JP2008304444A - テラヘルツ周波数における全反射減衰分光測定法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 テラヘルツ電磁波が全反射するプリズムと試料界面の近傍に存在する試料のスペクトル測定が可能であり、またテラヘルツ領域における試料の複素屈折率を測定することも可能であるテラヘルツ分光手法および装置を提供すること。
【解決手段】 テラヘルツ周波数における全反射減衰分光測定法及び装置は、テラヘルツ電磁波が全反射する際に生じるテラヘルツ周波数を有する表面波(エバネッセント波)を利用する。装置はポンプビーム及び信号ビームの2つの励起レーザをテラヘルツ電磁波発生用光学結晶へ入射しテラヘルツ電磁波を発生するテラヘルツ電磁波光源部と、テラヘルツ電磁波を入射してエバネッセント波を発生するためのプリズムとを有する構成とした。
【選択図】図1
【解決手段】 テラヘルツ周波数における全反射減衰分光測定法及び装置は、テラヘルツ電磁波が全反射する際に生じるテラヘルツ周波数を有する表面波(エバネッセント波)を利用する。装置はポンプビーム及び信号ビームの2つの励起レーザをテラヘルツ電磁波発生用光学結晶へ入射しテラヘルツ電磁波を発生するテラヘルツ電磁波光源部と、テラヘルツ電磁波を入射してエバネッセント波を発生するためのプリズムとを有する構成とした。
【選択図】図1
Description
本発明はテラヘルツ周波数において分光測定を行う手法及び装置に関する。
テラヘルツ電磁波のエネルギーは分子内あるいは分子間における弱いエネルギー、つまり低振動数モードのエネルギーに相当する。その振動はDNA2重らせん構造に見られるように生体分子の機能発現において重要な働きを担っている水素結合に起因する振動モードを含む。テラヘルツ電磁波を利用して生体関連物質の分光測定を行い、このような弱い相互作用を直接測定することは、生体分子の機能や構造を理解する上で有益である。
生体関連分子は生体内のような水分の非常に多い環境下で水分子に囲まれることによりその機能が発現する。水の存在しない環境下ではその機能を発現するための構造を維持できない。したがって生体分子の機能や構造に関する情報を直接得るためには水分を多量に含む試料についてテラヘルツ周波数における測定を行う必要がある。さらに生体分子や水の物性について議論するためにはその物質の測定において複素屈折率を求められることが望ましい。
しかし、テラヘルツ領域において水は大きな吸収係数を有するため、透過法によりスペクトルを得るためには極薄い液体セルが必要となるため、粘度の高い物質等の測定は困難である。また透過スペクトルから試料の複素屈折率を得るためには試料界面での反射光、試料内での干渉光を考慮し、さらに試料厚さの精密測定を行う必要があり見積もることは困難である。外部反射法によって得られたスペクトルからクラマース・クローニッヒ変換(K−K変換)を利用することで複素屈折率を求めることもできる。しかし正確にK−K変換を行なうには無限波長域での積分が必要であり、通常の変換では何らかの近似を用いる。そのため外部反射スペクトルから求めた複素屈折率には誤差が生じてしまう。
本発明は、極薄い液体セルを用意せず大きな吸収を有する試料のテラヘルツスペクトル測定を可能とし、かつ上で述べた問題を回避して正確な複素屈折率測定が可能なテラヘルツ領域における分光測定手法及び装置を提供する。
請求項1に記載のテラヘルツ分光測定装置は、テラヘルツ電磁波光源部とそこから発するテラヘルツ電磁波をプリズムと試料界面において全反射させることによりテラヘルツ周波数を有する表面波(エバネッセント波)を発生するための構造を有していることを特徴とする。この光源は差周波混合に基づくフォノン励起によりテラヘルツ電磁波を発生する方法であり、プリズム部へ入射されるテラヘルツ電磁波は単色コヒーレントである。ポンプビームあるいは信号ビームの波長を挿引することで各周波数における試料のスペクトル測定が可能になる。
上記の構成によりプリズムと試料の界面にテラヘルツ周波数を有するエバネッセント波が発生する。エバネッセント波の影響範囲は界面から入射波長程度の距離に及ぶ。エバネッセント波の影響する場に存在する試料のみのスペクトルが測定されるため、水をはじめとするテラヘルツ帯で大きな吸収を有する試料の分光測定において、透過法のように極薄い厚みの液体セルを必要としない。また微量の試料で測定が可能である。
請求項2に記載のテラヘルツ分光測定装置におけるテラヘルツ電磁波発生用光学結晶はGaP結晶であり、合成された2つのビーム間にわずかに角度を設けることで位相整合を満たしテラヘルツ電磁波を発生する。
請求項4に記載の発明では、ダブルビーム法によるスペクトル測定が可能であり、シングルビーム法でのスペクトル測定と比較しノイズの少ないスペクトル測定が可能である。
請求項5における発明では、プリズムと試料界面に対するテラヘルツ電磁波の入射角を任意に設定することができる。入射角条件の異なる2つのスペクトルを測定し、フレネルの式における連立方程式を解くことにより試料の複素屈折率を得ることができる。
請求項6に記載の発明では、プリズムとして半円柱型もしくは半球型のシリコンあるいはポリエチレンを使用する。シリコンやポリエチレンはテラヘルツ電磁波に対して吸収が小さいため、テラヘルツ電磁波の損失が少なく雑音の小さい分光測定が期待できる。
以上のように本発明によれば、テラヘルツ電磁波光源とエバネッセント波を発生する光学系を備えることにより、スペクトル測定および複素屈折率測定が可能になる。透過法で必要であった極薄い厚みを有する液体セルは必要としない。また各周波数において入射角条件の異なるスペクトルから試料の複素屈折率を求めるため、透過法や外部反射法での制約を受けることなく複素屈折率を求めることが可能である。
以下、本テラヘルツ分光測定装置における実施形態を述べる。図1は、本テラヘルツ分光測定装置における一つの構成例を示す図である。このテラヘルツ分光測定装置はNd:YAGレーザ1と、ポンプビームと信号ビームに相当するCr:Forsterite レーザ2、3と、平面ミラー4、11、13、18と、回転ステージ5、7、12、17と、ビームスプリッタ6と、電磁波発生用光学結晶8と、非軸放物面鏡9、14、16と、X軸移動ステージ10と、プリズム15を有する。
Nd:YAGレーザ1は出力を2チャンネル有し、2台のCr:Forsterite レーザ2、3を励起するために使用する。
ビームスプリッタ6はCr:Forsterite レーザ2、3の2つのビームを合成するために使用する。さらにビームスプリッタ6は回転ステージ5上に設置されており、回転ステージ5を回転することにより合成された2つのビーム間にわずかに角度を設ける。
ビームスプリッタ6はCr:Forsterite レーザ2、3の2つのビームを合成するために使用する。さらにビームスプリッタ6は回転ステージ5上に設置されており、回転ステージ5を回転することにより合成された2つのビーム間にわずかに角度を設ける。
電磁波発生用光学結晶8は回転ステージ7上に設置されている。電磁波発生用光学結晶8を回転することで電磁波発生用光学結晶端面において出射するテラヘルツ電磁波の反射を低減することが可能となる。
平面ミラー11はX軸移動ステージ10上に設置されている。発生させる周波数に適した位置に平面ミラー11を移動させることで、各周波数におけるテラヘルツ電磁波の出射方向を常に一定の方向に保つ。
平面ミラー13は回転ステージ12上に、平面ミラー18は回転ステージ17上に設置されている。回転ステージ12と17は一方を回転すると他方も同時に回転し、その回転方向が互いに逆方向となる機構を有している。この機構によりテラヘルツ電磁波21がプリズム15と測定試料19の界面に入射する角度20を任意の値に設定することが可能となる。
本分光測定は電磁波の全反射を利用するため、プリズム15の屈折率実部をn1、試料19の屈折率実部をn2とすると、n1、n2および入射角20は以下の条件(1)、(2)を満たすように構成される。
n1>n2 ・・・(1)
入射角20≧arcsin(n2/n1)・・・(2)
n1>n2 ・・・(1)
入射角20≧arcsin(n2/n1)・・・(2)
以上のような構成にすると、テラヘルツ電磁波21がプリズム15と測定試料19の界面で全反射し、その際にエバネッセント波が発生する。テラヘルツ電磁波が全反射するプリズムと試料界面から入射波長程度の距離に及ぶエバネッセント波の影響範囲に存在する測定試料19がテラヘルツ電磁波21と同じ周波数に吸収を有する場合、エバネッセント波が吸収され、全反射するテラヘルツ電磁波22のエネルギーは測定試料19が存在しない場合に比べ減衰する。そのためCr:Forsterite レーザ2または3の波長を挿引し、テラヘルツ電磁波21の周波数を変化させることにより測定試料19のスペクトル測定を行うことができる。
さらに回転ステージ12および17を回転して2つの異なる入射角条件におけるスペクトルを測定し、その2つのスペクトルに対するフレネル反射の式の連立方程式を解くことにより測定試料19の複素屈折率を得ることができる。
実施例2のテラヘルツ分光測定装置では、実施例1におけるテラヘルツ分光測定装置の平面ミラー11と13間のテラヘルツ電磁波伝播光路にテラヘルツ電磁波の約半分を透過もう半分を反射するハーフミラー23を有する。ハーフミラー23によりテラヘルツ電磁波発生用光学結晶8から発生したテラヘルツ電磁波はプリズムへ入射するテラヘルツ電磁波21と参照光用テラヘルツ電磁波24に分割される。参照光の強度変化を測定した試料のスペクトルから除くことにより、実施例1の装置で得られるスペクトルと比較し、ノイズの少ないスペクトルを得ることが可能になる。
1…ダブルパルスYAGレーザ
2、3…Cr:Forsterite レーザ
4、11、13、18…ミラー
5、7、12、17…回転ステージ
6…ビームスプリッタ
8…電磁波発生用光学結晶
9、14、16…非軸放物面鏡
10…X軸ステージ
15…プリズム
19…測定試料
20…入射角度
21…プリズムへ入射するテラヘルツ電磁波
22…プリズムと試料の界面で全反射されたテラヘルツ電磁波
23…ハーフミラー
24…参照光用テラヘルツ電磁波
2、3…Cr:Forsterite レーザ
4、11、13、18…ミラー
5、7、12、17…回転ステージ
6…ビームスプリッタ
8…電磁波発生用光学結晶
9、14、16…非軸放物面鏡
10…X軸ステージ
15…プリズム
19…測定試料
20…入射角度
21…プリズムへ入射するテラヘルツ電磁波
22…プリズムと試料の界面で全反射されたテラヘルツ電磁波
23…ハーフミラー
24…参照光用テラヘルツ電磁波
Claims (7)
- 差周波発生に基づくフォノン励起による単色コヒーレントテラヘルツ光源を用い,その光源から発生するテラヘルツ電磁波によりエバネッセント波を発生させ分光測定を行うテラヘルツ周波数における全反射減衰分光測定法。
- 請求項1に記載の測定方法に基づき,ポンプビーム及び信号ビームに相当する2つの近赤外ビームと、その2つのビーム間にわずかな角度を設けて合成し、電磁波発生用光学結晶へ入射することでテラヘルツ電磁波を発生する光学系と、その電磁波発生用光学結晶を回転させる手段と、発生したテラヘルツ電磁波を一定の方向へ出射するための光学系と、テラヘルツ電磁波を全反射する角度でプリズムへ入射させることによりエバネッセント波が発生する機構を有することを特徴とするテラヘルツ周波数における全反射減衰分光測定法及び装置。
- 請求項2に記載のテラヘルツ電磁波発生用光学結晶がGaP結晶であることを特徴とするテラヘルツ周波数における全反射減衰分光測定法及び装置。
- 請求項2または請求項3に記載のポンプビーム及び信号ビームがCr:Forsteliteレーザもしくは半導体レーザであることを特徴とするテラヘルツ周波数における全反射減衰分光測定法及び装置。
- 請求項2から請求項4のいずれかに記載のテラヘルツ分光測定装置において、発生したテラヘルツ電磁波をプリズムへ入射する電磁波と参照光の2つに分割する光学系をさらに有することを特徴とするテラヘルツ周波数における全反射減衰分光測定法及び装置。
- 請求項2から請求項5のいずれかに記載のテラヘルツ分光測定装置において、テラヘルツ波を集光し任意の入射角でプリズムへ入射するための光学系をさらに有し、かつプリズムが半円柱型もしくは半球型であることを特徴とするテラヘルツ周波数における全反射減衰分光測定法及び装置。
- 請求項2から請求項6のいずれかに記載のテラヘルツ分光測定装置において、テラヘルツ電磁波を入射してエバネッセント波を発生するプリズムがシリコンもしくはポリエチレンといったテラヘルツ電磁波に対して吸収が小さい材質であることを特徴とするテラヘルツ周波数における全反射減衰分光測定法及び装置。
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2007
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