JP6301112B2 - 高周波電源 - Google Patents
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Description
ON期間(ハイレベル期間)にだけ出力されるように、ドライブパルスdv1’〜dv4’のパルス波形を整形する回路である。具体的には、論理回路703は、ドライブ制御信号SDCのON期間ではドライブパルスdv1’〜dv4’と同一の波形を有し、ドライブ制御信号SDCのOFF期間(ローレベル期間)では、ドライブパルスdv2’,dv4’をハイレベルに固定し、ドライブパルスdv1’,dv3’をローレベルに固定したドライブパルスdv1〜dv4を出力する。
2 可変直流電源
3 インバータ回路(電力変換手段)
4 直列共振回路
5 フィルタ回路
6 電力検出器
7 ドライブパルス発生部(ドライブパルス生成手段)
701 基準発振器
702 パルス発生器
703 論理回路(論理演算手段)
703a,703c AND(論理積)回路
703b,703d NAND(否定論理積)回路
703e バッファ回路
703f,703g NOT(論理否定)回路
8 ドライバ(ドライブ信号生成手段)
801a フォトカプラ
801b アンプ(増幅手段)
9 制御部(ドライブ信号制御手段,ドライブ制御信号生成手段)
10 負荷(プラズマ処理装置)
a,b 出力端子対
c,d 入力端子対
T トランス
Q1,Q2,Q3,Q4 スイッチング素子
Claims (4)
- 4個のスイッチング素子のブリッジ回路を含み、ドライブ信号により各スイッチング素子をオン・オフ動作させて前記ブリッジ回路の入力端子対に供給される直流電力を高周波電力に変換して前記ブリッジ回路の出力端子対から出力する電力変換手段と、
前記スイッチング素子毎に、前記ドライブ信号を生成するドライブ信号生成手段と、
前記高周波電力の出力を停止させる場合、前記ブリッジ回路の2つのアームの上側又は下側に配置される2個のスイッチング素子に対するドライブ信号のレベルを各スイッチング素子が遮断するレベルに設定し、残りの2個のスイッチング素子に対するドライブ信号のレベルを各スイッチング素子が能動領域で動作するレベルに設定するドライブ信号制御手段を備えたことを特徴とする高周波電源。 - 前記ドライブ信号生成手段は、
前記ブリッジ回路の一方のアームの上側と他方のアームの下側に配置される2個のスイッチング素子に対するドライブパルスとして、スイッチング素子毎に前記電力変換手段から出力される前記高周波電力の周波数と同一の周波数を有する所定レベルの第1のドライブパルスを生成するとともに、前記ブリッジ回路の一方のアームの下側と他方のアームの上側に配置される2個のスイッチング素子に対するドライブパルスとして、スイッチング素子毎に前記第1のドライブパルスに対して位相がπだけずれた第2のドライブパルスを生成するドライブパルス生成手段と、
前記ドライブパルス生成手段で前記スイッチング素子毎に生成したドライブパルスを増幅して各スイッチング素子に対する前記ドライブ信号をそれぞれ生成する増幅手段と、
を含み、
前記ドライブ信号制御手段は、前記高周波電力の出力を停止させる場合、前記ブリッジ回路の2つのアームの上側又は下側に配置される2個のスイッチング素子に対してスイッチング素子毎に生成されたドライブパルスのレベルをローレベルに設定し、残りの2個のスイッチング素子に対してスイッチング素子毎に生成されたドライブパルスのレベルをハイレベルに設定する、請求項1に記載の高周波電源。 - 前記ドライブ信号制御手段は、
前記ブリッジ回路に電力変換動作をさせる第1の状態と前記ブリッジ回路に電力変換動作をさせない第2の状態とが割り当てられた2値信号からなるドライブ制御信号を生成するドライブ制御信号生成手段と、
前記ドライブ制御信号と前記ドライブパルス生成手段で前記スイッチング素子毎に生成された4個のドライブパルスを用いて所定の論理演算を行う論理演算手段と、
を含み、
前記論理演算手段は、前記ドライブ制御信号が前記第1の状態が割り当てられたレベルの期間では、前記ドライブ信号生成手段で生成される4個のドライブパルスと同一波形の信号を出力し、前記ドライブ制御信号が前記第2の状態が割り当てられたレベルの期間では、前記ブリッジ回路の2つのアームの上側又は下側に配置される2個のスイッチング素子に対してローレベルの信号を出力するとともに、残りの2個のスイッチング素子に対してハイレベルの信号を出力する、請求項2に記載の高周波電源。 - 前記論理演算手段は、
前記ドライブパルスと前記ドライブ制御信号の論理積を演算する2つのAND回路と、NOT回路によって前記ドライブパルスのレベルを反転した信号と前記ドライブ制御信号の否定論理積を演算する2つのNAND回路とを含み、
前記2つのAND回路には、前記ブリッジ回路の2つのアームの上側又は下側に配置される2個のスイッチング素子に対して生成されたドライブパルスが入力され、前記2つのNAND回路には、残りの2個のスイッチング素子に対して生成されたドライブパルスが前記NOT回路を介して入力される、請求項3に記載の高周波電源。
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