JP2006066636A - 搬送装置とその方法、及び露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ウエハの搬送をより短時間で行なうことのできる搬送装置を提供する。
【解決手段】ウエハ交換をする際、未露光ウエハ５１０をロードアーム３１０に載置してウエハステージ２１０の上部空間に搬送する。ウエハステージ２１０上の露光済ウエハ５２０は、上下テーブル２２０によって持ち上げ、ウエハステージ２１０の上部空間（のロードアーム３１０及び未露光ウエハ５１０のウエハステージ２１０側）に移動したアンロードアーム３２０に受け渡す。露光済ウエハ５２０が載置されたアンロードアーム３２０が退避を開始し、露光済ウエハ５２０が上下テーブル２２０と機械的に干渉しない位置に達した時点で、直ちに上下テーブル２２０が上昇してロードアーム３１０より未露光ウエハ５１０を受け取る。露光済ウエハ５２０が未露光ウエハ５１０と機械的に干渉しない位置に達するまで上下テーブル２２０の上昇を待機していた従来に比べて、より早く未露光ウエハ５１０をウエハステージ２１０上に載置することができる。
【選択図】 図３

Description

本発明は、例えば半導体素子等の電子デバイスを製造する際のフォトリソグラフィ工程において使用する露光装置に適用して好適な、例えば基板等の物体を搬送する搬送装置及び搬送方法、並びにその搬送装置を用いて基板を搬送する露光装置に関する。

半導体素子、液晶表示素子、ＣＣＤ等の撮像素子、プラズマディスプレイ素子あるいは薄膜磁気ヘッド等の電子デバイス（以下、電子デバイスと総称する）の製造にあたっては、露光装置を用いて、フォトマスクやレチクル（以下、レチクルと総称する）に形成された微細なパターンの像を、フォトレジスト等の感光剤を塗布した半導体ウエハやガラスプレート等の基板（以下、ウエハと総称する）上に投影露光する。
この露光装置としては種々の方式のものがあるが、ステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置（ステッパ）やステップ・アンド・スキャン方式の投影露光装置（スキャニング・ステッパ）が広く使用されている。

この種の露光装置においては、レチクルのパターンを１ロットのウエハ上に順次露光するため、ウエハステージに露光対象のウエハをロードし露光の終了したウエハをウエハステージからアンロードする必要がある。そのために、露光装置にはウエハステージ上のウエハの交換を行なうウエハローダ系が設けられている。
ウエハローダ系の構成は種々であるが、従来より広く使用されている形態の１つとして、直線状のガイドに沿って移動して未露光ウエハをローディングポジションに移動されたウエハステージの上部空間に搬入するロードアーム、及び同じく直線状のガイドに沿って移動して露光済ウエハをウエハ交換位置（ローディングポジション）に移動されたウエハステージの上部空間から搬出するアンロードアームを用いた構成が知られている。ロードアーム及びアンロードアームによりウエハステージに対してウエハを搬入出するこの構成においては、通常、ウエハステージのウエハ載置面から垂直な方向に移動してウエハを搬送する上下テーブルにより、ウエハステージとウエハステージの上部空間のロードアームあるいはアンロードアームとの間のウエハの搬送が行なわれる。

このような従来のウエハローダ系によるウエハ交換の動作について、図８〜図１３を参照して具体的に説明する。
なおここでは、ウエハステージ上に載置されている露光済ウエハをウエハステージから搬出し、未露光の新たなウエハをウエハステージ上に搬入する動作について説明する。

図８（Ａ）〜（Ｄ）及び図９（Ａ）〜（Ｄ）は、そのウエハ交換の動作を説明するための図である。
このウエハローダ系においては、まず、図８（Ａ）に示すように、ロードアーム３１０に未露光ウエハ５１０を載置し、これをウエハステージ２１０の上部空間のウエハ受け渡し位置Ｐ１に移動させる。
次に、図８（Ａ）に矢印で示すように上下テーブル２２０を上昇させて、図８（Ｂ）に示すように露光済ウエハ５２０をウエハステージ２１０から持ち上げる。

次に、図８（Ｂ）に矢印で示すようにアンロードアーム３２０を移動し、これをウエハステージ２１０の上部空間のウエハ受け渡し位置Ｐ１であって露光済ウエハ５２０の下側（ウエハステージ２１０側）に図８（Ｃ）に示すように挿入する。
この状態で、図８（Ｃ）に矢印で示すように上下テーブル２２０を下降させ、図８（Ｄ）に示すように、上下テーブル２２０に保持されていた露光済ウエハ５２０をアンロードアーム３２０上に載置する。

次に、図８（Ｄ）に矢印で示すように露光済ウエハ５２０が載置されたアンロードアーム３２０をウエハステージ２１０の上部空間のウエハ受け渡し位置Ｐ１から退避させ、その上で、ロードアーム３１０に載置されている未露光ウエハ５１０を受け取りに行くべく、図９（Ａ）に示すように上下テーブル２２０を上昇させる。
この時のロードアーム３１０と未露光ウエハ５１０、アンロードアーム３２０と露光済ウエハ５２０、及び、上下テーブル２２０の平面上側方向から見た相対的な位置関係を図１０に示す。

図９（Ａ）及び図１０に示すように、アンロードアーム３２０に載置された露光済ウエハ５２０がロードアーム３１０に載置されている未露光ウエハ５１０と干渉しない位置Ｐ４、すなわち水平方向にその位置が重ならない位置（搬出完了位置）Ｐ４まで達したら、一旦アンロードアーム３２０の移動を停止し、アンロードアーム３２０を位置Ｐ４に正確に位置決めする。アンロードアーム３２０（露光済ウエハ５２０）の位置決めが終了したら、露光済ウエハ５２０の前述した上部空間からの退避（搬出完了）が確認されたものとして、図９（Ａ）に矢印で示すように上下テーブル２２０を上昇させ、図９（Ｂ）に示すようにロードアーム３１０上に載置されていた未露光ウエハ５１０を持ち上げる。
また、アンロードアーム３２０は、位置決めが確認できたら再度移動を開始し、図９（Ｂ）に示すように、露光済ウエハ５２０を他の搬送手段（例えば、他の搬送ロボット等）に受け渡すための位置Ｐ５（ウエハ受け渡し位置Ｐ５）に移動する。

この時のアンロードアーム３２０の移動に関して、時間と速度の関係を図１１に示す。
図１１に示すように、アンロードアーム３２０は、ウエハステージ２１０の上部空間のウエハ受け渡し位置Ｐ１から一定速度に加速した後に位置Ｐ４に向けて移動し、位置Ｐ４直前で減速して位置Ｐ４で一旦停止し、アンロードアーム３２０及びこれに載置された露光済ウエハ５２０が搬出完了位置に達したことを確認する。その後、再度一定速度に加速してウエハ受け渡し位置Ｐ５まで移動する。

次に、図９（Ｂ）に矢印で示すようにロードアーム３１０をウエハステージ２１０の上部空間から退避させ、その上で、上下テーブル２２０に載置されている未露光ウエハ５１０をウエハステージ２１０上に載置すべく、図９（Ｃ）に矢印で示すように上下テーブル２２０を下降させる。
この時のロードアーム３１０、未露光ウエハ５１０及び上下テーブル２２０の平面上側方向から見た相対的な位置関係を図１２に示す。
図９（Ｃ）及び図１２に示すように、ロードアーム３１０が、上下テーブル２２０に載置されている未露光ウエハ５１０と干渉しない位置Ｐ２、すなわち水平方向にその位置が重ならない位置（退避完了位置）Ｐ２まで退避したら、ロードアーム３１０は一旦移動を停止する。その上で、図９（Ｃ）に矢印で示すように、上下テーブル２２０を下降させ、図９（Ｄ）に示すように未露光ウエハ５１０をウエハステージ２１０上に載置する。
また、ロードアーム３１０は、位置決めが確認できたら再度移動を開始し、図９（Ｄ）に示すように、次の未露光ウエハ５１０を他の搬送系（例えば、他の搬送ロボットや受け渡しテーブル等）から受け取るための位置（ウエハ受け取り位置）Ｐ６に移動する。

この時のロードアーム３１０の移動に関して、時間と速度の関係を図１３に示す。
図１３に示すように、ロードアーム３１０は、ウエハステージ２１０の上部空間のウエハ受け渡し位置Ｐ１から一定速度に加速して位置Ｐ２に移動し、位置Ｐ２で一旦停止し、ロードアーム３１０が位置Ｐ２に達したことを確認する。その後、再度一定速度に加速して位置Ｐ６まで移動する。

ところで、従来より露光装置においては高スループットで露光処理を行ない効率よく電子デバイス等を製造することが要望されているが、近年、その要望は一層高くなっている。そのためには、露光装置において露光対象のウエハを順次露光ステージ（ウエハステージ）に載置する前述したようなウエハローダ系においても、露光済ウエハを安全且つ高速に搬出し、未露光ウエハ５１０を安全且つ高速に搬入すること、すなわち、ウエハ交換を高速に効率よく行なうことが要望されている。
そのために、同様の構成のウエハローダ系において、例えば基板の搬送中に基板の位置ずれを検出することにより、基板の位置ずれ検出時間を基板の搬送時間に完全にオーバーラップさせることによりスループットを向上させる方法等も提案されている（例えば、特許文献１参照）。
再公表００／０２２３９号公報

前述したような構成のウエハローダ系においては、上下テーブル、ロードアーム及びアンロードアームが順次連係して動作してウエハを搬送するが、ウエハを安全に搬送する必要があるために、これら各部及びこれら各部が保持しているウエハが十分に相互に干渉しない位置関係になった上で、次の搬送動作が行なわれるようになっている。
また、その際には、ロードアームあるいはアンロードアーム等の可動部の移動を一旦停止して、その位置を正確に位置決めした上で、それら各部がお互いに干渉しない位置関係になっていることの確認がなされている。

具体的には、例えば図９（Ａ）に示すように、ロードアーム３１０が搬送した未露光ウエハ５１０を受け取るための上下テーブル２２０の上昇動作は、アンロードアームに載置された露光済ウエハが平面方向（Ｙ方向）において十分に未露光ウエハと干渉しない位置Ｐ４となったことが確認されてから開始されている。またそのために、図１１に示すように、アンロードアーム３２０が搬出完了位置Ｐ４に到達すると該アンロードアーム３２０を一旦停止させて位置決めをした上で、その位置確認を行なっている。
また、図９（Ｃ）に示すように、未露光ウエハ５１０を載置した上下テーブル２２０の下降動作（−Ｚ方向への移動）は、これを搬送してきたロードアーム３１０が未露光ウエハ５１０と干渉しない位置となったことが確認されてから開始されている。またそのために、図１３に示すように、ロードアーム３１０が退出完了位置Ｐ２に到達すると該ロードアーム３１０を一旦停止させて位置決めをした上で、その位置確認を行なっている。

しかしながら、従来のこのような各部の移動のタイミングは、ウエハ交換を高速に行なうことに関して最適にスケジューリングされ、制御されているとは言い難く、相互に干渉しないことに関して必要以上に十分な間隔を確保している等の理由により、移動するまでの待機時間が長くなり、ウエハ交換に時間がかかっている場合がある。また、各可動部が他の可動部やウエハ等と干渉しない所定の位置となったかどうかの確認のために、その可動部の移動を停止させて高精度に位置決めあるいは位置確認を行なう構成となっており、この点も移動するまでの待機時間が長くなり、ウエハ交換に時間がかかる要因となっている。

本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、ウエハ等の物体の搬送をより短時間で行なうことのできる搬送装置及び搬送方法を提供することにある。
また本発明の他の目的は、そのような搬送装置を用いることにより、ウエハ交換を高速に行ない効率よく露光処理を行なうことのできる露光装置を提供することにある。

前記課題を解決するために、本発明に係る搬送装置は、物体（５００）が載置される載置面を備えたステージ（２１０）と、前記ステージ（２１０）上の前記載置面から搬出すべき物体（５２０）を、前記ステージ上部の空間から該ステージ上部の空間外部の搬出完了位置（Ｐ４）へ搬出する搬出アーム（３２０）と、前記載置面に対して垂直な方向に移動可能なテーブルであって、前記載置面に載置された搬出対象の物体（５２０）を該載置面から前記空間内へ持ち上げて前記搬出アーム（３２０）に受け渡す可動テーブル（２２０）と、を有する搬送装置であって、前記搬出アーム（３２０）が前記物体（５２０）の前記搬出完了位置（Ｐ４）への搬出動作を完了する前における、該搬出アーム（３２０）による該物体（５２０）の搬出状態を示す情報（位置Ｐ３に達したことを示す情報）に基づいて、前記可動テーブル（２２０）の前記垂直方向への移動を開始する制御手段を有する（図１参照）（請求項１）。

このような構成の搬送装置においては、例えば露光済ウエハ等の物体（５２０）が搬出アーム（３２０）により搬出完了位置（Ｐ４）に移動される搬出動作が完了する前において（位置Ｐ３において）、可動テーブル（２２０）が垂直方向の移動を開始する。従って、搬出動作完了前に早く可動テーブル（２２０）が移動を開始した当該時間分、可動テーブル（２２０）を用いた次の処理を早く開始することができる。

また、本発明に係る他の搬送装置は、物体（５００）が載置される載置面を備えたステージ（２１０）と、前記ステージ（２１０）上の載置面上に載置すべき物体（５１０）を、前記ステージ上部の空間内に搬送する搬入アーム（３１０）と、前記載置面に対して垂直な方向に移動可能なテーブルであって、前記搬入アームにより前記空間内に搬送された物体（５１０）を受け取って該載置面に載置する可動テーブル（２２０）と、を有する搬送装置であって、前記物体（５１０）を前記可動テーブル（２２０）に受け渡した後の前記搬入アーム（３１０）が、前記空間内から退避完了位置（Ｐ２）へ退避した状態を示す情報に基づいて、前記搬入アームの駆動を停止することなく前記可動テーブル（２２０）の前記垂直方向への移動を開始する制御手段を有する（図１参照）（請求項２）。

このような構成の搬送装置においては、例えば未露光ウエハ等の物体（５１０）を可動テーブル（２２０）に受け渡した後の搬入アーム（３１０）が、退避完了位置（Ｐ２）に移動された後も該搬入アームの以降の動作を停止せずに可動テーブル（２２０）が垂直方向の移動を開始する。従って、従来のように退避動作完了の際にアームを停止するという動作を介しない時間分、可動テーブル（２２０）が受け取った物体（５１０）を早くステージ（２１０）の載置面に載置することができる。

また、本発明に係る他の搬送装置は、物体が載置されるステージ（２１０）と、前記ステージ上に設けられた載置面上に載置すべき物体を、前記ステージ上部の第１空間内に搬送する搬入アーム（３１０）と、前記ステージから搬出すべき物体を、前記ステージ上部の空間であって、前記第１空間よりも前記ステージ側の第２空間内から該第２空間外部の搬出完了位置へ搬出する搬出アーム（３２０）と、前記載置面に対して垂直な方向に移動可能なテーブルであって、前記載置面に載置された搬出対象の第１物体を該載置面から前記第２空間内へ持ち上げて前記搬出アームに受け渡すと共に、前記搬入アームにより前記第１空間内に搬送された第２物体を受け取って該載置面に載置する可動テーブル（２２０）と、を有する搬送装置であって、前記搬出アームが前記第１物体の前記搬出完了位置への搬出動作を完了する前における該搬出アームによる該第１物体の搬出状態を示す情報に基づいて、あるいは、前記物体を前記可動テーブルに受け渡した後の前記搬入アームが、前記第１空間内から退避完了位置へ退避する動作を完了する前における該搬入アームの該退避状態を示す情報に基づいて、前記搬出アームあるいは前記搬入アームの駆動の停止を伴わずに前記可動テーブルの前記垂直方向への移動を開始する制御手段を有する（図１参照）（請求項３）。

好適には、前記制御手段は、前記搬出アームに載置され搬出途中にある前記第１物体が前記可動テーブルと機械的に干渉しない位置に移動したことを示す情報に基づいて、前記搬入アーム上に載置されている前記第２物体を受け取るために、前記可動テーブルを前記垂直方向に沿って上昇動作せしめる（請求項４）。

また好適には、前記制御手段は、前記搬入アームが前記可動テーブルに載置された前記第２物体と機械的に干渉しない位置に移動したことを示す情報に基づいて、前記第２物体を前記載置面上に載置せしめるために、前記可動テーブルを前記垂直方向に沿って下降動作せしめる（請求項５）。

また好適には、前記搬出アーム上に載置された前記物体が前記可動テーブルの前記垂直方向の移動と干渉しない位置を通過したことを検出するセンサを更に有し、前記制御手段は、前記センサの出力に基づいて前記可動テーブルの移動を制御する（請求項６）。

また好適には、前記搬出アームは、前記搬出完了位置への移動を行なう際に、少なくとも前記センサによる前記位置の通過が検出されるまでは、停止せずに連続して移動する（請求項７）。

また好適には、前記搬入アームが、前記可動テーブルが前記垂直方向に移動した時に該可動テーブル上に載置された物体と干渉しない位置を通過したことを検出するセンサを更に有し、前記制御手段は、前記センサの出力に基づいて前記可動テーブルの移動を制御する（請求項８）。

また好適には、前記搬入アームは、前記退避完了位置への移動を行なう際に、少なくとも前記センサによる前記位置の通過が検出されるまでは、停止せずに連続して移動する（請求項９）。

また、本発明に係る搬送方法は、ステージ上の載置面上に載置されている第１物体を載置面上から搬出し、且つ該載置面上に第２物体を搬入する搬送方法であって、前記第２物体を、搬入アームにより、前記ステージ上部の第１空間内に搬送する第１工程と、前記載置面に対して垂直な方向に移動可能なテーブルにより、前記第１物体を、前記ステージ上部の空間であって、前記第１空間よりも前記ステージ側の第２空間内に移動せしめる第２工程と、前記第２空間内に存在していた前記第１物体を、搬出アームにより、該第２空間外部の所定の搬出完了位置へ向けて搬出している途中において、前記可動テーブルを前記第１空間内に向けて移動開始せしめる第３工程と、前記第１空間内において、前記第２物体を、前記搬送アームから前記可動テーブルに受け渡す第４工程と、前記第４工程後に、前記搬入アームが、前記第１空間内から該第１空間外部の所定位置に向けて移動している途中において、該搬入アームの該移動の停止を介することなく前記可動テーブルが前記載置面に向けて移動開始せしめる第５工程と、を含む（請求項１０）。

好適には、前記第３工程では、前記搬出アームが受け取った前記第１物体が、前記可動テーブルの前記垂直方向への移動と干渉しない位置を通過したことが検出されたら、前記可動テーブルの前記移動を開始せしめる（請求項１１）。

また好適には、前記第５工程では、前記搬入アームが、前記可動テーブル上に載置された前記第２物体の前記垂直方向への移動と干渉しない位置を通過したことが検出されたら、前記可動テーブルの前記移動を開始せしめる（請求項１２）。

また、本発明に係る露光装置は、マスクに形成されたパターンの像を、投影光学系を介して基板に転写する露光装置であって、前記マスク及び前記基板の少なくとも一方をステージに搬送する搬送装置として、前述した何れかの搬送装置を有する（請求項１３）。

なお、本欄においては、各構成に対して、添付図面に示されている対応する構成の符号を記載したが、これはあくまでも理解を容易にするためのものであって、何ら本発明に係る手段が添付図面を参照して後述する実施形態の態様に限定されることを示すものではない。

本発明によれば、ウエハ等の物体の搬送をより短時間で行なうことのできる搬送装置及び搬送方法を提供することができる。
また、そのような搬送装置を用いることにより、ウエハ交換を高速に行ない効率よく露光処理を行なうことのできる露光装置を提供することができる。

本発明の一実施形態の露光装置について、図１〜図７を参照して説明する。
図１は、本実施形態に係る露光装置１０の構成を示す図であり、特に、本発明に係るウエハローダ系３００の構成を主に示す図である。
まず、露光装置１０の全体構成及び全体の動作について、図１を参照して説明する。
なお、以下の説明においては、図１における紙面内の左右方向をＸ軸方向、図１における紙面内でＸ軸方向に直交する方向（上下方向）をＹ軸方向、また、これらＸ軸、Ｙ軸に直交する紙面垂直方向をＺ軸方向と規定して説明を行なう。なお、実際の空間内においては、ＸＹ平面が水平面であり、Ｙ軸方向が鉛直方向（上下方向）となる。

まず、露光装置１０の全体構成について、本発明に係るウエハローダ系３００の構成を中心に説明する。
図１に示すように、露光装置１０は、チャンバ１００、露光装置本体２００及びウエハローダ系３００を有する。
チャンバ１００は、仕切り壁１０３により内部が露光室１０１とローダ室１０２とに区分されている。露光室１０１には、露光装置本体２００が収容され、ローダ室１０２には、ウエハローダ系３００の大部分が収容されている。

露光装置本体２００は、レチクルのパターンをウエハ５００（以下、露光の前後に対応して未露光ウエハ５１０又は露光済ウエハ５２０と区別して称する場合もある）に転写する。
なお、図１には、露光装置本体２００として、ウエハ５００が載置されるウエハステージ２１０及び上下テーブル２２０のみを示し、これら以外の構成部は図示を省略する。

ウエハステージ２１０は、図示しない防振パッドによって保持された図示しない定盤上をＸＹ２次元方向に移動可能に構成されている。ウエハステージ２１０は、この定盤上において、ウエハローダ系３００との間でウエハの受け渡しを行なうためのウエハローディング位置、あるいは、露光装置本体２００の図示せぬ投影光学系を介してレチクルのパターンが転写される露光位置等に移動する。

ウエハステージ２１０の中央部には、ウエハステージ２１０のステージ面から上方向（Ｚ方向）に突出してステージ面と垂直な方向に上下移動する上下テーブル（可動テーブル）２２０が設けられている。上下テーブル２２０は、ウエハステージ２１０がウエハローディング位置に配置されている時に上下移動し、後述するロードアーム３１０及びアンロードアーム３２０との間でウエハ５００の受け渡しを行なう。

具体的には、ウエハステージ２１０上に露光済ウエハ５２０が載置されている状態において上下テーブル２２０が上昇することにより、露光済ウエハ５２０はウエハステージ２１０のステージ面から持ち上げられる。持ち上げられた露光済ウエハ５２０は、ウエハステージ２１０の上部空間において上下テーブル２２０からアンロードアーム３２０に受け渡され、露光装置本体２００から搬出される。

また、露光装置本体２００に未露光ウエハ５１０が搬入される場合には、ロードアーム３１０により未露光ウエハ５１０がウエハステージ２１０の上部空間に搬送される。その状態で上下テーブル２２０が上昇することにより、上下テーブル２２０がロードアーム３１０から未露光ウエハ５１０を受け取る。そして、ロードアーム３１０が退避した後に上下テーブル２２０が下降することにより、未露光ウエハ５１０がウエハステージ２１０上に載置される。

上下テーブル２２０の形態としては種々の形態があるが、本実施形態においては、ステージ面内の一直線上に無い３箇所において同じ高さ（先端のＺ方向の位置が同じ）で各々Ｚ方向に移動する３本のピンにより構成される。但し、図面においては、上下テーブル２２０を単に円形形状で示す。

ウエハローダ系３００は、露光装置本体２００へウエハを投入するために用いられる基板搬送系である。
ウエハローダ系３００は、Ｘ軸方向に延びるＸガイド３０１と、Ｘガイド３０１の上方（図１における紙面手前側、＋Ｚ側）においてＸガイド３０１と交差してＹ軸方向に延びるＹガイド３０２とを搬送ガイドとして備える。Ｙガイド３０２は、仕切り壁１０３を貫通した状態で設けられる。

ローダ室１０２内のＸガイド３０１のチャンバ１００の壁側（−Ｙ側）には、Ｘ軸方向に所定間隔を隔ててキャリア台３０４及び３０５が配置される。キャリア台３０４及び３０５は、複数のウエハを収納可能なオープンカセット（ＯＣ:Open Cassette）用いて露光装置１０に直接ウエハを投入する運用形態の場合に、そのオープンカセットＯＣが載置される台である。なお、オープンカセットの代わりに、フープ（ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）を載置する構造でも良い。

オープンカセットＯＣ又はフープは、チャンバ１００（ローダ室１０２）の−Ｙ側の側壁に設けられた図示しない扉によって開閉可能な図示しない出し入れ口を介して、露光装置１０の外部とローダ室１０２との間で出し入れされる。
オープンカセットＯＣ又はフープは、手動型搬送車（ＰＧＶ：Person Guided Vehicle ）によって搬送しオペレータの手作業によって出し入れを行っても良いし、自走型搬送車（ＡＧＶ：Automated Guided Vehicle）により搬送した後に自動的に出し入れを行なうようにしても良い。また、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）を用いて上方からキャリア台３０４及び３０５上に設置しても良い。

Ｘガイド３０１上には、図示しない駆動装置に駆動されＸガイド３０１に沿って移動する水平多関節型のロボット（スカラーロボット）３０３が設けられている。
また、Ｙガイド３０２には、図示しない駆動装置によって駆動されてＹガイド３０２に沿って移動するウエハ・ロードアーム（搬入アーム）３１０（以下、単にロードアーム３１０と称する）とウエハ・アンロードアーム（搬出アーム）３２０（以下、単にアンロードアーム３２０と称する）とが設けられている。
また、Ｙガイド３０２のロードアーム３１０及びアンロードアーム３２０の移動範囲に沿って、ロードアーム３１０及びアンロードアーム３２０が各々所定の位置を達したことを検出する図示しないセンサが設けられている。本実施形態においてこのセンサは、ロードアーム３１０及びアンロードアーム３２０とともに移動する遮光板と、遮光板により光が遮断されたことを検出する光電センサとから構成され、ロードアーム３１０あるいはアンロードアーム３２０が各々所定の位置に達した時（通過した時）に、遮光版が光電センサの光を遮断するように光電センサを遮光板の移動途中に適宜配置することにより、所望の位置の通過を瞬時に検出することができる。本発明に係るウエハ搬送動作においては、このセンサによりロードアーム３１０あるいはアンロードアーム３２０が所定の退避位置を通過して退避したことを検出し、次工程の可動部の移動動作に入る。
本発明に係る、これらロードアーム３１０及びアンロードアーム３２０によるウエハローダ系３００とウエハステージ２１０との間のウエハ５００の搬送方法については、後に詳細に説明する。

更に、Ｙガイド３０２の−Ｙ方向端部の−Ｘ側の位置で、キャリア台３０４及び３０５との間には、露光装置本体２００に投入される未露光ウエハ５１０のプリアライメントを行なうターンテーブル（回転テーブル）３０６が配置され、ターンテーブル３０６からＹ方向に所定距離隔てた位置に、図示しないウエハエッジセンサが配置されている。

また、露光装置１０が露光工程の前工程及び後工程を行なう図示しないコータ・デベロッパ等とインライン接続される場合に、そのコータ・デベロッパと接続されるローダ室１０２の側壁の近傍であって、Ｘガイド３０１の端部（図１においては、Ｘガイド３０１の−Ｘ側の端部）に、装置間でウエハを受け渡しする際にウエハを一時的に載置するウエハ受け渡し台３０７が設けられる。
なお、ウエハ受け渡し台３０７は、露光装置１０とコータ・デベロッパとの間に専用の受け渡し装置を設け、この中に設置される構成であっても良い。
また、ウエハ受け渡し台３０７は、露光装置１０に投入されるウエハ５００の温度を、露光装置本体２００における露光環境の温度に等しく調節する温度調節プレートを兼ねる構成であっても良い。
ウエハローダ系３００は、このような各部により構成される。

また、露光装置１０は、露光装置１０が全体として所望の動作をするように露光装置１０の各部を制御する制御部を有する。この制御部は、例えば、露光装置１０の各部を制御する露光装置制御部、ウエハローダ系３００の各部を制御するウエハローダ制御部、及びこれらの制御部の上位の制御部としての全体制御部を有する。

本発明に係るウエハローダ系３００において、そのウエハローダ制御部は、ウエハ５００を安全且つ効率よく搬送するように、ウエハローダ系３００の各部を制御する。特に、ウエハローダ制御部は、後述する本発明に係る方法によりロードアーム３１０及びアンロードアーム３２０を介して、高速且つ効率よくウエハステージ２１０上のウエハ５００（未露光ウエハ５１０及び露光済ウエハ５２０）を交換するように、ウエハローダ系３００内の各部を制御する。

また、これら露光装置制御部及びウエハローダ系制御部、あるいはこれに全体制御部を加えた各制御部は、露光装置１０に投入されているロットの各ウエハの状態、具体的には露光装置本体２００及びウエハローダ系３００に投入されている各ウエハの搬送状態や処理状態を逐次記憶する機能を有する。より具体的には、例えばウエハを特定する情報（例えば、ウエハＩＤ情報、あるいは処理中のウエハがロット内の何枚目のウエハかという情報）、各ウエハの位置の情報、処理状態の情報等が、各制御部内の不揮発性メモリ（例えばフラッシュメモリやＥＥＰＲＯＭ等）に記憶される。また、これに対応して、各ウエハ保持手段におけるウエハ保持状態、すなわち例えばウエハローダ系３００においてはロボット３０３、ターンテーブル３０６、ウエハ受け渡し台３０７、ロードアーム３１０及びアンロードアーム３２０等におけるウエハの吸着センサの出力（ウエハの有無を示す）等も、同じく各制御部内の不揮発性メモリに記憶される。
これらの情報を記憶しておけば、例えばエラーが生じて電源を落としたり装置をリセットした場合であってその後装置を復旧させた時に、これらの情報を参照することにより、停止する直前の装置の状態（復旧した直後の装置の状態）あるいは各ウエハの処理の状態を容易に把握することができ、リカバリーを最善の状態で効率よく行なうことができる。

次に、このような構成の露光装置１０の全体の動作について、本発明に係るウエハローダ系３００におけるウエハの搬送動作を中心に説明する。
なおここでは、露光装置１０がコータ・デベロッパとインライン接続されていると仮定して、ウエハ５００の搬送について説明する。

露光装置１０に投入される未露光ウエハ５１０は、図示しないコータ・デベロッパ、あるいは、そのコータ・デベロッパと露光装置１０との間に配置されたウエハ受け渡し装置により、ウエハローダ系３００のウエハ受け渡し台３０７に載置される。
ウエハ受け渡し台３０７に載置された未露光ウエハ５１０は、ウエハローダ系３００のロボット３０３が受け取る。未露光ウエハ５１０を受け取ったロボット３０３は、Ｘガイド３０１に沿ってターンテーブル３０６の近傍に移動し、未露光ウエハ５１０をターンテーブル３０６上に載置する。

未露光ウエハ５１０がターンテーブル３０６に載置されたら、図示しない駆動系によりターンテーブル３０６が回転され、これによってターンテーブル３０６に保持されたウエハ５１０が回転される。このウエハ５１０の回転中に、ウエハエッジセンサによってウエハ５１０のエッジの検出が行なわれ、その検出信号に基づいてウエハ５１０のノッチの方向及びウエハ５１０の中心とターンテーブル３０６の中心との偏心量（方向及び大きさ）が求められる。そしてウエハローダ制御部は、その結果に基づいてターンテーブル３０６を回転させ、ウエハＷのノッチ部の方向を所定方向に合わせる（プリアライメント動作）。

ターンテーブル３０６上の未露光ウエハ５１０は、所定のウエハ受け取り位置に移動されたロードアーム３１０により受け取られるが、この時、ロードアーム３１０は、先に求められたウエハ中心とターンテーブル３０６の中心との偏心量のＹ方向成分を補正できる位置まで一旦移動し、その後、未露光ウエハ５１０を受け取る。
未露光ウエハ５１０を受け取ったロードアーム３１０は、所定のローディングポジションに待機しているウエハステージ２１０の上方に向かってＹガイド３０２に沿って移動する。

ロードアーム３１０がウエハステージ２１０の上方まで未露光ウエハ５１０を搬送すると、上下テーブル２２０が上方向（＋Ｚ方向）に移動して未露光ウエハ５１０を受け取る。この時、先に求めた偏心量のＸ成分が補正されるように、ロードアーム３１０から上下テーブル２２０に未露光ウエハ５１０が渡される直前に、ウエハステージ２１０がＸ軸方向に微少駆動される。
上下テーブル２２０は、未露光ウエハ５１０を受け取ったら、ウエハステージ２１０方向（−Ｚ方向）に下降し、未露光ウエハ５１０をウエハステージ２１０上に載置する。

そして、露光装置本体２００により、ウエハステージ２１０上に渡された未露光ウエハ５１０（ウエハ５００）に対する露光処理が行なわれる。
露光処理は、例えば、ウエハステージ２１０上のウエハ５００上の各ショット領域を、図示しないレチクルステージに保持されたレチクルのパターンの投影光学系による投影位置に位置決めする動作と、レチクルを露光用照明光で照明してレチクルのパターンを投影光学系を介して各ショット領域に転写する動作とを繰り返すことにより行なわれる。
なお、露光装置本体２００が走査露光方式の露光を行なう装置の場合には、露光処理は、レチクル（レチクルステージ）とウエハ５００（ウエハステージ２１０）とを各ショット領域の露光のための走査開始位置へ位置決めする動作と、レチクルとウエハ５００とを同期移動しつつレチクル上のスリット状の照明領域を露光用照明光により照明して、レチクルのパターンを投影光学系を介してウエハ５００上の各ショット領域に逐次転写する走査露光動作とを繰り返すことにより行なわれる。

露光処理が終了すると、ウエハステージ２１０がアンローディングポジション、すなわち前述したローディングポジションまで移動し、上下テーブル２２０が上方向（＋Ｚ方向）へ移動することにより露光済ウエハ５２０を持ち上げる。この露光済ウエハ５２０を、アンロードアーム３２０が受け取り、Ｘガイド３０１上方まで搬送し、そこに待機しているロボット３０３に受け渡す。
ロボット３０３は、Ｘガイド３０１に沿って露光済ウエハ５２０をコータ・デベロッパ方向に搬送し、ウエハ受け渡し台３０７に載置する。ウエハ受け渡し台３０７に載置されたウエハは、図示しないコータ・デベロッパに受け取られ、ベーキング、現像等の処理に供される。

このような露光装置１０の動作、特に、ウエハローダ系３００におけるウエハ５００の搬送動作は、順次、同時並行的に行なわれる。すなわち、ウエハ受け渡し台３０７には、前の未露光ウエハ５１０あるいは露光装置１０から搬出される露光済ウエハ５２０が受け取られた時点で、順次、次の露光対象のウエハ５００（未露光ウエハ５１０）又は次の搬出対象のウエハ５００（露光済ウエハ５２０）が載置される。
ウエハ受け渡し台３０７に載置された未露光ウエハ５１０は、順次ロボット３０３により搬送され、ターンテーブル３０６に載置された前の未露光ウエハ５１０がロードアーム３１０により搬送されたら、すぐにターンテーブル３０６に載置される。
また、ロードアーム３１０及びアンロードアーム３２０によるウエハステージ２１０に対するウエハ５００の搬送動作において、アンロードアーム３２０がウエハステージ２１０から露光済ウエハ５２０を搬出する時には、ロードアーム３１０には既に次の未露光ウエハ５１０が載置されており、ロードアーム３１０は直ちにその未露光ウエハ５１０をウエハステージ２１０に搬入できる状態で待機している。
露光装置１０のウエハローダ系３００は、このようにして高速にウエハ５００の搬送を行ない、露光装置１０におけるロット処理のスループットを向上させるようにしている。

次に、このような露光装置１０における本発明に係るウエハローダ系３００の動作について、図２〜図７を参照して説明する。具体的には、ロードアーム３１０及びアンロードアーム３２０を介したウエハステージ２１０上のウエハ５００の交換動作について説明する。

図２（Ａ）〜図２（Ｄ）及び図３（Ａ）〜図３（Ｄ）は、ウエハ５００を交換する際の、ウエハステージ２１０、上下テーブル２２０、ロードアーム３１０及びアンロードアーム３２０の動きを順次説明するための図であり、各々、図１に示す露光装置１０をＸ軸方向の−Ｘ方向に見た時のウエハステージ２１０、上下テーブル２２０、ロードアーム３１０、アンロードアーム３２０及び搬送されるウエハ５００（未露光ウエハ５１０及び露光済ウエハ５２０）の相対的な位置関係を示す図である。
以下、ウエハステージ２１０上に露光済ウエハ５２０が載置されている状態から、この露光済ウエハ５２０を搬出し、未露光の新たなウエハ５１０を搬入してウエハステージ２１０上に載置する動作について説明する。

まず、図２（Ａ）に示すように、ロードアーム３１０上に未露光ウエハ５１０を載置し、そのロードアーム３１０をウエハステージ２１０の上部空間のウエハ受け渡し位置Ｐ１に移動させる。
次に、図２（Ａ）に矢印で示すように上下テーブル２２０を上昇（＋Ｚ方向へ移動）させて、図２（Ｂ）に示すように露光済ウエハ５２０をウエハステージ２１０から持ち上げる。
次に、図２（Ｂ）に矢印で示すようにアンロードアーム３２０を移動させて、図２（Ｃ）に示すように、アンロードアーム３２０をウエハステージ２１０の上部空間のウエハ受け渡し場所Ｐ１に移動させて、露光済ウエハ５２０の下側（ウエハステージ２１０側）に挿入する。
この状態で、図２（Ｃ）に矢印で示すように上下テーブル２２０を下降させ、図２（Ｄ）に示すように、上下テーブル２２０に保持されていた露光済ウエハ５２０をアンロードアーム３２０上に載置する。

次に、図２（Ｄ）に矢印で示すように露光済ウエハ５２０が載置されたアンロードアーム３２０をウエハステージ２１０の上部空間のウエハ受け渡し位置Ｐ１から退避させ、その上で、ロードアーム３１０に載置されている未露光ウエハ５１０を受け取りに行くべく上下テーブル２２０を上昇させる。
この時のロードアーム３１０と未露光ウエハ５１０、アンロードアーム３２０と露光済ウエハ５２０、及び、上下テーブル２２０の相対的な位置関係を、露光装置１０の上側から（Ｚ軸方向−Ｚ方向から）見た状態を図４に示す。

本実施形態のウエハローダ系３００においては、図３（Ａ）及び図４に示すように、アンロードアーム３２０に載置された露光済ウエハ５２０が、上下方向に移動する上下テーブル２２０と干渉しない位置Ｐ３、すなわち水平方向にその位置が重ならない位置Ｐ３まで達したら、図３（Ａ）に矢印で示すように上下テーブル２２０の上昇を開始する。この位置Ｐ３は、図４に示すように、アンロードアーム３２０に載置された露光済ウエハ５２０がＸＹ平面方向において未露光ウエハ５１０と干渉しない位置Ｐ４（搬出完了位置、図９（Ａ）、図１０参照）よりも、上下テーブル２２０側の位置である。
その後上下テーブル２２０は、ロードアーム３１０に載置されている未露光ウエハ５１０の位置まで達して、図３（Ｂ）に示すように未露光ウエハ５１０をロードアーム３１０から持ち上げて保持する。

また、アンロードアーム３２０は、位置Ｐ３を通過して更に移動を続け、露光済ウエハ５２０の受け渡し位置Ｐ５にて停止する。
ウエハステージ２１０の上部空間のウエハ受け渡し位置Ｐ１から、ロボット３０３へのウエハ受け渡し位置Ｐ５までのアンロードアーム３２０の移動状態を、図５に示す。
図５は、アンロードアーム３２０の移動期間中における移動速度を示す図である。
図５に示すように、アンロードアーム３２０は、位置Ｐ１から位置Ｐ５までの区間を、途中停止せずに一定の速度で移動する。
なお、アンロードアーム３２０あるいは露光済みウエハ５２０が位置Ｐ３を通過又は到達したことは、ウエハローダ系３００に備わる図示せぬセンサにより検出される。

また、受け渡し位置Ｐ５において、アンロードアーム３２０に載置された露光済ウエハ５２０は、ウエハローダ系３００のロボット３０３に受け渡される。なお、ロボット３０３への露光済ウエハ５２０の受け渡しは、ウエハ５００のウエハステージ２１０への投入動作や、コータ・デベロッパとの搬送動作等の関係でスケジューリングされて行なわれる。図３（Ｂ）〜図３（Ｄ）の各状態においては、アンロードアーム３２０上には露光済ウエハ５２０が載置された状態で維持されているものとする。

次に、図３（Ｂ）に矢印で示すようにロードアーム３１０をウエハステージ２１０の上部空間から退避させ、その上で、上下テーブル２２０に載置されている未露光ウエハ５１０をウエハステージ２１０上に載置すべく、図３（Ｃ）に矢印で示すように上下テーブル２２０を下降させる。
この時のロードアーム３１０、未露光ウエハ５１０及び上下テーブル２２０の相対的な位置関係を、露光装置１０の上側（Ｚ軸方向−Ｚ方向から）見た状態を図６に示す。
本実施形態のウエハローダ系３００においては、図３（Ｃ）及び図６に示すように、ロードアーム３１０が、上下テーブル２２０に載置されている未露光ウエハ５１０と干渉しない位置Ｐ２（なおこの位置Ｐ２は、図９（Ｃ）や図１２で説明した位置Ｐ２と同じ位置である）、すなわち水平方向にその位置が重ならない位置Ｐ２まで達したら、図９（Ｃ）で説明したようなロードアーム３１０の一旦停止を介することなく、図３（Ｃ）に矢印で示すように上下テーブル２２０の下降を開始する。
その後上下テーブル２２０は、ウエハステージ２１０のステージ面の位置まで下降を続け、図３（Ｄ）に示すように未露光ウエハ５１０をウエハステージ２１０上に載置する。

一方、ロードアーム３１０は、位置Ｐ２を通過して更に移動を続け、次の新たな未露光ウエハ５１０の受け取り位置Ｐ６にて停止する。
ウエハステージ２１０の上部空間のウエハ受け渡し位置Ｐ１から、ロボット３０３からの新たな未露光ウエハ５１０の受け取り位置Ｐ６までのロードアーム３１０の移動状態を、図７に示す。
図７は、ロードアーム３１０の移動期間中における移動速度を示す図である。
図７に示すように、ロードアーム３１０は、位置Ｐ１から位置Ｐ６までの区間を、途中停止せずに（位置Ｐ２でも停止せずに）一定の速度で移動する。
なお、ロードアーム３１０が位置Ｐ２を通過したことは、ウエハローダ系３００に備わる図示せぬセンサにより検出される。

本実施形態の露光装置１０においては、以上のような動作により、ウエハローダ系３００によるウエハステージ２１０上のウエハ５００の交換が行なわれる。

このように、本実施形態の露光装置１０のウエハローダ系３００においては、ロードアーム３１０及びアンロードアーム３２０により露光装置本体２００のウエハステージ２１０上のウエハ５００を交換する場合に、ロードアーム３１０によってウエハステージ２１０の上部空間に搬入された未露光ウエハ５１０を受け取るための上下テーブル２２０の上昇動作を、アンロードアーム３２０に受け渡した露光済ウエハ５２０が未露光ウエハ５１０と干渉しない位置（退避しきった位置、すなわち搬出完了位置Ｐ４）まで搬送される（図９（Ａ）参照）のを待つこと無く、露光済ウエハ５２０が上下テーブル２２０の上下動作と機械的に干渉しない位置（所定の退避中途位置Ｐ３）まで搬送された時点（図３（Ａ）参照）で、直ちに開始している。すなわち、上下テーブル２２０の上昇動作のタイミングを早めている。
従って、その早めた時間だけ早く未露光ウエハ５１０を受け取り、これをウエハステージ２１０上に載置することができる。すなわち、その早めた時間だけ、ウエハ交換時間を短縮することができる。

また、その上下テーブル２２０の上昇動作を開始するためのタイミングを検出する際に、露光済ウエハ５２０を載置して退避するアンロードアーム３２０を一旦停止して位置決めを行ない位置確認（退避確認）を行なう（図１１参照）のではなく、単に退避移動中のアンロードアーム３２０がその検出位置（所定の退避中途位置Ｐ２）を通過したことを検出（図５参照）するのみで位置確認を行ない、上下テーブル２２０の上昇動作を開始するためのトリガとしている。（アンロードアーム３２０の一旦停止は行っていない）
従って、アンロードアーム３２０を停止させるためにアンロードアーム３２０の移動速度を減速する期間、そしてアーム３２０を停止する期間、そして再度アーム３２０を加速して一定速度に到達させるまでの期間という、従来余分に要していた時間が不要となり、その時間だけ早く上下テーブル２２０を上昇させて未露光ウエハ５１０を受け取り、これをウエハステージ２１０上に載置することができる。すなわち、更にこの時間だけ、ウエハ交換時間を短縮することができる。

また、本実施形態のウエハローダ系３００においては、ロードアーム３１０から受け取った未露光ウエハ５１０をウエハステージ２１０に載置するための上下テーブル２２０の下降動作は、未露光ウエハ５１０を上下テーブル２２０に受け渡したロードアーム３１０が、上下テーブル２２０に載置されている未露光ウエハ５１０と機械的に干渉しない位置（図３（Ｃ）及び図６に示す位置Ｐ２）まで搬送された時点で開始するが、この時、その上下テーブル２２０の下降動作を開始するためのタイミングは、ロードアーム３１０を一旦停止して位置決めを行ない位置確認を行なって（図１３参照）トリガとするのではなく、単に退避移動中のロードアーム３１０がその位置を通過したことを検出するのみで位置確認を行ない（図７参照）、これをトリガとしている。
従って、ロードアーム３１０を停止させて位置決めするために、減速、停止、加速期間という従来余分に要していた時間が不要となり、その時間だけ早く上下テーブル２２０を下降させて未露光ウエハ５１０を上下テーブル２２０に載置することができる。すなわち、更にこの時間だけ、ウエハ交換時間を短縮することができる。

また、本実施形態の露光装置１０においては、前述したように、処理中のロットの各基板のＩＤ、位置、搬送状態、処理状態あるいは露光状態等の情報を、逐次、露光装置１０内の図示せぬ制御部（メモリ）に記憶している。従って、何らかのエラー等により装置が停止した場合、電源が落ちた場合、リセットされた場合等においても、装置が復旧した際に迅速且つ最善の状態でリカバリーを行なうことができる。

なお、本実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって本発明を何ら限定するものではない。本実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含み、また任意好適な種々の改変が可能である。
例えば、図１に示した露光装置１０の構成であって、ロードアーム３１０、アンロードアーム３２０、ウエハステージ２１０及び上下テーブル２２０以外の各部の構成は、何ら図１に示した構成に限定されるものではなく、任意の構成で良い。
また、本実施形態においては、ウエハを搬送する露光装置のウエハローダ系に本発明を適用した場合を例示して本発明を説明したが、同様の機構により任意の物体を搬送する任意の装置に対して、本発明は適用可能である。

図１は、本発明の一実施形態の露光装置の構成を示す図である。 図２は、図１に示した露光装置のウエハローダ系におけるウエハ交換動作を説明するための第１の図である。 図３は、図１に示した露光装置のウエハローダ系におけるウエハ交換動作を説明するための第２の図である。 図４は、図３（Ａ）に示す上下テーブルの上昇を開始する時点における、各構成部の相対的位置関係を平面上側方向から見た状態を示す図である。 図５は、図１に示した露光装置のウエハローダ系におけるアンロードアームの退避動作に関して、時間と速度の関係を示す図である。 図６は、図３（Ｃ）に示す上下テーブルの下降を開始する時点における、各構成部の相対的位置関係を平面上側方向から見た状態を示す図である。 図７は、図１に示した露光装置のウエハローダ系におけるロードアームの退避動作に関して、時間と速度の関係を示す図である。 図８は、従来のウエハローダ系におけるウエハ交換動作を説明するための第１の図である。 図９は、従来のウエハローダ系におけるウエハ交換動作を説明するための第２の図である。 図１０は、図９（Ａ）に示す上下テーブルの上昇を開始する時点における、各構成部の相対的位置関係を平面上側方向から見た状態を示す図である。 図１１は、従来のウエハローダ系におけるアンロードアームの退避動作に関して、時間と速度の関係を示す図である。 図１２は、図９（Ｃ）に示す上下テーブルの下降を開始する時点における、各構成部の相対的位置関係を平面上側方向から見た状態を示す図である。 図１３は、従来のウエハローダ系におけるロードアームの退避動作に関して、時間と速度の関係を示す図である。

符号の説明

１０…露光装置
１００…チャンバ
１０１…露光室
１０２…ローダ室
１０３…仕切り壁
２００…露光装置本体
２１０…ウエハステージ
２２０…上下テーブル
３００…ウエハローダ系
３０１…Ｘガイド
３０２…Ｙガイド
３０３…ロボット
３０４，３０５…キャリア台
３０６…ターンテーブル
３０７…ウエハ受け渡し台
３１０…ロードアーム（搬入アーム）
３２０…アンロードアーム（搬出アーム））
５００…ウエハ
５１０…未露光ウエハ
５２０…露光済ウエハ

Claims (13)

1. 物体が載置される載置面を備えたステージと、
   前記ステージ上の前記載置面から搬出すべき物体を、前記ステージ上部の空間から該ステージ上部の空間外部の搬出完了位置へ搬出する搬出アームと、
   前記載置面に対して垂直な方向に移動可能なテーブルであって、前記載置面に載置された搬出対象の物体を該載置面から前記空間内へ持ち上げて前記搬出アームに受け渡す可動テーブルと、を有する搬送装置であって、
   前記搬出アームが前記物体の前記搬出完了位置への搬出動作を完了する前における、該搬出アームによる該物体の搬出状態を示す情報に基づいて、前記可動テーブルの前記垂直方向への移動を開始する制御手段を有することを特徴とする搬送装置。
2. 物体が載置される載置面を備えたステージと、
   前記ステージ上の前記載置面上に載置すべき物体を、前記ステージ上部の空間内に搬入する搬入アームと、
   前記載置面に対して垂直な方向に移動可能なテーブルであって、前記搬入アームにより前記空間内に搬送された物体を受け取って前記載置面に載置する可動テーブルと、を有する搬送装置であって、
   前記物体を前記可動テーブルに受け渡した後の前記搬入アームが、前記空間内から退避完了位置へ退避した状態を示す情報に基づいて、前記搬入アームの駆動を停止することなく前記可動テーブルの前記垂直方向への移動を開始する制御手段を有することを特徴とする搬送装置。
3. 物体が載置されるステージと、
   前記ステージ上に設けられた載置面上に載置すべき物体を、前記ステージ上部の第１空間内に搬送する搬入アームと、
   前記ステージから搬出すべき物体を、前記ステージ上部の空間であって、前記第１空間よりも前記ステージ側の第２空間内から該第２空間外部の搬出完了位置へ搬出する搬出アームと、
   前記載置面に対して垂直な方向に移動可能なテーブルであって、前記載置面に載置された搬出対象の第１物体を該載置面から前記第２空間内へ持ち上げて前記搬出アームに受け渡すと共に、前記搬入アームにより前記第１空間内に搬送された第２物体を受け取って該載置面に載置する可動テーブルと、を有する搬送装置であって、
   前記搬出アームが前記第１物体の前記搬出完了位置への搬出動作を完了する前における該搬出アームによる該第１物体の搬出状態を示す情報に基づいて、あるいは、前記物体を前記可動テーブルに受け渡した後の前記搬入アームが、前記第１空間内から退避完了位置へ退避する動作を完了する前における該搬入アームの該退避状態を示す情報に基づいて、前記搬出アームあるいは前記搬入アームの駆動の停止を伴わずに前記可動テーブルの前記垂直方向への移動を開始する制御手段を有することを特徴とする搬送装置。
4. 前記制御手段は、前記搬出アームに載置され搬出途中にある前記第１物体が前記可動テーブルと機械的に干渉しない位置に移動したことを示す情報に基づいて、前記搬入アーム上に載置されている前記第２物体を受け取るために、前記可動テーブルを前記垂直方向に沿って上昇動作せしめることを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
5. 前記制御手段は、前記搬入アームが前記可動テーブルに載置された前記第２物体と機械的に干渉しない位置に移動したことを示す情報に基づいて、前記第２物体を前記載置面上に載置せしめるために、前記可動テーブルを前記垂直方向に沿って下降動作せしめることを特徴とする請求項３又は４に記載の搬送装置。
6. 前記搬出アーム上に載置された前記物体が前記可動テーブルの前記垂直方向の移動と干渉しない位置を通過したことを検出するセンサを更に有し、
   前記制御手段は、前記センサの出力に基づいて前記可動テーブルの移動を制御することを特徴とする請求項１又は３〜５の何れか一項に記載の搬送装置。
7. 前記搬出アームは、前記搬出完了位置への移動を行なう際に、少なくとも前記センサによる前記位置の通過が検出されるまでは、停止せずに連続して移動することを特徴とする請求項６に記載の搬送装置。
8. 前記搬入アームが、前記可動テーブルが前記垂直方向に移動した時に該可動テーブル上に載置された物体と干渉しない位置を通過したことを検出するセンサを更に有し、
   前記制御手段は、前記センサの出力に基づいて前記可動テーブルの移動を制御することを特徴とする請求項２又は３〜５の何れか一項に記載の搬送装置。
9. 前記搬入アームは、前記退避完了位置への移動を行なう際に、少なくとも前記センサによる前記位置の通過が検出されるまでは、停止せずに連続して移動することを特徴とする請求項８に記載の搬送装置。
10. ステージ上の載置面上に載置されている第１物体を載置面上から搬出し、且つ該載置面上に第２物体を搬入する搬送方法であって、
    前記第２物体を、搬入アームにより、前記ステージ上部の第１空間内に搬送する第１工程と、
    前記載置面に対して垂直な方向に移動可能なテーブルにより、前記第１物体を、前記ステージ上部の空間であって、前記第１空間よりも前記ステージ側の第２空間内に移動せしめる第２工程と、
    前記第２空間内に存在していた前記第１物体を、搬出アームにより、該第２空間外部の所定の搬出完了位置へ向けて搬出している途中において、前記可動テーブルを前記第１空間内に向けて移動開始せしめる第３工程と、
    前記第１空間内において、前記第２物体を、前記搬送アームから前記可動テーブルに受け渡す第４工程と、
    前記第４工程後に、前記搬入アームが、前記第１空間内から該第１空間外部の所定位置に向けて移動している途中において、該搬入アームの該移動の停止を介することなく前記可動テーブルが前記載置面に向けて移動開始せしめる第５工程と、を含むことを特徴とする搬送方法。
11. 前記第３工程では、前記搬出アームが受け取った前記第１物体が、前記可動テーブルの前記垂直方向への移動と干渉しない位置を通過したことが検出されたら、前記可動テーブルの前記移動を開始せしめることを特徴とする請求項１０に記載の搬送方法。
12. 前記第５工程では、前記搬入アームが、前記可動テーブル上に載置された前記第２物体の前記垂直方向への移動と干渉しない位置を通過したことが検出されたら、前記可動テーブルの前記移動を開始せしめることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の搬送方法。
13. マスクに形成されたパターンの像を、投影光学系を介して基板に転写する露光装置であって、前記マスク及び前記基板の少なくとも一方をステージに搬送する搬送装置として、請求項１〜９の何れか一項に記載の搬送装置を有することを特徴とする露光装置。

Images