JP4980127B2 - 基板搬送ロボット - Google Patents
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Description
このような従来技術は、手首の駆動におけるイナーシャの低下および剛性の向上を目的としており、前記第1および第2の従来技術で生じる各問題については考慮されていない。
基板を把持するロボットハンドと、
延在して形成される中空状の複数のアーム部を有し、各アーム部は一連に連結され、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結される2つのアーム部は互いに相対的に旋回可能に設けられるロボットアームと、
互いに連結されるアーム部を互いに相対的に旋回駆動する駆動手段とを含み、
駆動手段は、前記複数のアーム部のいずれかのアーム部の内部空間に設けられ、
前記基台が、予め定める前後方向に配置される基板処理装置と複数の基板収容容器が設けられた壁との間で、かつ、前記予め定める前後方向における前記壁寄りまたは前記基板処理装置寄りに配置された場合に、前記各基板収容容器と基板処理装置との間で基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボットである。
前記全てのモータは、互いに連結される2つのアーム部のうちの一方のアーム部の内部空間に設けられていることを特徴とする。
また本発明は、前記駆動手段は、モータの動力を伝達する動力伝達部を含み、
前記モータは、前記一方のアーム部に固定される固定部と、固定部に対して、前記一方のアーム部の延在方向に略平行な回転軸線まわりに回転する回転部とを有し、
動力伝達部は、モータの動力を、複数の歯車によって、モータの回転部から互いに連結される前記2つのアーム部のうちの他方のアーム部に伝達することを特徴とする。
モータの回転部に、回転部の回転軸線と同軸に固定される第1歯車と、
前記他方のアーム部に、前記一方および他方のアーム部の旋回軸線と同軸に固定される第2歯車と、
第1および第2歯車間に介在する複数の中間歯車と、
前記一方のアーム部に固定され、各中間歯車が、各中間歯車の回転軸線まわりに回転可能な状態で収容される歯車収容箱とを有することを特徴とする。
ロボットハンドを前記他端のアーム部に対して相対的に旋回駆動する他の旋回駆動手段を含み、
他の旋回駆動手段は、
前記他端のアーム部に設けられる固定部と、固定部に対して、前記他端のアーム部の延在方向に略平行な回転軸線まわりに回転する回転部とを有し、前記他端のアーム部の内部空間に収容される他のモータと、
前記他端のアーム部の内部空間に収容され、他のモータとロボットハンドとの間に介在し、他のモータの動力を、他のモータの回転部からロボットハンドに伝達する他の動力伝達部とを含むことを特徴とする。
第2のアーム部に対してロボットハンドを旋回駆動する駆動手段が、第2のアーム部の内部空間に設けられ、
第1のアーム部に対して第2のアーム部を旋回駆動する駆動手段が、第1のアーム部の内部空間に設けられ、
基台に対して第1のアーム部を旋回駆動する駆動手段が、第1のアーム部の内部空間に設けられていることを特徴とする。
。各アーム部は、中空状であり、延在して形成される。一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結される。互いに連結される2つのアーム部は、互いに相対的に旋回可能に設けられる。互いに連結されるアーム部を互いに相対的に旋回駆動する駆動手段が設けられる。これによってロボットハンドが移動され、ロボットハンドによって把持される基板が移動される。駆動手段は、複数のアーム部のいずれかのアーム部の内部空間に設けられる。また、基板搬送ロボットは、予め定める方向に沿って並んで配置される基板処理装置と複数の基板収容容器が設けられた壁との間で基板を搬送する基板搬送装置内で、かつ、前記予め定める方向における前記壁寄りまたは前記基板処理装置寄りに配置された場合に、前記各基板収容容器と基板処理装置との間で基板を搬送することができる。
本発明において、略平行は、平行を含む。
33 半導体ウェハ
34 基台
35 ロボットハンド
36 第1アーム部
37 第2アーム部
41,177 第1旋回駆動手段
42,166 第2旋回駆動手段
43 第3旋回駆動手段
71 第1モータ
72 第1動力伝達部
76 第2モータ
77,186 第2動力伝達部
81 第3モータ
82 第3動力伝達部
Claims (6)
- 基台と、
基板を把持するロボットハンドと、
延在して形成される中空状の複数のアーム部を有し、各アーム部は一連に連結され、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結される2つのアーム部は互いに相対的に旋回可能に設けられるロボットアームと、
互いに連結されるアーム部を互いに相対的に旋回駆動する駆動手段とを含み、
駆動手段は、前記複数のアーム部のいずれかのアーム部の内部空間に設けられ、
前記基台が、予め定める前後方向に配置される基板処理装置と複数の基板収容容器が設けられた壁との間で、かつ、前記予め定める前後方向における前記壁寄りまたは前記基板処理装置寄りに配置された場合に、前記各基板収容容器と基板処理装置との間で基板を搬送することができることを特徴とする基板搬送ロボット。 - 前記駆動手段は、モータを含み、
前記全てのモータは、互いに連結される2つのアーム部のうちの一方のアーム部の内部空間に設けられていることを特徴とする請求項1記載の基板搬送ロボット。 - 前記駆動手段は、モータの動力を伝達する動力伝達部を含み、
前記モータは、前記一方のアーム部に固定される固定部と、固定部に対して、前記一方のアーム部の延在方向に略平行な回転軸線まわりに回転する回転部とを有し、
動力伝達部は、モータの動力を、複数の歯車によって、モータの回転部から互いに連結される前記2つのアーム部のうちの他方のアーム部に伝達することを特徴とする請求項2記載の基板搬送ロボット。 - 動力伝達部は、
モータの回転部に、回転部の回転軸線と同軸に固定される第1歯車と、
前記他方のアーム部に、前記一方および他方のアーム部の旋回軸線と同軸に固定される第2歯車と、
第1および第2歯車間に介在する複数の中間歯車と、
前記一方のアーム部に固定され、各中間歯車が、各中間歯車の回転軸線まわりに回転可能な状態で収容される歯車収容箱とを有することを特徴とする請求項3記載の基板搬送ロボット。 - ロボットハンドが前記他端のアーム部に対して相対的に旋回可能に設けられる基板搬送ロボットであって、
ロボットハンドを前記他端のアーム部に対して相対的に旋回駆動する他の駆動手段を含み、
他の駆動手段は、
前記他端のアーム部に設けられる固定部と、固定部に対して、前記他端のアーム部の延在方向に略平行な回転軸線まわりに回転する回転部とを有し、前記他端のアーム部の内部空間に収容される他のモータと、
前記他端のアーム部の内部空間に収容され、他のモータとロボットハンドとの間に介在し、他のモータの動力を、他のモータの回転部からロボットハンドに伝達する他の動力伝達部とを含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の基板搬送ロボット。 - 前記複数のアーム部は、基台に連結され、基台に対して相対的に旋回可能に設けられる第1のアーム部と、第1のアーム部およびロボットハンドに連結され、第1のアーム部に対して相対的に旋回可能に設けられる第2のアーム部とによって構成され、
第2のアーム部に対してロボットハンドを旋回駆動する駆動手段が、第2のアーム部の内部空間に設けられ、
第1のアーム部に対して第2のアーム部を旋回駆動する駆動手段が、第1のアーム部の内部空間に設けられ、
基台に対して第1のアーム部を旋回駆動する駆動手段が、第1のアーム部の内部空間に設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の基板搬送ロボット。
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