JP6722459B2 - 産業用ロボット - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の斜視図であり、(A)は昇降体20が下降している状態を示す図、(B)は昇降体20が上昇している状態を示す図である。図2は、図1に示す産業用ロボット1の側面図である。図3は、図1に示す産業用ロボット1が使用される半導体製造システム9の概略平面図である。図4は、図2のE−E断面の構成を説明するための断面図である。
以上説明したように、本形態では、昇降機構22は、上下方向から見たときに、筐体21に収容されるフレーム部25と重なるように筐体21に収容されている。そのため、本形態では、昇降機構22が前後方向においてフレーム部25とずれた状態で筐体21に収容されている場合と比較して、前後方向における筐体21の幅を狭くすることが可能になる。すなわち、本形態では、昇降機構22が前後方向においてフレーム部25とずれた状態で筐体21に収容されている場合と比較して、前後方向における本体部7の幅を狭くすることが可能になり、その結果、本体部7を薄型化することが可能になる。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 ウエハ(半導体ウエハ、搬送対象物)
4、5 ハンド
6 アーム
7 本体部
20 昇降体
21 筐体
22 昇降機構
23 ガイド機構
25 フレーム部
38 ガイドレール
39 ガイドブロック
X 左右方向
Y 前後方向
Claims (1)
- 搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、
前記本体部は、前記アームの基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体と、前記昇降体を昇降可能に保持するとともに前記昇降体の少なくとも下端側の一部が収容される筐体と、前記昇降体を昇降させる昇降機構と、ガイドレールと前記ガイドレールに係合するガイドブロックとを有し前記昇降体を上下方向へ案内するガイド機構とを備え、
前記昇降機構は、モータと、ボールネジと、前記モータの出力軸に固定される第1プーリと、前記ボールネジのネジ軸に固定される第2プーリと、前記第1プーリと前記第2プーリとに架け渡されるベルトとを備えるとともに、上下方向から見たときに、前記昇降体と重なるように前記筐体に収容され、
前記筐体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成されるとともに、前記筐体の前後方向の一方の側面を構成する第1側壁部と、前記筐体の左右方向の一方の側面を構成する第2側壁部と、前記筐体の左右方向の他方の側面を構成する第3側壁部とを備え、
前記第1側壁部と前記第2側壁部との境界部分の、前記筐体の内部側、および、前記第1側壁部と前記第3側壁部との境界部分の、前記筐体の内部側は、前後方向および左右方向の厚さが厚くなった肉厚部となっており、
前記昇降体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され前記昇降体の下降時に前記筐体に収容されるフレーム部を備え、
前記フレーム部の左右方向の両側面のそれぞれには、ブロック保持部材が固定され、
前記ガイドレールは、前記肉厚部に固定されるとともに、前記ガイドブロックは、前記ブロック保持部材に固定されており、前記ガイドレールおよび前記ガイドブロックは、左右方向における前記フレーム部の両外側に配置されるとともに前記筐体の内部に収容され、
前記モータと前記ボールネジとは、左右方向で隣り合うように前記筐体の中に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。
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