JP6235881B2 - 産業用ロボット - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の斜視図である。図2は、図1に示す産業用ロボット1の、ロボット本体3およびアーム16が上昇するとともにアーム16が伸びている状態の斜視図である。図3は、図1に示す産業用ロボット1が使用される半導体製造システム5の概略平面図である。
図4は、図1に示すロボット本体3の側面図である。
図5は、図1に示す昇降機構4の斜視図である。図6は、図5に示す昇降機構4の構成を正面側から説明するための図である。図7は、図5に示す昇降機構4の構成を上側から説明するための図である。図8(A)は、図7のE部の拡大図であり、図8(B)は、図7のF部の拡大図である。
以上説明したように、本形態では、昇降機構4を構成する駆動部36とガイドレール37とガイドブロック38とが筺体39に収容されている。また、本形態では、ガイドブロック38と本体部17との間に、平板状の前面部39dが配置され、この前面部39dに、上下方向に細長いスリット状の貫通孔39gが形成されている。さらに、本形態では、ロボット本体3とガイドブロック38とを連結するための連結部材40に貫通孔通過部40bが形成され、左右方向における貫通孔通過部40bの幅H1および貫通孔39gの幅H3が、左右方向におけるガイドブロック38の幅H2よりも狭くなっている。そのため、本形態では、貫通孔39gにガイドブロック38が配置される場合と比較して、貫通孔39gの幅を狭くすることができる。したがって、本形態では、ロボット本体3を昇降させる昇降機構4がロボット本体3の外部に配置されていても、駆動部36やガイドレール37、ガイドブロック38から発生する塵埃が、ロボット本体3と昇降機構4との連結部分からEFEM6の内部に流出するのを効果的に抑制することが可能になる。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 ウエハ(半導体ウエハ)
3 ロボット本体
4 昇降機構
6 EFEM
7 半導体ウエハ処理装置
8 FOUP
14、15 ハンド
16 アーム
17 本体部
36 駆動部
37 ガイドレール
38 ガイドブロック
39 筺体
39d 前面部(カバー)
39g 貫通孔
40 連結部材
40b 貫通孔通過部
41 固定部材
42 排気ファン
54 接続部材
H1 貫通孔の幅方向おける貫通孔通過部の幅
H2 貫通孔の幅方向おけるガイドブロックの幅
H3 貫通孔の幅
X 貫通孔の幅方向
Y カバーの厚み方向
Claims (2)
- EFEMの一部を構成するとともにFOUPと半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送する産業用ロボットにおいて、
ロボット本体と、前記ロボット本体の外部に配置され前記ロボット本体を昇降させる昇降機構とを備え、
前記ロボット本体は、前記半導体ウエハが搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記アームを昇降させるアーム昇降機構とを備え、
前記昇降機構は、上下方向へ前記ロボット本体を駆動するための駆動部と、上下方向へ前記ロボット本体を案内するための2本のガイドレールと、2本の前記ガイドレールのそれぞれに係合して上下方向へスライドするガイドブロックと、前記駆動部、前記ガイドレールおよび前記ガイドブロックが収容される筺体と、前記筺体の外部に配置される前記ロボット本体と前記ガイドブロックとを連結するための2個の連結部材と、前記筺体の内部に配置され2個の前記連結部材を繋ぐ接続部材と、前記筺体に取り付けられ前記筺体の内部の空気を前記EFEMの外部へ排出する2個の排気ファンとを備え、
前記筺体は、前記ガイドブロックと前記本体部との間に配置される平板状のカバーを備え、
前記カバーには、上下方向に細長いスリット状の貫通孔が、前記連結部材の上下方向への移動が可能となるように形成され、
前記連結部材には、前記貫通孔に配置される貫通孔通過部が形成され、
前記カバーの厚み方向と上下方向とに直交する前記貫通孔の幅方向における前記貫通孔通過部の幅および前記貫通孔の幅は、前記貫通孔の幅方向における前記ガイドブロックの幅よりも狭くなっており、
2本の前記ガイドレールは、前記貫通孔の幅方向において、所定の間隔をあけた状態で配置され、
前記駆動部は、駆動源となるモータと、前記モータの動力で回転するボールネジと、前記ボールネジに螺合するナット部材とを備えるとともに、前記貫通孔の幅方向において、2本の前記ガイドレールの間に配置され、
前記モータと前記ボールネジとは、前記貫通孔の幅方向で隣接配置され、
2個の前記排気ファンのうちの一方の前記排気ファンは、前記カバーの厚み方向で前記モータに隣接配置され、他方の前記排気ファンは、前記カバーの厚み方向で前記ボールネジに隣接配置され、
2個の前記連結部材のそれぞれは、2本の前記ガイドレールのそれぞれに係合する前記ガイドブロックに固定され、
2個の前記連結部材のうちの一方の前記連結部材に前記ナット部材が固定されていることを特徴とする産業用ロボット。 - 前記本体部は、上下方向から見たときの形状が略長方形状または略正方形状となるように形成され、
前記昇降機構は、前記筺体の外部に配置され前記本体部の1つの側面が固定される固定部材を備え、
前記貫通孔通過部の先端に前記固定部材が固定されていることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。
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