JP6266719B1 - テラヘルツ時間領域分光装置 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 56
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 33
- 239000012925 reference material Substances 0.000 claims description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims description 4
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 192
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 29
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 27
- 238000001328 terahertz time-domain spectroscopy Methods 0.000 abstract description 10
- 230000003993 interaction Effects 0.000 abstract description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 132
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 16
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 235000013361 beverage Nutrition 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 6
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 6
- 238000004847 absorption spectroscopy Methods 0.000 description 5
- 238000001055 reflectance spectroscopy Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000003752 polymerase chain reaction Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000009878 intermolecular interaction Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 2
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000002068 genetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
- G01N21/3586—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation by Terahertz time domain spectroscopy [THz-TDS]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3577—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing liquids, e.g. polluted water
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Abstract
Description
スペクトル強度が深く凹んでいる周波数において、スペクトル強度がゼロか否かを分析することにより、参照用液体にはない異種分子が試料用液体に混じっているか否かを容易に把握することができる。
12 テラヘルツ波発生用半導体(テラヘルツ波光源)
13 テラヘルツ波分光部
13a 第1の放物面ミラー
13b 第1の三角プリズム
13c,13d 第1の反射ミラー
14 テラヘルツ波集束部
14a 第2の放物面ミラー
14b 第2の三角プリズム
14c,14d 第2の反射ミラー
15 テラヘルツ波検出用半導体(テラヘルツ波検出部)
16 時間領域用可変光学遅延部
17,17’ ,17” 遅延量設定用可変光学遅延部(光学遅延部)
20 テラヘルツ信号解析装置(テラヘルツ信号解析部)
41 ハーフミラー(テラヘルツ波分光部かつテラヘルツ波集束部)
41’ ハーフミラー(テラヘルツ波分光部)
41” ハーフミラー(テラヘルツ波集束部)
101 試料液膜
102 参照液膜
201 試料
202 参照材料
Claims (4)
- テラヘルツ波が伝播する経路中に試料を配置し、当該試料を経由したテラヘルツ波の特性を時間領域計測するテラヘルツ時間領域分光装置であって、
テラヘルツ光源から発生されるテラヘルツ波を2つに分光するテラヘルツ波分光部と、
上記テラヘルツ波分光部により分光された一方のテラヘルツ波が伝播する経路中に配置された試料を経由したテラヘルツ波と、上記テラヘルツ波分光部により分光された他方のテラヘルツ波が伝播する経路中に配置された参照材料を経由したテラヘルツ波とを集束させるテラヘルツ波集束部と、
上記一方のテラヘルツ波が伝播する経路および上記他方のテラヘルツ波が伝播する経路の少なくとも一方に、テラヘルツ波の遅延量を設定する光学遅延部と、
上記テラヘルツ波集束部により集束されたテラヘルツ波を検出し、その波形を表すテラヘルツ波信号を出力するテラヘルツ波検出部と、
上記テラヘルツ波検出部より出力されたテラヘルツ波信号をフーリエ変換することにより、周波数スペクトルを得るテラヘルツ信号解析部とを備え、
上記光学遅延部によって、上記一方のテラヘルツ波が伝播する経路の光路長と、上記他方のテラヘルツ波が伝播する経路の光路長とに所定の差を設けるようにしたことを特徴とするテラヘルツ時間領域分光装置。 - 上記テラヘルツ波分光部は、
上記テラヘルツ光源から発生されたテラヘルツ波を反射し、平行な光線束として出力する第1の放物面ミラーと、
上記第1の放物面ミラーから伝播される上記光線束としてのテラヘルツ波を2つの面でそれぞれ反射し、2つの方向に分光する第1の三角プリズムとを備えて構成され、
上記テラヘルツ波集束部は、
上記第1の三角プリズムにより分光された2つのテラヘルツ波のうち上記試料を経由した一方のテラヘルツ波、および、上記第1の三角プリズムにより分光された2つのテラヘルツ波のうち上記参照材料を経由した他方のテラヘルツ波を2つの面でそれぞれ1つの方向に反射し、上記試料を経由したテラヘルツ波および上記参照材料を経由したテラヘルツ波の光線束として出射する第2の三角プリズムと、
上記第2の三角プリズムから平行に入射する上記光線束としてのテラヘルツ波を上記テラヘルツ波検出部の焦点に集める第2の放物面ミラーとを備えて構成されることを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ時間領域分光装置。 - 上記テラヘルツ波分光部は、上記テラヘルツ光源から発生されたテラヘルツ波を2つの方向に分光するハーフミラーにより構成され、
上記テラヘルツ波集束部も上記ハーフミラーにより構成され、上記ハーフミラーにより分光された2つのテラヘルツ波のうち上記試料を経由した一方のテラヘルツ波、および、上記ハーフミラーにより分光された2つのテラヘルツ波のうち上記参照材料を経由した他方のテラヘルツ波を上記テラヘルツ波検出部の方向に集光することを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ時間領域分光装置。 - 上記テラヘルツ波分光部は、上記テラヘルツ光源から発生されたテラヘルツ波を2つの方向に分光する第1のハーフミラーにより構成され、
上記テラヘルツ波集束部は、上記第1のハーフミラーにより分光された2つのテラヘルツ波のうち上記試料を経由した一方のテラヘルツ波、および、上記第1のハーフミラーにより分光された2つのテラヘルツ波のうち上記参照材料を経由した他方のテラヘルツ波を上記テラヘルツ波検出部の方向に集光する第2のハーフミラーにより構成されることを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ時間領域分光装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016168869A JP6266719B1 (ja) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | テラヘルツ時間領域分光装置 |
US16/094,133 US10352849B2 (en) | 2016-08-31 | 2017-07-21 | Terahertz time domain spectroscopic apparatus |
PCT/JP2017/026456 WO2018042938A1 (ja) | 2016-08-31 | 2017-07-21 | テラヘルツ時間領域分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016168869A JP6266719B1 (ja) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | テラヘルツ時間領域分光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6266719B1 true JP6266719B1 (ja) | 2018-01-24 |
JP2018036121A JP2018036121A (ja) | 2018-03-08 |
Family
ID=61020818
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016168869A Active JP6266719B1 (ja) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | テラヘルツ時間領域分光装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10352849B2 (ja) |
JP (1) | JP6266719B1 (ja) |
WO (1) | WO2018042938A1 (ja) |
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- 2016-08-31 JP JP2016168869A patent/JP6266719B1/ja active Active
-
2017
- 2017-07-21 WO PCT/JP2017/026456 patent/WO2018042938A1/ja active Application Filing
- 2017-07-21 US US16/094,133 patent/US10352849B2/en not_active Expired - Fee Related
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Date | Code | Title | Description |
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A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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A975 | Report on accelerated examination |
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