JP6327232B2 - 発光装置及び発光モジュールの製造方法 - Google Patents

発光装置及び発光モジュールの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6327232B2
JP6327232B2 JP2015213765A JP2015213765A JP6327232B2 JP 6327232 B2 JP6327232 B2 JP 6327232B2 JP 2015213765 A JP2015213765 A JP 2015213765A JP 2015213765 A JP2015213765 A JP 2015213765A JP 6327232 B2 JP6327232 B2 JP 6327232B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light emitting
emitting device
wiring layer
nozzle
wiring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015213765A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017085025A (ja
Inventor
大介 岸川
大介 岸川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nichia Corp
Original Assignee
Nichia Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=57211340&utm_source=***_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP6327232(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Nichia Corp filed Critical Nichia Corp
Priority to JP2015213765A priority Critical patent/JP6327232B2/ja
Priority to EP16196003.4A priority patent/EP3163638B1/en
Priority to EP21168876.7A priority patent/EP3886187A1/en
Priority to CN202010712845.9A priority patent/CN111785709A/zh
Priority to US15/336,800 priority patent/US9941451B2/en
Priority to CN201610971163.3A priority patent/CN106876374B/zh
Publication of JP2017085025A publication Critical patent/JP2017085025A/ja
Publication of JP6327232B2 publication Critical patent/JP6327232B2/ja
Application granted granted Critical
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/075Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00
    • H01L25/0753Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00 the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/52Encapsulations
    • H01L33/54Encapsulations having a particular shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/075Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00
    • H01L25/0756Stacked arrangements of devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/005Processes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/62Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/64Heat extraction or cooling elements
    • H01L33/642Heat extraction or cooling elements characterized by the shape
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/18Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
    • H05K1/181Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with surface mounted components
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/303Surface mounted components, e.g. affixing before soldering, aligning means, spacing means
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2933/00Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2933/0008Processes
    • H01L2933/0033Processes relating to semiconductor body packages
    • H01L2933/005Processes relating to semiconductor body packages relating to encapsulations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2933/00Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2933/0008Processes
    • H01L2933/0033Processes relating to semiconductor body packages
    • H01L2933/0066Processes relating to semiconductor body packages relating to arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/005Processes
    • H01L33/0095Post-treatment of devices, e.g. annealing, recrystallisation or short-circuit elimination
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/52Encapsulations
    • H01L33/56Materials, e.g. epoxy or silicone resin
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10007Types of components
    • H05K2201/10106Light emitting diode [LED]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Description

本発明は、発光装置及び発光モジュールの製造方法に関する。
発光ダイオード(LED)は、低消費電力・長寿命・高信頼性など多くの特長を有し、発光素子として各種照明やバックライト用光源等の発光装置に広く利用されている。特許文献1に示される発光装置は、紫外線領域の波長の光(以下、紫外光と記載することがある)を発する発光素子が、凹部を有する基板に実装されており、凹部の開口がガラス等の透明ボードによって封止されている。
特開2008−78586号公報
しかしながら、特許文献1に示される発光装置は、基板が凹部を有するため、発光装置を小型化することが困難である。さらに、透明ボードを基板に固定するために、構成が複雑になったり、材料コストが高くなる恐れがある。
そこで、本発明の実施形態は、小型でシンプルな構造でありながら、信頼性の高い発光装置を提供することを目的とする。
本発明の実施形態に係る発光装置は、基材と、前記基材の上面に配置された正負の配線層と、を有する配線基板と、前記配線層にフリップチップ実装される発光素子と、前記基材と前記配線層と前記発光素子とを被覆し、発光装置の外表面を形成する無機材料からなり、上面が平坦である保護膜と、を備え、前記配線層の外縁は曲線であり、該曲線の曲率が略一定であり、前記配線層が前記配線基板の外縁よりも内側である。
また、本発明の実施形態に係る発光モジュールの製造方法は、基材と前記基材上の中央部に配置された配線層とを有する配線基板と、前記配線層に接合された発光素子と、前記基材と前記配線層と前記発光素子とを被覆する無機材料からなり、上面が平坦である保護膜と、を備える発光装置を準備する工程と、前記発光装置を配置するための実装基板を準備する工程と、開口径が平面視で前記配線層以上の大きさのノズルを準備する工程と、前記ノズルが前記基材上の前記保護膜と接触前記配線層が前記ノズルの接触位置よりも内側にくるように調整しつつ、前記ノズルで前記発光装置を吸着し、前記発光装置を前記実装基板上に配置する工程と、を有する。
本発明の実施形態に係る構成によれば、小型でシンプルな構造でありながら、信頼性の高い発光装置とすることができる。また、本発明の実施形態に係る製造方法によれば、信頼性の高い発光モジュールを形成することができる。
図1は、本発明の実施形態1に係る発光装置の概略斜視図である。 図2Aは、本発明の実施形態1に係る発光装置の概略平面図である。なお、図2Aでは、図の明瞭化のため、保護膜は透過して示す。 図2Bは、図2Aと形状の異なる配線層を備える配線基板を用いた発光装置の概略平面図である。なお、図2Bでは、図の明瞭化のため、保護膜は透過して示す。 図2Cは、本発明の実施形態1に係る発光装置を裏面側から見た概略平面図である。 図3は、図1に示される発光装置のA−A´における概略断面図である。 図4は、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの概略断面図である。 図5Aは、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの製造方法において、発光装置準備工程を示す概略断面図である。 図5Bは、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの製造方法において、実装基板準備工程を示す概略断面図である。 図5Cは、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの製造方法において、ノズル準備工程を示す概略側面図である。 図5Dは、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの製造方法において、発光装置配置工程を示す概略断面図である。 図5Eは、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの製造方法において、発光装置配置工程を示す概略断面図である。 図6Aは、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの製造方法において、発光装置の配線基板の配線層の平面形状と、配線基板上におけるノズルの接触位置とを示す概略平面図である。 図6Bは、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの製造方法において、発光装置の配線基板の配線層の平面形状と、配線基板上におけるノズルの接触位置とを示す概略平面図である。 図6Cは、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの製造方法において、発光装置の配線基板の配線層の平面形状と、配線基板上におけるノズルの接触位置とを示す概略平面図である。 図7は、図5Dと異なる開口形状のノズルを用いた実施形態2に係る発光装置配置工程を示す概略断面図である。
以下、本発明の実施形態について適宜図面を参照して説明する。ただし、以下に説明する発光装置及び発光モジュールの製造方法は、実施形態の技術的思想を具現化するためのものであって、以下に限定されるものではない。特に、構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限りは、本発明の範囲をそれのみに限定するものではない。なお、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。なお、以下に記載される実施形態及び実施例は、各構成等を適宜組み合わせて適用できる。
<実施形態1>
(発光装置)
図1は、本発明の実施形態1に係る発光装置の概略斜視図である。図2Aは、本発明の実施形態1に係る発光装置の概略平面図である。図2Bは、図2Aと形状の異なる配線層を備える配線基板を用いた発光装置の概略平面図である。なお、図2A及び図2Bでは、図の明瞭化のため、保護膜は透過して示す。図2Cは、本発明の実施形態1に係る発光装置を裏面側から見た概略平面図である。図3は、図1に示される発光装置のA−A´における概略断面図である。図1に示されるように、実施形態1の発光装置100は、配線基板10上に、発光素子20がフリップチップ実装されている。
配線基板10は、平板状であり、基材11と、少なくとも基材11の上面に設けられた正負の配線層12と、を有する。このように、平板状の配線基板10を用いることで、凹部を有する配線基板を用いる場合に比べ、発光装置を小型化することが可能である。
配線層12は、図2Aに示されるように、平面視で配線基板10の外側に面する辺(以降、“配線層の外縁12S”と記載する)が曲線であり、該曲線の曲率は略一定である。また、配線層の外縁12Sの全周が前述のような曲線であることが好ましいが、配線層の外縁12Sの少なくとも80%以上、より好ましくは90%以上が前述のような曲線であればよく、一部が前述の曲線とは異なる曲率の曲線や直線であってもよい。
実施形態1では、配線層12の平面形状は、例えば略円形とすることができる。ここで、“配線層12の平面形状”とは、離間して配置される正と負の配線層12の個々の平面形状を指すのではなく、図2Aに点線で示されるように、正負の配線層12を1つの集合としてみた場合の平面形状、すなわち、平面視で配線層の外縁12Sを組み合わせてできる形状のことを指す。
実施形態1では、図2Aに示されるように、前述のような平面形状が円形の配線層12が、平面視が矩形の配線基板10の上面の中央部に配置されている。したがって、配線基板10の上面は、中央部の正負の配線層12と、正負の配線層12の間及び配線層12の外側の基材11によって構成される。
より具体的には、実施形態1では、図1及び図2Aに示されるように、基材11上に正と負の2つの配線層12が設けられている。正負の配線層12は、それぞれ配線基板10の外側に面する辺が曲線であり、該曲線の曲率は略等しく、配線層12の平面形状は円形である。このように、正負一対の配線層12が設けられた配線基板10は、配線層12の形状が複雑でなく、パターンの形成が容易である。さらに、複数対の配線層が設けられた配線基板に比べて、1つの配線層の面積を大きく設けることができるので、配線層1つあたりの放熱性を向上させることができ、放熱性の良い発光装置とすることができる。
なお、前述のものに限らず、実装される発光素子の電極パターンによって、適宜所望の形状及び数の配線層を備えた配線基板を用いることができる。例えば、図2Bに示されるように、正の配線層12xと負の配線層12xからなる一対の配線層が2つ以上設けられた配線基板10xを用いてもよい。
また、配線基板20の上面には、配線層12のギャップ間及び配線層12よりも外側の領域以外に、基材11が露出していてもよい。例えば、図1及び図2Aに示されるように、実装される発光素子20の外縁の少なくとも一部、例えば発光素子20の角部に沿って基材11が露出する構成としてもよい。これにより、発光素子11の実装位置が視認しやすく、所望の位置に発光素子11を実装しやすい。また、発光素子11を接合するための接着剤の広がりを抑制することが可能である。さらに、正負の配線層12を判断するために、平面視で配線層の内側に基材を露出させてアノードマーク、カソードマーク等を設けてもよい。
また、実施形態1では、図2Cに示されるように、発光素子が実装される配線基板の上面と反対側の裏面には、配線層が裏面配線層121として設けられている。裏面配線層121は、発光装置100を実装基板等に実装する際に、実装基板と電気的に接続するためのものであり、実装基板の配線パターン等によって適宜所望の範囲に設けることができる。
発光素子20は、図3に示されるように、発光層22を含む半導体層21と、同一面側に設けられた正負の電極23と、を有する。実施形態1の発光素子20は、導電性接着剤30によって正負の配線層12にフリップチップ実装されている。これにより、ワイヤ等を用いて実装する場合に比べて、発光装置を小型化しやすい。
実施形態1では、図2Aに示されるように、発光素子20は平面視で矩形であり、配線層の外縁12Sは発光素子20よりも外側にある。これにより、発光素子20からの熱を発光装置の外側へ効率的に放熱させることができる。また、実施形態1では、発光素子20は、配線層12の集合の中央部に配置されている。すなわち、発光素子20は、発光素子20の中心から配線層の外縁12Sまでの距離が略等しくなるように配置されている。なお、“発光素子20の中心から配線層の外縁12Sまでの距離が略等しい”とは、0.05mm〜0.25mm程度の距離の差があるものも含む。
以上のように、配線層12の平面形状を、略円形とすることで、発光素子20の中心から配線層の外縁12Sまでの距離を略等しくすることができ、発光素子20の熱を配線基板10の外側方向へ均等に拡散させることができる。したがって、例えば、配線層の平面形状が矩形の配線基板を用いる場合と比べて、発光素子20の熱を均一に放熱させることが可能となり、円滑に発光装置の放熱が行われやすい。また、発光素子20の近傍で熱がこもりにくく、発光素子20の劣化を抑えることができる。
保護膜40は、無機材料からなり、基材11と配線層12と発光素子20とを被覆する。保護膜40は、図1及び図3に示されるように、発光素子20を封止しており、発光装置100の外表面を形成する。保護膜40は、それのみで発光素子20を封止していると、発光装置100の小型化の観点から好ましい。実施形態1の保護膜40は、図3に示されるように、配線基板10の上面と発光素子20とを、孔や切れ目等の隙間なく被覆しており、発光素子20と基材11及び配線層12の間も被覆している。これにより、発光素子20及び配線基板10を外部からの塵や埃、水分から保護することができ、発光素子20や配線基板10の劣化、特に発光素子20の酸化を防ぐことができる。したがって、発光装置100の信頼性を高めることができる。なお、実施形態1の保護膜40は、図3に示されるように発光素子20が接合される部分以外の配線基板10の上面全てを被覆しているが、例えば、配線基板の上面の外縁よりも内側までを覆うように設けられていてもよい。すなわち、配線基板10の上面の外縁付近が、保護膜40から一部露出していてもよい。また、基材11と配線層12と発光素子20とを隙間なく被覆していることが好ましいが、例えば、スパッタ等で保護膜を形成する場合にできる微細な隙間があってもよい。また、実施形態1の保護膜40は、配線基板10の上面だけでなく、配線基板10の側面や裏面を被覆していてもよい。保護膜40が配線基板10の裏面を覆うように設けられる場合は、裏面配線層121が保護膜40から露出するように設けられる。
保護膜40の厚みは、1nm〜10μm程度、より好ましくは30nm〜200nmであることが好ましい。このように、保護膜を比較的薄くすることで、発光装置を小型化しやすい。
その他、発光装置100は、図1に示すように、発光素子20の通電や駆動に関連する電子部品50を搭載していてもよい。特に、電子部品50としてツェナーダイオード等の保護素子を備えると、通電及び駆動における信頼性が高い発光装置を提供することができる。なお、電子部品50は、配線基板にフリップチップ実装されていてもよいし、ワイヤ等で電気的に接続されていてもよい。電子部品50が配置される場合は、保護膜40によって、基材11と配線層12と発光素子20と電子部品50とが隙間なく被覆されていることが好ましい。
以上のように、平板状の配線基板に発光素子がフリップチップ実装され、配線基板及び発光素子が無機材料からなる保護膜で封止されていることで、小型でシンプルな構造の発光装置とすることができる。さらに、配線基板の配線層の外縁が曲率が一定の曲線であり、発光素子の中心から配線層の外縁までの距離が等しくなるように発光素子が配置されることで、発光素子の熱を配線基板へ均一に拡散させることができる。したがって、発光素子の熱を外部へ効率的に放熱させやすく、熱による部材の劣化を抑制することができるので、小型でシンプルな構成でありながら、信頼性の高い発光装置とすることができる。
以下、実施形態1の発光装置100を構成する部材について詳述する。
(配線基板)
配線基板10は、その上面に実装される発光素子20からの出射光を遮光可能な材料からなることが好ましい。
基材11の材料としては、セラミックス、樹脂、ガラス等の絶縁材料が挙げられる。特に、放熱性の観点から、無機材料であるセラミックスが好ましい。また、基材21として無機材料を用いることで、無機材料からなる保護膜との密着性を向上させることができる。セラミックスとしては、特に放熱性の高い窒化アルミ二ウムが好ましい。
配線層12の材料は、発光素子20と電気的に接続可能なものであれば特に限定されず、当該分野で公知の材料によって形成することができる。例えば、銅、アルミニウム、金、銀等の金属を用いることができる。配線層12は、めっき、スパッタ、その他の公知の方法で形成してもよいし、リードフレーム等を用いてもよい。
配線基板10の平面形状は、略矩形、円形、三角形や六角形等の多角形など適宜選択することができる。
(発光素子)
発光素子20は、当該分野で一般的に用いられている発光ダイオード、レーザダイオード等を用いることができる。例えば、窒化物系半導体(InAlGa1−X−YN、0≦X、0≦Y、X+Y≦1)、GaP、GaAsなどのIII−V族化合物半導体等、種々の半導体を利用することができる。電極の材料としては、例えばAu、Ag、Cu、Pt、Al、Rh、W、Ti、Ni、Pd等の金属を用いることができ、これらの金属を単層又は複数層積層して用いてもよい。
発光素子20は、上述の半導体層21及び一対の電極23の他、半導体層21を成長させるための基板を有していてもよい。基板としては、サファイアのような絶縁性基板、SiC、ZnO、Si、GaAs、ダイヤモンド、及び窒化物半導体と格子接合するニオブ酸リチウム、ガリウム酸ネオジム等の酸化物基板が挙げられる。基板は、透光性であることが好ましい。なお、基板はレーザリフトオフ法等を利用して除去されていてもよい。
発光素子20の発光波長は特に限定されず、所望の発光波長のものを適宜選択することができる。特に、可視光に比べて紫外光(例えば発光波長200nm〜410nm)のような強いエネルギーを発する発光素子を用いる場合、発生する熱が多くなるため、熱をより効率的に拡散させる必要がある。したがって、実施形態1のように、発光素子20の中心から配線層の外縁12Sまでの距離を略等しくし、熱を配線基板10へ均等に拡散させて発光装置の放熱性を高めるような構成とすることが好ましい。これにより、熱による構成部材の劣化を抑制することが可能である。
発光素子20の平面形状は、矩形に限定されず、六角形等の多角形であってもよい。特に、正六角形の発光素子を平面形状が略円形の配線層上に配置すると、発光素子の中央から配線層の外縁までの距離が略等しくなるだけでなく、矩形の発光素子を平面形状が略円形の配線層上に配置する場合と比べて、発光素子の外縁から配線層の外縁までの距離が等しくなる領域が増えるので、さらに発光素子の熱を外側方向へ均一に拡散させることができる。発光素子20の寸法は、平面視で配線層12よりも小さければ、特に限定されない。
(保護膜)
保護膜40の材料としては、例えば、酸化アルミニウム(Al)、二酸化珪素(SiO)、窒化アルミニウム(AlN)、窒化珪素(Si)等の無機材料が挙げられ、特に酸化アルミニウムが好ましい。これにより、発光素子20からの光が吸収されにくく、発光素子20を水分等から保護できる緻密な保護膜40を形成しやすい。
保護膜40は、発光素子が配線基板に実装された後に、原子堆積法(以下、「ALD」(Atomic Layer Deposition)と記載することがある)、スパッタ、CVD等によって形成することができる。特に、ALDで形成すると、隙間なく均一な厚みの保護膜を形成することができる。したがって、外部から水分等が透過しにくく、発光素子10が酸化しにくい信頼性の高い発光装置を形成することができる。
保護膜は、単層膜又は2以上の異なる材料による多層膜としてもよい。多層膜にすると、発光素子の光の取り出しを向上させることが可能である。例えば、AlとSiOとを交互に所望の膜厚で積層することができる。
(発光モジュール)
図4は、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの概略断面図である。実施形態1の発光モジュール1000は、上述した発光装置100が、実装基板200に実装されたものである。発光モジュール1000は、例えば印刷、硬化、センサー用の光源として用いることができる。
実装基板200は、その表面に少なくとも正負の配線201を有しており、該正負の配線201と、発光装置100の正負の配線層12とが、それぞれ電気的に接続される。実施形態1では、発光装置100の裏面、すなわち、配線基板10において発光素子20が実装される面と反対側の面に設けられた正負の裏面配線層121と、実装基板200の正負の配線201とが、導電性の接着剤によってそれぞれ接合されている。なお、これに限らず、発光装置の配線層と、実装基板の配線とは、ワイヤ等で電気的に接続されていてもよい。
次に、発光モジュール1000の製造方法について説明する。
(発光モジュールの製造方法)
図5Aは、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの製造方法において、発光装置準備工程を示す概略断面図である。図5Bは、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの製造方法において、実装基板準備工程を示す概略断面図である。図5Cは、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの製造方法において、ノズル準備工程を示す概略側面図である。図5D及び図5Eは、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの製造方法において、発光装置配置工程を示す概略断面図である。図6A〜図6Cは、本発明の実施形態1に係る発光モジュールの製造方法において、発光装置の配線基板の配線層の平面形状と、配線基板上におけるノズルの接触位置とを示す概略平面図である。
実施形態1に係る発光モジュール1000の製造方法では、まず、基材と基材上の中央部に配置された配線層とを有する配線基板と、配線層に接合された発光素子と、基材と配線層と発光素子とを被覆する無機材料からなる保護膜と、を備える発光装置を準備する。また、該発光装置を配置するための実装基板を準備する。さらに、開口径が、平面視で発光装置の配線基板の配線層よりも大きいノズルを準備する。ノズルは、例えば電子部品などの実装に用いられる表面実装機(マウンター)において、電子部品を吸着させる吸着ノズルである。そして、ノズルによって発光装置を吸着し、発光装置を実装基板上に配置する。このとき、ノズルが基材上の保護膜と接触するように、発光装置を吸着する。
このように、発光装置をノズルで吸着する際、発光素子及び配線層上の保護膜と接触しないようにすることで、ノズルが接触する際の衝撃によって発光素子及び配線層上の保護膜が割れることを防ぐことができる。このように、発光素子上の保護膜の割れを防ぐことで、発光素子の酸化を防ぐことができる。さらに、配線層上の保護膜の割れを防ぐことで、配線層の劣化を防ぐことができ、劣化した配線層による発光素子の光の吸収等を防止することができる。
以下、実施形態1に係る発光モジュール1000の製造方法の各工程について、詳細に説明する。
(発光装置準備工程)
発光装置準備工程では、実装基板上に配置する発光装置100を準備する。発光装置100は、図5Aに示されるように、例えばエンボスキャリアテープ80の凹部81に配置された状態のものを準備し、後の発光装置配置工程でノズルによって吸着可能な状態にしておくことができる。これにより、発光装置100が等間隔で配置されているので、後の発光装置配置工程において発光装置100を吸着させやすい。
発光装置100として、具体的には、基材11と基材11上の中央部に配置された配線層12とを有する平板状の配線基板10に、発光素子20が実装されたものを準備する。ここで、“基材11上の中央部に配置された配線層12”とは、平面視で配線層12が基材11によって囲まれた状態を指す。配線基板10の配線層12は、平面視で後述するノズルの開口径以下の大きさで設けられている。
発光装置準備工程では、配線基板10の配線層12の平面形状が、ノズル準備工程で準備するノズルの開口形状と同じ又はそれよりも小さい相似形状である発光装置100を準備することが好ましい。例えば、一般的に広く用いられる開口形状が円形のノズルを準備する場合は、図6Aに示されるように、平面形状がノズルの接触位置60aよりも内側にくる円形の配線層12a、言い換えると、平面形状がノズルの開口径以下の大きさの円形である配線層12aを備える発光装置100aを準備することができる。その他、開口形状が矩形のノズルを準備する場合は、図6Bに示されるように、平面形状がノズルの接触位置60bよりも内側にくる矩形の配線層12b、言い換えると、平面形状がノズルの開口径以下の大きさの矩形である配線層12bを備える発光装置100bを準備することが好ましい。これにより、後の発光装置配置工程においてノズルが配線層12上の保護膜に接触しない範囲内で、配線層が広く設けられた発光装置を準備することができる。したがって、配線層上の保護膜の割れを防いで信頼性を確保しつつ、放熱性が高い発光モジュールを形成しやすい。
なお、平面視でノズルの開口径以下の大きさで設けられていれば、ノズルの開口形状と異なる平面形状の配線層を有する発光装置を準備してもよい。例えば、開口形状が円形のノズルを準備する場合、図6Cに示されるように、平面形状がノズルの接触位置60cよりも内側にくる矩形の配線層12c、言い換えると、平面形状がノズルの開口径以下である矩形の配線層12cを有する発光装置100cを準備してもよい。また、図6Cに示されるように、配線層12cがノズルの接触位置と重ならないように、矩形の角部が一部ない形状の配線層12cとしてもよい。
ここで、図6A〜図6Cに示されるノズルの接触位置の外縁、すなわちノズルの外縁は、いずれも発光装置の配線基板の外縁よりも内側にくるように図示されているが、配線基板の外縁よりも外側にくるように接触させてもよい。また、図6A〜図6Cでは、ノズルの開口形状とノズルの外縁とが同じ形状で示されているが、ノズルの外縁の平面形状は、特に限定されない。
実施形態1で準備する発光装置100は、配線基板10の裏面、すなわち、発光素子20が実装される面と反対側の面に、実装基板と電気的に接続するための正負の裏面配線層121が設けられている。
実施形態1では、発光層22を含む半導体層21と、同一面上に設けられた正負の電極23と、を有する発光素子20が、配線基板10の配線層12にフリップチップ実装された発光装置100を準備する。これにより、ワイヤを用いて発光素子20を配線基板10に接合する場合と比べ、後の発光装置配置工程において、ノズルの接触による断線が発生しにくい。したがって、歩留まりよく発光モジュール1000を形成することができる。
さらに、準備する発光装置100は、配線基板10の基材11及び配線層12と、配線層12に接合された発光素子20とを被覆し、発光装置100の外表面を形成する無機材料からなる保護膜40を備える。
(実装基板準備工程)
実装基板準備工程では、発光装置100を実装するための実装基板200を準備する。図5Bに示されるように、実装基板200は、その表面に、実装基板200上に配置される発光装置100とそれぞれ電気的に接続するための正負の配線201を有する。配線201は、発光装置100と電気的に接続が可能であれば、その構成は特に限定されない。実施形態1では、上面に配置される発光装置100の正負の裏面配線層121と対応する位置に、正負の配線201を有する実装基板200を準備する。
ここで、実装基板200の上面の発光装置100を配置する位置に、発光装置100を接合する接着剤70を配置しておいてもよい。接着剤は、一般的に用いられる導電性、絶縁性のものを適宜選択することができる。導電性の接着剤としては、例えば、Au、Ag、Bi、Cu、In、Pb、Sn、Znから選択された少なくとも一種を含む金属ペーストや共晶材、カーボンペースト、ろう材等が挙げられる。絶縁性の接着剤としては、例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂等の樹脂やガラス等が挙げられる。その他、異方性導電部材等を用いてもかまわない。実施形態1では、実装基板200の正負の配線201上に、それぞれ導電性の接着剤70を配置しておく。接着剤70は、塗布、印刷、スプレー等の公知の方法で適宜配置することができる。
(ノズル準備工程)
ノズル準備工程では、後の発光装置配置工程で発光装置100を実装基板200上に配置するために、発光装置100を吸着させてピックアップするノズル60を準備する。ノズル60としては、電子部品の実装に一般的に用いられる表面実装機(マウンター)に使用可能な公知のものを適宜用いることができる。ノズル準備工程では、図5Cに示されるように、開口径Kが、平面視で発光装置100の配線基板10よりも小さく、且つ、平面視で配線基板10の配線層12以上の大きさであるノズル60を準備する。これにより、発光装置配置工程において、ノズル60を配線基板10の基材11上の保護膜40と接触させて発光装置100を吸着させることができる。したがって、ノズル60によって発光装置100を吸着する際に、配線層12上の保護膜40とノズル60とが接触しないので、ノズル接触時の衝撃によって配線層12上の保護膜40が割れる可能性を低減することができる。
実施形態1では、例えば、開口径Kが配線層12よりも0.05mm〜0.25mm大きいノズル60を準備することが好ましい。これにより、配線層12上の保護膜40が割れる可能性をさらに低減させることができる。なお、開口径Kが配線基板10の配線層12以上の大きさであれば、ノズルの開口形状は特に限定されず、一般的に用いられる円形のものの他、三角形、矩形、六角形等の多角形のもの等、適宜選択することができる。
発光装置準備工程、実装基板準備工程、ノズル準備工程を行う順番は特に限定されず、適宜所望の順番で行うことができる。
(発光装置配置工程)
発光装置準備工程、実装基板準備工程、ノズル準備工程の後、準備したノズル60によって発光装置100を吸着してピックアップし、実装基板200上に配置する発光装置配置工程を行う。発光装置実装工程では、図5Dに示されるように、ノズル60が発光装置100の発光素子20上の保護膜40及び配線層12上の保護膜40と接触しないように位置合わせし、発光装置100をノズル60で吸着する。すなわち、ノズル60が、配線層12よりも外側の基材11上の保護膜40と接触するように位置合わせし、ノズル60によって発光装置100を吸着する。例えば、ノズル60が、配線層12の外縁から0.05mm〜0.25mm離間した基材11上の保護膜40と接触するように、発光装置100を吸着させることができる。このように、配線層12よりも外側の基材11上の保護膜40とノズル60とを接触させて発光装置100を吸着することで、配線層12上の保護膜40とノズル60とが接触しないので、ノズル60によって発光装置100を吸着したときの衝撃によって、発光素子20及び配線層12上の保護膜40が割れることを防ぐことができる。特に、紫外光を発する発光素子を備える発光装置を用いる場合、その熱や光によって配線層が劣化しやすいところ、配線層上の保護膜の割れを防ぐことで劣化の進行を抑制することが可能である。
ノズル60によって発光装置100を吸着した後、実装基板200上の所望の位置に発光装置100を配置する。実施形態1では、図5Eに示されるように、発光装置100を実装基板200の配線201(接着剤70)上に配置する。このとき、ノズル60と発光装置100の基材11上の保護膜40とが接触するように発光装置100を吸着していることで、発光装置100を実装基板200に配置する際の衝撃で、配線層12上の保護膜40が割れることを防ぐことができる。
そして、発光装置配置工程の後、適宜加熱等によって発光装置100と実装基板200とを接合することで、発光モジュール1000を形成することができる。
以上のように、ノズルの開口径と発光装置の配線基板の配線層の平面視における大きさとを調整し、ノズルの接触位置を発光装置の配線基板の基材上の保護膜とすることで、配線層上の保護膜の割れを防ぐことができる。したがって、配線層上及びその近傍の保護膜40の割れに起因する、発光素子20の酸化や配線層12の劣化を抑制することができ、信頼性の高い発光モジュール1000を形成することができる。
<実施形態2>
図7は、図5Dと異なる開口形状のノズルを用いた実施形態2に係る発光装置配置工程を示す概略側面図である。実施形態2では、実施形態1で用いたノズルと異なる形状のノズルを用いる。なお、準備する発光装置の構成、ノズル準備工程及び発光装置配置工程以外の工程、その製造方法によって形成される発光モジュールの構成は、実施形態1と同様であるため、詳細な説明は省略する。
具体的には、実施形態2では、ノズル準備工程において、開口径Kがノズル61の先端と内部とで異なるノズル61を準備する。より詳細には、準備するノズル61内部の開口径Kは、平面視で発光装置100の配線層12よりも大きく、配線基板10よりも小さい。また、準備するノズル61先端の開口径Kは、平面視でノズル61内部の開口径Kよりも大きければ特に限定されないが、例えば、配線基板10よりも大きく、発光素子準備工程で発光素子が配置されているエンボスキャリアテープの凹部の直径以下とすることができる。
そして、図7に示されるように、前述のノズル61を用い、発光装置配置工程においてノズル61が配線基板10の基材11上の保護膜40と接触するように、ノズル61で発光装置100を吸着し、実施形態1と同様に実装基板上に配置する。
以上のような開口を備えるノズル61を用いることで、実施形態1の発光モジュールの製造方法で用いたノズルを用いるよりも、さらに安定的に発光装置100を吸着、配置することが可能である。
10、10x…配線基板
11…基材
12、12a、12b、12c…配線層
12x1…正の配線層
12x2…負の配線層
12S…配線層の外縁
121…裏面配線層
20…発光素子
21…半導体層
22…発光層
23…電極
30…導電性接着剤
40…保護膜
50…保護素子
60、61…ノズル
60a、60b、60c…ノズルの接触位置
K、K1、K2…開口径
70…接着剤
80…エンボスキャリアテープ
81…凹部
100、100a、100b、100c…発光装置
200…実装基板
201…配線
1000…発光モジュール

Claims (10)

  1. 基材と、前記基材の上面に配置された正負の配線層と、を有する配線基板と、
    前記配線層にフリップチップ実装される発光素子と、
    前記基材と前記配線層と前記発光素子とを被覆し、発光装置の外表面を形成する無機材料からなり、上面が平坦である保護膜と、を備え、
    前記配線層の外縁は曲線であり、該曲線の曲率は略一定であり、
    前記配線層が前記配線基板の外縁よりも内側であることを特徴とする発光装置。
  2. 前記配線層の平面形状が略円形である請求項1に記載の発光装置。
  3. 前記発光素子の中心から前記配線層の前記外縁までの距離は略等しい請求項1又は2に記載の発光装置。
  4. 前記保護膜の厚みは、30nm〜200nmであり、前記発光素子と前記基板とを隙間なく被覆する請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光装置。
  5. 前記保護膜は、Al、SiO、AlN、Siのいずれかで形成されている請求項1〜4のいずれか1項に記載の発光装置。
  6. 前記保護膜は、前記無機材料が複数層積層されてなる請求項1〜5のいずれか1項に記載の発光装置。
  7. 前記発光素子は、紫外線領域の波長の光を出射する請求項1〜6のいずれか1項に記載の発光装置。
  8. 基材と前記基材上の中央部に配置された配線層とを有する配線基板と、前記配線層に接合された発光素子と、前記基材と前記配線層と前記発光素子とを被覆する無機材料からなり、上面が平坦である保護膜と、を備える発光装置を準備する工程と、
    前記発光装置を配置するための実装基板を準備する工程と、
    開口径が平面視で前記配線層以上の大きさのノズルを準備する工程と、
    前記ノズルが前記基材上の前記保護膜と接触前記配線層が前記ノズルの接触位置よりも内側にくるように調整しつつ、前記ノズルで前記発光装置を吸着し、前記発光装置を前記実装基板上に配置する工程と、を有することを特徴とする発光モジュールの製造方法。
  9. 前記配線層が平面視で円形の前記配線基板を準備し、
    開口形状が円形の前記ノズルを準備する請求項8に記載の発光モジュールの製造方法。
  10. 前記ノズルが、前記配線層から0.05mm〜0.25mm以上離間した前記基材上の前記保護膜と接触するように、前記ノズルで前記発光装置を吸着する請求項8又は9に記載の発光モジュールの製造方法。
JP2015213765A 2015-10-30 2015-10-30 発光装置及び発光モジュールの製造方法 Active JP6327232B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015213765A JP6327232B2 (ja) 2015-10-30 2015-10-30 発光装置及び発光モジュールの製造方法
EP16196003.4A EP3163638B1 (en) 2015-10-30 2016-10-27 Light emitting device and method of manufacturing light emitting module
EP21168876.7A EP3886187A1 (en) 2015-10-30 2016-10-27 Light emitting device
US15/336,800 US9941451B2 (en) 2015-10-30 2016-10-28 Light emitting device and method of manufacturing light emitting module
CN202010712845.9A CN111785709A (zh) 2015-10-30 2016-10-28 发光装置
CN201610971163.3A CN106876374B (zh) 2015-10-30 2016-10-28 发光装置及发光模块的制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015213765A JP6327232B2 (ja) 2015-10-30 2015-10-30 発光装置及び発光モジュールの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017085025A JP2017085025A (ja) 2017-05-18
JP6327232B2 true JP6327232B2 (ja) 2018-05-23

Family

ID=57211340

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015213765A Active JP6327232B2 (ja) 2015-10-30 2015-10-30 発光装置及び発光モジュールの製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9941451B2 (ja)
EP (2) EP3886187A1 (ja)
JP (1) JP6327232B2 (ja)
CN (2) CN106876374B (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10237980B2 (en) * 2013-12-18 2019-03-19 Lumileds Llc Flexible substrate with conductive layer for mounting LED arrays
CA3053234C (en) 2017-04-24 2022-05-31 Mitsuboshi Belting Ltd. Toothed belt
KR20190037741A (ko) * 2017-09-29 2019-04-08 서울반도체 주식회사 발광 다이오드, 발광 다이오드 모듈 및 그것을 갖는 표시 장치
JP7288200B2 (ja) * 2020-07-30 2023-06-07 日亜化学工業株式会社 発光装置および梱包体
JP7387978B2 (ja) * 2021-04-20 2023-11-29 日亜化学工業株式会社 発光装置

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04107861U (ja) * 1991-02-28 1992-09-17 サンケン電気株式会社 発光表示装置
JPH10308535A (ja) * 1997-05-02 1998-11-17 Citizen Electron Co Ltd 表面実装型発光ダイオード及びその製造方法
JP2000294833A (ja) * 1999-04-07 2000-10-20 Matsushita Electronics Industry Corp 表面実装型半導体発光装置及びその吸着実装方法
US20020097562A1 (en) * 2000-12-18 2002-07-25 Tdk Corporation Electronic device and manufacturing same
EP1635403B1 (de) * 2004-09-08 2013-04-03 Asetronics AG Isoliertes Metallsubstrat mit mehreren Leuchtdioden
JP2007243076A (ja) * 2006-03-11 2007-09-20 Nichia Chem Ind Ltd 発光装置及び発光装置の製造方法
US8969908B2 (en) * 2006-04-04 2015-03-03 Cree, Inc. Uniform emission LED package
JP4858032B2 (ja) 2006-09-15 2012-01-18 日亜化学工業株式会社 発光装置
JP2008078586A (ja) 2006-09-25 2008-04-03 Matsushita Electric Works Ltd Ledユニット
JP2008300580A (ja) * 2007-05-30 2008-12-11 Nichia Corp 発光素子及び発光装置
JPWO2009031684A1 (ja) 2007-09-07 2010-12-16 旭硝子株式会社 ガラス被覆発光素子及びガラス被覆発光装置
JP2009105379A (ja) * 2007-10-05 2009-05-14 Panasonic Electric Works Co Ltd 発光装置
JP5163073B2 (ja) 2007-11-22 2013-03-13 旭硝子株式会社 ガラス被覆発光装置の製造方法
JP5354997B2 (ja) * 2008-08-29 2013-11-27 京セラ株式会社 発光装置用基板、発光装置用基板を用いた発光装置及び発光装置を用いた照明装置
JP5300439B2 (ja) 2008-11-27 2013-09-25 京セラ株式会社 発光ランプ及び発光ランプを用いた照明装置
JP4780203B2 (ja) * 2009-02-10 2011-09-28 日亜化学工業株式会社 半導体発光装置
JP2011204986A (ja) * 2010-03-26 2011-10-13 Showa Denko Kk ランプおよびランプの製造方法
JP2015062261A (ja) 2010-08-25 2015-04-02 日亜化学工業株式会社 発光装置
JP5864089B2 (ja) 2010-08-25 2016-02-17 日亜化学工業株式会社 発光装置の製造方法
JP5573602B2 (ja) * 2010-10-29 2014-08-20 日亜化学工業株式会社 発光装置
JP2013110353A (ja) * 2011-11-24 2013-06-06 Sharp Corp 発光パッケージ、発光パッケージアレイおよび発光パッケージの製造方法
US9496466B2 (en) * 2011-12-06 2016-11-15 Cree, Inc. Light emitter devices and methods, utilizing light emitting diodes (LEDs), for improved light extraction
JP5938912B2 (ja) * 2012-01-13 2016-06-22 日亜化学工業株式会社 発光装置及び照明装置
JP5712949B2 (ja) * 2012-02-16 2015-05-07 コニカミノルタ株式会社 発光装置の製造方法
JP6219586B2 (ja) 2012-05-09 2017-10-25 ローム株式会社 半導体発光装置
JP5975269B2 (ja) 2012-06-07 2016-08-23 日亜化学工業株式会社 発光装置の製造方法
JP6060578B2 (ja) * 2012-09-14 2017-01-18 日亜化学工業株式会社 発光装置
US9196807B2 (en) * 2012-10-24 2015-11-24 Nichia Corporation Light emitting element
TWI540762B (zh) * 2012-12-24 2016-07-01 鴻海精密工業股份有限公司 發光二極體模組之製造方法
JP6210720B2 (ja) * 2013-05-02 2017-10-11 シチズン電子株式会社 Ledパッケージ
CN103367605B (zh) * 2013-07-05 2015-10-28 华南理工大学 一种薄膜型led器件及其制造方法
JP6232792B2 (ja) 2013-07-17 2017-11-22 日亜化学工業株式会社 発光装置
JP6155932B2 (ja) * 2013-07-19 2017-07-05 日亜化学工業株式会社 発光装置
CN103441203B (zh) * 2013-07-24 2017-01-18 重庆四联光电科技有限公司 一种半导体器件的封装方法及封装结构
JP6435705B2 (ja) * 2013-12-27 2018-12-12 日亜化学工業株式会社 集合基板、発光装置及び発光素子の検査方法
KR101557942B1 (ko) * 2014-01-08 2015-10-12 주식회사 루멘스 발광 소자 패키지 및 발광 소자 패키지의 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
US9941451B2 (en) 2018-04-10
EP3886187A1 (en) 2021-09-29
CN106876374A (zh) 2017-06-20
US20170125651A1 (en) 2017-05-04
CN111785709A (zh) 2020-10-16
JP2017085025A (ja) 2017-05-18
EP3163638A1 (en) 2017-05-03
CN106876374B (zh) 2020-08-14
EP3163638B1 (en) 2021-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6327232B2 (ja) 発光装置及び発光モジュールの製造方法
US9905741B2 (en) Light emitting device and manufacturing method thereof
JP6773162B2 (ja) 発光装置
US20050194605A1 (en) Flip-chip light emitting diode device without sub-mount
US9755121B2 (en) Method of detaching sealing member of light emitting device
JP2018018918A (ja) 発光装置
WO2015151401A1 (ja) 半導体ユニット、半導体素子、発光装置、表示装置、半導体素子の製造方法
US20140063822A1 (en) Wiring board, light-emitting device, and method of manufacturing the wiring board
CN115084347A (zh) 发光二极管
JP6551245B2 (ja) 発光装置の製造方法
JP2012015437A (ja) 半導体発光装置
TWI609510B (zh) 發光裝置及其製造方法
US10615314B2 (en) Light-emitting device
US20160053968A1 (en) Light emitting device and method of manufacturing the same
JP6508189B2 (ja) 発光装置
US10439117B2 (en) Optical device
JP2014013855A (ja) 半導体発光装置の製造方法および半導体発光装置
JP5995579B2 (ja) 半導体発光装置及びその製造方法
JP6593405B2 (ja) 半導体装置の製造方法
US11532776B2 (en) Semiconductor light-emitting device
JP4987632B2 (ja) 半導体素子の製造方法、サブマウントの製造方法及び電子部品
JP2016018895A (ja) 発光装置
JP2017050350A (ja) 発光装置及びその製造方法
JP2016115881A (ja) 発光素子搭載用基板および発光装置
JP2007266116A (ja) 発光装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20171020

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20171031

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20171226

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180320

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180402

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6327232

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R157 Certificate of patent or utility model (correction)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R157

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250