JP5462064B2 - 産業用ロボット - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の概略側面図である。図2は、図1のE−E方向から産業用ロボット1を示す概略平面図である。図3は、図1に示す産業用ロボット1が使用される半導体製造システム16の概略平面図である。なお、図2では、ハンド7、8の図示を省略している。
図4は、図1に示す産業用ロボット1の内部構成を示す断面図である。図5は、図4に示す第1減速機21およびその周辺部分の構成を示す拡大断面図である。図6は、図4に示す第2減速機22およびその周辺部分の構成を示す拡大断面図である。
図7は、図4のF部の拡大図である。第3アーム部駆動機構12は、駆動源となる第2駆動用モータ40と、第2駆動用モータ40の動力を減速して第3アーム6に伝達するための第3減速機41とを備えている。
図8は、図7に示すハンド駆動用モータ52およびその周辺部分の構成を示す拡大断面図である。図9は、図7に示すハンド駆動用モータ58およびその周辺部分の構成を示す拡大断面図である。
以上のように構成されたロボット1では、第1駆動用モータ20が駆動すると、図3に示すように、第3減速機41の中心が直線L上を移動するように、アーム部9が伸縮する。また、第2駆動用モータ40が駆動すると、第3減速機41を中心にして、第3アーム6がアーム部9に対して相対回転する。さらに、ハンド駆動用モータ52が駆動すると、中空軸73を中心にしてハンド7が第3アーム6に対して相対回転し、ハンド駆動用モータ58が駆動すると、中空軸74を中心にしてハンド8が第3アーム6に対して相対回転する。
以上説明したように、本形態では、第2駆動用モータ40は、第2アーム5の、第3減速機41が配置された箇所よりも先端側に、かつ、第1アーム4側へ突出するように第2アーム5に取り付けられている。そのため、第2アーム5の、第2減速機22と第3減速機41との間に第2駆動用モータ40が内蔵される場合と比較して、第2アーム5を薄くすることが可能になる。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
3 本体部
4 第1アーム
5 第2アーム
6 第3アーム(先端側動作部の一部)
7 ハンド(第1ハンド、先端側動作部の一部)
8 ハンド(第2ハンド、先端側動作部の一部)
13 ハンド駆動機構(第1ハンド駆動機構)
14 ハンド駆動機構(第2ハンド駆動機構)
20 第1駆動用モータ
21 第1減速機(第1関節部)
22 第2減速機(第2関節部)
23 連結機構
25 ウェーブジェネレータ(第1入力軸)
30、35 中空軸
32 ウェーブジェネレータ(第2入力軸)
36 プーリ(第1プーリ)
37 プーリ(第2プーリ)
38 ベルト
40 第2駆動用モータ
41 第3減速機(第3関節部)
45 ウェーブジェネレータ(第3入力軸)
50 中空軸(第2中空軸)
52 ハンド駆動用モータ(第1ハンド駆動用モータ)
53 ハンド用減速機(第1ハンド用減速機)
54 プーリ(ハンド用プーリ、第1ハンド用プーリ)
58 ハンド駆動用モータ(第2ハンド駆動用モータ)
59 ハンド用減速機(第2ハンド用減速機)
60 プーリ(ハンド用プーリ、第2ハンド用プーリ)
Claims (8)
- 本体部と、その基端側が前記本体部に回動可能に取り付けられる第1アームと、その基端側が前記第1アームの先端側に回動可能に取り付けられる第2アームと、その基端側が前記第2アームの先端側に回転可能に取り付けられる先端側動作部と、前記本体部と前記第1アームとを繋ぐ第1関節部を構成する第1減速機と、前記第1アームと前記第2アームとを繋ぐ第2関節部を構成する第2減速機と、前記第2アームと前記先端側動作部とを繋ぐ第3関節部と、前記第1減速機の入力軸である第1入力軸と前記第2減速機の入力軸である第2入力軸とを連結するとともに前記第1アームの内部に配置される連結機構と、前記第1入力軸に連結される第1駆動用モータと、前記先端側動作部を回転駆動する第2駆動用モータとを備え、
前記第3関節部の移動軌跡が直線状となるように、前記第1減速機の減速比および前記第2減速機の減速比が設定されるとともに、前記連結機構が所定の速比で前記第1入力軸と前記第2入力軸とを連結し、
前記第2駆動用モータは、前記第2アームの、前記第3関節部よりも先端側に、かつ、前記第1アーム側へ突出するように前記第2アームに取り付けられていることを特徴とする産業用ロボット。 - 前記第1減速機および/または前記第2減速機の中心を通過するように配置される中空状の中空軸を備え、
前記第1入力軸および/または前記第2入力軸は、前記中空軸の外周側に回転可能に配置されていることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。 - 前記第3関節部は、第3減速機で構成されていることを特徴とする請求項1または2記載の産業用ロボット。
- 前記第3減速機の中心を通過するように配置される中空状の第2中空軸を備え、
前記第3減速機の入力軸である第3入力軸は、前記第2中空軸の外周側に回転可能に配置されていることを特徴とする請求項3記載の産業用ロボット。 - 前記連結機構は、前記第1入力軸に固定される第1プーリと、前記第2入力軸に固定される第2プーリと、前記第1プーリと前記第2プーリとに架け渡されるベルトとを備えることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の産業用ロボット。
- 前記先端側動作部は、その基端側が前記第2アームの先端側に回転可能に取り付けられる第3アームと、その基端側が前記第3アームの先端側に回転可能に取り付けられるハンドと、前記ハンドを回転駆動するハンド駆動機構とを備え、
前記ハンド駆動機構は、ハンド駆動用モータと、前記ハンド駆動用モータの出力軸に取り付けられるハンド用減速機と、前記ハンド用減速機に取り付けられるハンド用プーリとを備え、
前記ハンド用プーリは、略筒状に形成され、前記ハンド駆動用モータの本体の外周面の一部を覆うように前記ハンド用減速機に取り付けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の産業用ロボット。 - 前記ハンド用減速機は、前記ハンド駆動用モータの出力軸の外周面を覆うように前記ハンド駆動用モータの出力軸に取り付けられていることを特徴とする請求項6記載の産業用ロボット。
- 前記先端側動作部は、前記ハンドとして、上下方向に重なるように配置される第1ハンドと第2ハンドとを備えるとともに、前記ハンド駆動機構として、前記第1ハンドを回転駆動する第1ハンド駆動機構と前記第2ハンドを回転駆動する第2ハンド駆動機構とを備え、
前記第1ハンド駆動機構は、前記ハンド駆動用モータとしての第1ハンド駆動用モータと、前記ハンド用減速機としての第1ハンド用減速機と、前記ハンド用プーリとしての第1ハンド用プーリとを備え、
前記第2ハンド駆動機構は、前記ハンド駆動用モータとしての第2ハンド駆動用モータと、前記ハンド用減速機としての第2ハンド用減速機と、前記ハンド用プーリとしての第2ハンド用プーリとを備え、
前記第1ハンド駆動用モータと前記第2ハンド駆動用モータとは、略同じ高さで配置され、前記第1ハンド用減速機と前記第2ハンド用減速機とは、略同じ高さで配置され、前記第1ハンド用プーリと前記第2ハンド用プーリとは、上下方向にずれた位置に配置されていることを特徴とする請求項6または7記載の産業用ロボット。
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