部に装着されて前記マスクが前記第1ケース部及び前記第2ケース部に収納された状態で、前記マスクと前記第2ケース部とが見える位置に設けられている15〜19のいずれか一項に記載のマスクケース。
21. 前記光通過部が設けられる側から前記マスクケースを見たときに、前記反射部材、前記マスク、前記反射部の順に並んで設けられる16に記載のマスクケース。
22. 前記反射部材及び前記反射部のうち少なくとも一方は、偏光板である16又は21に記載のマスクケース。
23. 前記第1ケース部の底面に設けられ、互いに異なる形状を有する少なくとも3つの溝部を有する1〜22のいずれか一項に記載のマスクケース。
24. 前記溝部の少なくとも3つの溝部は、円錐面状の溝部と平坦面を有する溝部とを含む23に記載のマスクケース。
31. マスクケースを保管する保管装置であって、
13又は14に記載のマスクケースの保持部を支持可能なケース支持部を備え、
前記ケース支持部に、前記保持部に設けられた前記開口部と係合可能なピン部を有する保管装置。
32. 前記開口部が前記ピン部に係合しないことを検出する検出部をさらに備える31に記載の保管装置。
33. マスクが収納されたマスクケースを搬送する搬送装置であって、
32に記載の保管装置に前記マスクケースを搬送する搬送アームを備え、
前記搬送アームは、前記検出部によって前記開口部が前記ピン部に係合しないことを検出した場合に、前記マスク又は前記マスクケースの搬送を行わない搬送装置。
34. マスクケースを搬送する搬送装置において、
15〜24のいずれか一項に記載のマスクケースを支持するケース支持部と、
前記マスクケースに向けて光ビームを照射する照射部と、
前記マスクケースに向けて照射された前記光ビームを検出する検出部と、を備える搬送装置。
35. 前記照射部は、前記マスクケースの前記光通過部に前記光ビームを照射し、
前記検出部は、前記光通過部に向けて照射された前記光ビームを検出する34に記載の搬送装置。
36. 前記検出部で検出された検出結果に基づいて、所望のマスクではないマスクが搬送された場合、又は、マスクのないマスクケースが搬送された場合に、前記マスクケースの搬送を行わない34又は35に記載の搬送装置。
37. 前記検出部で検出された検出結果に基づいて、所望のマスクではないマスクが搬送された場合、又は、マスクのないマスクケースが搬送された場合に、前記マスクケースが保管される保管装置の一時収容部に前記マスクケースを返却する34〜36のいずれか一項に記載の搬送装置。
38. 前記検出部は、
前記マスクケースに光を照射し、前記マスクケースからの反射光を検出して前記マスクケースの状態を検出する第1検出部と、
前記マスクケースに設けられた前記光通過部を介して前記マスクケースに収納されている前記マスクに光を照射し、前記マスクからの反射光を前記光通過部を介して検出する第2検出部と、
を有する34〜37のいずれか一項に記載の搬送装置。
39. 前記検出部は、
前記第1ケース部の前記光通過部を介して前記第2ケース部に設けられた反射部に光を照射し、前記反射部からの反射光を前記光通過部を介して検出して、前記第2ケース部の状態を検出する第3検出部を備える38に記載の搬送装置。
40. 23又は24に記載のマスクケースを支持するケース支持部を備え、
前記ケース支持部は、前記マスクケースの前記底面の少なくとも3つの溝部に係合可能な少なくとも3つの凸部を有する搬送装置。
41. マスクケースを保管する保管装置において、
1〜24のいずれか一項に記載のマスクケースを支持するケース支持部と、
前記マスクケースに向けて前記光を照射する照射部と、
照射された前記光を検出する検出部と、を備える保管装置。
42. マスクケースを搬送する搬送装置において、
1〜24のいずれか一項に記載のマスクケースを支持するケース支持部を備える搬送装置。
43. マスクケースを搬送する搬送装置であって、
1〜24のいずれか一項に記載のマスクケースから前記第2ケース部を取り出して、前記マスクが載置された前記第1ケース部を搬送する搬送アームを備える搬送装置。
44. マスクを搬送するマスク搬送装置であって、
43に記載の搬送装置によって搬送され、かつ、前記マスクが載置された前記第1ケース部から前記マスクを受け取って、前記マスクを搬送するマスク搬送部を備えるマスク搬送装置。
45. 基板を露光する露光装置において、 1〜24のいずれか一項に記載のマスクケースに収納されたマスクを用いて、前記基板を露光する露光装置。
46. 基板を露光する露光装置において、
25〜33、41のいずれか一項に記載の保管装置を備え、
前記保管装置に保管可能なマスクケースに収納されたマスクを用いて、前記基板を露光する露光装置。
47. 基板を露光する露光装置において、
29、30、34〜40、42、43のいずれか一項に記載の搬送装置を備え、
前記搬送装置によって搬送されたマスクケースの内部に収納されたマスクを用いて、前記基板を露光する露光装置。
48. 基板を露光する露光装置において、
44に記載のマスク搬送装置を備え、
前記マスク搬送装置によって搬送されたマスクを用いて、前記基板を露光する露光装置。
49. 45〜48のいずれか一項に記載の露光装置を用いて感光性基板を露光することと、
前記露光された感光性基板を処理することと、を含むデバイス製造方法。
50. マスクケースを保管する保管方法において、
1〜14のいずれか一項に記載のマスクケースの前記保持部を介して前記マスクケースを支持することと、
前記支持部に向けて光ビームを照射することと、
前記支持部に向けて照射された前記光ビームを検出することと、を含む保管方法。
51. マスクケースを保管する保管方法において、
1〜14のいずれか一項に記載のマスクケースの前記第1ケース部を支持することと、
前記第1ケース部から分離された前記第2ケース部を、前記第2ケース部の前記保持部を介して支持することと、
前記第2ケース部の前記保持部に光ビームを照射し、前記保持部に照射された前記光ビームを検出することと、
前記光ビームの検出結果に応じて前記第2ケース部の位置を調整することと、を含む保管方法。
52. マスクケースを保管する保管方法において、
1〜24のいずれか一項に記載のマスクケースの保持部に設けられた開口部をピン部で係合させて、前記マスクケースを支持する保管方法。
53. マスクケースを搬送する搬送方法において、
マスクが収納された1〜24のいずれか一項に記載のマスクケースを支持することと、
前記マスクケースの第1ケース部に光を照射し、前記第1ケース部に照射された前記光を検出することと、
前記第1ケース部に設けられる光通過部を介して前記第1ケース部に載置された前記マスクに前記光を照射し、前記マスクからの反射光を前記光通過部を介して検出することと、を含む搬送方法。
54. マスクを搬送するマスク搬送方法であって、
1〜24のいずれか一項に記載のマスクケースに収納されたマスクを搬送するマスク搬送方法。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得ることは勿論である。
Claims (22)
- マスクを支持する支持部が設けられる底面を有する第1ケース部と、前記第1ケース部に対して着脱可能に設けられ、前記底面に対向配置される上面を有する第2ケース部と、を備え、保管装置に保管可能なマスクケースであって、
前記第2ケース部は、前記第1ケース部から取り外されて前記保管装置に保持されるときに用いられる保持部を有し、
前記保持部は、
前記第1ケース部に装着された前記第2ケース部が前記保管装置に保管される第1位置にあるときに、光が通過する第1の光通過部と、
前記第1ケース部から取り外された前記第2ケース部の前記保持部が前記保管装置に保持される第2位置にあるときに、前記光が通過する、前記第1の光通過部とは異なる第2の光通過部と、
を備えるマスクケース。 - 前記第1の光通過部と前記第2の光通過部とは、前記第2ケース部の前記保管装置に対する相対位置関係を検出するために用いられる請求項1に記載のマスクケース。
- 前記第1の光通過部と前記第2の光通過部とは、前記マスクケースが前記保管装置に搬入される第1方向の互いに異なる位置に設けられる請求項1又は2に記載のマスクケース。
- 前記第2の光通過部は、
前記第1ケース部に装着された前記第2ケース部が前記保管装置に保管されているときの位置から前記第1方向にずれた位置で、前記第1ケース部から取り外された前記第2ケース部の前記保持部を介して前記保管装置に保持されているときの、前記第2ケース部の前記保管装置に対する相対位置関係を検出するために用いられる請求項3に記載のマスクケース。 - 前記第1の光通過部は、前記第2の光通過部に対して、
前記第2ケース部を装着した前記第1ケース部が、前記保管装置に支持されているときの前記第2ケース部の位置と、前記第2ケース部が前記第1ケース部から取り外されて、前記保持部を介して前記保管装置に支持されているときの前記第2ケース部の位置と、の前記第1方向におけるずれ量だけ前記第1方向にずれて配置される請求項3又は4に記載のマスクケース。 - 前記保持部は、前記第2ケース部の上面において、前記第1方向と交差する第2方向の両側の側面から外部に突出して設けられる請求項3〜5のいずれか一項に記載のマスクケース。
- 前記保持部は、前記支持部で支持された前記マスクのパターン面に平行な方向に突出して設けられる請求項1〜6のいずれか一項に記載のマスクケース。
- 前記第1の光通過部において光が通過する領域の面積は、前記第2の光通過部において前記光が通過する領域の面積よりも小さい請求項1〜7のいずれか一項に記載のマスクケース。
- 前記保持部は、前記第2ケース部の上面において、前記第1方向に沿って前記第1の光通過部及び前記第2の光通過部から離れた位置に、切り欠き部を有する請求項3〜8のいずれか一項に記載のマスクケース。
- 前記保持部は、前記第2ケース部の前記上面における一方の側面及び他方の側面から外部に突出した少なくとも2つの部分突出部で構成され、
前記部分突出部の1つに、前記第1の光通過部と前記第2の光通過部とが設けられる請求項1〜9のいずれか一項に記載のマスクケース。 - 前記第1の光通過部及び第2の光通過部とは、互いに60mm隔てた位置に設けられる請求項1〜10のいずれか一項に記載のマスクケース。
- 前記第1の光通過部から570mm隔てた位置に、前記第2のケース部を前記保管装置に嵌合するための開口部を備える請求項1〜11のいずれか一項に記載のマスクケース。
- マスクケースを保管する保管装置において、
請求項1〜12のいずれか一項に記載のマスクケースの前記保持部を介して前記マスクケースを支持可能な支持部と、
前記支持部に向けて光ビームを照射する照射部と、
前記支持部に向けて照射された前記光ビームを検出する検出部と、
を備える保管装置。 - 前記照射部は、前記保持部に設けられた前記光通過部に向けて前記光ビームを照射し、
前記検出部は、前記光通過部に向けて照射された前記光ビームを検出する請求項13に記載の保管装置。 - 前記保持部の前記光通過部を通過した前記光ビームを前記光通過部に向けて反射する光ビーム反射部をさらに備え、
前記検出部は、前記光ビーム反射部で反射されて前記光通過部を通過した前記光ビームを検出する請求項13又は14に記載の保管装置。 - 前記保持部の少なくとも一部に係合する係合部をさらに備え、
前記保持部の少なくとも一部が前記係合部に係合された状態で、前記照射部が前記支持部によって支持された前記保持部の前記光通過部に光を照射して、前記光通過部を通過した光を前記検出部で検出する請求項13〜15のいずれか一項に記載の保管装置。 - マスクケースを搬送する搬送装置であって、
請求項13〜16のいずれか一項に記載の保管装置に前記マスクケースを搬送する搬送アームを備え、
前記搬送アームは、前記マスクケースを保持してから前記マスクケースが前記保管装置の前記支持部に支持されるまでの間に前記検出部で検出された前記光ビームの検出結果に基づいて、前記マスクケースが前記支持部で支持される位置を制御する搬送装置。 - 前記保管装置は、前記マスクケースの受け渡し行う一時収容部をさらに備え、
前記搬送アームは、前記検出部で検出された前記検出結果が所望の検出結果と異なる場合に、前記マスクケースを前記一時収容部に返却する請求項17に記載の搬送装置。 - 基板を露光する露光装置において、
請求項1〜12のいずれか一項に記載のマスクケースに収納されたマスクを用いて、前記基板を露光する露光装置。 - 基板を露光する露光装置において、
請求項13〜16のいずれか一項に記載の保管装置を備え、
前記保管装置に保管可能なマスクケースに収納されたマスクを用いて、前記基板を露光する露光装置。 - 基板を露光する露光装置において、
請求項17又は18に記載の搬送装置を備え、
前記搬送装置によって搬送されたマスクケースの内部に収納されたマスクを用いて、前記基板を露光する露光装置。 - 請求項19〜21のいずれか一項に記載の露光装置を用いて感光性基板を露光することと、
前記露光された感光性基板を処理することと、を含むデバイス製造方法。
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