JP2008310163A - 近接スキャン露光装置及びその照度制御方法 - Google Patents
近接スキャン露光装置及びその照度制御方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】近接スキャン露光装置1は、基板WをX方向に搬送する基板搬送機構10と、パターンを形成した複数のマスクMをそれぞれ保持し、Y方向に沿って千鳥状に配置される複数のマスク保持部11と、複数のマスク保持部11の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部14と、複数の照射部14内にそれぞれ配置され、照射部14内での露光用光ELの照度を検出する複数の第1照度センサ41と、複数の照射部14からの各露光用光ELが照射される各位置に移動可能で、各露光用光ELの照度を検出する第2照度センサ42と、を備える。
【選択図】図1
Description
(1) 所定方向に搬送される基板に対して近接する複数のマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する近接スキャン露光装置であって、
前記基板を所定方向に搬送する基板搬送機構と、
前記パターンを形成した前記複数のマスクをそれぞれ保持し、前記所定方向と交差する方向に沿って千鳥状に配置される複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、
前記複数の照射部内にそれぞれ配置され、照射部内での前記露光用光の照度を検出する複数の第1照度センサと、
前記複数の照射部からの各露光用光が照射される各位置に移動可能で、前記各露光用光の照度を検出する第2照度センサと、
を備えることを特徴とする近接スキャン露光装置。
(2) 前記マスクを交換すべく、前記マスクを搬入又は搬出するための受け渡し位置と、前記各マスク保持部の下面と対向する交換位置との間を移動可能なマスクトレー部を有するマスクチェンジャーをさらに備え、
前記第2照度センサは、前記マスクトレー部に取り付けられることを特徴とする(1)に記載の近接スキャン露光装置。
(3) 基板を所定方向に搬送する基板搬送機構と、パターンを形成した複数のマスクをそれぞれ保持し、前記所定方向と交差する方向に沿って千鳥状に配置される複数のマスク保持部と、前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する光源をそれぞれ有する複数の照射部と、前記複数の照射部内にそれぞれ配置され、照射部内での前記露光用光の照度を検出する複数の第1照度センサと、前記複数の照射部からの各露光用光が照射される各位置に移動可能で、前記各露光用光の照度を検出する第2照度センサと、を備え、前記所定方向に搬送される基板に対して近接する前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する近接スキャン露光装置の照度制御方法であって、
前記第2照度センサを前記複数の照射部の各露光用光が照射される各位置に移動して、前記各露光用光の照度を検出する工程と、
前記第2照度センサによって検出される、前記複数の照射部から照射される各露光用光の照度値が目標照度値となるように前記光源の電流値を調整する工程と、
前記調整された前記各光源が照射する各露光用光の照度値を前記第1照度センサによって検出する工程と、
前記第1照度センサによって検出された前記各光源が照射する各露光用光の照度値が維持されるように、前記各光源の電流値を制御する工程と、
を有することを特徴とする近接スキャン露光装置の照度制御方法。
(4) 前記第2照度センサは、前記マスクを交換するためのマスクチェンジャーのマスクトレー部に取り付けられており、
前記第2照度センサによる照度の検出工程と、前記光源の電流値を調整する工程は、前記マスクトレー部が前記各マスク保持部の下面と対向する交換位置に移動した際に行われることを特徴とする(3)に記載の近接スキャン露光装置の照度制御方法。
上記実施形態においては、第2照度センサ42はマスクチェンジャー2のマスクトレー部8に取り付けられているが、第2照度センサ42を各照射部14の露光用光の照度を検出できるように第2照度センサ42を移動する機構を別途設けても良い。
10 基板搬送機構
11 マスク保持部
15 制御部
41 第1照度センサ
42 第2照度センサ
EL 露光用光
M マスク
W カラーフィルタ基板(基板)
Claims (4)
- 所定方向に搬送される基板に対して近接する複数のマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する近接スキャン露光装置であって、
前記基板を所定方向に搬送する基板搬送機構と、
前記パターンを形成した前記複数のマスクをそれぞれ保持し、前記所定方向と交差する方向に沿って千鳥状に配置される複数のマスク保持部と、
前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、
前記複数の照射部内にそれぞれ配置され、照射部内での前記露光用光の照度を検出する複数の第1照度センサと、
前記複数の照射部からの各露光用光が照射される各位置に移動可能で、前記各露光用光の照度を検出する第2照度センサと、
を備えることを特徴とする近接スキャン露光装置。 - 前記マスクを交換すべく、前記マスクを搬入又は搬出するための受け渡し位置と、前記各マスク保持部の下面と対向する交換位置との間を移動可能なマスクトレー部を有するマスクチェンジャーをさらに備え、
前記第2照度センサは、前記マスクトレー部に取り付けられることを特徴とする請求項1に記載の近接スキャン露光装置。 - 基板を所定方向に搬送する基板搬送機構と、パターンを形成した複数のマスクをそれぞれ保持し、前記所定方向と交差する方向に沿って千鳥状に配置される複数のマスク保持部と、前記複数のマスク保持部の上部にそれぞれ配置され、露光用光を照射する光源をそれぞれ有する複数の照射部と、前記複数の照射部内にそれぞれ配置され、照射部内での前記露光用光の照度を検出する複数の第1照度センサと、前記複数の照射部からの各露光用光が照射される各位置に移動可能で、前記各露光用光の照度を検出する第2照度センサと、を備え、前記所定方向に搬送される基板に対して近接する前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する近接スキャン露光装置の照度制御方法であって、
前記第2照度センサを前記複数の照射部の各露光用光が照射される各位置に移動して、前記各露光用光の照度を検出する工程と、
前記第2照度センサによって検出される、前記複数の照射部から照射される各露光用光の照度値が目標照度値となるように前記光源の電流値を調整する工程と、
前記調整された前記各光源が照射する各露光用光の照度値を前記第1照度センサによって検出する工程と、
前記第1照度センサによって検出された前記各光源が照射する各露光用光の照度値が維持されるように、前記各光源の電流値を制御する工程と、
を有することを特徴とする近接スキャン露光装置の照度制御方法。 - 前記第2照度センサは、前記マスクを交換するためのマスクチェンジャーのマスクトレー部に取り付けられており、
前記第2照度センサによる照度の検出工程と、前記光源の電流値を調整する工程は、前記マスクトレー部が前記各マスク保持部の下面と対向する交換位置に移動した際に行われることを特徴とする請求項3に記載の近接スキャン露光装置の照度制御方法。
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JP2007073876A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-22 | V Technology Co Ltd | ワークステージ及び露光装置 |
JP2008310249A (ja) * | 2007-06-18 | 2008-12-25 | Nsk Ltd | 近接スキャン露光装置及びその制御方法 |
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